JP5553234B2 - 導電性ボールの搭載装置 - Google Patents
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Description
第2に、上記基板は凹部が形成されており、凹部の底部に電極が設けられ、かつ、該電極上部から基板の上面(凹部以外の表面)までの深さが搭載される導電性ボールの直径よりも大きな凹部を有する。
第3に、前記配列マスクは、前記基板と対向する面に前記基板の凹部に対応して突出する凸部を有する。
第1に、上記配列マスクの凸部の突出量は、上記基板の凹部の陥没量よりも大きくなるように設けられる。
第2に、上記配列マスクと基板とを相対的に接近及び離隔させる移動手段を設ける。
第3に、上記凸部下面と凹部底面とを密着させた状態で、上記ボール搭載手段によるボール搭載を行う。
第1に、上記ボール搭載手段は、真空源と接続されるケーシングの下面に設けられるボール吸着体により導電性ボールを吸着するボール保持手段と、上記配列マスク上で前記ボール保持手段を移動させる移動手段とを備える。
第2に、該移動手段により前記ボール保持手段を上記配列マスク上方の所定位置に移動させる。
第3に、前記ボール保持手段により吸着される導電性ボールを、前記ケーシングと真空源との接続を解除して上記配列マスク上に供給する。
2・・・・・・・・基板
3・・・・・・・・配列マスク
4・・・・・・・・ボールカップ
5・・・・・・・・搬入用の基板受渡部
6・・・・・・・・ボール搭載部
7・・・・・・・・搬出用の基板受渡部
10・・・・・・・導電性ボール
20・・・・・・・Embedded基板
21・・・・・・・凹部
22・・・・・・・電極
23・・・・・・・底部
24・・・・・・・表面
30・・・・・・・平板状マスク
31・・・・・・・貫通孔
32・・・・・・・凸部
33・・・・・・・掘り込み
41・・・・・・・開口部
42・・・・・・・ボール吸着体
43・・・・・・・上部空間
44・・・・・・・下部空間
45・・・・・・・吸引通路
46・・・・・・・ケーシング
47・・・・・・・ボールカップX駆動機構
48・・・・・・・ボールカップY駆動機構
49・・・・・・・ボールカップZ駆動機構
51・・・・・・・搬入ステージ
52・・・・・・・搬入ピック&プレーサ
61・・・・・・・搭載ステージ
71・・・・・・・搬出ステージ
72・・・・・・・搬出ピック&プレーサ
C・・・・・・・・陥没量
E・・・・・・・・突出量
イ・・・・・・・・間隙
Claims (3)
- 底部に電極が設けられ、かつ該電極上部までの深さが搭載される導電性ボールの直径よりも大きな凹部を有する基板上に所定のパターンで配置された電極に合わせて貫通孔が設けられた配列マスクと、
該配列マスク上に導電性ボールを供給するボール搭載手段とを備え、
該配列マスクの貫通孔を介して導電性ボールを基板上の電極に搭載する導電性ボールの搭載装置において、
前記配列マスクは、前記基板と対向する面に前記基板の凹部に対応して突出する凸部を有することを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
- 上記配列マスクの凸部の突出量は、上記基板の凹部の陥没量よりも大きくなるように設けられており、
上記配列マスクと基板とを相対的に接近及び離隔させる移動手段を設け、
上記凸部下面と凹部底面とを密着させた状態で、上記ボール搭載手段によるボール搭載を行うことを特徴とする請求項1記載の導電性ボールの搭載装置。
- 上記ボール搭載手段は、真空源と接続されるケーシングの下面に設けられるボール吸着体により導電性ボールを吸着するボール保持手段と、上記配列マスク上で前記ボール保持手段を移動させる移動手段とを備え、
該移動手段により前記ボール保持手段を上記配列マスク上方の所定位置に移動させ、
前記ボール保持手段により吸着される導電性ボールを、前記ケーシングと真空源との接続を解除して上記配列マスク上に供給することを特徴とする請求項1または2記載の導電性ボールの搭載装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010218563A JP5553234B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 導電性ボールの搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010218563A JP5553234B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 導電性ボールの搭載装置 |
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JP2012074558A JP2012074558A (ja) | 2012-04-12 |
JP5553234B2 true JP5553234B2 (ja) | 2014-07-16 |
Family
ID=46170427
Family Applications (1)
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JP2010218563A Active JP5553234B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 導電性ボールの搭載装置 |
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2010
- 2010-09-29 JP JP2010218563A patent/JP5553234B2/ja active Active
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