JP2005328017A - 導電性粒子の配列装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、所定のパターンで導電性粒子を被配列体に配列する装置であって、前記パターンに対応し前記導電性粒子を挿通可能な第1貫通孔を有する第1マスクと、前記パターンに対応し前記導電性粒子を保持可能な第2貫通孔を有する第2マスクと、少なくとも一面において気体が流通可能な吸引手段とを備えた配列装置である。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、本態様の配列装置1は、所定のパターンに半田ボールBを整列するボール整列部2と、半田ボールBをボール整列部2に供給するボール供給部3と、所定の姿勢で基板wを支持する基板支持部4と、ボール整列部2で整列された半田ボールBを基板wに対し位置決めする移動部5で構成されている。ここで、基板wの一面には、所定のパターンでバンプが設けられる配列位置にパッド状の電極w1が形成されている。個々の電極w1には、フラックスfが例えばスクリーン印刷法などで選択的に塗布されている。なお、フラックスfは基板wの一面の全面に塗布されていてもよい。
以下、ボール整列部2、ボール供給部3、基板支持部4および移動部5の順に本態様における詳細構造を説明する。
ボール整列部2は、基板wの電極w1の配列パターンに対応し半田ボールBが挿通可能な第1貫通孔211を備えた第1マスク21と、第1貫通孔211と同様なパターンで形成され半田ボールBを保持可能な第2貫通孔221を備えた第2マスク22と、上面(一面)において気体が流通可能な吸引手段24とを有し、本態様においては、さらに、第1マスク21を水平に支持する支持部材25と、吸引手段24に接続した負圧発生手段である真空ポンプ17を具備している。
ボール供給部3は、第1マスク21の上面に半田ボールBを供給するボール供給手段31と、供給された半田ボールBを第1マスク21の上で転滑動させ第1貫通孔211へ挿入する(この動作を振込みという。)ボール振込手段32とを備えている。
基板支持部4は、水平な姿勢となるように基板wを支持する支持部材41と、その姿勢で基板wを固定する固定部材42からなる。ここで、基板wは、フラックスfが塗布された電極w1が下向きになるように支持固定されている。
移動部5は、吸着手段24とともに第2マスク22を第1マスク21と基板wの下方において水平方向に横動させる水平移動手段52と上下方向に昇降させる昇降手段51とから構成され、第1マスク21と基板wに対し第2マスク22を位置合わせする物である。
図9に第2態様の配列装置1´の概略構成図を、図10にその配列装置1´の動作を示す。なお、図において上記した第1態様の配列装置1と同様な構成については同一符号を付しており、詳細な説明を省略する。
第1態様の配列装置1と同様に吸着手段24の第1貫通孔211に半田ボールBを充填し、第2貫通孔221で吸着して保持する。次に、図10(a)に示すように、移動部5によって吸着手段24を下方に移動させ、半田ボールBを保持した状態を保ちつつ第2マスク22を下降させ、第2マスク22から第1マスク21を取り外す。
1´ 第2態様の配列装置
2 配列部 21 第1マスク 211 第1貫通孔
22 第2マスク 221 第2貫通孔
24 吸引手段 241 多孔質体 24 ホルダー 242
25 支持部材
26 配管
27 負圧発生手段
3 ボール供給部 31 ボール供給手段
32 ボール振込手段
4 基板支持部 41 支持部材
42 固定部材
5 移動部 51 昇降手段
52 水平移動手段 521 移動台車 522 モーター
523 ボールネジ
6 マスク吸引手段 61 電源
62 電源線
63 電磁石
7 位置決め部 61 把持部材
w 基板 w1 電極
f フラックス
Claims (7)
- 所定のパターンで導電性粒子を被配列体に配列する装置であって、前記パターンに対応し前記導電性粒子を挿通可能な第1貫通孔を有する第1マスクと、前記パターンに対応し前記導電性粒子を保持可能な第2貫通孔を有する第2マスクと、少なくとも一面において気体が流通可能な吸引手段とを備えた配列装置。
- 前記第2貫通孔の一方の開口径は、前記導電性粒子の大きさ未満である請求項1に記載の配列装置。
- 前記第2貫通孔の他方の開口径は、前記一方の開口径より大きい請求項2に記載の配列装置。
- 前記第2マスクの厚さは前記導電性粒子の大きさ未満であり、前記第2貫通孔の内径は導電性粒子より大きい請求項1に記載の配列装置。
- 前記第2マスクの厚さが前記導電性粒子の大きさの1/2以下である請求項4に記載の配列装置。
- 前記第2貫通孔の一方の開口径が他方の開口径より大きい請求項4又は5のいずれかに記載の配列装置。
- 前記吸引手段は、通気性のある多孔質体を有する請求項1乃至6のいずれかに記載の配列装置。
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2004
- 2004-09-28 JP JP2004281857A patent/JP2005328017A/ja active Pending
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