JP2002289635A - ボール転写装置およびボール整列装置 - Google Patents
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Abstract
形成するボール転写装置であって、ボール吸着を確実に
行えるボール転写装置を提供する。 【解決手段】 整列孔41を有するボール整列パレット
4とボール吸着プレート3とからなるボール転写装置で
あって、ボール整列パレット4に整列されているボール
6を、ボール吸着プレート3に吸着する際に、ボール吸
着プレート3によって整列孔41を密閉して覆う。
Description
続やボールグリッドアレイ等におけるバンプ装置に関
し、特に、ハンダ、金等の導電性ボールを半導体チッ
プ、配線基板等に転写するためのボール転写装置に関す
る。
チップ、チップサイズパッケージ(CSP)、ボールグ
リッドアレイ(BGA)等のバンプ電極を形成する方法
には、はんだボールに代表される導電性ボールを配列さ
せることにより行う方法がある。
板等の電極パッドに対応する位置に、エッチング法や電
鋳法等によって吸着孔が形成されたボール吸着プレート
に真空吸引することによって吸着孔にボールを吸着さ
せ、配線基板等の上で真空吸引を解除することにより、
電極パッドへボールを配列・搭載し、バンプを形成する
方法が開発され、実用化もなされている。
吸着する方法としては、ランダムに載置されている導電
性ボールを吸着する方法が一般的であった。この方法で
は、吸着すべき導電性ボールの位置が不定であったため
に、確実に吸着することが困難であった。
吸着ヘッドのボールを吸着の確実性を向上させたボール
転写方法を、特願平11-311866号(以下、関連出願とい
う)として提案している。
着する配置と同じ配列で所定位置に導電性ボールが収容
されているパレットから導電性ボールを吸着するように
した方法であり、ボール吸着の確実性の向上を意図した
ものである。
なり、導電性ボールが微細になる傾向に拍車がかかり、
この結果、整列パレットの整列孔に収容されている導電
性ボールが、整列孔の底部や壁に付着した場合には、ボ
ール吸着プレートに吸着することが困難な場合がある。
ールを離脱させようとすると、吸引時に吸着孔に衝突す
る衝撃が大きくなり、かえってボール吸着が不安定にな
るという問題がある。
の整列孔の底部から強制的にガスを吹き込むことによっ
て、導電性ボールを整列孔の底部や壁から離脱させるよ
うにする方法を提案している。
孔の底部からボールにガスを吹き付けて壁等に付着して
いる導電性ボールを離脱させようとしたときに、ガスの
圧力を適切に選ぶことが難しく、圧力が弱い場合には導
電性ボールが離脱せず、逆に強すぎるとボールが吹き飛
ばされて変形するなどの不具合が発生する。
パッドの配列ピッチが小さくなる傾向にあり、隣り合う
ボール同士が静電気による影響を及ぼし合うという問題
も無視できなくなくなってきた。吸着パレットに吸着さ
れる際、ボール同士が静電気で引き付けあうことにより
正常な吸着孔に入らないといった不具合が発生する。
されたものであり、その目的は、整列パレットに収容さ
れている導電性ボールを吸着パレットに過不足なく、か
つ無理なく吸着し、もって半導体チップの電極パッドに
確実にボールを転写するようにすることにある。
に、本発明では、電極パッドに対応する位置にボールを
整列させるための整列孔が形成されているボール整列パ
レットと、前記ボール整列パレットを載置するボール整
列パレット載台と、ボール整列パレットに形成された整
列孔に対応して吸着孔が形成されているボール吸着プレ
ートと、ボール吸着プレートに接続されるとともに、吸
着孔から真空吸引可能なように吸着孔と真空吸引流路と
が設けられているボール吸着基台とを有するボール転写
装置であって、前記ボール整列パレットに整列されてい
るボールを前記ボール吸着パレットに吸着する際に、前
記ボール吸着パレットによって前記整列孔を密閉して覆
うことを特徴とする。
の底部に貫通する吸引孔を設けることが好ましい。
を前記整列孔に対して偏心させて配置するのが好まし
く、吸引孔は整列孔に対して複数設けてもよい。また
は、整列孔の中心の周りに複数の吸引孔を設ける配置で
もよい。
心させてボールの吸着を行うようにするのが望ましい。
た第1の部材と吸引孔を設けた第2の部材とを接合する
ことによって形成してもよい。
設けた第1の部材と吸引孔を設けた第2の部材とを拡散
接合で接合するのが好ましい。
列孔の深さを前記ボールの径に対する比率が0.5以上
でかつ1.1以下の値に設定するのが望ましい。
ートには、下面にボールとの干渉を防ぐボール逃げ孔を
設ける。
けた第1の部材と逃げ部を設けた第2の部材とを接合す
ることによって形成してもよい。
を設けた第1の部材と逃げ部を設けた第2の部材とを有
機接着剤を介さない接合法で接合するのが好ましく、特
に、拡散接合で接合することが望ましい。その他、第1
の部材および第2の部材がガラスとシリコンの組み合わ
せあるいはシリコン同士の組み合わせの場合は静電接合
が好ましい。
よりボールを密閉して覆う構造になる形状であればよい
が、ボール整列パレットとボール吸着プレートの加工精
度ばらつきや、ボール整列パレットとボール吸着プレー
トの位置合わせばらつきを吸収するために、逃げ孔を大
きくとることが望ましい。
部材を複数枚用意し、これを張り合わせることにより段
階的に逃げ部の形状が変化する構造にすると、吸着時に
ボールを吸着孔に導くことが可能である。
い。斜面の形成方法としては、シリコンの異方性エッチ
ングによる方法が望ましい。シリコンの(111)方位
面を利用した正四角錐を形成し、これを逃げ孔とする
と、均等な斜面を形成できるので好ましい。
よい。曲面の形成方法としては、予め形成された逃げ部
の上に電鋳めっきにより金属相を析出させる方法や、有
機膜を形成する方法が望ましい。
逃げ部の上に析出相が形成され、逃げ部の角部に一様に
曲面が形成されるため好適である。
め逃げ部を形成したボール吸着プレートを真空炉中に設
置し、炉内を真空にした後、ポリイミド、ポリアミド、
ポリ尿素樹脂等の前駆体を炉内に導入し、加熱すること
により各種ポリマーを形成する方法が望ましい。
ることが可能になるばかりでなく、逃げ部表面と逃げ孔
側面に均一に有機膜を形成することが可能であり、逃げ
部に均一な曲面を形成することが可能である。
整列パレットに振動を付与する振動付与手段を設けるの
が好ましい。
子が好ましい。
トを撮像して収容されているボールの有無を監視する撮
像手段を設ける。
いる導電性ボールをボール吸着プレートに真空吸引して
吸着する際に、ボール吸着プレートでもってボール整列
パレットの整列孔を密閉して覆う。
を高めると共に、整列孔の底部に吸引孔を貫通させるこ
とによって、ボールを真空吸引する際にボール周囲に空
気の流れを作り、ボールが無理なく吸着孔に吸引され
る。
切られ、静電気によるボール間の干渉が防止できる。
孔に対して偏心させて配置することにより、ボールの位
置を一定させる。吸引孔は整列孔に対して複数設けても
良く、整列孔の中心の周りに複数の吸引孔を設ける配置
でも良い。
与手段を設けることにより、その上に載置されているボ
ール整列パレットを振動させ、整列孔の底部や壁に付着
しているボールを離脱させる。
収容されているボールの有無を監視する撮像手段を設け
ることによって、欠点のある領域を避け、すべての整列
孔にボールが収容されている領域からボールを吸着する
ことによって、不良品の発生を防止する。
等を撮像しボールの有無を監視し、欠点を除去し不良品
の発生を防止する。
けることにより、導電性液体中でボール整列パレットに
ボールを整列させる際、導電性液体の流路とボールが整
列孔に収まる経路が一致し、整列がスムーズに行える。
さらに、吸引孔から導電性液体が排出される効果も生じ
る。
を参照して説明する。
発明の第1の実施の形態について説明する。図1(a)
は、吸着ヘッド1が導電性ボール6を整列させたボール
整列パレット4上にあり、ボール吸着プレート3に導電
性ボール6を吸着する直前の状態を示し、図1(b)
は、吸着ヘッド1を下降させてボール吸着プレート3を
ボール整列パレット4に密着させてボール6を吸着する
動作中を示し、図1(c)はボール6を吸着した吸着ヘ
ッド1を、半導体チップ7上に移動して電極パッド71
上にボール6を配置した状態を示す。
ル吸着プレート3から成り、吸引手段接続口21に接続
された図示しない吸引手段で吸引することによりボール
吸着プレート3のボール吸着孔31にボール6を吸着し
保持する。
1(c)に示す半導体チップ7の電極パッド71の配列
パターンと一致するように形成されている。
び開口部22を経由して吸着孔31によって行われる
が、図1に示すように、吸着孔31と開口部22とを1
対1に対応させることは必ずしも必要でなく、図示しな
い吸引手段と吸着孔31がボール6を吸引することが可
能なように吸引手段と吸着孔31が接続されて設ければ
よい。
する整列孔41が設けられており、整列孔41にボール
が整列された状態でボール整列パレット載台5に載置さ
れる。
に示す半導体チップ7の電極パッド71の配列パターン
と一致するように形成されている。従って、整列孔41
と吸着プレート31とは同じ配列パターンで配列されて
いる。
がボール整列パレット4を貫通して設けられており、そ
の形状および大きさは、ボール6が整列孔41の底部に
収容するのに支障のないように決定される。
パレット4を載置する台であり、ボール整列パレット4
の吸引孔42に対応する位置に空気孔52が形成されて
おり、空気流路51を経て空気がボール整列パレット4
の吸引孔42に自由に流入できるように形成されてい
る。ここで、空気孔52は必ずしもボール整列パレット
4の吸引孔42と1対1に対応する必要はなく、空気孔
52に空気が出入りするように設けてあればよい。
レット4は、シリコン基板、金属、ガラス、セラミック
あるいは樹脂板から成り、エッチング等により精密に加
工される。
に転写する動作について説明する。
方で待機している状態で、ボール6が配列されたボール
整列パレット4がボール整列パレット載台5に載置され
ると、吸着ヘッド1を下降させてボール吸着プレート3
をボール整列パレット4に密着させる(図1(b))。
上面とが密着する結果、吸着ヘッド基台2の開口部22
からボール整列パレット4の吸引孔42までが一つの空
気の流路となり、その中央でボール吸着プレート3の吸
着孔31とボール整列パレット4の整列孔41とが一体
となった空間となる。この結果、ボール6が各々の空間
で区切られ、静電気で引き合う等の干渉がなくなる。
作させると、吸引対象のスペースが狭く限定されている
ので、吸引効率が上がり、確実にボール6を吸着孔31
に吸着することができる。
ール6が押し上げる力が働くために、整列孔41の底部
や壁に付着しているボール6も離脱し、吸着孔31に吸
着されやすくなる。
ル6を吸着保持したまま上昇させ、図1(c)に示すよ
うに半導体チップ7上に移動させ、吸着孔31と電極パ
ッド71を位置合わせし、吸着ヘッド1を下降させ、ボ
ール6を電極パッド71に載置して、ボール6の転写を
完了する。
ール6とボール吸着プレート3とを同時に転写し、その
状態でリフロー炉等で過熱しボールを溶融させ、ボール
が溶融中または凝固して電極パッド71にバンプ電極を
形成した後に、ボール吸着プレート3を除去してもよ
い。
発明の第2の実施の形態について説明する。
2(b)に示すように、ボール整列パレット4の吸引孔
42を整列孔41の中心に対して偏心させて形成してあ
る。
2を設ける実施の形態では、吸引孔42の形状を円形と
すると、吸引孔42の入口に球形のボール6がすっぽり
嵌まることになり、吸引孔42からの空気の流通が阻害
される恐れがあり、吸引孔42を設けた効果が減少して
しまう。
整列パレット4の吸引孔42を整列孔41の中心に対し
て偏心させて形成しておけば、ボール6によって吸引孔
42が塞がれることがない。
に空気の流れが発生する結果、空気の流通がスムースで
ボール6の吸引を効率よく行うことができる。
2を整列孔41に対して偏心させると、空気の流れによ
ってボール6が整列孔41の壁面に寄せられながら吸着
孔31に吸着されるために、吸着孔31に吸着される際
のボール6の位置が一定する。
置を壁面に寄せられているボール6の位置とほぼ一致す
るように、整列孔41の中心に対して偏心させて配置さ
せた状態で吸着ヘッド1を下降させてボール6を吸引す
るようにすれば、ボール6の吸着の確実性が向上する。
列する作業を液体中で行うことにより整列孔41に整列
させる方法を用いるに際して、吸引孔42を整列孔41
の中心に対して偏心させて形成することにより、ボール
6によって吸引孔42が塞がれることがなく、整列孔4
1に入った液体がスムースに排出される効果もある。
傾けて、その上でボールを転がして整列孔41に納める
際、下方側に吸引孔42が偏心している配置にすること
により、液体の流れがスムーズになり整列が容易にな
る。
孔41が形成されているボール整列パレット4を導電性
液体の浴槽内に載置する。この場合、ボール6と導電性
液体とを同時にボール整列パレット3上に供給するボー
ル供給装置(図示せず)を設けておく。
明する。
下降させて、ボール吸着プレート3と整列パレット4を
密着させた状態で、図示しない吸引手段により吸引を開
始すると、吸引孔42からボール6の周囲を経て吸着孔
31に達する気流が発生する。
ないので、図3(a)および図3(b)に示すように空
気がスムースに流通する。その結果、ボール6が底部や
壁面に付着していても、上記の空気の流れによってボー
ル6が離脱し、加えてボール6が一方の壁側に押し付け
られながら吸着孔31に吸引される。
寄せられたボール6と吸着孔31の中心が一致するよう
に吸着ヘッド1をボール6が押し付けられている壁の方
にずらして位置決めすることにより、ボール6を確実に
吸着することができる。
ように、整列孔41を設けた第1の整列パレット部材4
3と吸引孔42を設けた第2の整列パレット部材44を
接合することによって形成してもよい。このように、そ
れぞれを個別に形成することによって図7(a)及び図
7(b)に示すように、整列孔41および吸引孔42の
形成を容易に行うことができる。また、偏心孔の径およ
び偏心量を任意に選ぶことが可能となる。
合剤を用いると、整列孔41付近に接合剤がはみ出した
り、接合剤の厚みを一定に保つことが難しいために、ボ
ール6の整列孔41の深さが一定しない恐れがある。拡
散接合などのような部材どうしを直接に接合する接合方
法が望ましい。
発明の第3の実施の形態について説明する。
は、整列孔41の深さをボールの径に対する比率が0.
5から1.1の範囲になるように形成している。この範
囲に整列孔41の深さを形成すると、整列孔41内でボ
ール6が安定して収容され、整列パレット4の移動に際
の振動等の影響で整列孔41からボール6が飛出すこと
がない。飛び出しを防止する上では、より好ましくは、
0.7以上であることが望ましい。
列する作業を液体中で行うことにより整列孔41に整列
させる方法を用いるに際して、一旦整列孔41に収容さ
れたボール6に他のボール6が衝突することがあるが、
このときでも、上記のように整列孔41の深さを設定し
てあれば、他のボールから受ける衝撃によって収容され
ている整列孔41から飛出すことがない。
に、余分なボール6が、整列孔41と整列孔41に収ま
っているボール6との間に挟まることを予防する上で
1.1以下の範囲にあることが望ましい。
では、1.0未満であることが望ましいが、ボール吸着
プレート3とボール整列パレット4とを密着させるとボ
ール6がつぶれる不具合が生じる。
に、ボール逃げ孔35を設けることにより、ボール吸着
プレート3と整列孔41に収容されているボール6とが
干渉しないようにすることができる。また、ボール6と
吸着孔31の先端位置との距離が最も吸着に好適な距離
となるようにボール逃げ孔35の形状を設定する。
の1/2+Aからボール6の径+Aまでの範囲にあるこ
とが望ましい。ここで、Aはボール6と吸着孔31の先
端位置との隙間である。Aはボール径の10%から50
%の範囲内にあることが望ましい。
着孔31の先端位置との距離を確保するように吸着プレ
ート3を形成した場合の吸着動作時の様子を示してお
り、この距離が離れているときには、ボール6を吸着孔
31に吸着できない。一方、近すぎる場合には、吸着孔
31に勢いよく当たってしまうために、跳ね返り、吸着
孔31にボール6が正しく吸着されない。
孔31の先端位置との距離が最も吸着に好適な距離は、
ボール6の径の30%前後にとるのが好適と確認してい
る。
うに、吸着孔31を設けたボール吸着プレート台33と
ボール逃げ孔35を設けたボール逃げ孔プレート34と
を接合することによって形成してもよい。
合剤を用いると、吸着孔31付近に接合剤がはみ出した
り、接合剤の厚みを一定に保つことが難しいために、ボ
ール6の吸着を阻害する恐れがある。そこで、拡散接合
等のような部材どうしを直接に接合する接合方法が望ま
しい。
うに、整列孔41よりも大きい径で形成すると、ボール
整列パレット4とボール吸着プレート3の加工精度ばら
つきや、吸着時のボール整列パレット4とボール吸着プ
レート3の位置合わせばらつきを吸収することができ
る。
げ孔プレート34により段階的にボール逃げ孔35を形
成してもよい。このような形状にすることにより、吸着
時にボールを吸着孔31に導入する効果があり、位置ず
れ等が発生した場合でもボール吸着がスムーズに行え
る。
に示すように斜面部36を有する形状でもよく、また、
図12に示すように曲面部37を有する形状でもよい。
で形成される。この場合、斜面部36は、シリコンの
(111)方位面である。
により形成される。あるいは、曲面部37を有機膜で形
成しても良い。この場合、有機膜は、ポリイミド、ポリ
アミド及びポリ尿素樹脂の内から選ばれる少なくとも1
種類以上の樹脂から成る。
発明の第4の実施の形態について説明する。
段8が接続されている。振動手段8に振動を加えると、
整列パレット載台5に載置されているボール整列パレッ
ト4が振動する。その結果、整列パレットの整列孔41
に収容されているボール6に振動が伝わる。ボール6が
整列孔41の底部あるいは壁部に付着している場合に
は、この振動により整列孔41の底部あるいは壁部から
離れる。
ってボール6の吸着を行う直前あるいは吸着動作中に動
作させることによって、整列孔41の底部あるいは壁部
に付着しているボール6を離脱させるものであり、吸引
孔42による空気の流れによるボール6の離脱を助ける
効果を果たす。
タ、超音波振動子、モータなどの採用が可能であるが、
制御が容易であり、微細な振動を加えることが可能であ
る圧電素子を使用するのが好ましい。
発明の第5の実施の形態について説明する。
上を監視する撮像装置9が設けられている。撮像装置9
は、ボール吸着パレット4が吸着するパターンの領域に
ついてきちんとボール6が整列孔41に収容されている
かを監視し、吸着孔31に欠点がある場合には、これを
避けて完備している領域に吸着ヘッドを位置決めし直し
て欠点がある転写作業をするのを防ぎ、不良品の発生を
防止する。この撮影装置9により、ボール6の配列に異
常がない領域を選別することができる。
整列されている導電性ボールをボール吸着プレートに真
空吸引して吸着する際に、ボール吸着プレートでもって
ボール整列パレットの整列孔を密閉して覆うことによっ
て、導電性ボールを吸引する効率を高めることができ
る。
ることによって、ボールを真空吸引する際にボール周囲
に空気の流れを作り、この空気の流れに乗ってボールが
吸着プレートに吸着される。これにより、ボールが無理
なく吸着孔に吸引される。
に、微細なボールをボールを損傷させることなく吸着
し、基板の電極パッドに転写することができる。
孔に対して偏心させて配置することにより、ボールの位
置を一定させるて吸着作業の確実性が向上する。
付与することで、整列孔の底部や壁に付着しているボー
ルを離脱させ、吸着作業を確実にすると共に、ボール整
列の効率も向上する。
されているボールの有無を監視する撮像手段を設けるこ
とによって、欠点のある領域を避け、すべての整列孔に
ボールが収容されている領域からボールを吸着すること
によって、不良品の発生を防止する。
置を示す図である。
置を示す図である。
ートの構造を示す図である。
置を示す図である。
置を示す図である。
である。
ある。
ある。
Claims (26)
- 【請求項1】 基板上の電極パッドにボールを転写する
ためのボール転写装置において、 基板上の電極パッドに対応する位置にボールを整列させ
るための整列孔が形成されているボール整列パレット
と、 ボール整列パレットを載置するボール整列パレット載台
と、 ボール整列パレットに形成された整列孔に対応して吸着
孔が形成されているボール吸着プレートと、 ボール吸着プレートに接続されると共に、吸着孔から真
空吸引可能なように吸着孔と真空吸引流路とが設けられ
ているボール吸着基台とを有し、 ボール整列パレットに整列されているボールをボール吸
着プレートに吸着する際に、ボール吸着プレートによっ
て整列孔を密閉して覆うことを特徴とするボール転写装
置。 - 【請求項2】 前記ボール整列パレットには、前記整列
孔の底部に貫通する吸引孔が設けられていることを特徴
とする請求項1に記載のボール転写装置。 - 【請求項3】 前記ボール整列パレットは、前記吸引孔
が前記整列孔に対して偏心されて配置されていることを
特徴とする請求項2に記載のボール転写装置。 - 【請求項4】 前記吸着プレートは、前記整列孔に対し
て前記吸着孔を偏心させた状態でボールの吸着を行うこ
とを特徴とする請求項3に記載のボール転写装置。 - 【請求項5】 前記ボール整列パレットは、前記整列孔
を設けた第1の部材と前記吸引孔を設けた第2の部材と
を接合することによって形成されることを特徴とする請
求項3又は4に記載のボール転写装置。 - 【請求項6】 前記第1の部材と前記第2の部材とは拡
散接合により接合されていることを特徴とする請求項5
に記載のボール転写装置。 - 【請求項7】 前記ボール整列パレットの前記整列孔の
深さは、前記ボールの径に対する比率で0.5以上かつ
1.1以下の値に設定されていることを特徴とする請求
項1から6のいずれか1つの請求項に記載のボール転写
装置。 - 【請求項8】 前記ボール吸着プレートには、下面に前
記ボールとの干渉を防ぐためのボール逃げ孔が設けられ
ていることを特徴とする請求項1に記載のボール転写装
置。 - 【請求項9】 前記ボール吸着プレートは、前記吸着孔
を設けた第1の部材と前記ボール逃げ孔を設けた第2の
部材とを接合することによって形成されることを特徴と
する請求項8に記載のボール転写装置。 - 【請求項10】 前記第1の部材と前記第2の部材とは
拡散接合で接合されていることを特徴とする請求項9に
記載のボール転写装置。 - 【請求項11】 前記ボール逃げ孔には、所定の斜面が
設けられていることを特徴とする請求項8から10のい
ずれか1つの請求項に記載のボール転写装置。 - 【請求項12】 前記斜面はシリコンで形成されること
を特徴とする請求項11に記載のボール転写装置。 - 【請求項13】 前記斜面が前記シリコンの(111)
方位面であることを特徴とする請求項12に記載のボー
ル転写装置。 - 【請求項14】 前記ボール逃げ孔には所定の曲面が設
けられていることを特徴とする請求項8から10のいず
れか1つの請求項に記載のボール転写装置。 - 【請求項15】 前記曲面が電鋳めっきにより形成され
ることを特徴とする請求項14に記載のボール転写装
置。 - 【請求項16】 前記曲面が有機膜で形成されているこ
とを特徴とする請求項14に記載のボール転写装置。 - 【請求項17】 前記有機膜が、ポリイミド、ポリアミ
ド及びポリ尿素樹脂の内から選ばれる少なくとも1種類
以上の樹脂から成ることを特徴とする請求項16に記載
のボール転写装置。 - 【請求項18】 前記ボール整列パレット載台には、前
記ボール整列パレットに振動を付与する振動付与手段が
設けられていることを特徴とする請求項1に記載のボー
ル転写装置。 - 【請求項19】 前記振動付与手段は、圧電素子である
ことを特徴とする請求項18に記載のボール転写装置。 - 【請求項20】 前記ボール整列パレットを撮像して収
容されているボールの有無を監視する撮像手段が設けら
れていることを特徴とする請求項1から19のいずれか
1つの請求項に記載のボール転写装置。 - 【請求項21】 前記撮影手段により前記ボールの配列
に異常がない領域を選別することを特徴とする請求項2
0に記載のボール転写装置。 - 【請求項22】 基板上の電極パッドに対応する位置に
ボールを整列させるための整列孔が形成されているボー
ル整列パレットを導電性液体の浴槽内に載置するボール
整列装置であって、 上記整列孔の底部に貫通する吸引孔が設けられているこ
とを特徴とするボール整列装置。 - 【請求項23】 基板上の電極パッドに対応する位置に
ボールを整列させるための整列孔が形成されているボー
ル整列パレットと、 ボールと導電性液体とを同時に前記ボール整列パレット
上に供給するボール供給装置とを有することを特徴とす
るボール整列装置。 - 【請求項24】 前記ボール整列パレットは、前記吸引
孔が前記整列孔に対して偏心されて配置されていること
を特徴とする請求項22又は23に記載のボール整列装
置。 - 【請求項25】 前記ボール整列パレットは、前記整列
孔を設けた第1の部材と前記吸引孔を設けた第2の部材
とを接合することによって形成されることを特徴とする
請求項22から24のいずれか1つの請求項に記載のボ
ール整列装置。 - 【請求項26】 前記第1の部材と前記第2の部材とは
拡散接合で接合されていることを特徴とする請求項25
に記載のボール整列装置。
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