JP4655269B2 - 導電性ボールの搭載方法および搭載装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1態様について図1〜4を参照し説明する。図1は第1態様の搭載装置の概略構成図、図2は図1の搭載装置の動作を説明するための図、図3は図1の搭載装置の断面図、図4は図1の搭載装置に組込まれたテーブルの平面図である。
マスク11は、金属、樹脂又はセラミックスを主体とする平板状の基体に位置決め開口部111が形成されたものであり、その平面視の大きさはウエハWより大きく、微小な半田ボールBの直径とほぼ等しい厚さを有している。そのように薄く面積の広いマスク11はそのままでは変形しやすいので、弾性を有する布(紗という。)などで平面方向に張力を加えた状態で不図示のフレームなどに固定されている。マスク11の位置決め開口部111は、具体的には貫通孔であり、半田ボールBが挿通可能なように略円柱状に形成されている。なお、位置決め開口部111の形状は特に図示に限定されることなく、その半径方向の断面形状は、略円形状や略矩形状、略三角形状、略長孔状、略瓢箪状或いはそれらの組み合わせなど適宜選択することができ、さらに軸心方向の断面形状も、長方形状又は台形状、上下に台形が組み合わされた鼓形状或いはそれらの組み合わせなど適宜選択することができる。また、マスク11においてウエハWと相対する面は、必ずしも平坦な面である必要がなく、例えば図2(b)に示すマスク11´ように、電極Qに塗布されるフラックスと接触しないように底面が掘り込まれた凹部112が形成されていてもよい。
テーブル12の載置部123は、ウエハWを水平な姿勢で載置可能な平坦な載置面1231を有している。テーブル12には、載置部123に載置されたウエハWを固定する好ましい構成として、載置面1231に一方の端が開口するとともにテーブル12を貫通してなる流体通路1221を備えたウエハ固定部122が形成され、該流体通路1221の他方の端には吸引手段である不図示の真空ポンプと接続されている。したがって、載置部123の載置面1231にウエハWを載置した後に真空ポンプを作動させると、流体通路1221を通じてウエハWは吸引され水平な姿勢を保持したまま固定される。なお、被配列体が軟磁性を有する場合には被配列体固定部52は磁石等で構成し磁気的に被配列体を固定してもよく、また、被配列体が誘電性を有する場合には、被配列体固定部52は電気的に一の極性(正極または負極)に印圧される電極で構成し静電気的に固定してもよく、さらにまた、粘着性を有する粘着部材等を配設し被配列体を粘着して固定してもよく、さらにさらにまた、被配列体を冶工具等で機械的に固定してもよい。
振込手段10は、ウエハWに位置合わせされたマスク11の上面に対し平行に配設された複数のワイヤー103の束が一対の支持部材102に支持された振込部材101と、ワイヤー103をマスク11の上面に当接させつつ振込部材10をマスク11の上面に対し略水平方向に移動させる不図示の移動手段とを有している。なお、半田ボールBに直接当接するワイヤー101は、半田ボールBが帯電しないように導電性のあるものを使うとよい。また、振込み部材101としては、例えばブラシ、ゴム板または樹脂板などを用いたスクレーパー、若しくはマスク11の上面に対して鉛直方向にワイヤーを配したブラシであってもよい。
本発明の第2態様について図6を参照し説明する。図6は、第2態様の搭載装置の平面図と断面図である。なお、第2態様の搭載装置2は、第1態様の搭載装置1と同様な振込手段10を有するが図6では省略しており、また、第1態様の搭載装置1と同様な構成については同一符号を付している。
10 振込手段
101 振込部材
102 支持部材
103 ワイヤー
11(21) マスク
111 位置決め開口部
112 凹部
213 溝部
12 テーブル
121 マスク吸引部
122 ウエハ固定部
123 載置部
13 枠部
W ウエハ
Q 電極
B 半田ボール
Claims (8)
- 所定の配列パターンで被配列体に導電性ボールを搭載する搭載方法であって、被配列体をテーブルの載置部に載置し、マスクを被配列体に位置合わせをし、載置方向から見て被配列体の外周縁の少なくとも一部が含まれるようテーブルに開口して配設されたマスク吸引部からマスクを吸引し、所定の配列パターンで形成されたマスクの位置決め開口部に導電性ボールを装入し、導電性ボールを被配列体に搭載することを特徴とする導電性ボールの搭載方法。
- 被配列体に位置合わせされたマスクの該被配列体側に存する流体を吸引することを特徴とする請求項1に記載の導電性ボールの搭載方法。
- 被配列体と相対する面に形成されたマスクの溝部を通じてマスクを吸引することを特徴とする請求項2に記載の導電性ボールの搭載方法。
- 所定の配列パターンで被配列体に導電性ボールを搭載する搭載装置であって、前記配列パターンに対応し前記導電性ボールが挿通可能な位置決め開口部を備えたマスクと、前記被配列体が載置される載置部と載置方向から見て前記被配列体の外周縁の少なくとも一部が含まれるよう開口して配設されたマスク吸引部とを備えたテーブルとを有することを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
- 前記マスク吸引部は前記載置部において前記被配列体が載置される載置面の側に開口した開口端を有する流体通路であり、前記流体通路に接続され流体を吸引する吸引手段を有することを特徴とする請求項4に記載の導電性ボールの搭載装置。
- 前記マスクは少なくとも前記マスク吸引部に対応する位置まで伸びた溝部を前記被配列体と相対する面に有することを特徴とする請求項5に記載の導電性ボール搭載装置。
- 前記テーブルは前記被配列体を収納可能な枠部を備え、前記枠部は前記被配列体の導電性ボールが搭載される搭載面と略同一の高さの一面を備えることを特徴とする請求項5又は6のいずれかに記載の導電性ボールの搭載装置。
- 前記載置部は前記載置面に開口した開口端を有する流体通路を備えた被配列体固定部を有し、前記被配列体固定部と前記マスク吸引部との流体通路は連結されていることを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに記載の導電性ボールの搭載装置。
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