JP4427793B2 - 導電性ボールの搭載装置 - Google Patents
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Description
さらに、保持手段は、被配列体とほぼ同一の厚みを有するとともに孔部が形成された平板状の枠体と、枠体の一面に一面が密接された平板状の支持体とを有し、孔部と支持体の一面とで上記支持手段の収納部が形成されていることが好ましい。
本発明の第1態様について図1〜3を参照し説明する。図1は、第1態様の搭載装置の概略構成図である。図2は、図1の搭載装置において半田ボールが搭載される状態を説明するための図1の部分拡大断面図である。図3は、図1の断面図である。
マスク11は、金属、樹脂又はセラミックスを主体とする素材にて平板状に形成されており、その平面視の大きさはウエハWよりおおきく、半田ボールBの直径とほぼ同一厚さに形成されている。そのように薄く大きなマスク11はそのままでは変形しやすいので、弾性のある布(紗という。)などで平面方向に張力を加えた状態で不図示のフレームなどに固定されている。そのマスク11の位置決め開口部111は、図2に示すように、貫通孔状に形成されている。位置決め開口部111の形状は、特に図示に限定されることなく、その半径方向の断面形状は、略円形状や略矩形状、略三角形状、略長孔状、略瓢箪状或いはそれらの組み合わせなど適宜選択することができ、さらに軸心方向の断面形状も、長方形状又は台形状、上下に台形が組み合わされた鼓形状或いはそれらの組み合わせなど適宜選択することができる。また、マスク11においてウエハWに対面する面は、必ずしも平坦面である必要がなく、例えば図3(b)に示すマスク11´ように、通常電極Qに塗布されるフラックスfと接触しないように底面に凹部112が形成されていてもよい。
保持手段12は、ウエハWが嵌通可能な孔部1221が形成された枠体122と平板状の支持体121とから構成されており、支持体121の上面に枠体122を密設することにより支持体121の上面と孔部1221とで収納部123が形成される。ここで、枠体122は、ウエハWとほぼ同じ厚みで形成されている。したがって、枠体122の上面124(以下支持面という。)は、搭載面を上方に向け露出した状態でウエハWを収納部123に収納したときに該搭載面とほぼ同じ高さとなる。
振込手段10は、例えば振込部材101としてブラシ、ゴム板または樹脂板などを用いたスクレーパー、マスク11の上面に対し横向きあるいは縦向きの姿勢で線材を配したブラシであり、マスク11の上面に供給された半田ボールBを掃引しながら動かすためにマスク11の上面に振込部材101を当接させながらその上方を手動または自動で水平移動できるように構成されている。この振込手段10において半田ボールBに直接当接する振込部材101は、半田ボールBが帯電しないように導電性のあるものを使うとよい。
まず、保持手段12の収納部123にウエハWを装着する。この際、ウエハWはその搭載面が上方を向き露出した状態で装着される。次に、位置決め開口部111が電極Qに対してほぼ一致するようにマスク11を平面視において位置決めし、ウエハWの搭載面に対しマスク11の下面が密着した状態となるように重ね合わせる。このとき、図3に示すように、マスク11は、ウエハWに密着可能な状態となるとともに保持手段12の上面である支持面124にも密着可能な状態となる。したがって、マスク11に変形が生じていなければこの状態でマスク11とウエハWの間には隙間が形成されず、また、マスク11に変形が生じていればマスク11を下方へ押し付けることで密着させて隙間を無くすことができる。
本発明の第2態様について図4,5を参照し説明する。図4は、第2態様の搭載装置の概略構成図である。図5は、図4の拡大断面図である。なお、図4,5では上記第1態様と同じ構成については同一符号を付しており、以下で詳細な説明を省略する。
磁力発生手段は一体物の永久磁石であってもよいが、本態様の永久磁石23のように隣接する個片の永久磁石231が異なる極性となるようにその短手の側面を密着させて略平板状に並べ配したものとすることができる。このように、隣接した磁区が異なる極性となるように個片の永久磁石を配設すると、各個片の永久磁石から生ずる磁力線の間隔が短くなり、マスク21をより強く均一に引き付けることができるという利点がある。
まず、第1態様の搭載装置1と同様に、ウエハWを保持手段12に装着し、ウエハWにマスク21を位置合わせする。次に、マスク21が充分にウエハWに密着する位置まで永久磁石23を上昇させる。このとき図5(a)に示すように、マスク21は、永久磁石23から作用する磁力にその全面が一様に引き付けられて、ウエハWに密着するとともに保持手段12の上面である支持面124にも密着する。したがって、マスク21に変形が生じていてもマスク21とウエハWの間には隙間が形成されない。その結果、振込手段10で半田ボールBを振り込むときでもその隙間に半田ボールBが入り込むことがない。
10:振込手段、101:振込部材
11(21):マスク、111:位置決め開口部
12:保持手段、121:支持体、122:枠体
23:磁力発生手段
W:ウエハ、Q:電極
B:導電性ボール
Claims (2)
- 所定の配列パターンで平板状の被配列体に導電性ボールを搭載する装置であって、前記配列パターンに対応し前記導電性ボールが挿通可能な位置決め開口部を有する軟磁性を備えたマスクと、導電性ボールが搭載される搭載面を露出させた状態で前記被配列体が収納されたときに前記搭載面と相対する被配列体の面が接する平坦な底面を備えた有底孔状の収納部を有する保持手段と、前記底面に開口する貫通孔と前記貫通孔に接続された真空ポンプを有し、前記収納部に収納された被配列体の搭載面と相対する面を当該収納部の底面に吸着し被配列体の反りを矯正する吸着手段と、前記保持手段を介し前記マスクと相対するように配置された磁力発生手段とを備え、前記保持手段は、前記収納部の外部に形成されるとともに当該収納部に収納された被配列体の搭載面とほぼ同一高さの支持面を有し、前記磁力発生手段は、その平面視の大きさが前記被配列体の平面視の大きさより大で、前記マスクを引き付けて前記保持手段の支持面に密着させるよう構成されている導電性ボールの搭載装置。
- 前記保持手段は、前記被配列体とほぼ同一の厚みを有するとともに孔部が形成された平板状の枠体と、前記枠体の一面に一面が密接された平板状の支持体とを有し、前記孔部と前記支持体の一面とで前記収納部が形成されている請求項1に記載の導電性ボールの搭載装置。
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