JP4348696B2 - 導電性ボールの配列用マスクおよびそれを用いた配列装置 - Google Patents
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Description
なお、本発明で言う導電性ボールとは、Sn又はCu、Au、Ag、W、Ni、Mo、Alなど金属を主体としたボール、又はポリプロピレン又はポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアミド、酢酸セルロース、ポリエステル系などの樹脂を主体とした球体の表面に半田などの導電性金属をコーティングしたボールのことである。また、本発明で言う被配列体とは、半導体装置(チップ)または基板、ウエハー、それらのパッケージ、その他の電子部品など接続バンプとして導電性ボールが採用される電子部品、又は電子部品に接続バンプを形成するための部材、例えば導電性ボールを電子部品に搭載するため該導電性ボールが配置される部材のことである。
11 ウエハー載置部
111 載置台
112 支持部材
113 ウエハー取り付け凹部
114 吸着経路
115 真空ポンプ
116 配管
12 磁石部
121 磁石
122 磁石ホルダー
123 昇降手段
124 配管
125 昇降切替弁
126 圧縮空気源
13 マスク
131 開口部
132 非開口部
133 凸部
134 開口部の配設領域
135 凹部
14 ボール供給部
141 供給手段
142 スキージブラシ
2 半田ボール
3 ウエハー
31 電極
32 半導体チップ
33 切断線
34 電極の配設領域
4 粘着膜
Claims (2)
- 切断が予定される切断線で包囲された矩形領域を含む被配列体の当該矩形領域に所定の配列パターンで導電性ボールを配列するためのマスクであって、
前記配列パターンに対応し形成され前記導電性ボールが挿通可能な開口部と、非開口部と、前記非開口部の一方の面に形成された凸部とを備え、前記凸部は前記切断線に沿い矩形枠状に形成されていることを特徴とするマスク。 - 所定の配列パターンで導電性ボールを被配列体に配列するための装置であって、前記被配列体を載置する載置台と、前記載置台に載置される被配列体に対し位置決め可能に配設された請求項1に記載されたマスクとを有する装置。
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