JP5886120B2 - スキージおよび、スキージを備えた導電性ボール供給装置 - Google Patents

Description

本発明は、複数のボール穴の各々に導電性ボールを収めるために用いられるスキージおよび、スキージを備えた導電性ボール供給装置に関するものである。

複数のボール穴の各々に導電性ボールを収める際に用いられるスキージは、複数のボール穴が表面に形成されたボール穴形成部材の表面に沿うようにボール穴形成部材に対して相対移動させられる。これにより、ボール穴に収容されていない導電性ボールは、スキージによって押し出され、ボール穴形成部材の表面を転動することで、ボール穴に収容される。スキージの導電性ボールを押し出す部分には、下記特許文献に記載されているように、変形可能な軟質素材等により成形された部材が用いられているものがあり、導電性ボールの損傷等を防止することが可能となっている。

特開２０１１−０９１２０７号公報 特開２０１１−０５６６６６号公報 特開２００９−０１６６９５号公報

上記特許文献に記載されたスキージによれば、導電性ボールを押し出す部分の変形により導電性ボールの損傷を防止することは可能となっている。しかしながら、スキージの導電性ボールを押し出す部分の変形に伴って、導電性ボールがスキージの下を通過し、導電性ボールが散乱する虞がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、導電性ボールの損傷を防止するとともに、導電性ボールの散乱を防止することが可能なスキージを提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、本願の請求項１に記載のスキージは、複数のボール穴の各々に導電性ボールを１個ずつ収めるべく、それら複数のボール穴が表面に形成されたボール穴形成部材の表面に沿うように前記ボール穴形成部材に対して相対移動させられるスキージであって、当該スキージが、所定の方向への相対移動時に、前記複数のボール穴に納められていない導電性ボールである余剰ボールを、前記複数のボール穴のうちの導電性ボールが収容されていないものに収容させるべく、前記所定の方向に押し出すとともに、前記余剰ボールの押し出しに伴って変形する変形壁と、前記変形壁から前記所定の方向と反対の方向に、所定の距離をおいて隔てられた位置に設けられた固定壁とを有することを特徴とする。

また、請求項２に記載のスキージは、請求項１に記載のスキージにおいて、当該スキージが、さらに、前記変形壁と前記固定壁とによって区画され、前記変形壁が前記余剰ボールの押し出しに伴って変形した際に、前記余剰ボールが収容される収容スペースを有することを特徴とする。

また、請求項３に記載のスキージは、請求項２に記載のスキージにおいて、前記変形壁が、前記収容スペースを区画する面の下端部に形成されたテ―パ面を有することを特徴とする。

また、請求項４に記載のスキージは、請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のスキージにおいて、前記所定の方向への相対移動後に、その所定の方向と反対の方向である戻し方向へ相対移動させられた際に、前記余剰ボールを前記戻し方向へ押し戻すとともに、前記余剰ボールの押し戻しに伴って変形しないボール戻し壁を有することを特徴とする。

また、請求項５に記載の導電性ボール供給装置は、請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のスキージと、複数のボール穴が表面に形成されたボール穴形成部材とを備え、前記複数のボール穴の各々に収納された状態の導電性ボールを供給することを特徴とする。

また、請求項６に記載の導電性ボール供給装置は、請求項５に記載の導電性ボール供給装置において、前記複数のボール穴が、回路基板への導電性ボールの実装パターンに合わせて形成されたことを特徴とする。

請求項１に記載のスキージでは、導電性ボールを押し出す箇所に、導電性ボールの押し出しに伴って変形する変形壁が設けられており、変形壁から所定の距離をおいて隔てられた位置に、固定壁が設けられている。このため、変形壁は、導電性ボールの押し出しに伴って、固定壁に向かって屈曲させられつつ、弾性変形するようになっている。これにより、導電性ボールの損傷を防止しつつ、導電性ボールを押し出すことで、導電性ボールをボール穴に納めることが可能となる。また、変形壁の変形に伴って変形壁の下を通過した導電性ボールを、固定壁によって集積することが可能となり、導電性ボールの散乱を防止することが可能となる。

請求項２に記載のスキージでは、変形壁と固定壁とによって収容スペースが区画されており、この収容スペースには、変形壁が導電性ボールの押し出しに伴って変形した際に、導電性ボールが収容されるようになっている。これにより、請求項２に記載のスキージによれば、より適切に、導電性ボールの散乱を防止することが可能となっている。

請求項３に記載のスキージでは、変形壁の収容スペースを区画する面の下端部にテ―パ面が形成されている。このため、収容スペース内に収容された導電性ボールは、スキージング動作の終了したスキージが元の位置に戻される際に、変形壁のテ―パ面を変形させつつ、ボール穴形成部材の表面上を転動する。この際、テ―パ面の形状に依拠し、変形壁の下端部が変形し易くなっており、導電性ボールが変形壁の下方をくぐりやすくなっている。つまり、収容スペース内に収容された導電性ボールが、元の位置に戻され易くなっている。これにより、次回のスキージング動作に備えて、導電性ボールを収容スペースの外部に戻すことが可能となる。

請求項４に記載のスキージでは、スキージング動作後にスキージが元の位置に戻される際に、導電性ボールを押し戻すボール戻し壁が設けられている。これにより、導電性ボールを、スキージング動作前の位置に戻すことが可能となり、次回のスキージング動作に備えることが可能となる。また、ボール戻し壁は、導電性ボールの押し戻しに伴って変形しない構造とされている。つまり、ボール戻し壁には、導電性ボールの押し出しに伴って変形する部材が、設けられていない。これにより、導電性ボールの押し出しに伴って変形する部材を必要な箇所にのみ設けることが可能となり、スキージの低価格化を図ることが可能となる。

請求項５に記載の導電性ボール供給装置では、上記スキージが装着されており、複数のボール穴の各々に収納された状態の導電性ボールが供給される。これにより、導電性ボールの損傷および散乱を防止することが可能となり、導電性ボールを適切に供給することが可能となる。

請求項６に記載の導電性ボール供給装置では、複数のボール穴が、回路基板への導電性ボールの実装パターンに合わせて形成されている。これにより、複数の導電性ボールを実装パターンに整列させた状態で供給することが可能となり、効率良く実装作業を行うことが可能となる。

本発明の実施例であるスキージが装着された半田ボール供給装置を備えた対基板作業装置を示す斜視図である。 図１に示す対基板作業装置の備える半田ボール供給装置を示す斜視図である。 図２に示すＡＡ線における断面図である。 図３に示す押出ユニットを示す斜視図である。 スキージング動作時におけるスキージを示す断面図である。 図１に示す対基板作業装置の備える作業ヘッドに装着されるボール保持具を示す断面図である。 スキージング動作時における比較例のスキージを示す断面図である。 変形例１の押出ユニットを示す斜視図である。 変形例２の押出ユニットを示す斜視図である。

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。

＜対基板作業実行装置の構成＞
図１に、対基板作業実行装置（以下、「作業装置」と略す場合がある）１０を示す。その図は、作業装置１０の外装部品の一部を取り除いた斜視図である。作業装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に互いに隣接されて並んで配列された２つの対基板作業実行機（以下、「作業機」と略す場合がある）１６とを含んで構成されており、回路基板に対する作業を実行するものとされている。なお、以下の説明において、作業機１６の並ぶ方向をＸ軸方向とし、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。

作業装置１０の備える作業機１６の各々は、主に、フレーム部２０とそのフレーム部２０に上架されたビーム部２２とを含んで構成された作業機本体２４と、回路基板をＸ軸方向に搬送するとともに設定された位置に固定する搬送装置２６と、その搬送装置２６によって固定された回路基板に対して作業を行う作業ヘッド２８と、ビーム部２２に配設されて作業ヘッド２８をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる移動装置３０と、フレーム部２０の前方に配設され半田ボールを供給する半田ボール供給装置３２とを備えている。

搬送装置２６は、２つのコンベア装置４０，４２を備えており、それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部２０のＹ軸方向での中央部に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送するとともに、所定の位置において回路基板を固定的に保持する構造とされている。

移動装置３０は、ＸＹロボット型の移動装置であり、作業ヘッド２８を保持するためのスライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えており、それら２つの電磁モータの作動によって、作業ヘッド２８をフレーム部２０上の任意の位置に移動させることが可能となっている。

半田ボール供給装置３２は、回路基板への半田ボールの実装パターンに合わせて配列された状態の半田ボールを、作業ヘッド２８に供給するための装置である。半田ボール供給装置３２は、図１および図２に示すように、フレーム部２０の前方側端部に形成されたデバイステーブル６０に着脱可能に装着される本体ベース６２と、本体ベース６２の上面にスライド可能に設けられたスライドベース６４と、本体ベース６２の上面にスライドベース６４を跨ぐようにして立設されたブリッジ状の取付フレーム６６とを有している。

本体ベース６２は、概して矩形の箱形状とされており、それの上面に長手方向に延びるようにしてガイドレール６８が設けられている。スライドベース６４は、そのガイドレール６８を介して、本体ベース６２の上面に取り付けられており、電磁モータ（図示省略）によって、ガイドレール６８に沿ってスライド可能とされている。

スライドベース６４の上面には、ボール整列板７０が固定されており、そのボール整列板７０の後方側の端部、つまり、半田ボール供給装置３２がフレーム部２０に装着された際の搬送装置２６側の端部には、複数のボール穴７２が形成されている。複数のボール穴７２は、断面円形の有底穴とされており、それの内径寸法および深さ寸法は、半田ボールの直径より僅かに大きくされている。これにより、各ボール穴７２には、１個の半田ボールが収容されるようになっている。また、複数のボール穴７２は、回路基板への半田ボールの実装パターンに合わせて配列されており、複数のボール穴７２に半田ボールが収容されることで、回路基板への半田ボールの実装パターンに合わせて配列された状態の半田ボールが供給されるようになっている。

また、スライドベース６４、つまり、ボール整列板７０を跨いだ状態で配設された取付フレーム６６の下方には、スキージ７６が取り付けられており、スライドベース６４のスライドにより、ボール整列板７０が、スキージ７６の裏面と接触若しくは近接した状態でスライドさせられる。つまり、スライドベース６４のスライドにより、スキージ７６が、ボール整列板７０の表面に沿って、そのボール整列板７０と相対移動させられるようになっている。

そのスキージ７６は、概して矩形の角筒形状とされており、４つの側壁によって構成されている。そして、それら４つの側壁によって、多数の半田ボールを貯留するための貯留スペース７８が区画されており、その貯留スペース７８内に貯留された半田ボールが、ボール整列板７０との相対移動時に、ボール整列板７０の表面上を転動するようになっている。この際に、スキージ７６の貯留スペース７８の下方を、ボール整列板７０の複数のボール穴７２が形成された領域（以下、「ボール穴形成領域」と言う場合がある」）が通過することで、複数のボール穴７２の各々に半田ボールが収容される。

具体的には、概して矩形のスキージ７６は、それの長手方向がスライドベース６４のスライド方向に直角な水平方向に延びるように配設されており、スライドベース６４のスライドに伴って、貯留スペース７８に貯留された半田ボールは、スキージ７６を構成する４つの側壁のうちの幅の広い１対の側壁の一方によって、ボール整列板７０の表面上を転動させられる。詳しくは、スキージ７６の短手方向での断面図（図２に示すＡＡ線での断面図）である図３に示すように、スキージ７６を構成する４つの側壁のうちの幅の広い１対の側壁８０，８２の一方の側壁（他方の側壁と区別する際には、「第１側壁」という場合がある）８０には、押出ユニット８４が設けられている。

押出ユニット８４は、図３および図４に示すように、概して平板状のゴム部材８６と１対の挟持部材８８，９０とによって構成されており、ゴム部材８６は、それの下端部が下方に突出した状態で、１対の挟持部材８８，９０によって挟まれている。そして、ゴム部材８６の下縁が第１側壁８０の下面と同じ水平面上に位置するように、１対の挟持部材８８，９０の一方が第１側壁８０に固定されている。

また、スキージ７６によって半田ボールをボール穴７２に収容させる際、つまり、スキージング動作が行われる際に、スライドベース６４は、図２でスライドベース６４が示されている位置から取付フレーム６６の下方を通過する方向、つまり、後方側から前方側に向かう方向に移動させられる。また、１対の側壁８０，８２のうちの第１側壁８０は、前方側に位置し、他方の側壁（第１側壁８０と区別する際には、「第２側壁」という場合がある）８２は、後方側に位置している。これにより、ボール穴７２に半田ボールを収容するべく、スライドベース６４がスライドさせられると、貯留スペース７８内に貯留された半田ボールが、押出ユニット８４によって押し出され、ボール整列板７０の表面上を転動するようになっている。

詳しくは、ボール穴７２に半田ボールを収容するべく、スライドベース６４がスライドさせられると、スキージ７６は、スライドベース６４、つまり、ボール整列板７０に対して、図５に示す矢印９２の方向に相対的に移動する。これにより、貯留スペース７８内に貯留された複数の半田ボールのうちのボール穴７２に収容されていない半田ボール（以下、「余剰ボール」と言う場合がある）が、押出ユニット８４のゴム部材８６によって、矢印９２の方向に押し出され、押出ユニット８４によって押し出された余剰ボールが、順次、ボール穴７２に収容される。

そして、ボール穴形成領域全体が、ゴム部材８６の下方を通過することで、複数のボール穴７２全てに、半田ボールが収容される。なお、ゴム部材８６から余剰ボールの押出し方向とは反対の方向に所定の距離を隔てられた位置に、第１側壁８０が位置しており、ゴム部材８６と第１側壁８０とによって、収容スペース９４が区画されている。ゴム部材８６は、余剰ボールの押出しに伴って、その収容スペース９４に向かって屈曲させられつつ、弾性変形するようになっている。また、ゴム部材８６の収容スペース９４を区画する面は、テ―パ面９５とされており、ゴム部材８６の厚さは、下端部に向かうほど、薄くされている。これにより、ゴム部材８６の下端部は弾性変形し易くされている。

また、ボール穴形成領域全体が、ゴム部材８６の下方を通過した後に、スライドベース６４は、前方側から後方側に向かう方向に移動させられる。そして、スライドベース６４は、図２でスライドベース６４が示されている位置に戻され、その位置において、配列された状態の半田ボールが供給される。つまり、その位置が、半田ボール供給装置３２による半田ボールの供給位置となっている。

なお、スライドベース６４が供給位置に向かって戻されている際に、スキージ７６は、ボール整列板７０に対して、矢印９２の方向と反対の方向に相対的に移動し、余剰ボールは、スキージ７６の第２側壁８２によって、半田ボールが収容されたボール穴７２の上を通過し、ボール整列板７０上を転動させられる。第２側壁８２の下端部には、図３に示すように、貯留スペース７８に向かって突出する楔部９６が形成されており、その楔部９６によって、転動させられる余剰ボールが、すくいあげられるようになっている。これにより、余剰ボールを適切に転動させることが可能となる。

また、半田ボール供給装置３２は、図２に示すように、下方を向いた状態で取付フレーム６６に取り付けられたボールカメラ９８を有しており、ボールカメラ９８は、ボール整列板７０のボール形成領域を撮像することが可能とされている。ボールカメラ９８によって得られた画像データは、画像処理装置（図示省略）において処理され、画像データの処理によって取得される各種情報が、複数のボール穴７２の全てに半田ボールが適切に収容されているか否かの判定に用いられる。

また、作業ヘッド２８は、図１に示すように、本体部１００と、その本体部１００の下面に装着されたボール保持具１０２とを有しており、ボール保持具１０２によって、上述したように、供給位置において供給される半田ボールを吸着保持する構造とされている。そして、吸着保持した半田ボールを回路基板上で離脱することで、回路基板上に半田ボールを装着する作業を行うことが可能とされている。

詳しくは、ボール保持具１０２は、図６に示すように、内部にエア室１０４が形成されたハウジング１０６を有しており、そのハウジング１０６の下端面には、ボール整列板７０の複数のボール穴７２と同じ配列パターンで複数の吸着穴１０８が形成されている。そして、それら複数の吸着穴１０８がエア室１０４に連通するとともに、エア室１０４には、正負圧供給装置（図示省略）が接続されている。これにより、半田ボール供給装置３２によって配列された状態で供給される半田ボールの上方にボール保持具１０２を移動させ、その位置において、ボール保持具１０２の各吸着穴１０８からエアが吸引されることで、半田ボールが吸着保持される。そして、半田ボールを吸着保持した状態のボール保持具１０２を回路基板上に移動させ、その位置において、エア室１０４に僅かな正圧が供給されることで、半田ボールが回路基板上に装着される。

＜本半田ボール供給装置と他の半田ボール供給装置との比較＞
本半田ボール供給装置３２のスキージ７６では、ゴム部材８６を用いた押出ユニット８４によって余剰ボールを押し出し、ボール穴７２に収容させている。このようなゴム製の部材によって余剰ボールをボール穴７２に収容させるスキージ７６に対して、金属製の部材によって余剰ボールをボール穴に収容させるスキージ１２０を、比較例として、図７に示す。比較例のスキージ１２０は、余剰ボールを押し出す部分を除き、上記スキージ７６と同様の構成であるため、スキージ１２０の余剰ボールを押し出す部分のみを図示し、その部分の構成および、スキージング動作について説明する。なお、同様の機能を有する構成要素については、同じ符号を用いることにする。

変形例のスキージ１２０は、上記スキージ７６の第１側壁８０に相当する第１側壁１２２を有しており、その第１側壁１２２の下端部には、貯留スペース７８に向かって突出する楔部１２４が形成されている。変形例のスキージ１２０でのスキージング動作時には、この楔部１２４によって、余剰ボールが、すくい上げられつつ、ボール整列板７０を転動されることで、ボール穴７２に収容されるようになっている。

楔部１２４は、貯留スペース７８に向かって突出する楔形状とされており、余剰ボールを好適にすくい上げることが可能とされている。しかしながら、楔部１２４の押出しに伴って、余剰ボールがボール穴７２の内部に入りかけたとき、つまり、図に示すように、余剰ボールの一部のみがボール穴７２内に入り、その他の部分がボール穴７２内に入っていないときには、余剰ボールが、ボール穴７２の貯留スペース７８への開口と楔部１２４の先端との間に挟まれる場合がある。このような場合に、ボール整列板７０および楔部１２４は、硬質の材料により成形されているため、ボール穴７２の開口と楔部１２４の先端との間に挟まれた余剰ボールは、損傷する虞がある。

一方、実施例のスキージ７６では、図５に示すように、余剰ボールを押し出すゴム部材８６は、ゴム製とされており、弾性変形しつつ、余剰ボールを押し出している。このため、余剰ボールがボール穴７２の内部に入りかけたときに、ボール穴７２の開口とゴム部材８６の先端との間に挟まれても、ゴム部材８６が、さらに、弾性変形する。これにより、余剰ボールは、損傷することなく、ボール穴７２内に収容される。

また、押出ユニット８４が第１側壁８０に取り付けられることで、余剰ボールの押出しに伴ってゴム部材８６が弾性変形した際に、弾性変形したゴム部材８６の下方をくぐった余剰ボールが、第１側壁８０によって集積される。これにより、余剰ボールの散乱を防止することが可能となる。さらに、その第１側壁８０とゴム部材８６とによって、収容スペース９４が区画されており、弾性変形したゴム部材８６の下方をくぐった余剰ボールが、収容スペース９４内に収容されるようになっている。これにより、余剰ボールの散乱を、さらに好適に防止することが可能となる。

また、弾性変形したゴム部材８６の下方をくぐった余剰ボールが収容される収容スペース９４は、ゴム部材８６のテ―パ面９５によって区画されており、スキージング動作の終了したスキージ７６が供給位置に戻される際に、収容スペース９４に収容されている余剰ボールは、テ―パ面９５に接触しつつ、ボール整列板７０の上を転動する。詳しくは、スキージング動作の終了したスキージ７６が供給位置に戻される際に、スキージ７６は、ボール整列板７０に対して、図５に示す矢印９２の方向と反対方向に相対移動する。このため、収容スペース９４に収容されている余剰ボールは、テ―パ面９５に接触しつつ、ボール整列板７０の上を転動する。この際、収容スペース９４に収容されている余剰ボールが接触するテ―パ面９５は、それの形状に依拠して弾性変形し易くなっており、収容スペース９４に収容されている余剰ボールが、弾性変形したゴム部材８６の下方をくぐって、収容スペース９４から貯留スペース７８に移動する。これにより、次回のスキージング動作に備えて、余剰ボールを貯留スペース７８内に戻すことが可能となる。

また、スキージ７６では、図３に示すように、スキージング動作時に余剰ボールを押し出す押出ユニット８４が取り付けられた第１側壁８０と、スキージング動作終了後に余剰ボールを押し戻す第２側壁８２とは、対称的な形状とされていない。つまり、第２側壁８２には、押出ユニット８４が取り付けられておらず、スキージング動作終了後に余剰ボールは、硬質な材料により成形された第２側壁８２によって、押し戻される。これは、スキージング動作終了後に余剰ボールを押し戻す際には、ボール穴７２には半田ボールが収容されているため、ボール穴７２の開口に余剰ボールが引っ掛かる虞は無く、余剰ボールの損傷を考慮する必要が無いためである。したがって、スキージ７６では、押出ユニット８４が必要な箇所にのみ設けられており、低価格化が図られている。

ちなみに、上記実施例において、半田ボール供給装置３２は、導電性ボール供給装置の一例であり、スキージ７６は、スキージの一例である。また、スキージ７６を構成する第１側壁８０，第２側壁８２，ゴム部材８６，収容スペース９４は、固定壁，ボール戻し壁，変形壁，収容スペースの一例である。ゴム部材８６に形成されたテ―パ面９５は、テ―パ面の一例である。ボール整列板７０は、ボール穴形成部材の一例であり、ボール整列板７０に形成されたボール穴７２は、ボール穴の一例である。半田ボールは、導電性ボールの一例である。

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、スライドベース６４の移動によりスキージング動作が行われているが、スキージ７６を移動させることで、スキージング動作が行われるように構成されてもよい。また、スライドベース６４とスキージ７６との双方を移動させることで、スキージング動作が行われるように構成されてもよい。つまり、スライドベース６４とスキージ７６との少なくとも一方の移動により、スキージング動作が行われるように構成されればよい。

また、上記実施例では、スキージング動作の際に余剰ボールを押し出す部材としてゴム部材８６が採用されているが、他の弾性変形可能な部材、例えば、弾性変形可能な薄い金属板，ブラシ等を採用することが可能である。例えば、図８に示すように、薄い金属板１３０と、その金属板１３０をそれの下端が下方に突出した状態で保持する本体部１３２とによって構成される押出ユニット１３４を、上記押出ユニット８４の代わりに、第１側壁８０に取り付けてもよい。なお、薄い金属板１３０が余剰ボールの押し出しに伴って変形する際には、塑性変形することなく、弾性変形するように構成されることが望ましい。また、図９に示すように、複数のブラシ１４０と、そのブラシ１４０を下方に突出させた状態で保持する本体部１４２とによって構成される押出ユニット１４４を、上記押出ユニット８４の代わりに、第１側壁８０に取り付けてもよい。なお、このように構成されたスキージでは、金属板１３０，ブラシ１４０は、変形壁の一例であり、金属板１３０若しくはブラシ１４０と第１側壁８０とによって区画されるスペースは、収容スペースの一例である。

３２：半田ボール供給装置（導電性ボール供給装置） ７６：スキージ ８０：第１側壁（固定壁） ８２：第２側壁（ボール戻し壁） ８６：ゴム部材（変形壁） ９４：収容スペース ９５：テ―パ面 １３０：金属板（変形壁） １４０：ブラシ（変形壁）

Claims (6)

1. 複数のボール穴の各々に導電性ボールを１個ずつ収めるべく、それら複数のボール穴が表面に形成されたボール穴形成部材の表面に沿うように前記ボール穴形成部材に対して相対移動させられるスキージであって、
   当該スキージが、
   所定の方向への相対移動時に、前記複数のボール穴に納められていない導電性ボールである余剰ボールを、前記複数のボール穴のうちの導電性ボールが収容されていないものに収容させるべく、前記所定の方向に押し出すとともに、前記余剰ボールの押し出しに伴って変形する変形壁と、
   前記変形壁から前記所定の方向と反対の方向に、所定の距離をおいて隔てられた位置に設けられた固定壁と
   を有することを特徴とするスキージ。
2. 当該スキージが、
   さらに、前記変形壁と前記固定壁とによって区画され、前記変形壁が前記余剰ボールの押し出しに伴って変形した際に、前記余剰ボールが収容される収容スペースを有することを特徴とする請求項１に記載のスキージ。
3. 前記変形壁が、
   前記収容スペースを区画する面の下端部に形成されたテ―パ面を有することを特徴とする請求項２に記載のスキージ。
4. 当該スキージが、
   前記所定の方向への相対移動後に、その所定の方向と反対の方向である戻し方向へ相対移動させられた際に、前記余剰ボールを前記戻し方向へ押し戻すとともに、前記余剰ボールの押し戻しに伴って変形しないボール戻し壁を有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のスキージ。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のスキージと、
   複数のボール穴が表面に形成されたボール穴形成部材と
   を備え、前記複数のボール穴の各々に収納された状態の導電性ボールを供給することを特徴とする導電性ボール供給装置。
6. 前記複数のボール穴が、
   回路基板への導電性ボールの実装パターンに合わせて形成されたことを特徴とする請求項５に記載の導電性ボール供給装置。

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