JP5892821B2 - ノズル清掃装置 - Google Patents

Description

本発明は、回路基板に装着される装着部品を吸着保持する吸着ノズルを清掃するためのノズル清掃装置に関するものである。

吸着ノズルは、装着部品の供給位置で装着部品を吸着保持し、吸着保持した装着部品を、回路基板上の装着位置で離脱することで、回路基板に装着部品が装着される。回路基板への装着部品の装着時には、通常、吸着ノズルによって吸着保持された装着部品を回路基板に適切に装着するために、吸着ノズルに吸着保持された装着部品の撮像が行われている。この撮像により得られた画像データによって、装着部品の保持状態等の情報を取得し、その取得された情報に基づいて、装着部品が回路基板上に適切に装着されるのである。

しかしながら、吸着ノズルに埃等が付着していると、埃等により装着部品の画像データを適切に取得できない場合があり、装着部品の装着作業が適切に行われない虞がある。また、吸着ノズルの先端部には、装着作業時にクリームはんだ，接着剤等が付着することもある。このため、吸着ノズルを適切に清掃するべく、下記特許文献に記載されているように、種々のノズル清掃装置の開発が進められている。

特開２００３−１７９３９９号公報 特開２００３−３１１２２９号公報

上記特許文献に記載のノズル清掃装置では、電磁モータ等の駆動源によりブラシ等の清掃具を動作させることで、吸着ノズルから埃等を除去し、吸着ノズルの清掃を行うことが可能となっている。しかしながら、上記特許文献に記載のノズル清掃装置には、電磁モータ等の駆動源が組み込まれ、さらに、駆動力を清掃具に伝達するために、ギア機構，カム機構等の伝達機構も組み込まれることで、ノズル清掃装置の構造が複雑化する傾向にある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、シンプルな構造のノズル清掃装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、本願の請求項１に記載のノズル清掃装置は、回路基板に装着される装着部品を吸着保持する吸着ノズルを清掃するためのノズル清掃装置において、前記吸着ノズルを保持するノズル保持体に、前記吸着ノズルを収容した状態で着脱可能に装着されるハウジングと、前記ノズル保持体に装着された状態のハウジングに、前記吸着ノズルの軸線方向に交わる平面上でスライド可能な状態で保持されるスライド部材と、そのスライド部材上に配設され、前記吸着ノズルの先端部を清掃するための清掃具と、前記スライド部材に固定されるとともに、前記ハウジングの外部に延び出し、操作者が把持する把持部とを備えることを特徴とする。

また、請求項２に記載のノズル清掃装置は、請求項１に記載のノズル清掃装置において、前記スライド部材と前記清掃具と前記把持部とが、導電性の素材により成形されたことを特徴とする。

また、請求項３に記載のノズル清掃装置は、請求項１または請求項２に記載のノズル清掃装置において、前記ハウジングが、前記ノズル保持体に装着されるインナハウジングと、そのインナハウジングの少なくとも一部を囲う状態で前記インナハウジングに着脱可能に取り付けられるアウタハウジングとを有し、前記インナハウジングの前記アウタハウジングに囲われている部分が、前記インナハウジングの内部と前記アウタハウジングの内部とが連通するように、切欠かれたことを特徴とする。

また、請求項４に記載のノズル清掃装置は、請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のノズル清掃装置において、前記スライド部材が、１の方向にのみスライド可能な状態で前記ハウジングに保持されることを特徴とする。

また、請求項５に記載のノズル清掃装置は、請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のノズル清掃装置において、前記ハウジングが、前記ノズル保持体に対して相対回転可能な状態で前記ノズル保持体に装着されることを特徴とする。

請求項１に記載のノズル清掃装置では、ハウジングにスライド可能に保持されたスライド部材を、操作者が手動でスライドさせることで、スライド部材に設けられた清掃具によって、吸着ノズルが清掃されるように構成されている。つまり、ノズル清掃装置は、ハウジングと、そのハウジングにスライド可能に保持されるスライド部材と、スライド部材上に配設される清掃具と、操作者が把持するための把持部とだけで構成することが可能となっている。したがって、請求項１に記載のノズル清掃装置によれば、相当シンプルな構造のノズル清掃装置を実現することが可能となる。

また、請求項２に記載のノズル清掃装置では、スライド部材と清掃具と把持部とが、導電性の素材により成形されている。このため、操作者が把持部を把持することで、吸着ノズルに帯電している静電気が操作者に流れ、吸着ノズルに帯電している静電気を除去することが可能となっている。これにより、静電気による吸着ノズルへの埃等の付着を抑制することが可能となる。

また、請求項３に記載のノズル清掃装置では、ハウジングが、ノズル保持体に装着されるインナハウジングと、インナハウジングの少なくとも一部を囲うアウタハウジングとによって構成されており、アウタハウジングは、インナハウジングに着脱可能とされている。そして、インナハウジングの内部とアウタハウジングの内部とが連通するように、インナハウジングの外壁が切欠かれている。これにより、ハウジング内で吸着ノズルの清掃によって、吸着ノズルから取り除かれた埃等が、切欠部を介して、アウタハウジングの内部に入り込むようになっている。このため、アウタハウジングをインナハウジングから取り外すことで、アウタハウジング内に入り込んだ埃等を容易に除去することが可能となっている。

また、請求項４に記載のノズル清掃装置では、スライド部材が、１の方向にのみスライド可能とされている。つまり、操作者が、１の方向に把持部を往復移動させることで、吸着ノズルが清掃される。このように、操作者の熟練度等に全く依拠することなく、単純な操作者の動作により、吸着ノズルが清掃されるため、操作者による吸着ノズルの清掃の度合いのバラつきを抑制することが可能となる。

また、請求項５に記載のノズル清掃装置では、ハウジングがノズル保持体に装着された状態において、ハウジングをノズル保持体に対して回転させることが可能となっている。このため、例えば、操作者が把持部を往復移動させ、吸着ノズルを清掃した後に、ノズル保持体に装着された状態のハウジングをノズル保持体に対して９０度回転させる。そして、ハウジングを回転させた後に、操作者が把持部を往復移動させ、吸着ノズルを清掃することが可能となっている。これにより、ノズル清掃装置を装着ヘッドから取り外すことなく、吸着ノズルの外周面を全周に渡って清掃することが可能となる。

本発明の実施例であるノズル清掃装置を取り付けることが可能な装着ヘッドを有する電子部品装着装置を示す斜視図である。 図１に示す電子部品装着装置の備える装着ヘッドを、上部カバーを取り外した状態で示す斜視図である。 図２に示す装着ヘッドに取り付けられた状態のノズル清掃装置を示す断面斜視図である。 図３に示すノズル清掃装置を上方からの視点において示す図である。 図４に示すＡＡ線における断面図である。

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。

＜電子部品装着装置の構成＞
図１に、電子部品装着装置（以下、「装着装置」と略す場合がある）１０を示す。その図は、装着装置１０の外装部品の一部を取り除いた斜視図である。装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に互いに隣接されて並んで配列された２つの電子部品装着機（以下、「装着機」と略す場合がある）１６とを含んで構成されており、回路基板に電子部品等を含む装着部品を装着する作業を行うものとされている。なお、以下の説明において、装着機１６の並ぶ方向をＸ軸方向とし、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。

装着装置１０の備える装着機１６の各々は、主に、フレーム部２０とそのフレーム部２０に上架されたビーム部２２とを含んで構成された装着機本体２４と、回路基板をＸ軸方向に搬送するとともに設定された位置に固定する搬送装置２６と、その搬送装置２６によって固定された回路基板に装着部品を装着する装着ヘッド２８と、ビーム部２２に配設されて装着ヘッド２８をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる移動装置３０と、フレーム部２０の前方に配設され装着ヘッド２８に装着部品を供給する供給装置３２とを備えている。

搬送装置２６は、２つのコンベア装置４０，４２を備えており、それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部２０のＹ軸方向での中央部に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送するとともに、所定の位置において回路基板を固定的に保持する構造とされている。

移動装置３０は、ＸＹロボット型の移動装置であり、装着ヘッド２８を保持するスライダ４６をＸ方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えており、それら２つの電磁モータの作動によって、装着ヘッド２８を任意の位置に移動させることが可能となっている。

供給装置３２は、フレーム部２０の前方側の端部に配設されており、フィーダ型の供給装置とされている。フィーダ型の供給装置３２は、装着部品がテーピング化されたテープ化部品から装着部品を装着ヘッド２８への供給位置に順次供給する構造とされており、テープ化部品が巻回された複数のテープフィーダ４８と、それら複数のテープフィーダ４８の各々を送り出す複数の送り装置（図示省略）とを有している。

装着ヘッド２８は、搬送装置２６によって保持された回路基板に対して装着部品を装着するものであり、図２に示すように、装着部品を吸着する吸着ノズル５０を先端部に保持する装着ユニット５２を複数備えている。各吸着ノズル５０は、正負圧供給装置（図示省略）が接続されたエア通路に通じており、負圧にて装着部品を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持した装着部品を離脱する構造とされている。概して軸状をなす装着ユニット５２は、間欠回転するユニット保持体５６の外周部に、等角度ピッチで、軸方向が垂直となる状態に保持されており、吸着ノズル５０は、ユニット保持体５６の下面から下方に向かって延び出している。

また、ユニット保持体５６は、保持体回転装置５８によって、装着ユニット５２の配設角度ピッチに等しい角度ずつ間欠回転させられ、そのユニット保持体５６に保持される装着ユニット５２が間欠回転させられる。間欠回転における装着ユニット５２の１つの停止位置である昇降ステーション（最も前方に位置するステーション）において、そのステーションに位置する装着ユニット５２は、ユニット昇降装置６０によって昇降させられる。また、昇降ステーションとは別の停止位置が、ユニット自転ステーションとされており、そのステーションにおいて、そのステーションに位置する装着ユニット５２が、ユニット自転装置６２によって自転させられる。これにより、吸着保持された装着部品の上下方向の位置および装着部品の保持姿勢を変更することが可能とされている。

さらに、装着機１６は、マークカメラ（図示省略）およびパーツカメラ（図１参照）６８を備えている。マークカメラは、下方を向いた状態でスライダ４６の下面に固定されており、移動装置３０によって移動させられることで、フレーム部２０上の任意の位置において撮像することが可能となっている。一方、パーツカメラ６８は、上を向いた状態でフレーム部２０の搬送装置２６と供給装置３２との間に設けられており、装着ヘッド２８の吸着ノズル５０によって吸着保持された装着部品を撮像することが可能となっている。マークカメラおよびパーツカメラ６８によって得られた画像データは、画像処理装置（図示省略）において処理され、各種情報が取得される。

＜電子部品装着装置による装着作業＞
装着装置１０では、上述した構成によって、回路基板に対して装着部品を装着する装着作業を行うことが可能とされている。具体的に説明すれば、まず、コンベア装置４０，４２によって、回路基板を装着作業位置まで搬送するとともに、その位置において回路基板を固定的に保持する。次に、移動装置３０によって、装着ヘッド２８を回路基板上に移動させ、マークカメラによって、回路基板を撮像する。その撮像により回路基板の種類，コンベア装置４０，４２による回路基板の保持位置誤差が取得される。その取得された回路基板の種類に応じた装着部品を、テープフィーダ４８によって供給し、その装着部品の供給位置に、装着ヘッド２８を移動装置３０によって移動させる。これにより、装着ヘッド２８の吸着ノズル５０によって装着部品が吸着保持される。続いて、装着部品を保持した状態の装着ヘッド２８を、移動装置３０によってパーツカメラ６８上に移動させ、パーツカメラ６８によって、吸着ノズル５０に保持された装着部品を撮像する。その撮像により装着部品の保持位置誤差が取得される。そして、移動装置３０によって、装着ヘッド２８を回路基板上の装着位置に移動させ、回路基板および装着部品の保持位置誤差に基づいて吸着ノズル５０を自転させた後に，電子部品が装着される。

上述したように、装着装置１０は、テープフィーダ４８によって供給された装着部品を、吸着ノズル５０によって吸着保持し、その吸着保持された装着部品を回路基板上に装着するように構成されており、吸着ノズル５０によって吸着保持された装着部品を回路基板上に適切に装着するために、吸着ノズル５０に吸着保持された装着部品の撮像が行われている。この撮像により得られた画像データによって、装着部品の保持状態等の情報を取得し、その取得された情報に基づいて、装着部品が回路基板上に適切に装着されるのである。

しかしながら、吸着ノズル５０に埃等が付着していると、埃等により装着部品の画像データを適切に取得できない場合があり、装着部品の装着作業が適切に行われない虞がある。また、吸着ノズル５０の先端部には、装着作業時にクリームはんだ，接着剤等が付着することもある。このようなことに鑑みて、装着装置１０には、吸着ノズル５０の清掃を行うためのノズル清掃装置７０が設けられている。

＜ノズル清掃装置の構造＞
ノズル清掃装置７０は、装着ヘッド２８に着脱可能に装着され、装着された状態において、手動により吸着ノズル５０を清掃する構造とされている。以下に、ノズル清掃装置７０の構造について、図３〜図５を用いて、具体的に説明する。ちなみに、図３は、装着ヘッド２８に装着された状態のノズル清掃装置７０を示す断面斜視図である。また、図４は、ノズル清掃装置７０を上方からの視点において示す図であり、図５は、図４でのＡＡ線における断面図である。

ノズル清掃装置７０は、ハウジング７２と、そのハウジング７２内にスライド可能に保持されるスライド部材７４と、そのスライド部材７４の上面に設けられるブラシ状の１対の清掃具７６と、スライド部材７４をスライド操作するために操作者が把持する１対の把持ロッド７８と、ハウジング７２を装着ヘッド２８に取り付けるための取付部材８０とによって構成されている。

ハウジング７２は、概して有底円筒状のインナハウジング８２と、インナハウジング８２の側壁面を囲う１対のアウタハウジング８４とを有している。インナハウジング８２の上端部の内径は、装着ヘッド２８のユニット保持体５６の下端部の外径より僅かに大きくされており、ハウジング７２が装着ヘッド２８に取り付けられた状態で、インナハウジング８２の上端部の内部にユニット保持体５６の下端部を挿入させることが可能とされている。これにより、ハウジング７２が装着ヘッド２８に取り付けられた状態において、ユニット保持体５６に保持された装着ユニット５２の先端部、つまり、吸着ノズル５０が、インナハウジング８２の内部に収容される。

また、インナハウジング８２の側壁面には、２等配の位置に概して矩形の１対の切欠部８６が形成されており、それら１対の切欠部８６は、インナハウジング８２の内部を挟んで向かい合っている。そして、１対の切欠部８６を覆うように、１対のアウタハウジング８４がインナハウジング８２にボルト８８によって取り付けられている。なお、ボルト８８の取り外しによって、１対のアウタハウジング８４をインナハウジング８２から取り外すことが可能とされている。

また、インナハウジング８２の底面より僅かに上方の内周面には、１対の切欠部８６の一方から他方に直線状に至る１対のガイド溝（図３に一方のみ示されている）９０が形成されており、それら１対のガイド溝９０は平行とされている。一方、スライド部材７４は、概して矩形とされており、それの短手方向の長さが、１対のガイド溝９０の間の距離より僅かに短くされている。そして、スライド部材７４が、長手方向における端部から１対のガイド溝９０の間に挿入されている。これにより、スライド部材７４は、インナハウジング８２によって、スライド部材７４の長手方向にスライド可能に保持されている。なお、スライド部材７４は、導電性の素材により成形されており、導電性を有するものとされている。

そのスライド部材７４の上面には、１対の清掃具７６がスライド部材７４のスライド方向に直列に並んで配設されている。各清掃具７６は、スライド部材７４の上面にボルト締結されるブラシ保持台１００と、そのブラシ保持台１００に立設された状態で植毛された複数のブラシ１０２とによって構成されている。ブラシ１０２は、カーボンが混入されたナイロン製とされており、導電性を有するものとされている。また、ブラシ保持台１００も、導電性の素材により成形されており、導電性を有するものとされている。

また、スライド部材７４のスライド方向における両端部には、１対の把持ロッド７８が、スライド方向に延びるように固定されている。各把持ロッド７８は、スライド部材７４に固定された状態で、各アウタハウジング８４に形成された貫通穴１０６に挿通されており、スライド部材７４のスライドに伴って、各アウタハウジング８４の外部、つまり、ハウジング７２の外部に延び出している。なお、各把持ロッド７８も、導電性の素材により成形されており、導電性を有するものとされている。

ハウジング７２を装着ヘッド２８に取り付けるための取付部材８０は、平板状の部材の向かい合う両縁部が屈曲された形状とされており、その両縁部において、ハウジング７２のインナハウジング８２と装着ヘッド２８のユニット保持体５６とを挟持する構造とされている。

詳しくは、取付部材８０は、概して矩形の本体部１０８と、本体部１０８の向かい合う両縁部から連続する１対の立設部１１０と、１対の立設部１１０の先端部から互いに接近する方向に延び出す１対の折返部１１２とに区分けされる。本体部１０８の立設部１１０が立設されていない１つの辺には、本体部１０８の中央部に至るまで切欠部（図４参照）１１４が形成されている。また、インナハウジング８２の上端部の外周面には、円環状の溝１１６が形成されており、インナハウジング８２の溝１１６が形成された部分の外径は、本体部１０８に形成された切欠部１１４の幅より小さくされている。これにより、切欠部１１４に、インナハウジング８２の溝１１６が形成された部分を嵌入させることが可能となっている。

また、インナハウジング８２の上端部の内部にユニット保持体５６の下端部が挿入された状態でのユニット保持体５６の上端面と、インナハウジング８２の溝１１６を区画する段差面（図５参照）１１８との間の距離は、本体部１０８と各折返部１１２との間の距離と略同じとされている。そして、１対の立設部１１０の間の距離は、ユニット保持体５６の上端面の外径より長くされている。このため、インナハウジング８２の溝１１６が形成された部分に切欠部１１４を嵌入させた状態において、その溝１１６を区画する段差面１１８と、インナハウジング８２の上端部に下端部を挿入させたユニット保持体５６の上端面とを、本体部１０８と折返部１１２とによって挟持することが可能となっている。これにより、取付部材８０は、ハウジング７２を装着ヘッド２８に取り付けることが可能となっている。

なお、取付部材８０によってハウジング７２がユニット保持体５６に取り付けられた状態でのユニット保持体５６の上端面と段差面１１８との間の距離と、本体部１０８と各折返部１１２との間の距離とは、略同じとされているため、本体部１０８と折返部１１２とによる挟持力は然程高くない。これにより、取付部材８０によってハウジング７２がユニット保持体５６に取り付けられた状態において、ハウジング７２をユニット保持体５６に対して回転させることが可能となっている。つまり、ノズル清掃装置７０が装着ヘッド２８に取り付けられた状態において、ノズル清掃装置７０を装着ヘッド２８に対して回転させることが可能となっている。

上述した構造によって、ノズル清掃装置７０は、容易に装着ヘッド２８に着脱可能とされており、装着ヘッド２８に取り付けられた状態で、吸着ノズル５０を好適に清掃することが可能となっている。詳しく説明すれば、まず、ノズル清掃装置７０を装着ヘッド２８に装着する際には、取付部材８０が取り付けられていない状態のインナハウジング８２の上端部に、ユニット保持体５６の下端部を挿入する。そして、取付部材８０の本体部１０８に形成された切欠部１１４に、インナハウジング８２の溝１１６が形成された部分を嵌入する。この際、ユニット保持体５６の上端面と段差面１１８とを、取付部材８０の本体部１０８と各折返部１１２とによって挟持する。これにより、ノズル清掃装置７０が、取付部材８０によって装着ヘッド２８に取り付けられる。

装着ヘッド２８に取り付けられたノズル清掃装置７０では、ユニット保持体５６に保持された装着ユニット５２の先端部の吸着ノズル５０が、インナハウジング８２の内部に収容されている。そして、操作者が把持ロッド７８を把持し、その把持ロッド７８を往復移動させることで、スライド部材７４が、インナハウジング８２の内部において、吸着ノズル５０の軸線方向に交わる平面上で移動する。詳しくは、スライド部材７４の長手方向に往復移動する。これにより、清掃具７６のブラシ１０２が吸着ノズル５０の軸線方向に交わる方向に往復移動し、吸着ノズル５０に付着した埃等を吸着ノズル５０から取り除くことが可能となる。

なお、吸着ノズル５０から取り除かれた埃等は、アウタハウジング８４の内部に入り込むようになっている。このため、アウタハウジング８４をインナハウジング８２から取り外すことで、アウタハウジング８４内に入り込んだ埃等を容易に除去することが可能となっている。

また、上述したように、ノズル清掃装置７０が装着ヘッド２８に取り付けられた状態において、ノズル清掃装置７０を装着ヘッド２８に対して回転させることが可能となっている。このため、例えば、操作者が把持ロッド７８を往復移動させ、吸着ノズル５０を清掃した後に、装着ヘッド２８に取り付けられた状態のノズル清掃装置７０を装着ヘッド２８に対して９０度回転させる。そして、ノズル清掃装置７０を回転させた後に、操作者が把持ロッド７８を往復移動させ、吸着ノズル５０を清掃することが可能となっている。これにより、ノズル清掃装置７０を装着ヘッド２８から取り外すことなく、吸着ノズル５０の外周面を全周に渡って清掃することが可能となる。

また、ノズル清掃装置７０では、操作者がガイド溝９０によって規定される１の方向に把持ロッド７８を往復移動させることで、吸着ノズル５０に付着した埃等が除去され、吸着ノズル５０の先端部が清掃される。このように、操作者の熟練度等に全く依拠することなく、単純な操作者の動作により、吸着ノズル５０が清掃される。このため、把持ロッド７８の操作者による吸着ノズル５０の清掃の度合いのバラつきを抑制することが可能となる。

さらに言えば、単純な操作者の動作により、スライド部材７４を往復移動させることで、吸着ノズル５０を清掃可能とされている。このため、電磁モータ等の駆動源、ギア機構，カム機構等の伝達機構等が必要無く、ノズル清掃装置７０の構造を簡素化することが可能となっている。

また、ノズル清掃装置７０では、上述したように、スライド部材７４，把持ロッド７８，ブラシ保持台１００，ブラシ１０２の全ての部材が、導電性の素材により成形されており、導電性を有するものとされている。このため、操作者が把持ロッド７８を把持することで、吸着ノズル５０に帯電している静電気が操作者に流れ、吸着ノズル５０に帯電している静電気を除去することが可能となっている。これにより、静電気による吸着ノズル５０への埃等の付着を抑制することが可能となる。

ちなみに、上記実施例において、ノズル清掃装置７０は、ノズル清掃装置の一例であり、ノズル清掃装置７０を構成するハウジング７２，スライド部材７４，清掃具７６，把持ロッド７８は、ハウジング，スライド部材，清掃具，把持部の一例である。そのハウジング７２を構成するインナハウジング８２，アウタハウジング８４は、インナハウジング，アウタハウジングの一例である。また、吸着ノズル５０，ユニット保持体５６は、吸着ノズル，ノズル保持体の一例である。

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、吸着ノズル５０を清掃するための清掃具７６として、ブラシ状のものが採用されているが、スポンジ状のもの、布状のもの等、種々のものを採用することが可能である。

５０：吸着ノズル ５６：ユニット保持体（ノズル保持体） ７０：ノズル清掃装置 ７２：ハウジング ７４：スライド部材 ７６：清掃具 ７８：把持ロッド（把持部） ８２：インナハウジング ８４：アウタハウジング

Claims (5)

1. 回路基板に装着される装着部品を吸着保持する吸着ノズルを清掃するためのノズル清掃装置において、
   前記吸着ノズルを保持するノズル保持体に、前記吸着ノズルを収容した状態で着脱可能に装着されるハウジングと、
   前記ノズル保持体に装着された状態のハウジングに、前記吸着ノズルの軸線方向に交わる平面上でスライド可能な状態で保持されるスライド部材と、
   そのスライド部材上に配設され、前記吸着ノズルの先端部を清掃するための清掃具と、
   前記スライド部材に固定されるとともに、前記ハウジングの外部に延び出し、操作者が把持する把持部と
   を備えることを特徴とするノズル清掃装置。
2. 前記スライド部材と前記清掃具と前記把持部とが、導電性の素材により成形されたことを特徴とする請求項１に記載のノズル清掃装置。
3. 前記ハウジングが、
   前記ノズル保持体に装着されるインナハウジングと、
   そのインナハウジングの少なくとも一部を囲う状態で前記インナハウジングに着脱可能に取り付けられるアウタハウジングと
   を有し、前記インナハウジングの前記アウタハウジングに囲われている部分が、前記インナハウジングの内部と前記アウタハウジングの内部とが連通するように、切欠かれたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のノズル清掃装置。
4. 前記スライド部材が、
   １の方向にのみスライド可能な状態で前記ハウジングに保持されることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のノズル清掃装置。
5. 前記ハウジングが、
   前記ノズル保持体に対して相対回転可能な状態で前記ノズル保持体に装着されることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のノズル清掃装置。
   

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