JP6503187B2 - ノズル洗浄装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズル洗浄装置に関する。

部品実装機は、部品供給装置から供給される電子部品をノズルの先端に吸着し、その状態で実装基板上へノズルを移動し、実装基板の所定位置で吸着を解除してノズルの先端から部品を放す。こうしたノズルに汚れや詰まりがあると、部品の吸着不良が発生する原因となる。そのため、随時あるいは定期的にノズルを洗浄することが好ましい。例えば、特許文献１には、部品実装機から取り外した複数のノズルをノズルホルダに収納し、そのノズルホルダを超音波洗浄等によりクリーニングする装置が開示されている。

特開２０１２−５９４８号公報

しかしながら、上述した装置では、複数のノズルを収納したノズルホルダをクリーニング液に浸した状態でノズルを超音波洗浄するものの、摺動箇所を持つノズルについては汚れや詰まりが十分洗浄されないことがあった。摺動箇所を持つノズルは、通常、部品を吸着する先端部を有するノズル本体と、そのノズル本体を所定方向に沿って摺動可能に支持するノズル支持体とを備えている。こうしたノズルでは、ノズル本体とノズル支持体との摺動箇所に汚れや詰まりが溜まりやすいが、摺動箇所の汚れや詰まりはノズルをクリーニング液に浸した状態で超音波洗浄しただけでは容易に落ちない。

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、摺動箇所を持つノズルの汚れ等を効率よく落とすことを主目的とする。

本発明のノズル洗浄装置は、
部品を吸着する先端部を有するノズル本体が所定方向に摺動可能にノズル支持体に支持されたノズルを保持するノズル保持手段と、
前記ノズル保持手段に保持される前記ノズルの前記ノズル本体と前記ノズル支持体との間に洗浄用流体が存在している状態で、前記ノズル本体と前記ノズル支持体とを前記所定方向に相対的に摺動させるノズル摺動手段と、
を備えたものである。

このノズル洗浄装置では、ノズル本体とノズル支持体との間に洗浄用流体が存在している状態で、ノズル本体とノズル支持体とを相対的に摺動させる。そのため、ノズル本体とノズル支持体とを摺動させることなく洗浄用流体で洗浄する場合に比べて、摺動箇所の汚れや詰まりを効率よく落とすことができる。

本発明のノズル洗浄装置において、前記洗浄用流体は、有機系洗浄用液体、水系洗浄用液体、洗浄用加圧気体及び洗浄用ミストからなる群より選ばれた１種以上としてもよい。有機系洗浄用液体を使用すれば、ノズルの摺動箇所に溜まった脂溶性の汚れや詰まりを効率よく洗浄することができる。水系洗浄用液体を使用すれば、ノズルの摺動箇所に溜まった水溶性の汚れや詰まりを効率よく洗浄することができる。洗浄用加圧気体を使用すれば、ノズルの摺動箇所に溜まった汚れや詰まりを吹き飛ばすことができる。洗浄用ミストを使用すれば、少量の液量でノズルの摺動箇所に溜まった汚れや詰まりを除去することができる。特に、洗浄用流体は、超音波振動が付与された有機系洗浄用液体又は水系洗浄用液体が好ましい。こうすれば、ノズルの摺動箇所の汚れ等を一層効率よく洗浄することができる。

ここで、有機系洗浄用液体としては、例えばエタノールやイソプロピルアルコール、アセトンなどが挙げられる。水系洗浄用液体としては、例えば水そのもののほか、洗剤を水に溶かした溶液などが挙げられる。洗浄用加圧気体としては、例えば加圧空気のほか、加圧された窒素等の不活性ガスなどが挙げられる。洗浄用ミストとしては、例えば有機系洗浄用液体のミストや水系洗浄用液体のミストなどが挙げられる。

本発明のノズル洗浄装置において、前記ノズル保持手段は、前記ノズル本体を保持するノズル本体保持具と、前記ノズル支持体を保持するノズル支持体保持具とを備え、前記ノズル摺動手段は、前記ノズル本体保持具の位置を固定した状態で前記ノズル支持体保持具を前記所定方向に往復動させてもよい。ノズル本体保持具の位置を固定した状態でノズル支持体保持具を所定方向に往復動させることで、ノズル本体に対してノズル支持体を所定方向に摺動させることができる。こうしたノズル洗浄装置において、前記ノズル支持体保持具は、弾性体によって支持され、前記ノズル摺動手段は、前記ノズル本体保持具の位置を固定した状態で前記ノズル支持体保持具に前記弾性体の弾性力に抗した外力を加えて前記ノズル支持体保持具を前記所定方向の往路に沿って移動させ、前記外力を解除したあと前記弾性体の弾性力により前記ノズル支持体保持具を前記所定方向の復路に沿って移動させるものとしてもよい。こうすれば、比較的簡単な構成で、ノズル本体に対してノズル支持体を摺動させることができる。

本発明のノズル洗浄装置において、前記ノズル保持手段は、前記ノズル本体を保持するノズル本体保持具と、前記ノズル支持体を保持するノズル支持体保持具とを備え、前記ノズル摺動手段は、前記ノズル支持体保持具の位置を固定した状態で前記ノズル本体保持具を前記所定方向に往復動させてもよい。ノズル支持体保持具の位置を固定した状態でノズル本体保持具を所定方向に往復動させることで、ノズル支持体に対してノズル本体を所定方向に移動させることができる。こうしたノズル洗浄装置において、前記ノズル本体保持具は、弾性体によって支持され、前記ノズル摺動手段は、前記ノズル支持体保持具の位置を固定した状態で前記ノズル本体保持具に前記弾性体の弾性力に抗した外力を加えて前記ノズル本体保持具を前記所定方向の往路に沿って移動させ、前記外力を解除したあと前記弾性体の弾性力により前記ノズル本体保持具を前記所定方向の復路に沿って移動させるものとしてもよい。こうすれば、比較的簡単な構成で、ノズル支持体に対してノズル本体を摺動させることができる。

ノズル洗浄装置１０の斜視図。 底板２２及びカートリッジ３０の斜視図。 カートリッジ３０にノズル８０をセットした状態を示す斜視図。 カートリッジ３０に櫛歯状の上蓋４０をセットした状態を示す斜視図。 ノズル保持モジュール２０の斜視図。 ノズル洗浄装置１０におけるノズル８０の周辺の縦断面図であり、（ａ）は上蓋４０が押圧されていない状態、（ｂ）は上蓋４０が押圧された状態を示す。 他のノズル洗浄装置におけるノズル８０の周辺の縦断面図であり、（ａ）は天板４６が押圧されていない状態、（ｂ）は天板４６が押圧された状態を示す。 ノズル８０の斜視図。 ノズル８０の縦断面図。

本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１はノズル洗浄装置１０の斜視図である。

まず、ノズル洗浄装置１０の説明に先立ち、ノズル洗浄装置１０で洗浄の対象となるノズルの一例を図８及び図９を用いて説明する。図８はノズル８０の斜視図、図９はその縦断面図である。ノズル８０は、例えば特開２０１４−１６７９５５号公報に開示された部品実装機の吸着ヘッドに装着されるものである。このノズル８０は、同公報に記載されているように、部品供給装置（例えばリール）から供給される部品を負圧を利用して吸着し、それを基板の所定位置まで運び、そこで負圧を解除して部品を実装するものである。こうしたノズル８０は、ノズル本体８２と、このノズル本体８２を上下方向に摺動可能に支持するノズル支持体８６（図６にて網掛けで表示）とを備え、長手方向に通気路８４が貫通している。ノズル本体８２は、円筒状のスリーブ８２ｂに先端部材８２ａが挿入・固定されたものである。先端部材８２ａは上下方向に貫通する通気孔を有している。通気孔は、通気路８４の一部を構成している。スリーブ８２ｂは、一対の長穴８２ｃを有している。一対の長穴８２ｃは、通気路８４に沿って長く形成され、スリーブ８２ｂの中心線を軸とする２回対称となる位置に設けられている。ノズル支持体８６は、シリンダ８６ａと、フランジ８６ｂと、ピン８６ｃとを備えている。シリンダ８６ａは、ノズル本体８２のスリーブ８２ｂを摺動可能に保持している。フランジ８６ｂは、図示しない部品実装機のノズルストッカーの穴の縁に引っかけてストックする際に利用される。ピン８６ｃは、通気路８４を横切るようにシリンダ８６ａを貫通し、その状態でシリンダ８６ａに固定されている。このピン８６ｃは、スリーブ８２ｂに設けられた一対の長穴８２ｃを貫通している。また、ピン８６ｃの両端は、シリンダ８６ａの外部に突出しており、図示しない部品実装機の吸着ヘッドに装着する際に利用される。シリンダ８６ａの内部をノズル本体８２が摺動する際、ノズル本体８２はピン８６ｃが挿通された一対の長穴８２ｃによってガイドされて摺動する。

次に、ノズル洗浄装置１０について説明する。ノズル洗浄装置１０は、図１に示すように、フレーム１２と、ノズル保持モジュール２０と、押圧装置５０とを備えている。なお、説明の便宜上、前後左右上下を用いることがあるが、これらの方向は図１に示すとおりである。

フレーム１２は、水平台座１４と、支持片１８とを備えている。水平台座１４は、裏面の四隅に脚を有する四角形状の平板であり、上面にノズル保持モジュール２０が載置される。この水平台座１４は、左右両側にガイドレール１６を有している。ガイドレール１６は、ノズル保持モジュール２０を水平台座１４上にスライドさせるときにガイドする役割を果たす。支持片１８は、水平台座１４の後端に垂直方向に立設されている。この支持片１８は、押圧装置５０を支持している。

ノズル保持モジュール２０は、底板２２と、カートリッジ３０と、上蓋４０と、天板４６とを備えている。底板２２は、四角形状の平板であり、四隅にスプリング２４とそのスプリング２４の中心を上下方向に挿通するシャフト２６を備えている。なお、図面ではスプリング２４を円筒で示したが、実際はコイル状である。カートリッジ３０は、四角形状のプレートであり、複数のノズル８０を保持するものである。このカートリッジ３０は、四隅に設けた貫通穴にシャフト２６を挿通させた状態でスプリング２４の上端に載せられている。そのため、カートリッジ３０はスプリング２４により弾性支持されている。上蓋４０は、後述するように櫛歯状の部材であり、カートリッジ３０に保持されたノズル８０を上から押さえるものである。天板４６は、四角形状の平板であり、四隅に設けた貫通穴にシャフト２６を挿通させた状態でノズル８０の上端に接している。この天板４６は、略中央に円形の丸穴４８を有している。この丸穴４８は、円柱状の押圧部材６０が上下方向に通過することが可能な大きさに設計されている。

ここで、ノズル保持モジュール２０の組立手順を図２〜図５を参照しながら説明する。まず、図２に示すように、作業者は、底板２２の四隅に設けたシャフト２６にカートリッジ３０の四隅に設けた貫通穴３２を挿通させ、カートリッジ３０を４つのスプリング２４の上端に載せる。カートリッジ３０は、ノズル８０の先端を挿通可能なノズル保持穴３４を多数有している。このノズル保持穴３４は、周縁に段差３４ａを有している。カートリッジ３０の中央付近は、押圧部材６０で押圧される箇所に当たるため、ノズル保持穴３４が形成されていない。カートリッジ３０の左辺には、上蓋４０の櫛歯４２を上から押さえるための押さえ部材３６が複数設けられている。各押さえ部材３６の傘状の頭部は、カートリッジ３０の上面から上方に所定距離（上蓋４０の厚みよりやや大きな距離）離間するように位置決めされている。また、カートリッジ３０の左辺の中央付近には、カートリッジ３０の下面から上面に突出するように付勢されたボールプランジャ３８（図４参照）が設けられている。

続いて、図３に示すように、作業者は、カートリッジ３０のノズル保持穴３４（図２参照）にノズル８０の先端を差し込む。このとき、ノズル８０のフランジ８６ｂはノズル保持穴３４の段差３４ａにはまり込む。

続いて、図４に示すように、作業者は、複数の櫛歯４２が一端（右端）で連結された形状の上蓋４０を右から左へスライドさせる。なお、１点鎖線で表した上蓋４０はスライド途中の状態を示す。このとき、左右方向に延びる櫛歯４２がノズル支持体８６のフランジ８６ｂの上面の一部を覆うようにする。上蓋４０は、実線で示すように、櫛歯４２の左端が押さえ部材３６の頭部の下方へ滑りこんだ状態でボールプランジャ３８が上蓋４０の下面に設けた凹み（図示略）に嵌まり込むことにより固定される。また、上蓋４０は、右辺中央に押さえ部材４１を有している。この押さえ部材４１の傘状の頭部は、上蓋４０の下面から下方に所定距離（カートリッジ３０の厚みよりやや大きな距離）離間するように位置決めされている。上蓋４０の櫛歯４２の左端が押さえ部材３６の頭部の下方へ滑りこんだ状態では、押さえ部材４１の頭部と上蓋４０の下面との間にカートリッジ３０の右端が挟まれて固定される。

続いて、図５に示すように、作業者は、底板２２の四隅に設けたシャフト２６を、天板４６の四隅に設けた貫通穴４９に挿通させる。このとき、天板４６の下面は、上蓋４０に接することなく、ノズル本体８２のスリーブ８２ｂの上端に接した状態となる（図６参照）。天板４６は、十分な重量を有するものである。そのため、天板４６の自重によってノズル本体８２は底板２２と天板４６との間に挟まれて固定された状態となる（図６（ａ）参照）。また、天板４６の中央付近には丸穴４８が形成されているため、押圧部材６０はこの丸穴４８を通過して上蓋４０の中央部分（図４の２点鎖線で示した円形部分）を押圧することができる。以上のようにしてノズル保持モジュール２０ができあがる。

押圧装置５０は、図１に示すように、駆動モータ５２と、動力伝達機構５４と、偏心カム５６と、スライダ５７と、押圧部材６０と、レバー６２とを備えている。駆動モータ５２は、支持片１８の上方に配置され、上下方向の軸に沿って回転するモータである。動力伝達機構５４は、かさ歯車を利用した機構であり、駆動モータ５２の動力を偏心カム５６へ伝達する。偏心カム５６は、円盤部材であり、回転軸が中心からずれた位置に設けられている。スライダ５７は、偏心カム５６の直径とほぼ同じ上下幅を有するカム保持溝５８を有している。カム保持溝５８には、偏心カム５６が嵌め込まれており、カム保持溝５８の上面５８ａと下面５８ｂが偏心カム５６のカム面５６ａに常に当接している。スライダ５７は、スライダガイド５９に沿って上下方向に移動可能となっている。偏心カム５６が回転すると、偏心カム５６はカム保持溝５８の上面５８ａ及び下面５８ｂを転動しながらスライダ５７を上下に動かす。押圧部材６０は、円柱形状の部材であり、スライダ５７の下面に固定されている。そのため、押圧部材６０は、スライダ５７の上下動に伴って上下動し、ノズル保持モジュール２０の上蓋４０を押圧したりその押圧を解除したりする。レバー６２は、作業者が手動で偏心カム５６を回転操作するためのものである。

次に、ノズル洗浄装置１０の使用方法について説明する。まず、作業者は、図２〜図５に示す手順により、洗浄対象となる複数の使用済みのノズル８０をカートリッジ３０にセットしてノズル保持モジュール２０を完成させる。次に、作業者は、レバー６２を操作して押圧部材６０が最も高い位置に来るようにする。これは、ノズル保持モジュール２０を水平台座１４に載せる際に押圧部材６０がノズル保持モジュール２０に当たるのを避けるためである。次に、ノズル保持モジュール２０をフレーム１２の水平台座１４の前方からガイドレール１６に沿って後方に向かって挿入し（図１の黒矢印参照）、ノズル保持モジュール２０がフレーム１２の奥壁に突き当たるまでスライドさせる。このとき、ノズル保持モジュール２０の底板２２は、フレーム１２の下端前面に設けられた水平溝１２ａ（図１参照）に入り込む。それと共に、水平台座１４の上面から上向きに付勢されたボールプランジャ（図示略）が、水平溝１２ａに入り込んだ底板２２の下面に設けられた凹部（図示略）内に嵌まり込む。このようにして、底板２２は水平溝１２ａとボールプランジャによって固定される。このとき、フレーム１２に取り付けた図示しない固定具（例えばゴムチューブやフック）などにより、ノズル保持モジュール２０をフレーム１２に固定してもよい。次に、洗浄液を入れた超音波洗浄槽７０（図１参照）に、ノズル洗浄装置１０を投入する。このとき、少なくともノズル保持モジュール２０の天板４６まで洗浄液に漬かるようにする。ここでは、洗浄液として、有機系洗浄用液体を用いる。有機系洗浄用液体としては、例えばエタノールやイソプロピルアルコール、アセトンなどが挙げられる。この状態で、作業者は、超音波洗浄槽７０のスイッチを入れて超音波振動が洗浄液に付与されるようにする。それと共に、ノズル洗浄装置１０の駆動モータ５２のスイッチを入れて駆動モータ５２を回転させることにより押圧部材６０を上下動させる。

図６は、ノズル洗浄装置１０におけるノズル８０の周辺の縦断面図であり、（ａ）は上蓋４０が押圧されていない状態、（ｂ）は上蓋４０が押圧された状態を示す。押圧部材６０が下方に移動すると、ノズル支持体８６を挟持しているカートリッジ３０及び上蓋４０はスプリング２４の弾性力に抗してノズル本体８２に対して下方に移動する。つまり、図６（ａ）の状態から図６（ｂ）の状態へ移動する（往路）。また、押圧部材６０が上方に移動すると、ノズル支持体８６を挟持しているカートリッジ３０及び上蓋４０はスプリング２４の弾性力によって上向きに付勢されるためノズル本体８２に対して上方に移動する。つまり、図６（ｂ）の状態から図６（ａ）の状態へ移動する（復路）。カートリッジ３０及び上蓋４０を下方へ押圧したりその押圧を解除したりする動作を繰り返すことにより、図６（ａ）と図６（ｂ）の状態を交互に繰り返すことになる。したがって、ノズル本体８２に対してノズル支持体８６が上下方向に摺動する。このように、ノズル本体８２とノズル支持体８６との間に洗浄液が存在している状態でノズル本体８２に対してノズル支持体８６を摺動させることにより、ノズル８０が洗浄される。そして、所定の洗浄時間が経過した後、作業者は、超音波洗浄槽７０及び駆動モータ５２のスイッチをオフにし、超音波洗浄槽７０からノズル洗浄装置１０を引き上げ、ガイドレール１６に沿ってノズル保持モジュール２０を前方へ引き出す。最後に、ノズル保持モジュール２０を解体し、カートリッジ３０からノズル８０を取り出す。なお、作業者の作業の一部又は全部を自動化してもよい。

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態のノズル保持モジュール２０が本発明のノズル保持手段に相当し、押圧装置５０がノズル摺動手段に相当する。また、カートリッジ３０及び上蓋４０がノズル支持体保持具に相当し、底板２２及び天板４６がノズル本体支持具に相当する。

以上詳述した本実施形態のノズル洗浄装置１０によれば、ノズル本体８２とノズル支持体８６との間に洗浄用流体が存在している状態でノズル本体８２とノズル支持体８６とを相対的に摺動させるため、両者を摺動させることなく洗浄用流体で洗浄する場合に比べて、ノズル８０の摺動箇所の汚れや詰まりを効率よく落とすことができる。

また、洗浄用流体として有機系洗浄用液体を使用するため、ノズル８０の摺動箇所に溜まった脂溶性の汚れや詰まりを効率よく洗浄することができる。特に、超音波振動が付与された有機系洗浄用液体を使用するため、ノズル８０の摺動箇所の汚れ等を一層効率よく洗浄することができる

更に、ノズル本体８２の位置を固定した状態でノズル支持体８６を保持しているカートリッジ３０及び上蓋４０を上下方向に移動させることで、ノズル本体８２に対してノズル支持体８６を所定方向に摺動させることができる。特に、スプリング２４の弾性力を利用してノズル本体８２に対してノズル支持体８６を所定方向に摺動させるため、比較的簡単な構成でノズル本体８２に対してノズル支持体８６を摺動させることができる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、ノズル本体８２に対してノズル支持体８６を上下方向に摺動させたが、逆に、ノズル支持体８６に対してノズル本体８２を上下方向に摺動させてもよい。具体的には、図７（ａ）に示すように、底板２２を水平台座１４上のバネ１３の上に載せる。これにより、底板２２、ノズル本体８２及び天板４６は、バネ１３によって弾性支持される。また、ノズル支持体８６を保持するカートリッジ３０及び上蓋４０は、底板２２及び天板４６とは独立してフレーム１２（図１参照）に固定される。そして、押圧部材６０が上蓋４０ではなく天板４６を下方に押圧したりその押圧を解除したりするようにする。押圧が解除されている状態では、図７（ａ）に示すように、バネ１３の弾性力によって底板２２が上向きに付勢される。そのため、ノズル支持体８６に対してノズル本体８２が上方に位置した状態となる。一方、この状態で天板４６が下方に押圧されると、図７（ｂ）に示すように、底板２２、ノズル本体８２及び天板４６はバネ１３の弾性力に抗して下方に移動する。そのため、ノズル支持体８６に対してノズル本体８２が下方に位置した状態となる。天板４６を下方へ押圧したりその押圧を解除したりする動作を繰り返すことにより、図７（ａ）と図７（ｂ）の状態を交互に繰り返すことになる。したがって、ノズル支持体８６に対してノズル本体８２が上下方向に摺動する。このようにしても、上述した実施形態と同様の効果が得られる。

上述した実施形態では、カートリッジ３０及び上蓋４０の中央付近を押圧部材６０で押すようにしたが、その代わりに外周の四隅を押圧部材で押すようにしてもよい。こうすれば、カートリッジ３０及び上蓋４０を真っ直ぐ下向きに安定した状態で押圧することができる。また、カートリッジ３０及び上蓋４０の中央付近にもノズル８０を保持することができる。その反面、押圧部材が４つ必要になることから装置構成が煩雑になる。

上述した実施形態では、洗浄用流体として、有機系洗浄用液体を用いたが、特にこれに限定されない。例えば、洗浄用流体としては、有機系洗浄用液体のほかに、水系洗浄用液体、洗浄用気体、洗浄用ミストなどを用いてもよいし、これらを複数組み合わせて用いてもよい。水系洗浄用液体を使用すれば、ノズル８０の摺動箇所に溜まった水溶性の汚れや詰まりを効率よく洗浄することができる。この場合、超音波振動を付与すれば一層効率よく洗浄することができる。洗浄用気体を使用すれば、ノズルの摺動箇所に溜まった汚れや詰まりを吹き飛ばすことができる。洗浄用ミストを使用すれば、少量の液量でノズルの摺動箇所に溜まった汚れや詰まりを除去することができる。

上述した実施形態では、洗浄対象としてスプリングを有さないノズル８０を例示したが、スプリングを有するノズルを洗浄対象としてもよい。例えば図６のノズル８０の先端部材８２ａとフランジ８６ｂとの間にスプリングを設け、先端部材８２ａにフランジ８６ｂから常に離れる方向の弾性力を与えるようにしてもよい。

上述した実施形態では、１つのサイズのノズル８０を例示したが、サイズは特に限定されない。同じ大きさのカートリッジを用いる場合、大きなサイズのノズルを洗浄するのであれば少数のノズルを保持することになり、小さなサイズのノズルを洗浄するのであれば多数のノズルを保持することができる。

上述した実施形態のカートリッジ３０を図示しない部品実装機のノズルストッカーと兼用してもよい。

上述した実施形態において、押圧部材６０をスライダ５７にバネを介して弾性支持してもよい。このとき、バネは、押圧部材６０による押圧力が所定の力を超える場合に縮むように設計しておく。こうすれば、押圧部材６０による押圧力が強すぎてノズル８０を破損してしまうおそれを回避することができる。

１０ ノズル洗浄装置、１２ フレーム、１２ａ 水平溝、１３ バネ、１４ 水平台座、１６ ガイドレール、１８ 支持片、２０ ノズル保持モジュール、２２ 底板、２４ スプリング、２６ シャフト、３０ カートリッジ、３２ 貫通穴、３４ ノズル保持穴、３４ａ 段差、３６ 押さえ部材、３８ ボールプランジャ、４０ 上蓋、４１ 押さえ部材、４２ 櫛歯、４４ 貫通穴、４６ 天板、４８ 丸穴、４９ 貫通穴、５０ 押圧装置、５２ 駆動モータ、５４ 動力伝達機構、５６ 偏心カム、５６ａ カム面、５７ スライダ、５８ カム保持溝、５８ａ 上面、５８ｂ 下面、５９ スライダガイド、６０ 押圧部材、６２ レバー、７０ 超音波洗浄槽、８０ ノズル、８２ ノズル本体、８２ａ 先端部材、８２ｂ スリーブ、８２ｃ 長穴、８４ 通気路、８６ ノズル支持体、８６ａ シリンダ、８６ｂ フランジ、８６ｃ ピン。

Claims (6)

1. 部品を吸着する先端部を有するノズル本体が所定方向に摺動可能にノズル支持体に支持されたノズルを保持するノズル保持手段と、
   前記ノズル保持手段に保持される前記ノズルの前記ノズル本体と前記ノズル支持体との間に洗浄用流体が存在している状態で、前記ノズル本体と前記ノズル支持体とを前記所定方向に相対的に摺動させるノズル摺動手段と、
   を備え、
   前記ノズル保持手段は、前記ノズル本体を保持するノズル本体保持具と、前記ノズル支持体を保持するノズル支持体保持具とを備え、
   前記ノズル摺動手段は、前記ノズル本体保持具の位置を固定した状態で前記ノズル支持体保持具を前記所定方向に往復動させる、
   ノズル洗浄装置。
2. 前記ノズル支持体保持具は、弾性体によって支持されており、
   前記ノズル摺動手段は、前記ノズル本体保持具の位置を固定した状態で前記ノズル支持体保持具に前記弾性体の弾性力に抗した外力を加えて前記ノズル支持体保持具を前記所定方向の往路に沿って移動させ、前記外力を解除したあと前記弾性体の弾性力により前記ノズル支持体保持具を前記所定方向の復路に沿って移動させる、
   請求項１に記載のノズル洗浄装置。
3. 部品を吸着する先端部を有するノズル本体が所定方向に摺動可能にノズル支持体に支持されたノズルを保持するノズル保持手段と、
   前記ノズル保持手段に保持される前記ノズルの前記ノズル本体と前記ノズル支持体との間に洗浄用流体が存在している状態で、前記ノズル本体と前記ノズル支持体とを前記所定方向に相対的に摺動させるノズル摺動手段と、
   を備え、
   前記ノズル保持手段は、前記ノズル本体を保持するノズル本体保持具と、前記ノズル支持体を保持するノズル支持体保持具とを備え、
   前記ノズル摺動手段は、前記ノズル支持体保持具の位置を固定した状態で前記ノズル本体保持具を前記所定方向に往復動させる、
   ノズル洗浄装置。
4. 前記ノズル本体保持具は、弾性体によって支持されており、
   前記ノズル摺動手段は、前記ノズル支持体保持具の位置を固定した状態で前記ノズル本体保持具に前記弾性体の弾性力に抗した外力を加えて前記ノズル本体保持具を前記所定方向の往路に沿って移動させ、前記外力を解除したあと前記弾性体の弾性力により前記ノズル本体保持具を前記所定方向の復路に沿って移動させる、
   請求項３に記載のノズル洗浄装置。
5. 前記洗浄用流体は、有機系洗浄用液体、水系洗浄用液体、洗浄用加圧気体及び洗浄用ミストからなる群より選ばれた１種である、
   請求項１〜４のいずれか１項に記載のノズル洗浄装置。
6. 前記洗浄用流体は、超音波振動が付与された有機系洗浄用液体又は水系洗浄用液体である、
   請求項１〜５のいずれか１項に記載のノズル洗浄装置。

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