JP3175726U - 液処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】カップ体を液処理装置から取り外す際に、カップ体内に残留している処理液がドレインポートから漏出した場合、これを受け止める液受け機構を備える液処理装置を提供する。
【解決手段】ウエハに対してレジスト液等の処理液を塗布する塗布ユニット等を備えた液処理装置において、カップ体２と、カップ体の下面を支持するカップ体支持部材３１と、カップ体を昇降させるモータ・シリンダ４と、カップ体を水平方向に移動させる水平移動機構４３と、カップ体２に備わるドレインポート２６から処理液が漏出することを防止する液受け機構を備え、液受け機構は、ドレインポートから排出された廃液を貯留する受け皿５０と、カップ支持部材を連結するステー５１とで構成される液受け部材を備え、液受け部材をカップ体がモータ・シリンダ及び水平移動機構を介した移動に連動して、液受け位置であるドレインポートの下方と、ドレインポートの直下から退避した位置へ移動する。
【選択図】図５

Description

本考案は、被処理基板を回転させながら、この被処理基板に対して所定の処理を施す液処理装置に関するものである。

半導体製造工程の一つであるフォトレジスト工程においては、半導体ウエハ（以下、ウエハという）の表面にレジストを塗布し、このレジストを所定のパターンで露光した後に現像してレジストパターンを形成している。このような処理は、一般にレジストを塗布、現像を行う塗布、現像装置に露光装置を接続したシステムを用いて行われる。

レジスト液や現像液等、処理液の一つである塗布液をウエハの表面に塗布する液処理の一つにスピンコーティング法がある。この手法を用いた液処理装置として特許文献１の液処理装置が知られている。特許文献１記載の液処理装置の概略について簡単に説明しておく。先ず、ウエハをスピンチャック上に略水平に保持し、供給ノズルをウエハ表面と対向する位置に設定した状態にて、供給路を介して送られてくる塗布液を供給ノズルから吐出してウエハ表面中央部に供給する。そして、当該ウエハを鉛直軸周りに回転させることにより発生する遠心力を利用してウエハの表面全体に塗布液を広げ、塗布膜を形成することにより塗布を行う。

スピンチャックの周囲には、スピンチャックに保持されたウエハの側方を囲むように、塗布液の飛散を抑えるための筒状のカップ体が設置してあり、液処理装置の処理空間からカップ体内部を介して外部へと排気される気流が形成されている。これにより、液処理の際にウエハから飛散した塗布液はミストの状態で気流と共に排気ポートより排出され、またカップ体内で捕集されてドレインとしてドレインポートより排出される。

ところで、一般的なカップ体は塗布液のミストやドレインを排出するための排気ポートやドレインポートをその底面に備えている。このため定期的な洗浄や補修作業等でカップ体を液処理装置から取り外す際には、作業者がカップ体内部に残っている塗布液が周囲に漏出して汚染させないようにドレインポートを手で押さえたりしながらカップ体を移動させ、筐体から搬出する作業が必要となる。

特開２００８-１３５６７８号公報

しかしながら、カップ体を液処理装置から取り外す際に、作業者がカップ体内部に残っている塗布液が周囲に漏出して汚染させないようにドレインポートを手で押さえて防止することは、作業者の作業ミス等によって不用意に廃液の漏出を起こす懸念がある。

本考案はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、カップ体を液処理装置から取り外す際に、カップ体内に残留している処理液がドレインポートから漏出した場合、これを受け止める液受け機構を備える液処理装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本考案は、筐体内の基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を供給して、基板の表面を液処理する液処理装置において、 前記基板保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられ、前記筐体内の基体に上方から着脱自在に装着されるカップ体と、 このカップ体を下面から支持するカップ体支持部材と、 前記カップ体が基体に装着される第１の位置と、この第１の位置よりも上方側の第２の位置と、の間で前記カップ体支持部材を移動させる昇降機構と、 前記第２の位置から水平方向に前記カップ体支持部を第３の位置まで移動させる水平移動機構と、
前記カップ体に設けられ処理液の廃液を排出する廃液孔の下方に移動自在に構成される液受け機構と、を備え、 前記液受け機構は、前記廃液孔から排出された廃液を貯留する受け皿と、この受け皿と前記カップ支持部材を連結するステーとで構成される液受け部材を備え、 前記カップ体支持部材を前記第２の位置から第３の位置まで移動させる間に前記液受け部材は廃液孔の直下である液受け位置に回動し、前記カップ体支持部材を前記第３の位置から第２の位置まで移動させる間に前記液受け部材は廃液孔の直下を避けた退避位置に回動する、ことを特徴とする（請求項１）。

このように構成することにより、カップ体を液処理装置から取り外す際に、カップ体を支持するカップ体支持部材を前記第２の位置から第３の位置まで移動させる間に液受け部材を廃液孔の直下である液受け位置に回動することができる。

本考案において、前記受け皿と前記ステーは着脱可能に形成されているのが好ましい（請求項２）。このように構成することにより、受け皿をステーから取り外して洗浄することができる。

また、本考案において、前記液受け機構は、固定ピンと、ばね部材と、を備え、前記固定ピンは、前記カップ体支持部材を第３の位置から第２の位置まで移動させる間に、前記ステーと当接しながら前記液受け部材を退避位置へ回動させた後、前記ステーを退避位置に固定し、前記ばね部材は、前記カップ体支持部材を第２の位置から第３の位置まで移動させる間に、前記液受け部材が液受け位置へ回動するよう付勢力が調整されている、のが好ましい（請求項３）。このように構成することにより、ばね部材の付勢力によって液受け部材を確実に廃液孔の直下位置に移動することができる。

また、本考案において、前記固定ピン及び前記ステーの少なくとも一方は合成樹脂で形成されているのが好ましい（請求項４）。このように構成することにより、固定ピンとステーが当接した際のパーティクルの発生を抑制することができる。

また、本考案において、前記受け皿は、前記廃液孔の投影領域を覆う形状に形成されているのが好ましい（請求項５）。このように構成することにより、廃液孔から排出される廃液を受け皿によって確実に受け止めることができる。

また、本考案において、前記受け皿は、この受け皿に対して取り外し可能な液吸収部材を備えるのがよい（請求項６）。このように構成することにより、液吸収部材を取り外して廃棄することができる。

加えて、本考案において、前記液受け部材の液受け位置と退避位置との移動を検知する検知手段をさらに備える方が好ましい。このように構成することにより、カップ体の取り外しの際に液受け部材が液受け位置に位置しているか、または、カップ体の取付の際に液受け部材が退避位置に位置しているかをオペレータが認識することができ、液受け機構の不具合による薬液の大量漏出を軽減させることができる。

本考案によれば、液処理装置に装着されるカップ体を移動させる際に、液受け部材を廃液孔の直下である液受け位置に回動することができるので、カップ体内に残留している処理液がドレインポートから漏出することを確実に防止することができる。

本考案に係る液処理装置を示す縦断面図である。 前記液処理装置の平面図である。 本考案におけるカップ体をカップ保持部に取り付けた状態を示す斜視図である。 前記カップ体をカップ保持部から取り外して搬出入する状態を示す斜視図である。 本考案におけるカップ保持部を図３の矢印Ｉ方向から見た状態を示す概略側面図である。 前記カップ体を取り付けた状態のカップ保持部の底面図である。 前記カップ体を取り外した状態のカップ保持部の底面図である。 本考案における液受け部材を示す斜視図（ａ）及びその分解斜視図（ｂ）である。 本考案における液受け部材の位置検知手段を示す斜視図である。

次に、本考案を実施するための形態について図面を参照して説明する。ここでは本考案をウエハＷに対して塗布液であるレジスト液を塗布する塗布ユニットに適用した実施の形態について説明する。初めに液処理装置１の概要について図１、図２を参照しながら説明する。

液処理装置１は、例えば直方体の筐体１０を有しており、その内部が液処理の行われる処理空間１０aとなっている。液処理装置１は、筐体１０内に処理対象のウエハＷを載置するスピンチャック１１と、ウエハＷ表面にレジスト液を供給する供給ノズル１５と、ウエハＷ周縁部に塗布されたレジスト液を除去するためのリンスノズル１７と、ウエハＷ表面から飛散したレジスト液のミスト等の飛散を押さえるためのカップ体２とを備えている。

スピンチャック１１は、ウエハＷの裏面側中央部を吸引吸着して水平に保持するための基板保持部としての役割を果たす。スピンチャック１１は軸部１２を介して駆動機構であるスピンチャックモータ１３に連結されており、スピンチャック１１はこのスピンチャックモータ１３によってウエハＷを保持した状態で回転及び昇降自在に構成されている。スピンチャック１１の側方には、昇降機構１４aによって昇降する保持板１４ｂに立設された昇降ピン１４がウエハＷの裏面を支持して昇降可能なように設けられており、後述する搬送手段（メインアームＡ１，Ａ２）との協同作用によって筐体１０の外部から搬入されてきたウエハＷの受渡しを行えるようになっている。ここで、図中の１０ｂは液処理装置１の外部の搬送手段（図示せず）に臨む面に形成されたウエハＷの搬入出口である。

供給ノズル１５は、図示しない供給ユニットから送液されてきたレジスト液をスピンチャック１１に保持されたウエハＷ表面に供給する役割を果たす。供給ノズル１５は、基台１６ａに支持されており、この基台１６ａは、図１に示したＺ方向に昇降自在、また基台１６ａの基部に設けられたガイドレール１６ｂによりＸ方向に移動自在に構成されている。これらの構成により供給ノズル１５は、例えばホームポジション（図２に示すガイドレール１６ｂの左端の位置）から移動してスピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面の例えば中央部と対向し、その表面にレジスト液を吐出することができる。

リンスノズル１７は、ウエハＷに塗布されたレジスト膜の周縁部の剥がれ等を防止するため、レジスト膜を除去するリンス液をウエハＷ周縁部に供給する役割を果たす。リンスノズル１７は、駆動部１８に取り付けられており、鉛直方向に昇降自在、鉛直軸周りに回転自在に構成されている。リンスノズル１７は例えば図２に示すように、供給ノズル１５のホームポジションに対してスピンチャック１１を挟んでＸ方向に反対側に設置されており、サイドリンスを行っていないときには、図中に二点鎖線で示したホームポジションにて待機し、サイドリンス中は駆動部１８を駆動してスピンチャック１１に保持されたウエハＷの周縁部と対向する位置までリンスノズル１７の先端部を移動させリンス液を吐出できるようになっている。

さらに、液処理装置１は各機器の動作を統括制御する役割を果たす制御部６を備えており、この制御部６にはスピンチャック１１のスピンチャックモータ１３や基台１６ａ等が電気的に接続されている。なお制御部６は、本実施の形態に係る液処理装置１を塗布ユニットとして備える塗布、現像装置全体の動作を統括制御する機能も備えている。

次に、カップ体２について説明する。カップ体２は、スピンコーティング等の際にウエハＷを回転させることによってウエハＷから飛散したミストが処理空間１０ａ内に飛び散るのを抑え、液処理装置１外にミストやドレインを排出する役割を果たす。カップ体２は、図１に示すように、レジスト液のドレインを受ける液受け部となるアンダーカップ２cと、レジスト液のドレインをこのアンダーカップ２cへ案内するためのインナーカップ２ｂと、このインナーカップ２ｂとの間に気流の流路を形成しカップ体２のカバーとなるアッパーカップ２ａと、からなる３つのリング部材を下方からこの順番に重ね合わせてなり、組み立て後にはドーナツ状の円筒が形状されるように構成されている。

以下、組み立て後のカップ体２の構成について説明する。図１に示すように、アッパーカップ２ａとインナーカップ２ｂとの間には開口部２１ａが形成されている。開口部２１ａはアッパーカップ２ａとインナーカップ２ｂとの間に形成される流路にレジスト液のミストを含んだ気流（図１中に実線の矢印で示してある）を取り込む役割を果たす。カップ体２は、例えば図１に示すように、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの周縁外側に開口部２１ａを位置させるように液処理装置１に装着される。

また、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの周縁部下方には、断面が「への字」状のリング部材２２を設けてあり、このリング部材２２の外端面には、カップ体２底部の液受け部２４に進入するように下方に延在する円筒壁２３が設けられている。これによりウエハＷから飛散したレジスト液の一部はドレインとしてリング部材２２及び円筒壁２３の表面を伝って液受け部２４に案内されるようになっている。なお、これらリング部材２２と円筒壁２３とは、上述のインナーカップ２ｂにより構成されている。

カップ体２の下部側は、上述のアンダーカップ２cにより構成される液溜め部２４となっており、その底部には液溜め部２４に溜まったレジスト液のドレイン（廃液）を排出するための廃液孔であるドレインポート２６と、カップ体２内を通流した気流を排気するための例えば２つの排気ポート２５とが設けられている。

図１に示すように夫々のポート２５，２６は各々排気管５１，ドレイン管５２に接続され、レジスト液のドレイン及びミストを含む気流が液処理装置１から排出されるようになっている。ここで排気ポート２５は、図１に示すように液溜め部２４内の上方に延伸されており、液受け部２４から排気管５１へのドレインの溢流を防ぐための溢流防止壁２４ａを構成している。なお各ポート２５，２６は、夫々排気管５１、ドレイン管５２に嵌入可能な形状を有しており、位置合わせを行ってからカップ体２を押し込むだけで各ポート２５，２６と配管５１，５２とが嵌合して接続される構造となっている。また、各ポート２５，２６は、三角形の頂点を形成するようにカップ体２の底面に配置されているが（図６Ａ，図６Ｂ参照）、図示の便宜上図１においてはこれらのポート２５，２６を直列に配置して示してある。

また、カップ体２と対向する筐体１０の天井部にはフィルタユニット１９が取り付けられており、フィルタユニット１９から例えば清浄空気を所定流量で供給することにより、処理空間１０ａ内に清浄空気のダウンフローが形成されるようになっている。清浄空気の一部は、処理空間１０ａ内に設けられた図示しない排気部より排気されるが、残りの清浄空気は開口部２１ａからカップ体２内に取り込まれ、図１のカップ体２断面図内に矢印で示したような気流を形成して排気ポート２５から排出されるようになっている。なお１０cは、カップ体２を筐体１０から搬出入する際に取り外される蓋体である。

以上の構成に基づいて液処理装置１による液処理の動作について簡単に説明する。外部
の搬送手段によって搬入出口１０ｂより処理空間１０ａ内に搬入されたウエハＷは、昇降
ピン１４により裏面側を支持され、搬送手段を処理空間１０ａ外へ退避させて昇降ピン１
４を下降させることによりスピンチャック１１に受け渡される。そして基台１６ａを移動
させ、スピンチャック１１上に保持されたウエハＷの中央部上方に供給ノズル１５を位置
させてレジスト液を吐出する。

このようにしてウエハＷ表面にレジスト液を滴下した後、スピンチャック１１を例えば１０００ｒｐｍの回転数で例えば約２秒間回転させることによりウエハＷの径方向に広げるスピンコーティングを行う。続けてスピンチャック１１を例えば２５００ｒｐｍの回転数で例えば３０秒間回転させることによりコーティングしたレジスト液の振り切り乾燥を行う。しかる後、リンスノズル１７よりウエハＷの周縁部にリンス液を塗布し、スピンチャック１１を例えば１５００ｒｐｍの回転数で例えば８秒間回転させることで、ウエハＷ周縁部に塗布したレジスト膜を除去する。更にこの後、スピンチャック１１を例えば２０００ｒｐｍの回転数で例えば５秒間回転させることで、リンス液の振り切り乾燥を行って液処理を完了する。レジスト液の塗布されたウエハＷは、ウエハＷを搬入したときとは逆の順序で搬送手段に受け渡され液処理装置１から搬出される。

上述したスピンチャック１１の回転によりウエハＷから飛散したミストは、カップ体２内を流れる気流に乗って排気ポート２５より排気管５１へと排出される。また、ウエハＷより振り切られたり、流路の壁面上でミストから成長したりした液滴はドレインとなってリング部材２２や円筒壁２３等を伝わり、液溜め部２４内に溜まった後、ドレインポート２６を介してドレイン管５２へと排出される。

ここで本実施の形態に係るカップ体２は、図１，図２に示すように、その下面を支持するカップ体支持部材３１と上面を押さえる押さえ部材３２とからなるカップ保持部により保持されている。これらのカップ保持部を昇降及び水平移動させることにより、カップ体２を搬出入させることができるようになっている。以下、図３〜図５を用いてこれらカップ体保持部と昇降機構及び水平移動機構について詳述する。

図３はカップ体２をカップ保持部３に取り付けた状態を示す斜視図であり、図４はカップ体２をカップ体保持部３から取り外して搬出入する際の状態を示す斜視図である。また、図５は図３において実線の矢印Ｉ方向からカップ体保持部３を見た概略側面図である。さらに、図６Ａはカップ体２を取り付けた状態のカップ体保持部３の底面図、図６Ｂはカップ体２を取り外した状態のカップ体保持部３の底面図である。なお図示の便宜上、図３以降の図においては、図１，図２にて説明したカップ体２の構成を簡略化して記載してある。

図３ないし図５に示すように、カップ体保持部３は、カップ体２の底面を支持するカップ体支持部材３１と、このカップ体支持部材３１に対向しカップ体２の上面を押さえる押さえ部材３２とから構成され、カップ体２をこれらのカップ体支持部材３１と押さえ部材３２で挟持できるようになっている。

カップ体支持部材３１及び押さえ部材３２は各々平面形状が概ね円弧状を有する板材である。カップ体支持部材３１は、左右の端部の一部がカップ体２の排気ポート２５及びドレインポート２６の外周面に対応する切り欠き部であるポート受け部３１ａを有している。また、カップ体支持部材３１の下面には液受け機構の一部が備わるが、これについては後述する。

押さえ部材３２はカップ体支持部材３１上に載置されたカップ体２を上から押さえて固定する役割を果たす板材であって、カップ体２の開口縁の曲率に対応した曲率の円弧縁部として形成され、カップ体２の開口縁に沿った起立縁２１ｂがこの円弧縁部に嵌合した状態で規制されるように構成されている。上述のようにカップ体２底面に設けられた各ポート２５，２６がカップ体支持部材３１の円弧部分に夫々適合して規制されることによりカップ体２の位置決めがされ、カップ体２を下降したとき、各ポート２５，２６と排気管５１、ドレイン管５２とを嵌合させてカップ体２を正しい位置に装着できる。

また、図３、図４に示すように押さえ部材３２の近傍にはカップ体２の上面を下方へ押さえつける方向へ付勢された弾性体である２つの板ばね３２ａが取り付けられており、カップ体支持部材３１上に載置されたカップ体２を確実に固定することができるようになっている。なおこれらの板ばね３２ａは付勢力を調整してあり、アッパーカップ２ａ、インナーカップ２ｂ等のいずれかの部材がカップ体２に正しく組み込まれていない場合には板ばね３２ａでカップ体を固定することができず、カップ体保持部３にカップ体２を保持できなくなってしまうようになっている。

押さえ部材３２は、図４に矢印Ａで示したカップ体２を搬出入する方向（以下メンテナンス方向）から見て左右両端部において連結部材３３により支持されている。また、カップ体支持部材３１は後述する水平移動機構により支持されている。これら押さえ部材３２とカップ体支持部材３１は略平行な状態で上下に対向し、この間にカップ体２を挟みこめるようになっている。ここで、カップ体支持部材３１と押さえ部材３２との対向する間隔は、例えばアッパーカップ２ａとアンダーカップ２cとの予め定められた３つの部材が全て組み込まれている場合に限り安定してカップ体２を保持できるようになっている。すなわち、例えばアッパーカップ２ａを組み込むのを忘れてしまった場合には、カップ体２の高さがカップ体支持部材３１、押さえ部３２の間隔よりも低くなってしまうため、板ばね３２ａによりカップ体２を押さえ付けることができず、カップ体２を安定に保持することができないようになっている。またカップ体２は、図５に示すように、その側方から見た投影面が四角形となっており、同じく側方から見た投影面がコの字形のカップ体保持部３にて固定し易い形状となっている。なお、連結部材３３はカップ体支持部材３１と押さえ部材３２とによって挟持された状態のカップ体２と干渉しないような位置に取り付けられる。

ここで、押さえ部材３２は、連結部材３３及び後述する昇降ガイド部材４３を介して一対の固定部材３４に固定され、この固定部材３４をビス等で筐体１０の底面に締結することによりカップ体保持部３全体を液処理装置１（基体）に固定してある。図２に示すように、カップ体保持部３は、蓋体１０cを取り外したオペレータがカップ体２をメンテナンス方向に対向してカップ体２を挟持する状態となるように液処理装置１に取り付けられている。

次に、このカップ体保持部３を昇降させる昇降機構について説明する。カップ体保持部３を昇降させるこの昇降機構は、カップ体保持部３の昇降動作をガイドする昇降ガイド部材４３と、カップ体保持部３を昇降させる駆動機構としてのモータ・シリンダ機構４（以下、単にモータ・シリンダ４という）と、から構成されている。図４及び図５に示すように昇降ガイド部材４３はカップ体支持部材３１の移動方向をガイドできるようにカップ体支持部材３１と固定部材３４との間に一組ずつ介設されている。

モータ・シリンダ４は、図５に示すように、シリンダロッド４２と、このシリンダロッド４２を軸方向に往復運動させるモータを備えた筐体部４１とから構成され、図示しない電源から供給される電力を利用してカップ体保持部３を昇降させるアクチュエータとしての役割を果たす。モータ・シリンダ４は、既述の昇降ガイド部材４３の移動方向と、シリンダロッド４２の移動方向とが平行となるように例えば固定部材３４の一方側（本実施の形態では、図３の図面に向かって手前側）に設置されている。また、このモータ・シリンダ４の設置された他方側の固定部材３４には、上述のモータ・シリンダ４の動作に従動するように構成されたシリンダロッド４２とこれを収める筐体部４１とが設置されている。各シリンダロッド４２は連結部材３３の下面にその頂部が固定されており、モータ・シリンダ４側のモータによる往復運動によって筐体部４１に対して突没し、連結部材３３を突き上げたり引き降ろしたりすることによって、液受け機構を含むカップ体保持部３全体を昇降させることができるようになっている。そして、シリンダロッド４２が筐体部４１内に没入した状態では、カップ体２を装着位置にて保持する「第１の位置」、シリンダロッド４２が筐体部４１より最も高くまで突き出た状態では、カップ体２を後述する「第３の位置」に移動可能な「第２の位置」に夫々カップ体保持部３を位置させるように、シリンダロッド４２の長さやその往復距離を設定してある。また本実施の形態において「第２の位置」は、処理空間１０ａ内の他の機器（例えばスピンチャック１１等）と干渉せずにカップ体２を搬出入可能な高さ位置に設定されている。

さらに、カップ体２をカップ体保持部３の昇降方向と略直角に移動させる水平移動機構について説明する。水平移動機構４３は、カップ体支持部材３１を挟んで対向する位置にて連結部材３３と連結されており、スライダ４４とレール４５とから構成される。この場合、水平移動機構４３は、連結部材３３に固定され、この連結部材３３と直交する方向に延在するレール４５と、カップ体支持部材３１に固定され、レール４５の案内溝４５ａに摺動自在に嵌合するスライダ４４とで構成されている。

水平移動機構４３はこれにより、記述の第１の位置と第２の位置との間でカップ体保持部３を昇降させることに加えて、当該第２の位置と、この第２の位置からカップ体２の横方向（オペレータによる引き出し方向に略水平）に移動した第３の位置との間でカップ体保持部３を移動させることができる。すなわち、水平移動機構４３のレール４５をスライドするスライダ４４を、カップ体２やカップ体支持部材３１と一緒にレール４５から引き出すことによって、カップ体２を搬出できる構造となっている。

次に、液受け機構の構成ついて説明する。液受け機構は、液受け部材４６、固定ピン４７及び固定ピン支持部材４８とを具備する。液受け部材４６はドレインポート２６から排出された薬液（廃液）を貯留する受け皿５０と、受け皿５０とカップ体支持部材３２を連結するステー５１で構成されている。図６Ａ及び図６Ｂに示すように、ステー５１はカップ体支持部材３１の下面に設けられた回転軸３１ｂに回転自在に枢着されると共に、回転軸３１ｂとステー５１に係止する捩りコイルばね４９を介して取り付けられている。これにより、液受け部材４６の受け皿５０は常時液受け位置に弾性力が付勢された状態となっている。また、固定ピン４７は、連結部材３３にビス等で固定された固定ピン支持部材４８の先端部に立設して取り付けられており、昇降ガイド部材４３を介した連結部材の昇降に連動して昇降するようになっている。

ここで、図６Ａはカップ体２が第１の位置もしくは第２の位置にあるときを示し、図６Ｂはカップ体２が第２の位置から第３の位置へ移動を開始した直後を示した図である。図６Ａにおいて、液受け部材４６はドレインポート２６の直下から離れたドレインポート２６とドレイン管５２の接続の妨げにならない位置（以下、退避位置）に退避している。一方、図６Ｂにおいて、液受け部材４６はドレインポート２６の直下においてドレインポート２６から排出された薬液を貯留できる位置（以下、液受け位置）に位置している。

次いで、退避位置と液受け位置の移動に際しての液受け機構の作用について説明する。ここで、第３の位置から第２の位置へカップ体２を移動させようとすると、その移動途中で固定ピン４７と液受け部材４６のステー５１が当接する。さらに第２の位置の方向へカップ体２をスライドさせると、捩りコイルばね４９によって液受け位置に位置しようとする力が加えられていながらも、捩りコイルばね４９の付勢力に抗して液受け部材４６は相対的に固定ピン４７に押し込まれるようにして回転軸３１ｂを中心に回動して退避位置に位置する。ここで、固定ピン４７は液受け部材４６を退避位置に係止させる役割を果たす。逆に、第２の位置から第３の位置へカップ体２を移動させる際は、液受け部材４６は捩りコイルばね４９の付勢力によって液受け位置へと回動する。

以上、本実施の形態によれば以下のような効果がある。定期的な洗浄や補修作業のためにカップ体２を第３の位置へ移動させる際に、カップ体２に残留している薬液（廃液）がドレインポート２６から漏出することを防止することができる。一方、第１の位置へカップ体２を移動させる際は、上述の機構により液受け部材４６は退避位置へ移動するためドレインポート２６とドレイン管５２との接続を液受け部材４６が妨げることがない。

なお、受け皿５０とステー５１はビス等で締結されており、着脱可能となっている。この場合、図７に示すように、受け皿５０に固定されたアングル状の取付ブラケット５０ａの水平部に設けられた取付孔５０ｂを貫通する固定ボルト５３を、ステー５１に設けられたねじ孔５１ａにねじ結合して、受け皿５０とステー５１とを連結する。また、固定ボルト５３とねじ孔５１ａとのねじ結合を解除することにより、受け皿５０とステー５１とを分解することができる。本構成により、受け皿５０を洗浄することが容易になる。

また、固定ピン４７及びステー５１の少なくとも一方は、例えばＰＯＭ（ポリアセタール）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）またはＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等の合成樹脂で構成されているのが好ましい。本構成により、固定ピン４７とステー５１の双方が金属材料である場合に比べて、固定ピン４７とステー５１が当接した際のパーティクルの発生を軽減できる。

また、受け皿５０の形状は、ドレインポート２６の端部の投影領域を覆う形状が好ましい。本構成により、ドレインポート２６から排出された薬液をもれなく貯留することができる。

また、受け皿５０に、例えばスポンジ等の液吸収部材５２を備えてもよい。本構成により、薬液を吸収している液吸収部材５２を受け皿５０から取り出し廃棄することによって、上述のように受け皿５０を取り外さなくても薬液の廃棄が完了する。

また、図８に示すように、カップ体支持部材３１に例えばフォトインタラプタなどの検知手段６０を備えてもよい。検知手段６０は発光部６１と、受光部６２と、図示しない送信部で構成される。発光部６１から射出された光が受光部６２にて受光するまでの光軸上に、液受け部材４６が回動する経路が存在し、液受け部材４６の回動によって光が遮断されることにより、液受け部材４６が正しく動作していることを検知し、その結果を図示しない送信部が図示しない表示部へ送信する。本構成により、カップ体２を第３の位置へ移動させた際に液受け部材が液受け位置に位置しているか、または、カップ体２を第１もしくは第２の位置へ移動させた際に液受け部材が退避位置に位置しているかをオペレータが認識することができ、液受け機構の不具合による薬液の大量漏出を軽減させることができる。

なお、上記実施形態では本考案に係る液処理装置をレジスト液塗布ユニットに適用した場合について説明したが、上記の実施態様に限定されるものではなく、レジスト液塗布ユニット以外の液処理装置にも適用できる。

Ｗ ウエハ
１ 液処理装置
２ カップ体
３ カップ体保持部
４ モータ・シリンダ（モータ・シリンダ機構）
６ 制御部
１１ スピンチャック（基板保持部）
１３ スピンチャックモータ（駆動機構）
１５ 供給ノズル
２６ ドレインポート（廃液孔）
３１ カップ体支持部材
３２ 押さえ部材
４３ 水平移動機構
４４ スライダ
４５ レール
４６ 液受け部材
４７ 固定ピン
４９ 捩りコイルばね
５０ 受け皿
５１ ステー
５２ 液吸収部材
５３ 固定ボルト
６０ 検知手段
６１ 発光部
６２ 受光部

Claims (7)

1. 筐体内の基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を供給して、基板の表面を液処理する液処理装置において、
   前記基板保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられ、前記筐体内の基体に上方から着脱自在に装着されるカップ体と、
   このカップ体を下面から支持するカップ体支持部材と、
   前記カップ体が基体に装着される第１の位置と、この第１の位置よりも上方側の第２の位置と、の間で前記カップ体支持部材を移動させる昇降機構と、
   前記第２の位置から水平方向に前記カップ体支持部を第３の位置まで移動させる水平移動機構と、
   前記カップ体に設けられ処理液の廃液を排出する廃液孔の下方に移動自在に構成される液受け機構と、を備え、
   前記液受け機構は、前記廃液孔から排出された廃液を貯留する受け皿と、この受け皿と前記カップ支持部材を連結するステーとで構成される液受け部材を備え、
   前記カップ体支持部材を前記第２の位置から第３の位置まで移動させる間に前記液受け部材は廃液孔の直下である液受け位置に回動し、前記カップ体支持部材を前記第３の位置から第２の位置まで移動させる間に前記液受け部材は廃液孔の直下を避けた退避位置に回動する、ことを特徴とする液処理装置。
2. 前記受け皿と前記ステーは着脱可能に形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
3. 前記液受け機構は、固定ピンと、ばね部材と、を備え、
   前記固定ピンは、前記カップ体支持部材を第３の位置から第２の位置まで移動させる間に、前記ステーと当接しながら前記液受け部材を退避位置へ回動させた後、前記ステーを退避位置に固定し、
   前記ばね部材は、前記カップ体支持部材を第２の位置から第３の位置まで移動させる間に、前記液受け部材が液受け位置へ回動するよう付勢力が調整されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液処理装置。
4. 前記固定ピン及び前記ステーの少なくとも一方は合成樹脂で形成されている、ことを特徴とする請求項３に記載の液処理装置。
5. 前記受け皿は、前記廃液孔の投影領域を覆う形状に形成されている、ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液処理装置。
6. 前記受け皿は、この受け皿に対して取り外し可能な液吸収部材を備える、ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液処理装置。
7. 前記液受け部材の液受け位置と退避位置との移動を検知する検知手段を備える、ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液処理装置。

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