JP4830962B2 - 液処理装置、カップ体の着脱方法及び記憶媒体 - Google Patents

Description

本発明は、例えば半導体ウエハや液晶ディスプレイ用のガラス基板（ＬＣＤ基板）といった基板に対し例えばレジスト液等の処理液を供給する液処理装置に組み込まれるカップ体を脱着する技術に関する。

半導体製造工程の一つであるフォトレジスト工程においては、基板例えば半導体ウエハ（以下、「ウエハ」という）の表面にレジスト液を塗布し、露光した後、現像液により現像して表面にマスクパターンを形成する処理を行っている。このような処理は、一般にレジストの塗布・現像を行う塗布、現像装置に、露光装置を接続したシステムを用いて行われている。

レジスト液や現像液等、処理液の一つである塗布液をウエハの表面に塗布する液処理の一つにスピンコーティング法がある。この手法を用いた液処理装置１の概略について図１を用いて簡単に説明しておく。先ず、ウエハＷをスピンチャック１１上に略水平に保持し、供給ノズル１５をウエハＷの表面と対向する位置に設定した状態にて、図示しない供給路を介して送られてくる塗布液を供給ノズル１５から吐出してウエハＷ表面中央部に供給する。そして、当該ウエハＷを鉛直軸回りに回転させることにより発生する遠心力を利用してウエハＷの表面全体に塗布液を広げ、塗布膜を形成することにより塗布を行う。

スピンチャック１１の周囲には、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの側方を囲むように、塗布液の飛散を抑えるための筒状のカップ体２を設置してあり、液処理装置１の処理空間１０ａからカップ体２内部を介して外部へと排気される気流が形成されている。これにより、液処理の際にウエハＷから飛散した塗布液はミストの状態で気流と共に排気ポート２５より排出され、またカップ体２内で捕集されてドレインとしてドレインポート２６より排出される。

このようにしてカップ体２内を通過する塗布液は、その一部がカップ体２内部に付着して固化・堆積し、ミストやドレインの排出経路を塞いで気流の排気効率を低下させ、ウエハＷから飛散した塗布液を十分に排出できなくしてしまう場合がある。そこでカップ体２を液処理装置１より取り外して洗浄すると共に、代わりのカップ体２を装着する作業が例えば１週間に１度等のペースで定期的に行われる。

ところで、レジスト塗布ユニットや現像ユニット等に上述の液処理装置１を適用した塗布、現像装置は、処理効率向上のためこれらの処理ユニットを複数備えると共に、塗布、現像装置のフットプリントを低減するためコンパクトなサイズの処理ユニットを複数段積層した構成となっており、更にウエハＷの大口径化に伴いカップ体２も大型化している。このような構成の塗布、現像装置に設置された液処理装置１からカップ体２を搬出入する作業は、狭い空間の中で重いカップ体２を取り扱わなければならず困難であるばかりでなく、バランスを崩してスピンチャック１１や供給ノズル１５等にカップ体２をぶつけると、これらの機器を破損してしまうおそれがあった。

また図１にて説明したように、一般的なカップ体２は塗布液のミストやドレインを排出するための排気ポート２５やドレインポート２６をその底面に備えている。このためカップ体２を液処理装置１に装着する際には、カップ体２を筐体１０内に搬入し、上述の各ポート２５、２６と液処理装置１側の排気管５１やドレイン管５２との位置合わせを行い、その位置でカップ体２を下に降ろしてこれらの配管５１、５２に各ポート２５、２６を接続する作業が必要となる。また、カップ体２を取り外す際にもカップ体２内部に残っている塗布液を周囲にこぼさないようにドレインポート２６を手で押さえたりしながらカップ体２を持ち上げ、筐体１０から搬出する作業が必要となり、これらの昇降作業は特に面倒な作業であった。

このような問題に対し特許文献１には、上面の開口した箱状の収納容器内にカップ体２やスピンチャック１１を収納し、この収納容器の下方に敷設されたレール上に沿って筐体１０内から収納容器を引き出す構造の液処理装置が記載されている。この技術では、収納容器を筐体１０から引き出すことで広い場所での作業を可能にしカップ体２の着脱作業の容易化を図っているが、カップ体２の下にレールを敷設することは筐体１０をコンパクト化する際の阻害要因となる。また本技術は、カップ体２の着脱作業の中でも特に面倒なカップ体２の昇降作業を容易にする技術でもない。
特開２００２−２８０２９６号公報：請求項１〜２、００７０段落、００５６段落

本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、基板の表面に供給ノズルから処理液を供給して液処理を行う液処理装置において、この液処理装置に装着されるカップ体の着脱の容易な液処理装置、カップ体の着脱方法及びこの着脱方法を記憶した記憶媒体を提供することにある。

本発明に係る液処理装置は、筐体内の基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を供給して、基板の表面を液処理する液処理装置において、
前記基板保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられ、前記筐体内の基体に上方から着脱自在に装着されたカップ体と、
このカップ体を着脱自在に保持するカップ体保持部と、
前記カップ体が基体に装着される第１の位置と、この第１の位置よりも上方側の第２の位置と、の間で前記カップ体保持部を昇降させる昇降機構と、を備えることを特徴とする。
ここで、前記カップ体保持部は、カップ体を横方向に着脱自在に保持するように構成されていることが好適であり、前記第２の位置は、カップ体を前記カップ体保持部から取り外したときにそのまま他の機器と干渉せずに筐体の側壁の開口部から外に取り出せる高さ位置に設定されていると更によい。更には、前記第２の位置と、この第２の位置から横方向に移動した第３の位置との間で前記カップ体保持部を移動させる移動機構を更に備えるように構成してもよい。

また前記カップ体は複数のリング部材を重ね合わせて組み立てられ、前記カップ体保持部は、前記リング部材が正しく組み立てられた場合に限り、前記カップ体を上下から挟持して当該カップ体を保持できるように構成されていることが好ましく、前記カップ体保持部は、カップ体を上下方向に挟圧するための弾性体を更に備えているとよい。

この他、上述の各液処理装置は、前記カップ体内を排気するための排気管に接続される排気ポートと、前記カップ体内に落ちた液体を排出するための廃液管に接続される廃液ポートと、が前記カップ体の底面に設けられ、前記カップ体保持部は、前記排気ポートと前記廃液ポートとの少なくとも一つの位置を規制することにより前記カップ体を周方向に位置決めするための規制部材を備えているとよい。ここで前記規制部材は、前記カップ体の装着時には規制位置にて前記排気ポートと前記廃液ポートとの少なくとも一つの位置を規制し、当該カップ体の取り外し時には開放位置に移動するように構成され、前記規制部材が前記規制位置に到達したことを検知する位置センサと、この位置センサによる検知結果に基づいて前記カップ体が前記カップ体保持部に正しく装着されたか否かを判断する装着判断手段と、この装着判断手段による判断の結果を報知する報知手段と、を更に備えるように構成するとよい。
また、前記カップ体内に落ちた液体を排出するための廃液管に接続される廃液ポートが前記カップ体の底面に設けられ、前記カップ体保持部は、前記廃液管から取り外された廃液ポートを塞ぐ液受け機構を備えるように構成してもよい。

前記昇降機構により前記第２の位置から前記第１の位置へと前記カップ体保持部を下降させる下降動作において、前記カップ体保持部が前記第１の位置に到達したか否かを検知する検知センサと、この検知センサにより検知されなかったときに、前記カップ体が液処理装置に装着されなかったと判断する判断部と、を更に備えていてもよい。この場合には、前記判断手段による判断結果を報知するための報知手段を更に備えていることが好ましい。

また本発明に係るカップ体の着脱方法は、筐体内の基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を供給して、基板の表面を液処理する液処理装置に装着されるカップ体の着脱方法において、
前記基板保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられ、前記筐体内の基体に上方から着脱自在に装着されるカップ体をカップ体保持部に着脱自在に保持する工程と、
前記カップ体が基体に装着される第１の位置と、この第１の位置よりも上方側の第２の位置と、の間で前記カップ体保持部を昇降させる工程と、を含むことを特徴とする。
ここで前記カップ体保持部は、カップ体を横方向に着脱自在に保持するように構成されていることが好ましく、前記第２の位置は、カップ体を前記カップ体保持部から取り外したときにそのまま他の機器と干渉せずに筐体の側壁の開口部から外に取り出せる高さ位置に設定されていると更によい。また、前記第２の位置と、この第２の位置から横方向に移動した第３の位置との間で前記カップ体保持部を移動させる工程を更に含むことがより好ましい。

ここで前記カップ体は、複数のリング部材を重ね合わせて組み立てられ、前記カップ体保持部に保持する工程においては、前記リング部材が正しく組み立てられた場合に限り、前記カップ体を上下から挟持して当該カップ体を保持できるように前記カップ体保持部が構成されていることが好適であり、前記カップ体保持部は、カップ体を上下方向に挟圧するための弾性体を備えていることが好ましい。

当該カップ体内を排気するための排気管に接続される排気ポートと、前記カップ体内に落ちた液体を排出するための廃液管に接続される廃液ポートと、が前記カップ体の底面に設けられ、前記カップ体を前記カップ体保持部に保持する工程においては、前記カップ体保持部に設けられた規制部材により、前記排気ポートと前記廃液ポートとの少なくとも一つの位置を規制することにより前記カップ体を周方向に位置決めするように当該カップ体を保持してもよい。ここで前記規制部材は、前記カップ体の装着時には規制位置にて前記排気ポートと前記廃液ポートとの少なくとも一つの位置を規制し、当該カップ体の取り外し時には開放位置に移動するように構成され、前記規制部材が前記規制位置に到達したことを検知する工程と、この検知工程による検知結果に基づいて前記カップ体が前記カップ体保持部に正しく装着されたか否かを判断する工程と、この判断工程における判断の結果を報知する工程と、を更に含むとよい。
この他、前記カップ体内に落ちた液体を排出するための廃液管に接続される廃液ポートが前記カップ体の底面に設けられ、
前記カップ体保持部を昇降させる工程においては、このカップ体保持部に備えられた液受け機構により前記廃液管から取り外された廃液ポートを塞ぐようにしてもよい。

第２の位置から前記第１の位置へと前記カップ体保持部を下降させる下降動作において、前記カップ体保持部が前記第１の位置に到達したか否かを検知する工程と、この検知工程にて前記カップ体保持部の前記第１の位置への到達を検知しなかったときに前記カップ体が液処理装置に装着されなかったと判断する工程と、を更に含んでもよく、この場合には前記カップ体の装着を判断する工程における判断結果を報知する工程を更に含んでもよい。

また本発明に係る記憶媒体は、筐体内の基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を供給して、基板の表面を液処理する液処理装置に用いられるプログラムを格納した記憶媒体であって、上述したカップ体の着脱方法を実行するためにステップが組まれていることを特徴とする。

本発明によれば、液処理装置に装着されるカップ体を、その装着位置と、このカップ体を搬入出できる位置との間で昇降させる昇降機構を備えているので、オペレータがこれらの作業を行う必要がなくなり、カップ体の着脱作業が容易化される。

本発明に係る液処理装置をウエハＷに対して塗布液であるレジスト液をスピンコーティングにより塗布する塗布ユニットに適用した実施の形態について説明する。初めに液処理装置１の概要について図１、図２を参照しながら説明する。図１は実施の形態に係る液処理装置１の縦断面図であり、図２（ａ）はその平面図である。

液処理装置１は、例えば直方体の筐体１０を有しており、その内部が液処理の行われる処理空間１０ａとなっている。液処理装置１は筐体１０内に処理対象のウエハＷを載置するスピンチャック１１と、ウエハＷ表面にレジスト液を供給する供給ノズル１５と、ウエハＷ周縁部に塗布されたレジスト液を除去するためのリンスノズル１７と、ウエハＷ表面から飛散したレジスト液のミスト等の飛散を抑えるためのカップ体２とを備えている。

スピンチャック１１は、ウエハＷの裏面側中央部を吸引吸着して水平に保持するための基板保持部としての役割を果たす。スピンチャック１１は軸部１２を介して駆動機構（スピンチャックモータ）１３に接続されており、スピンチャック１１はこのスピンチャックモータ１３によってウエハＷを保持した状態で回転及び昇降自在に構成されている。スピンチャック１１の側方には、昇降機構１４ａと接続された昇降ピン１４がウエハＷの裏面を支持して昇降可能なように設けられており、後述する搬送手段（メインアームＡ１、Ａ２）との協同作用によって筐体１０の外部から搬入されてきたウエハＷの受け渡しを行えるようになっている。ここで、図中の１０ｂは搬送手段（メインアームＡ１、Ａ２）に臨む面に形成されたウエハＷの搬入出口である。

供給ノズル１５は図示しない供給ユニットから送液されてきたレジスト液をスピンチャック１１に保持されたウエハＷ表面に供給する役割を果たす。供給ノズル１５は、基台１６ａに支持されており、この基台１６ａは図１に示したＺ方向に昇降自在、また基台１６ａの基部に設けられたガイドレール１６ｂによりＸ方向に移動自在に構成されている。これらの構成により供給ノズル１５は、例えばホームポジション（図２（ａ）に示すガイドレール１６ｂの左端の位置）から移動してスピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面の例えば中央部と対向し、その表面にレジスト液を吐出することができる。

リンスノズル１７は、ウエハＷに塗布されたレジスト膜の周縁部の剥がれ等を防止するため、レジスト膜を除去するリンス液をウエハＷ周縁部に供給する役割を果たす。リンスノズル１７は、図２（ｂ）の側面図に示すように鉤状に屈曲した形状のノズルを逆さにした状態で駆動部１８に取り付けられており、鉛直方向に昇降自在、鉛直軸回りに回転自在に構成されている。リンスノズル１７は例えば図２（ａ）に示すように、供給ノズル１５のホームポジションに対してスピンチャック１１を挟んでＸ方向に反対側に設置されており、サイドリンスを行っていないときには、図中に破線で示したホームポジションにて待機し、サイドリンス中は駆動部１８を駆動してスピンチャック１１に保持されたウエハＷの周縁部と対向する位置までリンスノズル１７の先端部を移動させリンス液を吐出できるようになっている。

更に液処理装置１は各機器の動作を統括制御する役割を果たす制御部６を備えており、この制御部６にはスピンチャック１１のスピンチャックモータ１３や基台１６ａ等が接続されている。なお制御部６は、本実施の形態に係る液処理装置１を塗布ユニットとして備える塗布、現像装置全体の動作を統括制御する機能も備えている。

次に、カップ体２について図１、図２を参照しながら説明する。カップ体２は、スピンコーティング等の際にウエハＷを回転させることによってウエハＷから飛散したミストが処理空間１０ａ内に飛び散るのを抑え、液処理装置１外にミストやドレインを排出する役割を果たす。カップ体２は、図１に示すようにレジスト液のドレインを受ける液受け部となるアンダーカップ２ｃと、レジスト液のドレインをこのアンダーカップ２ｃへ案内するためのインナーカップ２ｂと、このインナーカップ２ｂとの間に気流の流路を形成しカップ体２のカバーとなるアッパーカップ２ａと、からなる３つのリング部材を下方からこの順番に重ね合わせてなり、組み立て後にはドーナツ状の円筒が形状されるように構成されている。

以下、組み立て後のカップ体２の構成について説明する。図１に示すように、アッパーカップ２ａとインナーカップ２ｂとの間には開口部２１ａが形成されている。開口部２１ａはアッパーカップ２ａとインナーカップ２ｂとの間に形成される流路にレジスト液のミストを含んだ気流（図１中に実線の矢印で示してある）を取り込む役割を果たす。カップ体２は、例えば図１に示すようにスピンチャック１１に保持されたウエハＷの周縁外側に開口部２１ａを位置させるように液処理装置１に装着される。

またスピンチャック１１に保持されたウエハＷの周縁部下方には、断面が「への字」状のリング部材２２を設けてあり、このリング部材２２の外端面には、カップ体２底部の液受け部２４に進入するように下方に伸びる端板２３が設けられている。これによりウエハＷから飛散したレジスト液の一部はドレインとしてリング部材２２及び端板２３の表面を伝って液受け部２４に案内されるようになっている。なお、これらリング部材２２と端板２３とは、上述のインナーカップ２ｂにより構成されている。

カップ体２の下部側は、上述のアンダーカップ２ｃにより構成される液受け部２４となっており、その底部には液受け部２４に溜まったレジスト液のドレインを排出するためのドレインポート２６と、カップ体２内を通流した気流を排気するための例えば２つの排気ポート２５とが設けられている。図１に示すように夫々のポート２５、２６は各々排気管５１、ドレイン管５２に接続され、レジスト液のドレイン及びミストを含む気流が液処理装置１から排出されるようになっている。ここで排気ポート２５は、図１に示すように液受け部２４内の上方に延伸されており、液受け部２４から排気管５１へのドレインの溢流を防ぐための溢流防止壁２４ａを構成している。なお各ポート２５、２６は、夫々排気管５１、ドレイン管５２に嵌入可能な形状を有しており、位置合わせを行ってからカップ体２を押し込むだけで各ポート２５、２６と配管５１、５２とが嵌合して接続される構造となっている。また、各ポート２５、２６は、三角形の頂点を形成するようにカップ体２の底面に配置されているが（図５参照）、図示の便宜上図１においてはこれらのポート２５、２６を直列に配置して示してある。

またカップ体２と対向する筐体１０の天井部にはフィルタユニット１９が取り付けられており、フィルタユニット１９から例えば清浄空気を所定流量で供給することにより、処理空間１０ａ内に清浄空気のダウンフローが形成されるようになっている。清浄空気の一部は、処理空間１０ａ内に設けられた図示しない排気部より排気されるが、残りの清浄空気は開口部２１ａからカップ体２内に取り込まれ、図１のカップ体２断面図内に矢印で示したような気流を形成して排気ポート２５から排出されるようになっている。なお１０ｃは、カップ体２を筐体１０から搬出入する際に取り外される蓋体である。

以上の構成に基づいて液処理装置１による液処理の動作について簡単に説明する。外部の搬送手段によって搬入出口１０ｂより処理空間１０ａ内に搬入されたウエハＷは、昇降ピン１４により裏面側を支持され、搬送手段を処理空間１０ａ外へ退避させて昇降ピン１４を下降させることによりスピンチャック１１に受け渡される。そして基台１６ａを移動させ、スピンチャック１１上に保持されたウエハＷの中央部上方に供給ノズル１５を位置させてレジスト液を吐出する。

このようにしてウエハＷ表面にレジスト液を滴下した後、スピンチャック１１を例えば１０００ｒｐｍの回転数で例えば約２秒間回転させることによりウエハＷの径方向に広げるスピンコーティングを行う。続けてスピンチャック１１を例えば２５００ｒｐｍの回転数で例えば３０秒間回転させることによりコーティングしたレジスト液の振り切り乾燥を行う。しかる後、リンスノズル１７よりウエハＷの周縁部にリンス液を塗布し、スピンチャック１１を例えば１５００ｒｐｍの回転数で例えば８秒間回転させることでウエハＷ周縁部に塗布したレジスト膜を除去する。更にこの後、スピンチャック１１を例えば２０００ｒｐｍの回転数で例えば５秒間回転させることでリンス液の振り切り乾燥を行って液処理を完了する。レジスト液の塗布されたウエハＷは、ウエハＷを搬入したときとは逆の順序で搬送手段に受け渡され液処理装置１から搬出される。

上述したスピンチャック１１の回転によりウエハＷから飛散したミストは、カップ体２内を流れる気流に乗って排気ポート２５より排気管５１へと排出される。また、ウエハＷより振り切られたり、流路の壁面上でミストから成長したりした液滴はドレインとなってリング部材２２や端板２３等を伝わり、液受け部２４内に溜まった後ドレインポート２６を介してドレイン管５２へと排出される。

ここで本実施の形態に係るカップ体２は、図１、図２に示すように、その下面を支持する支持部材３１と上面を押さえる押さえ部材３２とからなるカップ体保持部により保持されている。そして、背景技術において説明した定期的な洗浄作業等に際して、これらのカップ体保持部を昇降させることにより、カップ体２をその装着位置（第１の位置）と、オペレータが液処理装置１からの搬出入作業を行う位置（第２の位置）との間で移動させることができるようになっている。以下、図３〜図５を用いてこれらカップ体保持部とその昇降機構について詳述する。

図３はカップ体２をカップ体保持部３に取り付けた状態を示す斜視図であり、図４はカップ体２をカップ体保持部３から取り外して搬出入する際の状態を示す斜視図である。また図４は、カップ体２取り付けた状態のカップ体保持部３を底面側から見た斜視図である。なお図示の便宜上、図３以降の図においては、図１、図２にて説明したカップ体２の構成を簡略化して記載してある。

図３、図４に示すように、カップ体保持部３はカップ体２の底面を支持する支持部材３１と、この支持部材３１に対向しカップ体２の上面を押さえる押さえ部材３２と、これら支持部材３１と押さえ部材３２とを連結する連結部材３３とから構成され、カップ体２をこれらの部材３１、３２で挟持できるようになっている。

支持部材３１及び押さえ部材３２は各々平面形状が概ねコ字型に近い形状を有する板材であって、左右が塗布、現像装置の外側へ向けて伸び出し、この伸び出し部分にてカップ体２を上下から挟持するようになっている。支持部材３１左右の伸び出し部分及び左側伸び出し部分の基端部には、その内縁が排気ポート２５やドレインポート２６の外周面に対応する切り欠き部であるポート受け部３１ａが設けられている。また図５に示すように夫々のポート受け部３１ａの直ぐ下方には各ポート２５、２６の外周面に対応する形状の円弧部分を有する弾性体であり、規制部材として機能するバネ部材３５がポート受け部３１ａより若干内側に飛び出した状態で、且つこれらのポート２５、２６を側面から押さえつける方向に付勢された状態で取り付けられている。そこで、夫々のバネ部材３５に各ポート２５、２６の位置を合わせてカップ体２を水平方向に押し込むと、各バネ部材３５が拡開して、バネ部材３５の先端部が各ポート２５、２６の周面を案内し、夫々のポート２５、２６と対応するバネ部材３５の円弧部分とを嵌合させる。更に２つのバネ部材３５が復元しようとして各ポート２５、２６を挟圧することにより、各ポート２５、２６の位置を規制してカップ体２を周方向に位置決めすることができる。

押さえ部材３２は支持部材３１上に載置されたカップ体２を上から押さえて固定する役割を果たす板材であって、図３、図４に示すように押さえ部材３２の先端縁はカップ体２の開口縁の曲率に対応した曲率の円弧縁部として形成され、カップ体２の開口縁に沿った起立縁２１ｂがこの円弧縁部に嵌合した状態で規制されるように構成されている。また上述のように、カップ体２底面に設けられた各ポート２５、２６が、バネ部材３５の円弧部分に夫々適合して規制されることによりカップ体２の位置決めがされ、カップ体２を下降したとき、各ポート２５、２６と排気管５１、ドレイン管５２とを嵌合させてカップ体２を正しい位置に装着できる。

押さえ部材３２にはカップ体２の上面を下方へ押さえつける方向へ付勢された弾性体である４つの板バネ３２ａが取り付けられており、支持部材３１上に載置されたカップ体２を確実に固定することができるようになっている。なおこれらの板バネ３２ａは付勢量を調整してあり、アッパーカップ２ａ、インナーカップ２ｂ等のいずれかの部材がカップ体２に正しく組み込まれていない場合には板バネ３２ａでカップ体を固定することができず、カップ体保持部３にカップ体２を保持できなくなってしまうようになっている。

支持部材３１と押さえ部材３２とは、図４に矢印で示したカップ体２を搬出入する方向（以下メンテナンス方向という）から見て左右両端部において連結部材３３により連結されている。２本の連結部材３３により連結された２枚の板材３１、３２は、略平行な状態で上下に対向し、この間にカップ体２を挟みこめるようになっている。ここで支持部材３１と押さえ部材３２との対向する間隔は、例えばアッパーカップ２ａとアンダーカップ２ｃとの予め定められた３つの部材が全て組み込まれている場合に限り安定してカップ体２を保持できるようになっている。即ち、例えばアッパーカップ２ａを組み込むのを忘れてしまった場合には、カップ体２の高さが支持部材３１、押さえ部材３２の間隔よりも低くなってしまうため、板バネ３２ａによりカップ体２を押さえつけることができず、カップ体２を安定に保持することができないようになっている。またカップ体２は、図１に示すようにその側方から見た投影面が四角形となっており、同じく側方から見た投影面がコの字形のカップ体保持部３にて固定し易い形状となっている。なお、連結部材３３は支持部材３１と押さえ部材３２とによって挟持された状態のカップ体２と干渉しないような位置に取り付けられる。

これら支持部材３１、押さえ部材３２は、後述するモータ・シリンダ４や昇降ガイド部材４３を介して２本の固定部材３４に固定され、この固定部材３４をビス等で筐体１０の底面に締結することによりカップ体保持部３全体を液処理装置１（基体）に固定してある。図２に示すようにカップ体保持部３は、蓋体１０ｃを取り外したオペレータがカップ体２を搬出入する方向（メンテナンス方向）に対向してカップ体２を挟持する状態となるように液処理装置１に取り付けられている。

次にこのカップ体保持部３を昇降させる昇降機構について説明する。カップ体保持部３を昇降させる昇降機構は、カップ体保持部３の昇降動作をガイドする昇降ガイド部材４３と、カップ体保持部３を昇降させる駆動機構としてのモータ・シリンダ機構４（以下、単に「モータ・シリンダ４」という）と、から構成されている。図４に示すように昇降ガイド部材４３は支持部材３１の移動方向をガイドできるように支持部材３１と固定部材３４との間に一組ずつ介設されている。

モータ・シリンダ４は、後述する図７（ｂ）に示すように棒状のシリンダロッド４２とこのシリンダロッド４２を軸方向に往復運動させるモータを備えた筐体部４１とから構成され、図示しない電源から供給される電力を利用してカップ体保持部３を昇降させるアクチュエータとしての役割を果たす。モータ・シリンダ４は、既述の昇降ガイド部材４３の移動方向と、シリンダロッド４２の移動方向とが平行となるように例えば固定部材３４の一方側（本実施の形態では、図３の図面に向かって手前側）に設置されている。また、このモータ・シリンダ４の設置された他方側の固定部材３４には、上述のモータ・シリンダ４の動作に従動するように構成されたシリンダロッド４２とこれを収める筐体部４１とが設置されている。各シリンダロッド４２は押さえ部材３２の下面にその頭部を固定されており、モータ・シリンダ４側のモータによる往復運動によって筐体部４１を突没し、押さえ部材３２を突き上げたり引き降ろしたりすることによってカップ体保持部３全体を昇降させることができるようになっている。そして、シリンダロッド４２が筐体部４１内に没入した状態では、カップ体２を装着位置にて保持する第１の位置、シリンダロッド４２が筐体部４１より最も高くまで突き出た状態では、カップ体２を搬出入可能な第２の位置に夫々カップ体保持部３を位置させるように、シリンダロッド４２の長さやその往復距離を設定してある。また本実施の形態において「第２の位置」は、処理空間１０ａ内の他の機器（例えばスピンチャック１１等）と干渉せずにカップ体２を搬出入可能な位置に設定されている。

また既述の制御部６は、図２に示すようにモータ・シリンダ４とも接続されており、カップ体保持部３の昇降動作を制御したり、この昇降動作を検知してその結果をオペレータに通知したりすることができるようになっている。図６は、これらの動作に関して、制御部６とカップ体保持部３の昇降機構との電気的な関係を説明するためのブロック図である。制御部６は、本実施の形態に係る液処理装置１（塗布ユニット）を含む塗布・現像装置全体を統括制御する機能を備えたコンピュータとして構成されている。制御部６は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）６１と、プログラム格納部６２とを有している。

カップ体２の着脱に係る機能に関してモータ・シリンダ４は制御部６に接続されており、制御部６からモータ・シリンダ４へはカップ体保持部３を昇降させる動作を開始させるための動作命令が出力されるようになっている。一方、モータ・シリンダ４から制御部６へは昇降動作を停止したことを知らせるための停止信号を出力するようになっている。また、モータ・シリンダ４は、例えばシリンダロッド４２を筐体部４１に完全に没入させるとスイッチをオンとしてカップ体保持部３が第１の位置に到達したことを知らせる検知信号を制御部６に出力する検知センサ４５を備えている。

またプログラム格納部６２はモータ・シリンダ４を駆動させてカップ体保持部３を昇降させる動作やモータ・シリンダ４に設置された検知センサ４５からの信号に基づいてカップ体２が液処理装置１に装着されたか否かを判断する判断部としての動作を実行するためのステップ群を備えたコンピュータプログラム（「カップ体着脱管理プログラム」と示してある）を格納する役割を果たす。なお、プログラム格納部６２は、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスク、メモリーカード等の記憶手段により構成されている。

ここで、カップ体２が液処理装置１に装着されたか否かを判断する判断部の作用について説明する。判断部は、制御部６よりモータ・シリンダ４に動作命令を出力し、その後モータ・シリンダ４より停止信号を受信すると共に検知センサ４５から検知信号を受けた場合には、カップ体保持部３が第１の位置に到達して止まったと判断する。一方でモータ・シリンダ４より停止信号を受信したが、検知センサ４５からは検知信号を受け取らなかった場合には、カップ体保持部３が第１の位置に到達しないまま止まっているので、カップ体２を液処理装置１に正常に装着することができなかったと判断する。そして制御部６には表示操作部６３が接続されており、表示操作部６３は、判断部（制御部６）より取得した上述の判断結果に基づいて、例えばカップ体２の装着が正常に行われなかった旨の報知を行う報知手段として機能するようになっている。なお表示操作部６３は、ソフトスイッチを介してオペレータからの命令を受け付ける機能も備えている。

次に本実施の形態の作用について説明する。図７は、カップ体保持部３の昇降前後における処理空間１０ａ内の状態を説明するための概略の側面図である。図７（ａ）はカップ体２が液処理装置１に装着されている状態を示し、図７（ｂ）はカップ体２を筐体１０から搬出入可能な状態を示している。なお、これらの図では図示の便宜上昇降ピン１４や供給ノズル１５、フィルタユニット１９等の記載は省略してある。また図示の便宜上、モータ・シリンダ４の設置されている位置は、図３にて説明した位置とは反対側、即ち図７に向かって手前側に設置されているものとして表示してある。

液処理装置１からのカップ体２の着脱操作は、実施の形態に係る液処理装置１の停止している期間中、例えば塗布ユニットを備えた塗布、現像装置の停止期間中に行われる。カップ体２を搬出する前の状態においては図７（ａ）に示すように、カップ体保持部３はカップ体２を第１の位置で保持し、これにより排気ポート２５が排気管５１と接続され、また便宜上図示を省略したドレインポート２６はドレイン管５２と接続され、これによりカップ体２が液処理装置１に装着された状態となっている。

次いで例えばカップ体２の洗浄を行うため、図２に示した蓋体１０ｃを取り外してカップ体２を搬出入するためのカップ体搬出入口１０ｄを確保し、モータ・シリンダ４によりカップ体保持部３を第２の位置にまで上昇させて、図７（ｂ）に示すようにカップ体２を持ち上げる。これによりカップ体２をメンテナンス方向に引き出すだけで、スピンチャック１１を始めとする処理空間１０ａ内の他の機器と干渉せずにカップ体２を搬出することができる。なお、このときカップ体２とスピンチャック１１との干渉を防止するため、ウエハＷの受け渡し位置で待機しているスピンチャック１１をスピンチャックモータ１３によって下降させるように構成してもよい。

次いでオペレータは、洗浄のため搬出したカップ体２に替えて洗浄済みのカップ体２を、メンテナンス搬送方向から処理空間１０ａ内に搬入し、カップ体保持部３にカップ体２を保持させる。このとき図５に示したバネ部材３５によって２つの排気ポート２５を側面から押さえると共に起立縁２１ｂが規制されることによりカップ体２を正確な位置に固定する。なお図５によればカップ体２を１８０°回転させて、ドレインポート２６の位置が手前側になるようにしてもバネ部材３５で排気ポート２５を固定することができるが、このような状態ではドレインポート２６とドレイン管５２とを接続できなくなってしまう。そこで、上述のように間違った向きにカップ体２を取り付けた場合にはカップ体保持部３を第１の位置まで下降させることができないように、規制機構を更に設置してもよい。例えば規制機構は、間違った向きに取り付けられたカップ体２のドレインポート２６下方に相当する位置の筐体１０底面に、直方体状の突起物等を設置し、この突起物と、間違った位置に下降してきたドレインポート２６とを干渉させることにより、カップ体２を装着位置まで下降させることができなくなるように構成する場合等が考えられる。

カップ体保持部３にてカップ体２を保持したら、オペレータが表示操作部６３上の所定のソフトスイッチを押下してモータ・シリンダ４を作動させてカップ体保持部３を第１の位置まで下降させ、図７（ａ）に示すように新たなカップ体２を液処理装置１に装着する。この場合には、モータ・シリンダ４からの停止信号と検知センサ４５からの検知信号との２つの信号を取得することによってカップ体２が正しく液処理装置１に装着されたことを判断できる。これに対して検知センサ４５からの検知信号を取得していないにも係らずモータ・シリンダ４からの停止信号を得た場合には、カップ体２の装着を失敗したものと判断し、その旨を表示操作部６３に表示してオペレータに報知する。カップ体２の装着を終えると、オペレータが蓋体１０ｃを取り付けて液処理装置１は使用可能な状態となる。

本実施の形態によれば以下のような効果がある。液処理装置１に装着されるカップ体２を、その装着位置と、液処理装置１内の他の機器と干渉せずにこのカップ体２を搬入出できる位置との間で昇降させるカップ体保持部３を備えているので、オペレータがカップ体２を手に持って昇降させる動作を行わずに済む。従来オペレータは、例えばカップ体２の搬入時においてはカップ体２を手に持って筐体１０内に搬入した後、スピンチャック１１等の機器と筐体１０壁部との狭い空間を、カップ体２が他の機器にぶつからないようにしながら下に降ろし、手先の感覚により排気ポート２５と排気管５１と等の位置合わせを行いつつカップ体２を装着するという困難な作業を行っていた。また手先の様子を目で確認するためには、カップ体２を持ったまま筐体１０内を覗き込むといった無理な姿勢をとらなければならなかった。これに対して本実施の形態では、カップ体２の昇降作業を行わなくてよいので、オペレータは水平方向にカップ体２を移動させてカップ体保持部３に着脱するだけでよく、上述の困難な作業が省略されオペレータの作業負荷が大幅に軽減される。

また、カップ体２が予め定められたアッパーカップ２ａ、インナーカップ２ｂ等の部材で正しく組み立てられている場合に限り、支持部材３１と押さえ部材３２との間に安定してカップ体２を保持できるようにカップ体保持部３を構成している。このため、例えばアッパーカップ２ａを組み込み忘れた状態のカップ体２は、カップ体保持部３で保持することができないので、実施の形態に示したような複数の部材を組み立ててなるカップ体２の一部の部材の組み込み忘れを防止することができる。

更にカップ体２を保持するカップ体保持部３の支持部材３１には、２つの排気ポート２５を周方向に固定するためのポート受け部３１ａやバネ部材３５のような規制部材を備えているので、正しい方向に保持されたカップ体２が周方向に動いてしまうのを防止し、排気ポート２５やドレインポート２６を夫々排気管５１やドレイン管５２に正確に接続できる。なお、本実施の形態では２つの排気ポート２５を固定する構成としたが、固定するポート２５、２６の組み合わせはこの例に限定されない。正しい方向に保持されたカップ体２の排気ポート２５かドレインポート２６の中で少なくともいずれか１つ以上を固定するようにすればよい。

また液処理装置１は、カップ体保持部３の第１の位置への到達を確認するための検知センサ４５と、この検知センサ４５による検知結果に基づいてカップ体２が液処理装置１に装着されたか否を判断する判断部（制御部６の機能の１つである）とを備えている。この結果、正しい方向に載置されなかった等の理由でカップ体２を液処理装置１に装着できなかった場合には、この状態を把握することができ、報知手段である表示操作部６３を介してこの旨をオペレータに報知することができる。これによりオペレータは適切な対応を取ることが可能となり、カップ体２を装着しないまま液処理装置１の運転を開始してしまう等のトラブルを防ぐことができる。

また図８の拡大斜視図に示すように、カップ体２の昇降時にアンダーカップ２ｃ内に溜まっているレジスト液がドレインポート２６から漏出した場合にこれを受け止める液受け機構３６を設けてもよい。液受け機構３６は、例えばカム機構等によりカップ体保持部３の昇降動作と連動させて、カップ体保持部３を上昇させるときにドレインポート２６の昇降軌道から横に外れた退避位置からドレインポート２６の下に液受け機構３６をスライドさせ、カップ体保持部３を下降させるときにドレインポート２６の下から退避位置に液受け機構３６をスライドさせる等の構成を採用することによってカップ体２装着時にドレインポート２６とドレイン管５２との接続を液受け機構３６が邪魔してしまわないように構成するとよい。

また、カップ体保持部３のタイプも上述の実施の形態中に示した、支持部材３１と押さえ部材３２とでカップ体２を挟持するタイプのものに限定されない。例えば、押さえ部材３２を備えず、カップ体２の底面の形状と略同形状の支持部材３１のみでカップ体２を支持するタイプのカップ体保持部３であってもよい。

以上の実施の形態では、カップ体２を昇降させるための昇降機構を備えた構成の液処理装置１について説明したが、このような昇降機構に加えてカップ体２を搬出入する方向（メンテナンス方向）へ水平移動させる移動手段を備えた構成としてもよい。図９はこのような移動機構７を備えた第２の実施の形態に係る液処理装置を説明するための説明図である。図９（ａ）は、カップ体２を液処理装置に装着した状態で保持するカップ体保持部３（支持部材３１及び押さえ部材３２）と、このカップ体保持部３を移動させるための昇降機構（モータ・シリンダ４）及び移動機構７の斜視図である。また図９（ｂ）は、同機器について各機構４、７を作動させた後の斜視図である。

第２の実施の形態においては、モータ・シリンダ４のシリンダロッド４２の先端に、カップ体保持部３の昇降方向と略直角に移動機構７を取り付けてあり、この移動機構７にカップ体保持部３を固定してある。これにより、既述の第１の位置と第２の位置との間でカップ体保持部３を昇降させることに加えて、当該第２の位置と、この第２の位置からカップ体２の横方向（オペレータによる引き出し方向に略水平）に移動した第３の位置と、の間でカップ体保持部３を移動させることができる。また、第２の実施の形態においては、リング形状のカップ体２の上面と下面との夫々全面を支持部材３１と押さえ部材３２とで挟持し、移動機構７のレール７１をスライドするスライダ７２を、カップ体２やカップ体保持部３と一緒にレール７１から引き抜くことによって、カップ体２を搬出できる構造となっている。

以上の構成により、移動機構７によって持ち上げたカップ体２を更にメンテナンス方向へ移動させ、そこでオペレータがカップ体２を搬出することが可能とできるので、カップ体２を搬出するオペレータの作業負荷を更に低減することができる。また、カップ体２の搬入時においてもカップ体２を筐体１０の奥まで持ち込む必要が無いのでこの点においてもオペレータの作業負荷を低減できる。

また、第１の実施の形態にて規制部材として使用したバネ部材３５に替えて、カップ体２が前記カップ体保持部３に正しく装着されたか否かを判断する機能を備えた規制部材を採用してもよい。図１０は、このような第３の実施の形態に係る液処理装置を底面側から見た説明図である。図１０（ａ）はカップ体保持部３からカップ体２を取り外した状態を示し、図１０（ｂ）はカップ体２を装着した状態を示している。

第３の実施の形態に係るカップ体保持部３においては、支持部材３１左右の伸び出し部分先端側に２つのブラケット３５ｂが規制部材として取り付けられている。各々のブラケット３５ｂは、左右の排気ポート２５と夫々嵌合できるように円弧状の切り欠き部が設けられており、当該切り欠き部を内側に向けた状態で、基端側に設けられた回転軸を中心として回動可能なように支持部材３１に固定されている。このような構成によりカップ体２の取り外し時は、図１０（ａ）に示すように２つのブラケット３５ｂが外側に回動して排気ポート２５を規制状態から開放する（以下、このブラケット３５ｂの位置を開放位置という）。一方、装着時には図１０（ｂ）に示すようにカップ体保持部３にカップ体２を押し込むと、ブラケット３５ｂは排気ポート２５により押し戻され、切り欠き部にて対応する排気ポート３５ｂと嵌合する。この結果、左右２つの排気ポート２５の位置が規制されて、カップ体２は周方向に位置決めされる（このブラケット３５ｂの位置を規制位置という）。

上述のブラケット３５ｂの例えば一方側には、検知対象３８を埋め込んであり、支持部材３１にはこの検知対象３８の近接を検知する近接センサ３７が取り付けられている。近接センサ３７は検知対象３８の埋め込まれたブラケット３５ｂが規制位置に到達したことを検知する位置センサとしての役割を果たす。ここで例えば近接センサ３７を磁気センサにて構成する場合には検知対象３８は磁性体となり、光学式センサにて構成する場合には検知対象３８はセンサからの光を反射する反射板やセンサへ光を出力する発光体等となる。また、近接センサ３７を静電容量センサとして構成する場合には、検知対象３８は例えば接地された電極となる。

近接センサは制御部６と接続されており、制御部６は例えば近接センサ３７からの検知信号を受けた場合に、カップ体２がカップ体保持部３に正しく装着されたものと判断する装着判断手段としての機能を備え、表示操作部６３を介して判断の結果をオペレータに報知する。このような機能を備えることにより、カップ体保持部３に装着した時点でカップ体２の装着状態が正しいか否かを知ることができるので、正しく装着されていない場合であっても液処理装置本体への装着を試みる必要がなく時間的ロスが短くて済む。

次に塗布、現像装置に上述した液処理装置１を適用した一例について簡単に説明する。図１１は塗布、現像装置に露光装置が接続されたシステムの平面図であり、図１２は同システムの斜視図である。図中Ｓ１はキャリアブロックであり、ウエハＷが例えば１３枚密閉収納されたキャリアＣ１を搬入出するための載置部１２１を備えたキャリアステーション１２０と、このキャリアステーション１２０から見て前方の壁面に設けられる開閉部１２２と、開閉部１２２を介してキャリアＣ１からウエハＷを取り出すためのトランスファーアームＣとが設けられている。

キャリアブロックＳ１の奥側には筐体１２４にて周囲を囲まれる処理ブロックＳ２が接続されており、処理ブロックＳ２には手前側から順に加熱・冷却系のユニットを多段化した棚ユニットＰ１、Ｐ２、Ｐ３及び液処理ユニットＰ４、Ｐ５と、搬送手段（メインアーム）Ａ１、Ａ２とが交互に設けられている。搬送手段Ａ１、Ａ２はこれら各ユニット間のウエハＷの受け渡しを行う役割を果たす。搬送手段Ａ１、Ａ２は、キャリアブロックＳ１から見て前後方向に配置される棚ユニットＰ１、Ｐ２、Ｐ３の一面側と、右側の液処理ユニットＰ４、Ｐ５側の一面側と、左側の一面側をなす背面部とで構成される区画壁により囲まれる空間１２３内に置かれている。

棚ユニットＰ１、Ｐ２、Ｐ３は、液処理ユニットＰ４、Ｐ５にて行われる処理の前処理及び後処理を行うための各種ユニットを複数段積層した構成とされている。積層された各種ユニットにはウエハＷを加熱(ベーク)する複数の加熱ユニット(ＰＡＢ)や、ウエハＷを冷却する冷却ユニット等が含まれる。

また液処理ユニットＰ４、Ｐ５は、レジスト液や現像液等の薬液収納部の上に下部反射防止膜塗布ユニット１３３、レジスト塗布ユニット１３４、ウエハＷに現像液を供給して現像処理する現像ユニット１３１等を複数段、例えば５段に積層して構成されている。ここで、これらの下部反射防止膜塗布ユニット１３３、レジスト塗布ユニット１３４、現像ユニット１３１はカップ体２を搬出入する構造に関し、既述の第１の実施の形態に示した液処理装置１と略同様に構成されている。

インターフェイスブロックＳ３は、処理ブロックＳ２と露光装置Ｓ４との間に前後に設けられる第１の搬送室３Ａ及び第２の搬送室３Ｂにより構成されており、夫々に昇降自在、鉛直軸回りに回転自在かつ進退自在なウエハ搬送機構１３１Ａ、１３１Ｂを備えている。

第１の搬送室３Ａには、棚ユニットＰ６及びバッファカセットＣＯが設けられている。棚ユニットＰ６にはウエハ搬送機構１３１Ａとウエハ搬送機構１３１Ｂとの間でウエハＷの受け渡しを行うための受け渡しステージ（ＴＲＳ）、露光処理を行ったウエハＷを加熱処理する加熱ユニット（ＰＥＢ）及び冷却プレートを有する高精度温調ユニット等が上下に積層された構成となっている。

続いて、この塗布、現像装置におけるウエハＷの流れについて説明する。先ず外部からウエハＷの収納されたキャリアＣ１がキャリアブロックＳ１に搬入されると、ウエハＷは、トランスファーアームＣ→棚ユニットＰ１の受け渡しユニット（ＴＲＳ）→搬送手段Ａ１→下部反射防止膜形成ユニット（ＢＡＲＣ）１３３→搬送手段Ａ１（Ａ２）→加熱ユニット→搬送手段Ａ１（Ａ２）→冷却ユニット→疎水化処理ユニット→搬送手段Ａ１（Ａ２）→冷却ユニット→搬送手段Ａ１（Ａ２）→レジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）１３４→搬送手段Ａ１（Ａ２）→加熱ユニット→搬送手段Ａ１（Ａ２）→冷却ユニット→搬送手段Ａ１→棚ユニットＰ３の受け渡しユニット（ＴＲＳ）→ウエハ搬送機構１３１Ａ→棚ユニットＰ６の受け渡しユニット（ＴＲＳ）→ウエハ搬送機構１３１Ｂ→露光装置Ｓ４の順に搬送される。

露光処理を受けたウエハＷは、ウエハ搬送機構１３１Ｂ→棚ユニットＰ６の受け渡しステージ（ＴＲＳ）→ウエハ搬送機構１３１Ａ→棚ユニットＰ６の加熱ユニット→ウエハ搬送機構１３１Ａ→棚ユニットＰ６の温調ユニット→ウエハ搬送機構１３１Ａ→棚ユニットＰ３の受け渡しステージ（ＴＲＳ）→搬送手段Ａ２→現像ユニット１３１→搬送手段Ａ１→棚ユニットＰ１の受け渡しユニット（ＴＲＳ）→トランスファーアームＣの順で搬送され、キャリアＣ１に戻されて塗布、現像処理が完了する。

実施の形態に係る液処理装置の縦断面図である。 上記液処理装置の平面図及びその構成部品の側面図である。 上記カップ体を保持した状態保持部とその昇降機構とを示す斜視図である。 上記カップ体を保持部から取り外して搬出入する様子を示す斜視図である。 保持部に保持された状態のカップ体を底面側から見た斜視図である。 上記昇降機構とその制御部との電気的構成を示すブロック図である。 実施の形態に係る液処理装置の作用を説明するための側面図である。 上記カップ体を持ち上げたときに漏出するドレイン液を受け止める液受け機構を示す斜視図である。 第２の実施の形態に係る液処理装置の作用を示す斜視図である。 第３の実施の形態に係る液処理装置の作用を示す説明図である。 本発明に係る塗布ユニットが適用される塗布、現像装置の平面図である。 上記塗布、現像装置の斜視図である。

符号の説明

Ｗ ウエハ
１ 液処理装置
２ カップ体
２ａ アッパーカップ
２ｂ インナーカップ
２ｃ アンダーカップ
３ カップ体保持部
４ モータ・シリンダ機構（モータ・シリンダ）
６ 制御部
７ 移動機構
１０ 筐体
１０ａ 処理空間
１０ｂ 搬入出口
１０ｃ 蓋体
１０ｄ カップ体搬出入口
１１ スピンチャック
１２ 軸部
１３ 駆動機構（スピンチャックモータ）
１４ 昇降ピン
１４ａ 昇降機構
１５ 供給ノズル
１６ａ 基台
１６ｂ ガイドレール
１７ リンスノズル
１８ 駆動部
１９ フィルタユニット
２１ａ 開口部
２１ｂ 起立縁
２２ リング部材
２３ 端板
２４ 液受け部
２４ａ 溢流防止壁
２５ 排気ポート
２６ ドレインポート
３１ 支持部材
３１ａ ポート受け部
３２ 押さえ部材
３２ａ 板バネ
３３ 連結部材
３４ 固定部材
３５ バネ部材
３５ｂ ブラケット
３６ 液受け機構
３７ 近接センサ
３８ 検知対象
４１ 筐体部
４２ シリンダロッド
４３ 昇降ガイド部材
４５ 検知センサ
５１ 排気管
５２ ドレイン管
６１ 中央演算処理装置（ＣＰＵ）
６２ プログラム格納部
６３ 表示操作部
７１ レール
７２ スライダ

Claims (23)

1. 筐体内の基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を供給して、基板の表面を液処理する液処理装置において、
   前記基板保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられ、前記筐体内の基体に上方から着脱自在に装着されたカップ体と、
   このカップ体を着脱自在に保持するカップ体保持部と、
   前記カップ体が基体に装着される第１の位置と、この第１の位置よりも上方側の第２の位置と、の間で前記カップ体保持部を昇降させる昇降機構と、を備えることを特徴とする液処理装置。
2. 前記カップ体保持部は、カップ体を横方向に着脱自在に保持するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
3. 前記第２の位置は、カップ体を前記カップ体保持部から取り外したときにそのまま他の機器と干渉せずに筐体の側壁の開口部から外に取り出せる高さ位置に設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液処理装置。
4. 前記第２の位置と、この第２の位置から横方向に移動した第３の位置との間で前記カップ体保持部を移動させる移動機構を更に備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の液処理装置。
5. 前記カップ体は複数のリング部材を重ね合わせて組み立てられ、前記カップ体保持部は、前記リング部材が正しく組み立てられた場合に限り、前記カップ体を上下から挟持して当該カップ体を保持できるように構成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の液処理装置。
6. 前記カップ体保持部は、カップ体を上下方向に挟圧するための弾性体を備えていることを特徴とする請求項５に記載の液処理装置。
7. 前記カップ体内を排気するための排気管に接続される排気ポートと、前記カップ体内に落ちた液体を排出するための廃液管に接続される廃液ポートと、が前記カップ体の底面に設けられ、
   前記カップ体保持部は、前記排気ポートと前記廃液ポートとの少なくとも一つの位置を規制することにより前記カップ体を周方向に位置決するための規制部材を備えていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一つに記載の液処理装置。
8. 前記規制部材は、前記カップ体の装着時には規制位置にて前記排気ポートと前記廃液ポートとの少なくとも一つの位置を規制し、当該カップ体の取り外し時には開放位置に移動するように構成され、
   前記規制部材が前記規制位置に到達したことを検知する位置センサと、この位置センサによる検知結果に基づいて前記カップ体が前記カップ体保持部に正しく装着されたか否かを判断する装着判断手段と、この装着判断手段による判断の結果を報知する報知手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項７に記載の液処理装置。
9. 前記カップ体内に落ちた液体を排出するための廃液管に接続される廃液ポートが前記カップ体の底面に設けられ、
   前記カップ体保持部は、前記廃液管から取り外された廃液ポートを塞ぐ液受け機構を備えていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一つに記載の液処理装置。
10. 前記昇降機構により前記第２の位置から前記第１の位置へと前記カップ体保持部を下降させる下降動作において、前記カップ体保持部が前記第１の位置に到達したか否かを検知する検知センサと、
    この検知センサにより検知されなかったときに、前記カップ体が液処理装置に装着されなかったと判断する判断部と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし９のいずれか一つに記載の液処理装置。
11. 前記判断手段による判断結果を報知するための報知手段を更に備えたことを特徴とする請求項１０に記載の液処理装置。
12. 筐体内の基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を供給して、基板の表面を液処理する液処理装置に装着されるカップ体の着脱方法において、
    前記基板保持部に保持された基板の側方を囲むように設けられ、前記筐体内の基体に上方から着脱自在に装着されるカップ体をカップ体保持部に着脱自在に保持する工程と、
    前記カップ体が基体に装着される第１の位置と、この第１の位置よりも上方側の第２の位置と、の間で前記カップ体保持部を昇降させる工程と、を含むことを特徴とするカップ体の着脱方法。
13. 前記カップ体保持部は、カップ体を横方向に着脱自在に保持するように構成されていることを特徴とする請求項１２に記載のカップ体の着脱方法。
14. 前記第２の位置は、カップ体を前記カップ体保持部から取り外したときにそのまま他の機器と干渉せずに筐体の側壁の開口部から外に取り出せる高さ位置に設定されていることを特徴とする請求項１２または１３に記載のカップ体の着脱方法。
15. 前記第２の位置と、この第２の位置から横方向に移動した第３の位置との間で前記カップ体保持部を移動させる工程を更に含むことを特徴とする請求項１２ないし１４のいずれか一つに記載の液処理装置。
16. 前記カップ体は、複数のリング部材を重ね合わせて組み立てられ、前記カップ体保持部に保持する工程においては、前記リング部材が正しく組み立てられた場合に限り、前記カップ体を上下から挟持して当該カップ体を保持できるように前記カップ体保持部が構成されていることを特徴とする請求項１２ないし１５のいずれか一つに記載のカップ体の着脱方法。
17. 前記カップ体保持部は、カップ体を上下方向に挟圧するための弾性体を備えていることを特徴とする請求項１６に記載のカップ体の着脱方法。
18. 当該カップ体内を排気するための排気管に接続される排気ポートと、前記カップ体内に落ちた液体を排出するための廃液管に接続される廃液ポートと、が前記カップ体の底面に設けられ、
    前記カップ体を前記カップ体保持部に保持する工程においては、前記カップ体保持部に設けられた規制部材により、前記排気ポートと前記廃液ポートとの少なくとも一つの位置を規制することにより前記カップ体を周方向に位置決めするように当該カップ体を保持することを特徴とする請求項１２ないし１７のいずれか一つに記載のカップ体の着脱方法。
19. 前記規制部材は、前記カップ体の装着時には規制位置にて前記排気ポートと前記廃液ポートとの少なくとも一つの位置を規制し、当該カップ体の取り外し時には開放位置に移動するように構成され、
    前記規制部材が前記規制位置に到達したことを検知する工程と、この検知工程による検知結果に基づいて前記カップ体が前記カップ体保持部に正しく装着されたか否かを判断する工程と、この判断工程における判断の結果を報知する工程と、を更に含むことを特徴とする請求項１８に記載の液処理装置。
20. 前記カップ体内に落ちた液体を排出するための廃液管に接続される廃液ポートが前記カップ体の底面に設けられ、
    前記カップ体保持部を昇降させる工程においては、このカップ体保持部に備えられた液受け機構により前記廃液管から取り外された廃液ポートを塞ぐことを特徴とする請求項１２ないし１９のいずれか一つに記載のカップ体の着脱方法。
21. 第２の位置から前記第１の位置へと前記カップ体保持部を下降させる下降動作において、前記カップ体保持部が前記第１の位置に到達したか否かを検知する工程と、
    この検知工程にて前記カップ体保持部の前記第１の位置への到達を検知しなかったときに前記カップ体が液処理装置に装着されなかったと判断する工程と、を更に含むことを特徴とする請求項１２ないし２０のいずれか一つに記載のカップ体の着脱方法。
22. 前記カップ体の装着を判断する工程における判断結果を報知する工程を更に含むことを特徴とする請求項２１に記載のカップ体の着脱方法。
23. 筐体内の基板保持部に略水平に保持された基板の表面に、供給ノズルから処理液を供給して、基板の表面を液処理する液処理装置に用いられるプログラムを格納した記憶媒体であって、
    前記プログラムは請求項１２ないし２２のいずれか一つに記載されたカップ体の着脱方法を実行するためにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。

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