CN106457316B - 吸嘴清洗机 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 156
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 12
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 7
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 4
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
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Abstract
一种吸嘴清洗机(10)，对具有基部(22)和能够相对于该基部进行滑动的可动部(24)的吸嘴(20)进行清洗，设有使吸嘴的可动部(24)滑动的可动部滑动机构(60)，一边通过清洗喷嘴(50c)喷射清洗液，一边通过可动部滑动机构使可动部滑动。由此，能够有效地对吸嘴的滑动部进行清洗。此时，优选的是，清洗喷嘴向相对于吸嘴的轴线倾斜的方向喷射清洗液。通过这样，能够更有效地对存在于吸嘴的侧周部的滑动部进行清洗。另外，可动部滑动机构例如构成为具有与吸嘴的可动部卡合的卡合部件(62)且通过促动器(64)使该卡合部件移动即可。通过采用上述结构，吸嘴清洗机的实用性提高。
Description
技术领域
本发明涉及对用于电子元件安装机而吸附保持电子元件的吸嘴进行清洗的吸嘴清洗机。
背景技术
电子元件安装机(也称为“电子元件实装机”。以下，有时简称为“安装机”。)是向电路基板安装电子元件(以下，简称为“元件”)的机械，在该安装机中，为了保持所安装的元件，使用利用负压吸附元件的吸嘴。有时该吸嘴随着安装机的运转的进行而被弄脏或附着异物，在该情况下进行清洗。关于吸嘴的清洗，例如，存在下述专利文件所记载的技术。
专利文件1：日本特开2010-269214号公报
发明内容
以上述专利文件所记载的技术为例的吸嘴的清洗技术存在较多改良的余地，能够通过进行某些改良来提高吸嘴清洗机的实用性。本发明鉴于这种情况而作出，其课题在于提供实用的吸嘴清洗机。
为了解决上述课题，本发明的吸嘴清洗机的特征在于，在对具有基部和能够相对于该基部进行滑动的可动部的吸嘴进行清洗时，一边从清洗喷嘴喷射清洗液，一边使可动部滑动。
发明效果
根据本发明的吸嘴清洗机，在吸嘴中能够对基部与可动部彼此滑动的部分(以下，有时称为“滑动部”)良好地进行清洗，可实现实用性较高的吸嘴清洗机。
发明形态
以下，例示几个在本申请中被识别为能够申请专利的发明(以下，有时称为“可申请发明”)的形态，并对它们进行说明。各形态与权利要求书相同，区分成项，对各项标注序号，根据需要以引用其他项的序号的形式进行记载。这只不过是为了容易理解可申请发明，而并非将构成这些发明的结构要素的组合限定为以下的各项所记载的内容。即，可申请发明应参照以下的各项所附随的记载、实施方式的记载等来解释，只要限于该解释，在各项的形态中进一步附加其他结构要素的形态或者从各项的形态中删除某个结构要素的形态均可成为可申请发明的一个形态。
另外，在以下的各项中，将(1)项和(2)项组合而成的结构相当于权利要求1，在权利要求1中附加了(3)项、(4)项、(6)项、(8)项的技术特征的结构分别相当于权利要求2～权利要求5。
(1)一种吸嘴清洗机，对用于电子元件安装机而吸附保持电子元件的吸嘴进行清洗，该吸嘴清洗机具备：吸嘴保持部件，保持吸嘴；及清洗喷嘴，向保持于该吸嘴保持部件的吸嘴喷射清洗液。
本项是可申请发明的基本形态。
(2)根据(1)项所记载的吸嘴清洗机，上述吸嘴保持部件在基板保持吸嘴，该吸嘴具有基部和能够相对于该基部进行滑动的可动部，
该吸嘴清洗机具备使由上述吸嘴保持部件保持的吸嘴的可动部相对于基部进行滑动的可动部滑动机构，并一边从上述清洗喷嘴喷射清洗液，一边通过该可动部滑动机构使可动部滑动。
(3)根据(2)项所记载的吸嘴清洗机，上述可动部滑动机构具有能够与吸嘴的可动部卡合的卡合部件，通过使该卡合部件移动而使该可动部滑动。
根据具备可动部滑动机构的上述两个形态，能够一边使吸嘴的滑动部滑动一边进行清洗，因此能够实现良好的清洗。
(4)根据(1)项至(3)项中任一项所记载的吸嘴清洗机，上述吸嘴保持部件以保持多个吸嘴的方式构成，
该吸嘴清洗机具备相对移动装置，在对多个吸嘴分别进行清洗时，上述相对移动装置使上述吸嘴保持部件与上述清洗喷嘴中的一方相对于另一方进行移动，使得各个上述吸嘴位于被相对于上述清洗喷嘴所设定的相对位置。
(5)根据(4)项所记载的吸嘴清洗机，上述吸嘴保持部件构成为，以使多个吸嘴排列在一个以上的圆周上的方式保持上述多个吸嘴。
(6)根据(5)项所记载的吸嘴清洗机，上述吸嘴保持部件构成为，以使上述多个吸嘴排列在彼此同心的多个圆周上的方式保持上述多个吸嘴。
根据上述三个形态，能够集中清洗多个吸嘴，因此可实现便利的吸嘴清洗机。当在一个以上的圆周上排列多个吸嘴的情况下，例如，相对移动装置构成为使吸嘴保持部件与清洗喷嘴中的一方绕着排列有多个吸嘴的圆的中心旋转，由此该装置的构造比较简单。另外，排列在多个圆周上，由此能够增加能够集中地进行清洗的吸嘴的数量。
(7)根据(1)项至(6)项中任一项所记载的吸嘴清洗机，上述清洗喷嘴以向吸嘴的轴线方向喷射清洗液的方式配置。
(8)根据(1)项至(6)项中任一项所记载的吸嘴清洗机，上述清洗喷嘴以向相对于吸嘴的轴线倾斜的方向喷射清洗液的方式配置。
(9)根据(1)项至(6)项中任一项所记载的吸嘴清洗机，该吸嘴清洗机具备分别作为上述清洗喷嘴发挥功能的、(a)向吸嘴的轴线方向喷射清洗液的清洗喷嘴和(b)向相对于吸嘴的轴线倾斜的方向喷射清洗液的清洗喷嘴。
若以向吸嘴的轴线(以下，有时称为“吸嘴轴线”)的延伸方向，即吸嘴轴线方向喷射清洗液的方式配置清洗喷嘴，则能够有效地对吸嘴的前端部进行清洗。另外，若以向相对于吸嘴轴线倾斜的方向喷射清洗液的方式配置清洗喷嘴，则能够有效地对吸嘴的侧周面进行清洗，能够在具有滑动部的吸嘴的情况下有效地对该滑动部进行清洗。通过配置上述两种清洗喷嘴，能够更有效地对吸嘴进行清洗。
附图说明
图1是表示作为可申请发明的实施例的吸嘴清洗机的外观的立体图。
图2是表示由吸嘴清洗机清洗的吸嘴的立体图。
图3是表示吸嘴清洗机的内部构造的立体图。
图4是在从侧方的视点下表示吸嘴清洗机的内部构造的立体局部剖视图。
具体实施方式
以下，作为实施例，参照附图详细说明可申请发明的代表性的实施方式。另外，可申请发明除了下述实施例之外，还可以以上述〔发明形态〕的项中记载的形态为基础，以基于本领域技术人员的知识实施了各种变更、改良的各种形态来实施。
实施例
如图1所示，实施例的吸嘴清洗机10被设为台式结构。由该吸嘴清洗机10清洗的吸嘴是如图2所示的吸嘴，为了在安装机中吸附保持元件而使用。图示的两个吸嘴20a、20b(以下，有时统称为“吸嘴20”)均构成为包含具有凸缘的基部22和能够相对于该基部22沿吸嘴轴线L的延伸方向，即吸嘴轴线方向滑动的可动部24。可动部24构成为包含吸附保持元件的前端部(图中的上端部)，通过滑动而相对于基部22插入(后退)、拔出(前进)。
吸嘴20a配置有弹簧26，通过该弹簧26而可动部24被维持在相对于基部22最突出的位置。另一方面，吸嘴20b未配置弹簧，图中示出了可动部最突出的状态，但在前端部位于上方的姿势下，实际上位于相对于基部22最退缩的位置。其中，此时，如图中两点划线所示，可动部24的下端成为比基部22的下端还向下方突出的状态。
如图3、图4所示，在吸嘴清洗机10中安装有作为吸嘴保持部件的托盘30，被清洗的吸嘴20由该托盘30保持。虽然省略图示，但在托盘30的两个圆周上设有用于保持吸嘴20的多个保持孔，吸嘴20以吸嘴轴线L沿铅直方向延伸且前端部朝上的姿势安设于各保持孔。即，托盘30构成为，以使多个吸嘴20排列在彼此同心的多个圆周上的方式保持该多个吸嘴20。其中，图示的托盘30在内侧、外侧两列都在一个圆周上的二十四个等间距配置的位置设有保持孔，能够保持总计四十八个吸嘴20。
在图示的托盘30中，在外侧列中安设图2所示的吸嘴20a、20b那样的较大的吸嘴20，在内侧列中安设较小的吸嘴20。通过较薄的板状的罩32、34来防止安设于托盘30的吸嘴20从托盘30飞出。托盘30被设为能够拆装，在该吸嘴清洗机10的外部，将吸嘴20安设于托盘30，将进行了该安设的托盘30安装于该吸嘴清洗机10而进行清洗。另外，托盘可以构成为在内侧、外侧两列均安设相同大小的吸嘴20，也可以沿着一个圆周仅在一列安设吸嘴20。另外，也可以采用相对于托盘将罩32、34一体化而成的单一的罩。
托盘30通过省略详细构造的图示的托盘旋转装置40而旋转。在该吸嘴清洗机10设定有三个清洗位置，详细而言为第一前端清洗位置STA、第二前端清洗位置STB及侧周清洗位置STC。以使安设于内侧列的一个吸嘴20位于第一前端清洗位置STA，安设于外侧列的一个吸嘴20位于第二前端清洗位置STB，且安设于内侧列的另一个吸嘴20及安设于外侧列的另一个吸嘴20位于侧周清洗位置STC的方式，通过托盘旋转装置40使托盘30旋转或间歇旋转。即，托盘30在该吸嘴清洗机10中作为转台发挥功能。
在本托盘清洗机10中，与三个清洗位置STA、STB、STC对应地设有三个清洗喷嘴50a、50b、50c(以下，有时统称为“清洗喷嘴50”)。三个清洗喷嘴50支撑于在托盘30的上方架设的横梁52，任一清洗喷嘴50都是双流体式吸嘴，主要成分为水的清洗液(可以含有清洗剂等，也可以是像有机溶剂那样的清洗液)通过压缩空气大致以雾状被喷射。
若详细说明，清洗喷嘴50a配置为从位于第一前端清洗位置STA的吸嘴20的正上方向该吸嘴20喷射清洗液。即，沿着该吸嘴20的轴线方向配置为向该吸嘴20的前端部喷射清洗液。由此，该吸嘴20的前端部被有效地清洗。其中，清洗喷嘴50a喷射比较集中的(喷雾范围较小的)雾。
相同地，清洗喷嘴50b配置为从位于第二前端清洗位置STB的吸嘴20的正上方向该吸嘴20喷射清洗液。即，沿着该吸嘴20的轴线方向配置为向该吸嘴20的前端部喷射清洗液。由此，与清洗喷嘴50a相同地，该吸嘴20的前端部被有效地清洗。其中，清洗喷嘴50b也喷射比较集中的(喷雾范围较小的)雾。
另一方面，清洗喷嘴50c配置为从位于侧周清洗位置STC的外周侧、内周侧的各一个吸嘴20的斜上方向上述各一个吸嘴20喷射清洗液。即，清洗喷嘴50c分别配置为向相对于各个吸嘴20的轴线倾斜的方向喷射清洗液。例如，在之前说明的吸嘴20a、20b中，前端部形成为伞状，因此如清洗喷嘴50a、50b那样从正上方喷射清洗液的话，有时无法有效地清洗吸嘴20a、20b的侧周部。特别是在吸嘴20a中，由于存在弹簧26，认为无法有效地清洗侧周部。考虑到这些情况，在本吸嘴清洗机10中，设置能够向吸嘴20的侧周部直接喷射清洗液的清洗喷嘴50c，通过该清洗喷嘴50c而能够有效地清洗该侧周部。其中，与清洗喷嘴50a、50b不同，清洗喷嘴50c设为喷射比较扩散的(喷雾范围较大的)雾，从而顾及到清洗液也能到达侧周部的里侧的部分。
另外，从各清洗位置STA、STB、STC和位于各清洗位置STA、STB、STC的吸嘴20的关系来说，上述托盘旋转装置40作为如下的相对移动装置发挥功能：使作为吸嘴保持部件和清洗喷嘴中的一方的托盘30相对于作为另一方的清洗喷嘴50进行移动，使得在对吸嘴20进行清洗时该吸嘴20位于被相对于清洗喷嘴50设定的相对位置。
此外，在本吸嘴清洗机10中，在位于侧周清洗位置STC的吸嘴20如吸嘴20a、20b那样其可动部24能够相对于基部22进行滑动的情况下，设有在通过清洗喷嘴50c进行清洗时用于使该吸嘴20的可动部24滑动的机构，即可动部滑动机构60。可动部滑动机构60构成为包含与吸嘴20的可动部24卡合的作为卡合部件的U字板62和用于使该U字板62上下往复动作的促动器64。
例如，在之前说明的吸嘴20a的清洗时，吸嘴20a的基部22保持于托盘30，U字板62的上杆部66与可动部24的前端(上端)卡合，通过促动器64使U字板62上下运动，由此实现可动部24相对于基部22的插入拔出动作(往复动作)。一边通过清洗喷嘴50c进行清洗液的喷射一边进行该插入拔出动作，由此能够有效地清洗位于吸嘴20a的侧周部的滑动部。
另外，例如，在之前说明的吸嘴20b的清洗时，吸嘴20b的基部22保持于托盘30，U字板62的下杆部68与可动部24的基端(下端)卡合，通过促动器64使U字板62上下运动，由此与吸嘴20a的清洗时相同地，能够实现可动部24相对于基部22的插入拔出动作(往复动作)。一边通过清洗喷嘴50c进行清洗液的喷射，一边进行该插入拔出动作，由此与吸嘴20a相同地，能够有效地清洗位于吸嘴20b的侧周部的滑动部。
另外，在本吸嘴清洗机10中，沿着内侧、外侧的两个圆周，吸嘴20安设于托盘30，但也可以仅沿着内侧、外侧中的一方的圆周安设吸嘴20，另外，也可以采用仅沿着一个圆周安设吸嘴20的托盘。在上述情况下，无需使上述清洗喷嘴50a与清洗喷嘴50b中的一方工作。基于此，本吸嘴清洗机10具有能够变更清洗喷嘴50a及清洗喷嘴50b相对于横梁52的安装位置的机构，能够通过清洗喷嘴50a及清洗喷嘴50b这两方对沿着一个圆周安设的吸嘴20的前端部进行清洗。通过利用两个清洗喷嘴50a、50b对前端部进行清洗，清洗时间较短即可，能够迅速地对吸嘴20进行清洗。
另外，在本吸嘴清洗机10中，采用了使托盘30相对于清洗喷嘴50进行旋转移动的托盘旋转装置40作为相对移动装置，但也可以反之采用使清洗喷嘴50相对于托盘30进行旋转的相对移动装置。此外，本吸嘴清洗机10中的相对移动装置是执行旋转移动的装置，但在采用直线排列吸嘴20的吸嘴保持部件的吸嘴清洗机的情况下，将相对移动装置设为执行直线移动的装置即可。
附图标记说明
10：吸嘴清洗机
20a、20b：吸嘴
22：基部
24：可动部
30：托盘〔吸嘴保持部件〕
40：托盘旋转装置〔相对移动装置〕
50a、50b、50c：清洗喷嘴
60：可动部滑动机构
62：U字板〔卡合部件〕
L：吸嘴轴线
STA：第一前端清洗位置
STB：第二前端清洗位置
STC：侧周清洗位置
Claims (6)
1.一种吸嘴清洗机，对用于电子元件安装机而吸附保持电子元件的吸嘴进行清洗，且具备基台，
所述吸嘴清洗机具备：
设置于所述基台的吸嘴保持部件，在基部保持吸嘴，所述吸嘴具有基部和能够相对于该基部进行滑动的可动部；
设置于所述基台的清洗喷嘴，向保持于该吸嘴保持部件的吸嘴喷射清洗液；及
设置于所述基台的可动部滑动机构，使由所述吸嘴保持部件保持的吸嘴的可动部相对于基部进行滑动，
所述吸嘴清洗机一边从所述清洗喷嘴喷射清洗液，一边通过所述可动部滑动机构使可动部滑动，
所述可动部滑动机构具有能够与吸嘴的可动部卡合的卡合部件，通过使该卡合部件相对于所述基台上下移动而使该可动部滑动。
2.根据权利要求1所述的吸嘴清洗机，其中，
所述卡合部件是板部件。
3.根据权利要求2所述的吸嘴清洗机，其中，
所述板部件是U字状，
在U字状的所述板部件的上杆部或下杆部与所述可动部的上端或下端卡合的状态下使该板部件相对于所述基台上下移动，由此使所述可动部滑动。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的吸嘴清洗机，其中，
所述吸嘴保持部件以保持多个所述吸嘴的方式构成，
所述吸嘴清洗机具备相对移动装置，在对多个所述吸嘴分别进行清洗时，所述相对移动装置使所述吸嘴保持部件与所述清洗喷嘴中的一方相对于另一方进行移动，使得各个所述吸嘴位于被相对于所述清洗喷嘴所设定的前端清洗位置及侧周清洗位置，
所述清洗喷嘴包括与所述前端清洗位置对应地配置的向所述吸嘴的轴线方向喷射清洗液的清洗喷嘴及与所述侧周清洗位置对应地配置的向相对于所述吸嘴的轴线倾斜的方向喷射清洗液的清洗喷嘴。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的吸嘴清洗机，其中，
所述吸嘴保持部件构成为，以使多个所述吸嘴排列在彼此同心的多个圆周上的方式保持多个所述吸嘴。
6.根据权利要求4所述的吸嘴清洗机，其中，
所述吸嘴保持部件构成为，以使多个所述吸嘴排列在彼此同心的多个圆周上的方式保持多个所述吸嘴。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2014/065994 WO2015193961A1 (ja) | 2014-06-17 | 2014-06-17 | ノズル洗浄機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106457316A CN106457316A (zh) | 2017-02-22 |
| CN106457316B true CN106457316B (zh) | 2019-12-06 |
Family
ID=54934994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201480079631.5A Active CN106457316B (zh) | 2014-06-17 | 2014-06-17 | 吸嘴清洗机 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6370901B2 (zh) |
| CN (1) | CN106457316B (zh) |
| WO (1) | WO2015193961A1 (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6503187B2 (ja) * | 2015-01-07 | 2019-04-17 | 株式会社Ｆｕｊｉ | ノズル洗浄装置 |
| CN110447318B (zh) * | 2017-03-22 | 2021-03-05 | 株式会社富士 | 工具管理装置 |
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| CN103391707A (zh) * | 2012-05-08 | 2013-11-13 | 富士机械制造株式会社 | 吸嘴检查装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010155185A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Kazumi Corp | ノズル洗浄装置およびバブル発生装置 |
-
2014
- 2014-06-17 JP JP2016528681A patent/JP6370901B2/ja active Active
- 2014-06-17 WO PCT/JP2014/065994 patent/WO2015193961A1/ja active Application Filing
- 2014-06-17 CN CN201480079631.5A patent/CN106457316B/zh active Active
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106457316A (zh) | 2017-02-22 |
| JPWO2015193961A1 (ja) | 2017-06-01 |
| WO2015193961A1 (ja) | 2015-12-23 |
| JP6370901B2 (ja) | 2018-08-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: Aichi Japan vertical city Applicant after: Fuji Corporation Address before: Aichi Japan vertical city Applicant before: Fuji Machinery Manufacturing Co., Ltd. |
|
| CB02 | Change of applicant information | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |