JP6370901B2 - ノズル洗浄機 - Google Patents
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Description
吸着ノズルを保持するノズル保持部材と、
そのノズル保持部材に保持された吸着ノズルに洗浄液を噴射する洗浄ノズルと
を備えたノズル洗浄機。
当該ノズル洗浄機が、前記ノズル保持部材によって保持された吸着ノズルの可動部を基部に対して摺動させる可動部摺動機構を備え、前記洗浄ノズルから洗浄液を噴射させつつ、その可動部摺動機構による可動部の摺動を行うように構成された(1)項に記載のノズル洗浄機。
当該ノズル洗浄機が、
複数の吸着ノズルの各々が洗浄に供される際に、その各々が前記洗浄ノズルに対して設定された相対位置に位置するように、前記ノズル保持部材と前記洗浄ノズルとの一方を他方に対して移動させる相対移動装置を備えた(1)項ないし(3)項のいずれか1つに記載のノズル洗浄機。
それぞれが前記洗浄ノズルとして機能するところの、(a)吸着ノズルの軸線方向に洗浄液を噴射させる洗浄ノズルと、(b)吸着ノズルの軸線に対して傾いた方向に洗浄液を噴射させる洗浄ノズルとを備えた(1)項ないし(6)項のいずれか1つに記載のノズル洗浄機。
Claims (5)
- 電子部品装着機に用いられて電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄機であって、
基部とその基部に対して摺動可能な可動部とを有する吸着ノズルを、基部において保持するノズル保持部材と、
そのノズル保持部材に保持された吸着ノズルに洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、
前記ノズル保持部材によって保持された吸着ノズルの可動部を基部に対して摺動させる可動部摺動機構と
を備え、
前記洗浄ノズルから洗浄液を噴射させつつ、前記可動部摺動機構による可動部の摺動を行うように構成されたノズル洗浄機。 - 前記可動部摺動機構が、吸着ノズルの可動部と係合可能な係合部材を有し、その係合部材を動かすことによって、その可動部を摺動させるように構成された請求項1に記載のノズル洗浄機。
- 前記ノズル保持部材が、複数の吸着ノズルを保持するように構成され、
当該ノズル洗浄機が、
複数の吸着ノズルの各々が洗浄に供される際に、その各々が前記洗浄ノズルに対して設定された相対位置に位置するように、前記ノズル保持部材と前記洗浄ノズルとの一方を他方に対して移動させる相対移動装置を備えた請求項1または請求項2に記載のノズル洗浄機。 - 前記ノズル保持部材が、前記複数の吸着ノズルを、互いに中心を同じくする複数の円周上に配列させるようにして保持するように構成された請求項3に記載のノズル洗浄機。
- 前記洗浄ノズルが、吸着ノズルの軸線に対して傾いた方向に洗浄液を噴射させるように配置された請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載のノズル洗浄機。
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