JP6370901B2 - ノズル洗浄機 - Google Patents

ノズル洗浄機 Download PDF

Info

Publication number
JP6370901B2
JP6370901B2 JP2016528681A JP2016528681A JP6370901B2 JP 6370901 B2 JP6370901 B2 JP 6370901B2 JP 2016528681 A JP2016528681 A JP 2016528681A JP 2016528681 A JP2016528681 A JP 2016528681A JP 6370901 B2 JP6370901 B2 JP 6370901B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
cleaning
suction
movable part
suction nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016528681A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2015193961A1 (ja
Inventor
賢司 下坂
賢司 下坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of JPWO2015193961A1 publication Critical patent/JPWO2015193961A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6370901B2 publication Critical patent/JP6370901B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02Cleaning by the force of jets or sprays
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Description

本発明は、電子部品装着機に用いられて電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄機に関する。
電子部品装着機(「電子部品実装機」とも呼ばれる。以下、単に「装着機」という場合がある。)は、回路基板に電子部品(以下、単に「部品」という場合がある)を装着する機械であり、その装着機では、装着される部品を保持するために、部品を負圧によって吸着する吸着ノズルが用いられる。この吸着ノズルは、装着機の稼動の進行につれて汚れたり、異物が付着したりすることがあり、その場合には、洗浄が行われる。吸着ノズルの洗浄に関しては、例えば、下記特許文献に記載されたような技術が存在する。
特開2010−269214号公報
発明の解決しようとする課題
上記特許文献に記載された技術を始めとする吸着ノズルの洗浄技術には改良の余地が多分に残されており、何らかの改良を行うことで、ノズル洗浄機の実用性を向上させることが可能である。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用的なノズル洗浄機を提供することを課題とする。
上記課題を解決するため、本発明のノズル洗浄機は、基部とその基部に対して摺動可能な可動部とを有する吸着ノズルを洗浄する際に、洗浄ノズルから洗浄液を噴射させつつ、可動部の摺動を行うように構成されたことを特徴とする。
本発明のノズル洗浄機によれば、吸着ノズルにおいて基部と可動部とが摺り合う部分(以下、「摺動部」と言う場合がある)の洗浄を良好に行うことが可能であり、実用性の高いノズル洗浄機が実現される。
発明の態様
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明(以下、「請求可能発明」という場合がある)の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求の範囲と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、それらの発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、以下の各項に付随する記載,実施形態の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から何某かの構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
なお、以下の各項において、(1)項と(2)項とを組み合わせたものが請求項1に相当し、請求項1に、(3)項,(4)項,(6)項,(8)項の技術的特徴を付加したものが、それぞれ、請求項2〜請求項5に相当する。
(1)電子部品装着機に用いられて電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄機であって、
吸着ノズルを保持するノズル保持部材と、
そのノズル保持部材に保持された吸着ノズルに洗浄液を噴射する洗浄ノズルと
を備えたノズル洗浄機。
本項は、請求可能発明の基本的態様である。
(2)前記ノズル保持部材が、基部とその基部に対して摺動可能な可動部とを有する吸着ノズルを、基部において保持するように構成されており、
当該ノズル洗浄機が、前記ノズル保持部材によって保持された吸着ノズルの可動部を基部に対して摺動させる可動部摺動機構を備え、前記洗浄ノズルから洗浄液を噴射させつつ、その可動部摺動機構による可動部の摺動を行うように構成された(1)項に記載のノズル洗浄機。
(3)前記可動部摺動機構が、吸着ノズルの可動部と係合可能な係合部材を有し、その係合部材を動かすことによって、その可動部を摺動させるように構成された(2)項に記載のノズル洗浄機。
可動部摺動機構を備える上記2つの態様によれば、吸着ノズルの摺動部を摺動させながら洗浄することができるため、良好な洗浄が実現される。
(4)前記ノズル保持部材が、複数の吸着ノズルを保持するように構成され、
当該ノズル洗浄機が、
複数の吸着ノズルの各々が洗浄に供される際に、その各々が前記洗浄ノズルに対して設定された相対位置に位置するように、前記ノズル保持部材と前記洗浄ノズルとの一方を他方に対して移動させる相対移動装置を備えた(1)項ないし(3)項のいずれか1つに記載のノズル洗浄機。
(5)前記ノズル保持部材が、複数の吸着ノズルを、1以上の円周上に配列させるようにして保持するように構成された(4)項に記載のノズル洗浄機。
(6)前記ノズル保持部材が、前記複数の吸着ノズルを、互いに中心を同じくする複数の円周上に配列させるようにして保持するように構成された(5)項に記載のノズル洗浄機。
上記3つの態様によれば、複数の吸着ノズルをまとめて洗浄できるため、便利なノズル洗浄機が実現される。1以上の円周上に複数の吸着ノズルを配列する場合、例えば、相対移動装置が、ノズル保持部材と洗浄ノズルとの一方を、複数の吸着ノズルが配列させられている円の中心回りに回転させるように構成することで、その装置の構造が比較的シンプルなものとなる。また、複数の円周上に配列させることで、まとめて洗浄することのできる吸着ノズルの数を多くすることが可能である。
(7)前記洗浄ノズルが、吸着ノズルの軸線方向に洗浄液を噴射させるように配置された(1)項ないし(6)項のいずれか1つに記載のノズル洗浄機。
(8)前記洗浄ノズルが、吸着ノズルの軸線に対して傾いた方向に洗浄液を噴射させるように配置された(1)項ないし(6)項のいずれか1つに記載のノズル洗浄機。
(9)当該ノズル洗浄機が、
それぞれが前記洗浄ノズルとして機能するところの、(a)吸着ノズルの軸線方向に洗浄液を噴射させる洗浄ノズルと、(b)吸着ノズルの軸線に対して傾いた方向に洗浄液を噴射させる洗浄ノズルとを備えた(1)項ないし(6)項のいずれか1つに記載のノズル洗浄機。
洗浄ノズルを、吸着ノズルの軸線(以下、「ノズル軸線」という場合がある)の延びる方向、つまり、ノズル軸線方向に洗浄液を噴射するように配置すれば、吸着ノズルの先端部の洗浄を効果的に行うことができる。また、洗浄ノズルを、ノズル軸線に対して傾いた方向に洗浄液を噴射するように配置すれば、吸着ノズルの側周面の洗浄を効果的に行うことができ、摺動部を有する吸着ノズルの場合におけるその摺動部の洗浄を効果的に行うことができる。上記2種類の洗浄ノズルを配置することにより、より効果的な吸着ノズルの洗浄が可能となる。
請求可能発明の実施例であるノズル洗浄機の外観を示す斜視図である。 ノズル洗浄機によって洗浄される吸着ノズルを示す斜視図である。 ノズル洗浄機の内部構造を示す斜視図である。 ノズル洗浄機の内部構造を側方からの視点において示す斜視一部断面図である。
以下、請求可能発明の代表的な実施形態を、実施例として、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。
図1に示すように、実施例のノズル洗浄機10は、卓上型のものとされている。このノズル洗浄機10によって洗浄される吸着ノズルは、図2に示すようなものであり、装着機において部品を吸着保持するために用いられる。図示する2つの吸着ノズル20a,20b(以下、総称として、「吸着ノズル20」という場合がある)は、いずれも、フランジを有する基部22と、その基部22に対して、ノズル軸線Lの延びる方向、つまりノズル軸線方向に摺動することが可能な可動部24とを含んで構成されている。可動部24は、部品が吸着保持される先端部(図における上端部)を含んで構成されており、摺動によって、基部22に対して挿入(後退),抜出(前進)させられる。
吸着ノズル20aは、スプリング26が配設されており、そのスプリング26によって、可動部24が基部22に対して最も突出した位置に維持される。一方、吸着ノズル20bは、スプリングが配設されておらず、図では可動部が最も突出した状態が示されているが、先端部が上方に位置する姿勢では、実際は、基部22に対して最も引っ込んだ位置に位置させられる。ちなみに、その際、図に2点鎖線で示すように、可動部24の下端は、基部22の下端よりも下方に突出する状態となる。
図3,図4に示すように、ノズル洗浄機10には、ノズル保持部材としてのトレイ30が取り付けられており、洗浄される吸着ノズル20は、そのトレイ30によって保持される。トレイ30には、図示を省略するが、2つの円周上に、吸着ノズル20を保持するための複数の保持穴が設けられており、吸着ノズル20は、その保持穴の各々に、ノズル軸線Lが鉛直方向に延び、かつ、先端部を上に向けた姿勢でセットされる。つまり、トレイ30は、複数の吸着ノズル20を、互いに中心を同じくする複数の円周上に配列させるようにして保持するように構成されているのである。ちなみに、図に示すトレイ30は、内側,外側の列ともに、1円周における24等配の位置に保持穴が設けられており、合計48個の吸着ノズル20を保持可能とされている。
図に示すトレイ30では、外側の列には、図2に示す吸着ノズル20a,20bのような比較的大きな吸着ノズル20がセットされ、内側の列には、比較的小さな吸着ノズル20がセットされる。トレイ30にセットされた吸着ノズル20は、薄い板状のカバー32,34によって、トレイ30からの飛び出しが防止されている。トレイ30は着脱可能とされており、当該ノズル洗浄機10の外部において、吸着ノズル20がトレイ30にセットされ、そのセットされたトレイ30が、当該ノズル洗浄機10に取り付けられて洗浄が行われる。なお、トレイは、内側,外側の列ともに同じ大きさの吸着ノズル20がセットされるように構成されてもよく、一円周に沿って一列にしか吸着ノズル20がセットされないようなものであってもよい。また、トレイに対して、カバー32,34が一体化された単一のカバーを採用してもよい。
トレイ30は、詳しい構造の図示を省略するトレイ回転装置40によって回転させられる。当該ノズル洗浄機10には、3つの洗浄ステーション、詳しくは、第1先端洗浄ステーションSTA,第2先端洗浄ステーションSTB,側周洗浄ステーションSTCが設定されている。内側の列にセットされた吸着ノズル20の1つが、第1先端洗浄ステーションSTAに、外側の列にセットされた吸着ノズル20の1つが、第2先端洗浄ステーションSTBに、内側の列にセットされた吸着ノズル20の別の1つおよび外側の列にセットされた吸着ノズル20の別の1つが、側周洗浄ステーションSTCに、それぞれ位置するように、トレイ30は、トレイ回転装置40によって回転若しくは間欠回転させられる。つまり、トレイ30は、当該ノズル洗浄機10において、インデックステーブルとして機能するものとさせられているのである。
本トレイ洗浄機10には、3つの洗浄ステーションSTA,STB,STCに対応して、3つの洗浄ノズル50a,50b,50c(以下、総称として、「洗浄ノズル50」と言う場合がある)が設けられている。3つの洗浄ノズル50は、トレイ30の上方に上架されたビーム52に支持されており、いずれの洗浄ノズル50も、2流体式ノズルであり、主成分が水である洗浄液(洗剤等が含まれていてもよく、有機溶媒のようなものであってもよい)が、圧縮エアによって、概してミストとして噴射される。
詳しく説明すれば、洗浄ノズル50aは、第1先端洗浄ステーションSTAに位置する吸着ノズル20に、それの真上から洗浄液を噴射するように配置されている。つまり、その吸着ノズル20の軸線方向に、その吸着ノズル20の先端部に向かって洗浄液を噴射させるように配置されているのである。それによって、その吸着ノズル20の先端部が効果的に洗浄されることになる。ちなみに、洗浄ノズル50aは、比較的絞られた(噴霧範囲が狭い)ミストを噴射させるようにされている。
同様に、洗浄ノズル50bは、第2先端洗浄ステーションSTBに位置する吸着ノズル20に、それの真上から洗浄液を噴射するように配置されている。つまり、その吸着ノズル20の軸線方向に、その吸着ノズル20の先端部に向かって洗浄液を噴射させるように配置されているのである。それによって、洗浄ノズル50aと同様に、その吸着ノズル20の先端部が効果的に洗浄されることになる。ちなみに、洗浄ノズル50bも、比較的絞られた(噴霧範囲が狭い)ミストを噴射させるようにされている。
一方、洗浄ノズル50cは、側周洗浄ステーションSTCに位置する外周側,内周側の各1個の吸着ノズル20に、それらの斜め上方から洗浄液を噴射するように配置されている。つまり、洗浄ノズル50cそれぞれの吸着ノズル20の軸線に対して傾いた方向に洗浄液を噴射させるように配置されている。例えば、先に説明した吸着ノズル20a,20bでは先端部が傘状に形成されているため、洗浄ノズル50a,50bのように真上から洗浄液を噴射させたのでは、吸着ノズル20a,20bの側周部を効果的に洗浄できない場合がある。特に、吸着ノズル20aでは、スプリング26の存在により、側周部を効果的に洗浄できないことが考えられる。それらのことを考慮して、本ノズル洗浄機10では、吸着ノズル20の側周部に向かって、直接、洗浄液を噴射可能な洗浄ノズル50cが設けられており、その洗浄ノズル50cによって、その側周部が効果的に洗浄されることになる。ちなみに、洗浄ノズル50a,50bと異なり、洗浄ノズル50cは、比較的拡散するような(噴霧範囲が広い)ミストを噴射させるようにされており、側周部の裏側の部分へも洗浄液が到達するよう配慮されている。
なお、洗浄ステーションSTA,STB,STCの各々とその各々に位置させる吸着ノズル20との関係から言えば、上記トレイ回転装置40は、ノズル保持部材と洗浄ノズルとの一方であるトレイ30を、他方である洗浄ノズル50に対して、吸着ノズル20が洗浄に供される際にその吸着ノズル20が洗浄ノズル50に対して設定された相対位置に位置するように移動させる相対移動装置として機能するものとされているのである。
さらに、本ノズル洗浄機10では、側周洗浄ステーションSTCに位置する吸着ノズル20が、吸着ノズル20a,20bのように、基部22に対して可動部24が摺動可能にされている場合、洗浄ノズル50cによる洗浄の際に、その吸着ノズル20の可動部24を摺動させるための機構、つまり、可動部摺動機構60が設けられている。可動部摺動機構60は、吸着ノズル20の可動部24に係合する係合部材としてのU字プレート62と、そのU字プレート62を上下に往復動作させるためのアクチュエータ64とを含んで構成されている。
例えば、先に説明した吸着ノズル20aの洗浄の際には、吸着ノズル20aがそれの基部22においてトレイ30に保持されており、U字プレート62の上桿部66が、可動部24の先端(上端)に係合し、アクチュエータ64によってU字プレート62が上下させられることで、可動部24の基部22に対する挿抜動作(往復動作)が実現される。その挿抜動作を、洗浄ノズル50cによる洗浄液の噴射を行いつつ行うことで、吸着ノズル20aの側周部に位置する摺動部が、効果的に洗浄されることになる。
また、例えば、先に説明した吸着ノズル20bの洗浄の際には、吸着ノズル20bがそれの基部22においてトレイ30に保持されており、U字プレート62の下桿部68が、可動部24の基端(下端)に係合し、アクチュエータ64によってU字プレート62が上下させられることで、吸着ノズル20aの洗浄の際と同様に、可動部24の基部22に対する挿抜動作(往復動作)が実現される。その挿抜動作を、洗浄ノズル50cによる洗浄液の噴射を行いつつ行うことで、吸着ノズル20aと同様に、吸着ノズル20bの側周部に位置する摺動部が、効果的に洗浄されることになる。
なお、本ノズル洗浄機10では、内側,外側の2つの円周に沿って、吸着ノズル20がトレイ30にセットされるようになっているが、内側,外側の一方の円周に沿ってのみ吸着ノズル20がセットされてもよく、また、一円周に沿ってのみ吸着ノズル20がセットされるトレイを採用してもよい。それらの場合には、上述の洗浄ノズル50aと、洗浄ノズル50bとの一方は、作動させる必要がない。そのことに鑑み、本ノズル洗浄機10は、洗浄ノズル50aおよび洗浄ノズル50bのビーム52に対する取付位置を変更可能な機構を有しており、一円周に沿ってセットされた吸着ノズル20の先端部の洗浄を、洗浄ノズル50aおよび洗浄ノズル50bの両方によって行うことが可能とされている。2つの洗浄ノズル50a,50bによる先端部の洗浄を行うことで、洗浄時間が短くて済み、迅速な吸着ノズル20の洗浄が可能となる。
また、本ノズル洗浄機10では、トレイ30を洗浄ノズル50に対して回転移動させるトレイ回転装置40を相対移動装置として採用しているが、逆に、洗浄ノズル50をトレイ30に対して回転させる相対移動装置を採用してもよい。さらに、本ノズル洗浄機10における相対移動装置は、回転移動を実行する装置であるが、直線的に吸着ノズル20が配列されるノズル保持部材を採用するノズル洗浄機の場合には、相対移動装置は直線移動を実行する装置とすればよい。
10:ノズル洗浄機 20a,20b:吸着ノズル 22:基部 24:可動部30:トレイ〔ノズル保持部材〕 40:トレイ回転装置〔相対移動装置〕 50a,50b,50c:洗浄ノズル 60:可動部摺動機構 62:U字プレート〔係合部材〕 L:ノズル軸線 STA:第1先端洗浄ステーション STB:第2先端洗浄ステーション STC:側周洗浄ステーション

Claims (5)

  1. 電子部品装着機に用いられて電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを洗浄するノズル洗浄機であって、
    基部とその基部に対して摺動可能な可動部とを有する吸着ノズルを、基部において保持するノズル保持部材と、
    そのノズル保持部材に保持された吸着ノズルに洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、
    前記ノズル保持部材によって保持された吸着ノズルの可動部を基部に対して摺動させる可動部摺動機構と
    を備え、
    前記洗浄ノズルから洗浄液を噴射させつつ、前記可動部摺動機構による可動部の摺動を行うように構成されたノズル洗浄機。
  2. 前記可動部摺動機構が、吸着ノズルの可動部と係合可能な係合部材を有し、その係合部材を動かすことによって、その可動部を摺動させるように構成された請求項1に記載のノズル洗浄機。
  3. 前記ノズル保持部材が、複数の吸着ノズルを保持するように構成され、
    当該ノズル洗浄機が、
    複数の吸着ノズルの各々が洗浄に供される際に、その各々が前記洗浄ノズルに対して設定された相対位置に位置するように、前記ノズル保持部材と前記洗浄ノズルとの一方を他方に対して移動させる相対移動装置を備えた請求項1または請求項2に記載のノズル洗浄機。
  4. 前記ノズル保持部材が、前記複数の吸着ノズルを、互いに中心を同じくする複数の円周上に配列させるようにして保持するように構成された請求項3に記載のノズル洗浄機。
  5. 前記洗浄ノズルが、吸着ノズルの軸線に対して傾いた方向に洗浄液を噴射させるように配置された請求項1ないし請求項4のいずれか1つに記載のノズル洗浄機。
JP2016528681A 2014-06-17 2014-06-17 ノズル洗浄機 Active JP6370901B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2014/065994 WO2015193961A1 (ja) 2014-06-17 2014-06-17 ノズル洗浄機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2015193961A1 JPWO2015193961A1 (ja) 2017-06-01
JP6370901B2 true JP6370901B2 (ja) 2018-08-08

Family

ID=54934994

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016528681A Active JP6370901B2 (ja) 2014-06-17 2014-06-17 ノズル洗浄機

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6370901B2 (ja)
CN (1) CN106457316B (ja)
WO (1) WO2015193961A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6503187B2 (ja) * 2015-01-07 2019-04-17 株式会社Fuji ノズル洗浄装置
CN110447318B (zh) * 2017-03-22 2021-03-05 株式会社富士 工具管理装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4889120B2 (ja) * 2007-06-18 2012-03-07 富士機械製造株式会社 ノズル清掃システム及びノズル清掃ユニット並びにノズル清掃方法
CN201168705Y (zh) * 2008-03-11 2008-12-24 赵永先 自动吸嘴清洗机
JP2010155185A (ja) * 2008-12-26 2010-07-15 Kazumi Corp ノズル洗浄装置およびバブル発生装置
CN101486036B (zh) * 2009-02-12 2010-09-15 天津市缘成电子科技发展有限公司 吸嘴清洗机
JP2010269214A (ja) * 2009-05-19 2010-12-02 Nakamura Choko:Kk ノズル洗浄装置
CN102059226B (zh) * 2010-11-02 2012-08-29 大连日佳电子有限公司 高温雾化清洗吸嘴装置
JP6161022B2 (ja) * 2012-05-08 2017-07-12 富士機械製造株式会社 吸着ノズル検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN106457316A (zh) 2017-02-22
CN106457316B (zh) 2019-12-06
JPWO2015193961A1 (ja) 2017-06-01
WO2015193961A1 (ja) 2015-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN207183227U (zh) 清洗装置
JP6370901B2 (ja) ノズル洗浄機
JP6503187B2 (ja) ノズル洗浄装置
CN206612763U (zh) 一种洗碗机器人
JP2012109565A (ja) 表面実装機の吸着ノズル
JP6661453B2 (ja) 洗浄装置
US8062434B2 (en) Cleaning device for cleaning nozzles of SMT machines
JP2014027201A (ja) 基板処理装置
JP2012135706A (ja) 容器内洗浄装置
KR102058863B1 (ko) 실내 공기의 오염을 방지하는 덕트 내부 청소 장치
KR101135229B1 (ko) 소자 실장용 흡착노즐 클리닝 장치
CN105665376B (zh) 干式指纹清洗装置
CN104209292B (zh) 机器人高压零件清洗机以及清洗方法
JP2012027025A5 (ja)
KR101749930B1 (ko) 고정밀 디스펜서 노즐용 석션 청소장치
KR19990009660A (ko) 반도체 웨이퍼의 후면 세정장치, 이를 이용한 웨이퍼 세정장치 및 웨이퍼 세정방법
CN205747087U (zh) 烟机清洗装置和烟机
TWM499738U (zh) 噴射驅動式電路板旋轉載具
JP2016087532A (ja) 敷板用洗浄機および敷板の洗浄方法
CN210304275U (zh) 一种多功能清洗装置
KR102058866B1 (ko) 오염 물질의 확산을 방지하는 덕트 내부 청소 장치
KR101159497B1 (ko) 소자 실장용 흡착노즐 클리닝 장치
JP6509652B2 (ja) 洗浄装置
CN102527582B (zh) 一种用于清洗圆片的喷头及其方法
CN204448473U (zh) 一种机器人成型空气杯罩的保护套

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170509

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180626

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180711

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6370901

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250