JP6074961B2

JP6074961B2 - 搬送装置

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Publication number: JP6074961B2
Application number: JP2012198470A
Authority: JP
Inventors: 中村　勉; 中村　　勉; 敦志今井; 二郎野原
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 2012-09-10
Filing date: 2012-09-10
Publication date: 2017-02-08
Anticipated expiration: 2032-09-10
Also published as: JP2014050940A

Description

本発明は、ロボットハンド及び搬送装置に関し、例えばワークを吸着して保持するロボットハンド及び当該ロボットハンドを備える搬送装置に関する。

ウエハ等のワークを搬送する際に、ワークを吸着して保持するロボットハンドが用いられている。

例えば特許文献１のロボットハンドは、当該ロボットハンドの一方の主面がワークに吸着して当該ワークを保持する。ここで、特許文献１のロボットハンドは、当該ロボットハンドの一方の主面に、第１の吸気孔と第２の吸気孔とが形成されている。そして、第１の吸気孔は第１の真空経路に連通され、第２の吸気孔は第２の真空経路に連通されている。このような構成により、一方の真空経路にトラブルが発生しても、他方の真空経路によってワークへの吸着を確保し、ワークの落下を防いでいる。

特開２０１１−２１１１１９号公報

ロボットハンドは、種々の形態でワークを保持することができる構成であることが好ましい。しかし、特許文献１のロボットハンドは、当該ロボットハンドの一方の主面のみでワークを保持する構成とされているため、種々の形態でワークを保持することができる構成でない。

本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、種々の形態でワークを保持することができるロボットハンド及び搬送装置を提供することを目的とする。

本発明の一形態に係るロボットハンドは、ワークを吸着して保持するロボットハンドであって、前記ロボットハンドの一方の主面に形成される複数の第１の吸気孔と、前記第１の吸気孔に連通される第１の真空経路と、前記ロボットハンドの他方の主面に形成される複数の第２の吸気孔と、前記第２の吸気孔に連通される第２の真空経路と、を備える。

上記ロボットハンドにおいて、本体部と、前記本体部から延在する延在部と、を備え、前記第１の吸気孔は、前記延在部に前記ワークを載置した状態で、前記延在部に前記ワークが吸着可能な位置に配置されることが好ましい。

上記ロボットハンドにおいて、前記本体部又は前記延在部に第１の貫通部を備えることが好ましい。

上記ロボットハンドにおいて、前記第１の貫通部は、前記本体部及び前記延在部を横断するように形成されていることが好ましい。

上記ロボットハンドにおいて、前記本体部に第２の貫通部を備えることが好ましい。

上記ロボットハンドにおいて、前記ロボットハンドの他方の主面から突出し、前記第２の吸気孔と連通する突出部を備えることが好ましい。

上記ロボットハンドにおいて、前記ワークは、ウエハ、前記ウエハの支持部材及びマスクであって、前記第２の吸気孔は、前記ロボットハンドの下面が前記ウエハを吸着した状態で、前記ウエハのパターンを避けた位置に配置されることが好ましい。

上記ロボットハンドにおいて、前記ワークであるウエハが間隔を開けて収納されるウエハケース内に前記延在部を挿入した状態で、前記ウエハケースとの干渉を防ぐ切り欠き部を備えることが好ましい。

本発明の一形態に係る搬送装置は、上記のロボットハンドと、前記ロボットハンドを端部に備えるロボットアームと、を備える。

以上、説明したように、本発明によると、種々の形態でワークを保持することができるロボットハンド及び搬送装置を提供することができる。

本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるためのホルダマガジン、マスクケース、ウエハケース、アライナ装置の回転機構及び貼り合せステージの配置を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係るロボットハンドを概略的に示す上面図である。本発明の実施の形態に係るロボットハンドを概略的に示す下面図である。本発明の実施の形態に係るロボットハンドにおける、ホルダ搬送部及びウエハ搬送部を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係るロボットハンドにおける、ウエハ・マスク搬送部を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係るロボットハンドを用いて、ホルダを搬送する様子を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係るロボットハンドを用いて、マスクを搬送する様子を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係るロボットハンドを用いて、ウエハを搬送する様子を概略的に示す図である。吸着パッドを概略的に示す断面図である。本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるために、ホルダマガジンからホルダを搬送する工程を概略的に示す図である。ホルダを概略的に示す斜視図である。本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるために、ホルダを貼り合せステージに搬送する工程を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるために、ウエハケースからウエハを搬送する工程を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるために、ロボットハンドに対するウエハの位置を補正する工程を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるために、ロボットハンドに対するウエハの位置を補正する工程を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるために、ウエハを貼り合せステージに搬送する工程を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるために、マスクケースからマスクを搬送する工程を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるために、ロボットハンドに対するマスクの位置を補正する工程を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるために、ロボットハンドに対するウエハの位置を補正する工程を概略的に示す図である。ロボットハンドに対するウエハの位置を補正する際の、ロボットハンドの貫通孔とマスクの位置合わせ孔との配置関係を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係る搬送装置を用いて、ウエハにマスクを貼り付けるために、マスクを貼り合せステージに搬送する工程を概略的に示す図である。ロボットハンドに対するマスクの位置を補正する際の、ロボットハンドの貫通孔とマスクの位置合わせ孔とウエハの位置合わせマークとの配置関係を概略的に示す図である。本発明の実施の形態に係る異なるロボットハンドを概略的に示す上面図である。本発明の実施の形態に係る異なるロボットハンドを概略的に示す上面図である。本発明の実施の形態に係る異なるロボットハンドを概略的に示す上面図である。本発明の実施の形態に係る異なるロボットハンドを概略的に示す上面図である。本発明の実施の形態に係る異なるロボットハンドを概略的に示す上面図である。本発明の実施の形態に係る異なるロボットハンドを概略的に示す上面図である。本発明の実施の形態に係る異なるロボットハンドを概略的に示す上面図である。

以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を参照しながら説明する。但し、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。

本実施の形態のロボットハンド及び搬送装置は、例えば図１に示すように、ウエハ１にマスク２を貼り合せる際に好適に用いられる。搬送装置３は、一般的な搬送装置と同様に、基部４にロボットアーム５の一端が連結されている。ロボットアーム５の他端には、ロボットハンド６が連結されている。ロボットアーム５は、ロボットハンド６を三次元の軸方向に移動させることができると共に、各々の軸を中心に当該ロボットハンド６を回転させることができる構成とされている。

ロボットハンド６は、図２に示すように、当該ロボットハンド６の一方の主面（本実施の形態では上面）に複数の第１の吸気孔７を備えている。第１の吸気孔７は、第１の真空経路８に連通されており、図示を省略した真空ポンプに接続されている。

また、ロボットハンド６は、図３に示すように、当該ロボットハンド６の他方の主面（本実施の形態では下面）に複数の第２の吸気孔９を備えている。第２の吸気孔９は、第２の真空経路１０に連通されており、図示を省略した真空ポンプに接続されている。

このような構成により、ロボットハンド６の上面だけでなく、下面でもワークを保持することが可能となり、種々の形態でワークを保持することができる。

以下に、本実施の形態のロボットハンド６の構成を詳細に説明する。ロボットハンド６は、図２乃至図５に示すように、本体部６ａ、延在部６ｂ、第１の切り欠き部６ｃ、第２の切り欠き部６ｄ、第１の吸気孔７、第１の真空経路８、第２の吸気孔９及び第２の真空経路１０を備えている。

本体部６ａの上面は、図４及び図６に示すように、ホルダ１１を搬送するホルダ搬送部Ａ１とされている。また、本体部６ａの下面は、図５、図７及び図１５等に示すように、ウエハ１又はマスク２を搬送するウエハ・マスク搬送部Ａ２とされている。さらに延在部６ｂは、図４及び図８に示すように、ウエハ１を搬送するウエハ搬送部Ａ３とされている。

本体部６ａは、図４及び図５に示すように、平面から見ると、例えばウエハ１及びマスク２の外形形状と略等しく、ホルダ１１の外形形状より小さい、略円盤形状とされている。但し、本体部６ａは、ウエハ１、マスク２及びホルダ１１を搬送可能な形状であれば、特に限定されない。

本体部６ａの上面及び下面は略平面に形成されており、上面と下面とは略平行に配置されている。そして、本体部６ａには、ロボットアーム５に連結される連結部６ｅが形成されている。また、本体部６ａにおける連結部６ｅと当該本体部６ａの中心を挟んで逆側には、延在部６ｂが形成されている。

延在部６ｂは、本体部６ａから延在している。延在部６ｂの上面は、本体部６ａの上面と略同一平面に形成されている。

第１の切り欠き部６ｃは、延在部６ｂ及び本体部６ａを横断するように形成されている。本実施の形態の第１の切り欠き部６ｃ（第１の貫通部）は、延在部６ｂの先端部から本体部６ａの中心を通り連結部６ｅまで到達する位置まで延在している。第１の切り欠き部６ｃの機能については後述する。

第２の切り欠き部６ｄは、本体部６ａに形成されている。本実施の形態の第２の切り欠き部６ｄは、本体部６ａの延在部６ｂ側における当該延在部６ｂを挟んだ位置に形成されている。第２の切り欠き部６ｄの機能については後述する。

第１の吸気孔７は、ロボットハンド６の上面に複数形成されている。本実施の形態の第１の吸気孔７は、図４等に示すように、延在部６ｂの上面にウエハ１を吸着させることができるように、延在部６ｂの上面に形成されている。そして、第１の吸気孔７は、第１の切り欠き部６ｃの両側に配置されている。また、第１の吸気孔７は、本体部６ａの中心を通る直線に対して略対称に配置されている。第１の吸気孔７は、上述したように、第１の真空経路８を介して真空ポンプに接続されている。

第１の真空経路８は、第１の吸気孔７から吸引される空気を真空ポンプに搬送する搬送路である。本実施の形態の第１の真空経路８は、図２に示すように、本体部６ａ及び延在部６ｂ内に形成された貫通坑であり、一方の端部に第１の吸気孔７が形成され、他方の端部に真空ポンプへの連結孔１２が形成されている。

第２の吸気孔９は、ロボットハンド６の下面に複数形成されている。本実施の形態の第２の吸気孔９は、図５等に示すように、本体部６ａの下面にウエハ１又はマスク２を吸着させることができるように、本体部６ａの下面に配置されている。そして、第２の吸気孔９は、第１の切り欠き部６ｃの両側に配置されている。また、第２の吸気孔９は、本体部６ａの中心を通る直線に対して略対称に配置されている。

ここで、第２の吸気孔９は、ロボットハンド６の下面にウエハ１のパターンが形成されている側の面（本実施の形態では上面）が吸着した際に、ウエハ１のパターン部分を損傷させないように、ウエハ１のパターン部分を避けて配置されていることが好ましい。詳細には、第２の吸気孔９は、ウエハ１のパターン部分を囲むように配置されている。これにより、ロボットハンド６の下面にウエハ１の上面を吸着させても、ウエハ１のパターン部分が損傷することが少ない。また、ウエハやマスクの撓みを抑制することができる。

第２の吸気孔９の近傍には、図９に示すように、当該第２の吸気孔９と連通する吸着パッド１３が設けられていることが好ましい。例えば吸着パッド１３は、ゴム等の合成樹脂製であって、上方から下方に向かって広がるロート形状に形成されている。これにより、本体部６ａの下面をウエハ１の上面に近付け、第２の吸気孔９から空気を吸引すると、吸着パッド１３が吸盤のようにウエハ１の上面に吸着する。そのため、ウエハ１の上面に本体部６ａの下面が直接に接触することがなく、ウエハ１のパターン部分の損傷をより確実に防ぐことができる。但し、吸着パッド１３は、ウエハ１の上面に本体部６ａの下面が直接に接触することを防ぐように、本体部６ａの下面から突出する突出部を形成できれば良い。

このような第２の吸気孔９は、上述したように、第２の真空経路１０を介して真空ポンプに接続されている。なお、真空ポンプは、第１の吸気孔７に接続される真空ポンプと共通でも良く、別の真空ポンプを用いても良く、第１の吸気孔７からの空気の吸引と第２の吸気孔９からの空気の吸引とを個別に制御できる構成とされていれば良い。

第２の真空経路１０は、第２の吸気孔９から吸引される空気を真空ポンプに搬送する搬送路である。本実施の形態の第２の真空経路１０は、図３に示すように、本体部６ａ内に形成された貫通坑であり、一方の端部に第２の吸気孔９が形成され、他方の端部に真空ポンプへの連結孔１４が形成されている。

以下に、上述のロボットハンド６を備える搬送装置３を用いて、ウエハ１にマスク２を貼り合せる工程を説明する。ここで、搬送装置３の周辺には、図１に示すように、ウエハ１が上下方向に間隔を開けて収容されるウエハケース１５、マスク２が上下に積層されたマスクケース１６、ホルダ１１が収容されるホルダマガジン１７、アライナ装置の回転機構１８及び貼り合せステージ１９が配置されている。

先ず、ロボットアーム５を制御して、図１０に示すように、ホルダマガジン１７内にロボットハンド６を挿入し、ロボットハンド６の本体部６ａの上面にホルダ１１を載置する。

ホルダ１１は、本体部１１ａ及び脚部１１ｂを備えている。本体部１１ａは、平面から見ると、ロボットハンド６の外形形状より大きく、且つ上面にウエハ１を載置可能な円盤形状に形成されている。ここで、本体部１１ａには、磁石２０が埋め込まれていることが好ましい。磁石２０の機能については後述する。

脚部１１ｂは、本体部１１ａの下面における周縁近傍に形成されており、略９０°毎に例えば２本ずつ配置されている。このとき、ロボットハンド６の第１の切り欠き部６ｃは、ロボットハンド６をホルダマガジン１７に挿入した際に、ホルダ１１の０°方向に配置された脚部１１ｂと、ホルダ１１の１８０°方向に配置された脚部１１ｂと、の干渉を防ぐために機能する。これにより、ロボットハンド６をホルダマガジン１７の所定の位置まで挿入することができ、ロボットハンド６の本体部６ａの上面にホルダ１１の本体部１１ａを良好に載置することができる。

ロボットハンド６の本体部６ａの上面にホルダ１１の本体部１１ａが載置されると、ロボットハンド６の本体部６ａの中心と、ホルダ１１の本体部１１ａの中心と、は平面から見て略等しい位置に配置される。このとき、上述したようにホルダ１１の本体部１１ａは、ロボットハンド６の本体部６ａに比べて大きな外形形状に形成されている。そのため、ホルダ１１の９０°方向に配置された脚部１１ｂは、ロボットハンド６の本体部６ａの外方領域において、当該本体部６ａの９０°方向に配置される。また、ホルダ１１の２７０°方向に配置された脚部１１ｂは、ロボットハンド６の本体部６ａの外方領域において、当該本体部６ａの２７０°方向に配置される。

次に、図１２に示すように、ロボットハンド６の上面にホルダ１１を載置した状態で、ロボットアーム５を制御して、ホルダ１１を貼り合せステージ１９に搬送する。このとき、ホルダ１１の脚部１１ｂを貼り合せステージ１９に形成されている嵌合穴（図示を省略）に嵌め込み、貼り合せステージ１９に対してホルダ１１を固定する。これにより、貼り合せステージ１９に対してホルダ１１を精度良く配置することができる。

このとき、ホルダ１１の脚部１１ｂは、貼り合せステージ１９の嵌合穴に嵌め込まれた状態で、ホルダ１１の本体部１１ａと貼り合せステージ１９との間に、ロボットハンド６の高さ（厚み）より大きな間隔を形成する。

そして、ロボットアーム５を制御して、ロボットハンド６を貼り合せステージ１９とホルダ１１との間から引き抜く。このとき、ホルダ１１の０°及び１８０°方向に配置された脚部１１ｂはロボットハンド６の第１の切り欠き部６ｃから抜け、ホルダ１１の９０°及び２７０°方向に配置された脚部１１ｂは、ロボットハンド６の本体部６ａの外方領域において、当該本体部６ａの９０°及び２７０°方向に配置されているため、つまり、ロボットハンド６の引き抜き方向に対して直交する方向において最も広い部分の外方に配置されているので、ロボットハンド６の本体部６ａに干渉することがない。

次に、ロボットアーム５を制御して、図１３に示すように、ウエハケース１５からウエハ１を搬送するべく、ウエハケース１５内にロボットハンド６を挿入する。

つまり、上下に間隔を開けて配置されているウエハ１とウエハ１との間にロボットハンド６の延在部６ｂを挿入し、当該延在部６ｂの上面にウエハ１を載置し、第１の吸気孔７から空気を吸引して延在部６ｂの上面にウエハ１の下面を吸着させる。

このように延在部６ｂは、当該延在部６ｂにウエハケース１５内のウエハ１を良好に載置することができる形状とされている。ここで、延在部６ｂの上面にウエハ１の下面を吸着させた際に、延在部６ｂの先端部がウエハ１の重心位置よりも突出するように、延在部６ｂの長さが設定されていることが好ましい。これにより、ウエハ１の落下を防ぐことができる。

ロボットハンド６の第２の切り欠き部６ｄは、図１３に示すように、ロボットハンド６とウエハケース１５との干渉を防ぐために機能する。つまり、第２の切り欠き部６ｄは、ウエハケース１５内のウエハ１を当該ウエハケース１５から搬送するべく、ウエハケース１５内に延在部６ｂを挿入した際に、本体部６ａがウエハケース１５と干渉しないように、本体部６ａに形成されている。第２の切り欠き部６ｄの形状は、ウエハケース１５との干渉を防ぐことができれば、特に限定されない。

次に、ロボットアーム５を制御して、図１４に示すように、ウエハ１をアライナ装置の回転機構１８上に搬送する。このとき、ロボットハンド６の第１の切り欠き部６ｃは、回転機構１８の配置スペースを確保するために機能する。これにより、ロボットハンド６の延在部６ｂの上面に保持されたウエハ１の略中央位置を回転機構１８上に載置することができる。

そして、アライナ装置は、回転機構１８を制御して、延在部６ｂとの吸着状態が解除されたウエハ１をθ方向に回転させてロボットハンド６に対するウエハ１のθ方向の位置補正を行う。

次に、ロボットアーム５を制御して、図１５に示すように、ロボットハンド６をウエハ１の下面側から上面側に移動する。そして、アライナ装置は、ウエハ１の位置合わせマーク（例えばオリエンテーションフラットやノッチ）の位置に基づいて、ロボットアーム５及び回転機構１８を制御して、ロボットハンド６に対するウエハ１のＸ・Ｙ軸方向及びθ方向の位置補正を行う。

ここで、本体部６ａには、貫通孔（第２の貫通部）６ｆが形成されていることが好ましい。貫通孔６ｆには、ウエハ１の位置合わせマークが配置される。これにより、アライナ装置は、撮像装置によって本体部６ａの貫通孔６ｆ近傍を撮像し、撮像した画像に基づいて貫通孔６ｆの中央にウエハ１の位置合わせマークの略中央が配置されるように、ロボットアーム５及び回転機構１８を制御することで、ロボットハンド６に対してウエハ１を正確な位置に簡単に配置することができる。貫通孔６ｆは、例えば第１の切り欠き部６ｃの両側に配置される。

そして、ロボットハンド６の第２の吸気孔９から空気を吸引して本体部６ａの下面にウエハ１の上面を吸着させる。このとき、第２の吸気孔９は、ウエハ１のパターン部分を避けるように配置されている。また、第２の吸気孔９に吸着パッド１３が設けられ、当該吸着パッド１３を介して本体部６ａの下面にウエハ１が吸着しており、ウエハ１の上面は本体部６ａの下面に直接に接触しない。そのため、ウエハ１のパターン部分の損傷を防ぐことができる。

次に、ロボットアーム５を制御して、図１６に示すように、ウエハ１を貼り合せステージ１９に配置されたホルダ１１上に載置する。そして、ロボットハンド６の本体部６ａにおけるウエハ１の下面への吸着状態を解除する。

次に、ロボットアーム５を制御して、図１７に示すように、ロボットハンド６をマスクケース１６のマスク２上に配置し、第２の吸気孔９から空気を吸引して本体部６ａの下面にマスク２の上面を吸着させる。

次に、ロボットアーム５を制御して、図１８に示すように、マスク２の略中央位置をアライナ装置の回転機構１８上に載置する。そして、アライナ装置は、回転機構１８を制御して、本体部６ａの吸着状態が解除されたマスク２をθ方向に回転させてロボットハンド６に対するマスク２の位置補正を行う。

さらに、アライナ装置は、図１９に示すように、ロボットアーム５及び回転機構１８を制御して、ロボットハンド６に対するマスク２のＸ・Ｙ軸方向及びθ方向の位置補正を行う。ここで、図２０に示すように、マスク２には、貫通孔６ｆより小径であって、且つウエハ１の位置合わせマークを内部に収めることができる径の位置合わせ孔２ａが形成されていることが好ましい。これにより、アライナ装置は、撮像装置によって本体部６ａの貫通孔６ｆ近傍を撮像し、貫通孔６ｆの中央にマスク２の位置合わせ孔２ａの略中央が配置されるように、ロボットアーム５及び回転機構１８を制御することで、ロボットハンド６に対してマスク２を正確な位置に簡単に配置することができる。

そして、ロボットハンド６の第２の吸気孔９から空気を吸引して本体部６ａの下面にマスク２の上面を吸着させる。

次に、ロボットアーム５を制御して、図２１に示すように、マスク２を貼り合せステージ１９に配置されたウエハ１上に載置する。このとき、図２２に示すように、ロボットハンド６の貫通孔６ｆの中央にウエハ１の位置合わせマーク１ａの略中央及びマスク２の位置合わせ孔２ａの略中央が配置されるように、ロボットアーム５を制御してマスク２の位置合わせが実行される。貫通孔６ｆより小径であって、且つウエハ１の位置合わせマーク１ａを内部に収めることができる径の位置合わせ孔２ａをマスク２に形成することで、マスク２に対するウエハ１の位置、及びロボットハンド６に対するマスク２の位置を正確に把握することができ、結果としてウエハ１とマスク２とロボットハンド６とを精度良く位置合わせすることができる。

ここで、マスク２は磁性体であることが好ましい。これにより、マスク２はホルダ１１に磁気吸引され、ウエハ１上に固定される。

最後に、ロボットアーム５を制御して、ホルダ１１とウエハ１とマスク２との積層体の下方にロボットハンド６を配置し、ロボットハンド６の本体部６ａの上面に当該積層体を載置し、ホルダマガジン１７に収容する。

このようなロボットハンド６及び搬送装置１は、上述のように上面だけでなく、下面でもワークを保持することができるので、種々な形態でワークを保持することができる。

しかも、搬送装置３は、ホルダ１１、ウエハ１、マスク２を夫々保持する際にロボットハンドを交換する必要がないので、交換による組立誤差等がなくなり、精度良く複数のワークを搬送することができる。また、ロボットハンドの交換時間を省略することができ、複数種類のワークを短時間で搬送することができる。さらにワークの種類に応じてロボットハンドを用意する必要がないので、コストを削減できる。加えて、交換用のロボットハンドを配置するスペースを省略することができ、省スペース化に寄与できる。

以下に、ロボットハンド６の他の形態を説明する。なお、以下の説明において、同一の要素には同一の符号を用い、重複する説明は省略する。

上述のロボットハンド６は、ホルダ１１の脚部１１ｂと干渉しないように第１の切り欠き部６ｃが形成されているが、ステージ１９側に脚部を設けてホルダ１１に脚部１１ｂが形成されない場合は、少なくともアライナ装置の回転機構１８を配置する貫通孔を備えていれば良い。

例えば、図２３に示すロボットハンド６１は、上述のロボットハンド６の第１の切り欠き部６ｃを省略し、平面から見て円形の貫通孔６１ａを備えている。また、図２４に示すロボットハンド６２は、上述のロボットハンド６の第１の切り欠き部６ｃを省略して、平面から見て矩形状の貫通孔６２ａを備えている。また、図２５に示すロボットハンド６３は、上述のロボットハンド６の第１の切り欠き部６ｃを省略して、平面から見て八角形（但し、多角形であれば良い。）の貫通孔６３ａを備えている。

さらにアライナ装置の回転機構１８を用いてワークの位置修正を行わない場合は、図２６に示すロボットハンド６４のように、上述のロボットハンド６の第１の切り欠き部６ｃや当該回転機構１８を配置するための貫通孔を省略した構成でも良い。

上述のロボットハンド６等は、ウエハ１の外形形状に倣って本体部６ａを円盤形状としているが、ウエハ１を良好に保持することができ、且つウエハケース１５との干渉を防ぐことができれば、特にロボットハンド６の形状は限定されない。

例えば、図２７に示すロボットハンド６５は、上述のロボットハンド６の延在部６ｂに比べて延在部６５ｂを長くし、平面から見て本体部６５ａを矩形状に形成している。また、図２８に示すロボットハンド６６の延在部６６ｂは、図２３に示すロボットハンド６１の延在部６ｂをウエハ１の円弧に倣った形状としている。

上述のロボットハンド６等は、平面から見てウエハ１と略等しい平面領域を有しているが、ワークを良好に保持できる場合は、図２９に示すロボットハンド６７のように、本体部６７ａの幅寸法Ｔ１がワークの幅寸法Ｔ２より狭くても良い。

以上、本発明に係るロボットハンド及び搬送装置の実施の形態を説明したが、上記に限らず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲で、変更することが可能である。

１ウエハ、１ａ位置合わせマーク
２マスク
２ａ位置合わせ孔
３搬送装置
４基部
５ロボットアーム
６ロボットハンド
６ａ本体部
６ｂ延在部
６ｃ第１の切り欠き部
６ｄ第２の切り欠き部
６ｅ連結部
６ｆ貫通孔
７第１の吸気孔
８第１の真空経路
９第２の吸気孔
１０第２の真空経路
１１ホルダ、１１ａ本体部、１１ｂ脚部
１２連結孔
１３吸着パッド
１４連結孔
１５ウエハケース
１６マスクケース
１７ホルダマガジン
１８回転機構
１９ステージ
２０磁石
２１回転機構
６１ロボットハンド、６１ａ貫通孔
６２ロボットハンド、６２ａ貫通孔
６３ロボットハンド、６３ａ貫通孔
６４ロボットハンド
６５ロボットハンド、６５ａ本体部、６５ｂ延在部
６６ロボットハンド、６６ｂ延在部
６７ロボットハンド、６７ａ本体部
Ａ１ホルダ搬送部
Ａ２ウエハ・マスク搬送部
Ａ３ウエハ搬送部

Claims

ワークを吸着して保持するロボットハンドと、
前記ロボットハンドを端部に備えるロボットアームと、を備える搬送装置であって、
前記ロボットハンドは、前記ワークであるウエハ及びマスクの外形形状と略等しく、且つ前記ワークであるホルダの外形形状より小さい、外形形状を有し、上面に前記ホルダが載置される本体部と、前記本体部から延在し、上面が前記本体部の上面と同一平面に形成される延在部と、を備え、
前記延在部の上面に形成される複数の第１の吸気孔と、
前記第１の吸気孔に連通される第１の真空経路と、
前記本体部の下面に形成される複数の第２の吸気孔と、
前記第２の吸気孔に連通される第２の真空経路と、を備え、
前記延在部の上面に載置された前記ワークを前記第１の吸気孔により前記延在部の上面に吸着して搬送可能であると共に、前記ワークを前記第２の吸気孔により重力に逆らって前記本体部の下面に吸着して搬送可能である、
搬送装置。
前記本体部又は前記延在部に第１の貫通部を備える請求項１に記載の搬送装置。
前記第１の貫通部は、前記本体部及び前記延在部を横断するように形成されている請求項２に記載の搬送装置。
前記本体部に第２の貫通部を備える請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送装置。
前記本体部の下面から突出し、前記第２の吸気孔と連通する突出部を備える請求項１乃至４のいずれか１項に記載の搬送装置。
前記第２の吸気孔は、前記本体部の下面に前記ウエハが吸着した状態で、前記ウエハのパターンを避けた位置に配置される請求項１乃至５のいずれか１項に記載の搬送装置。
前記ウエハが間隔を開けて収納されるウエハケース内に前記延在部を挿入した状態で、前記ウエハケースとの干渉を防ぐ切り欠き部を、前記本体部が備える請求項１乃至６のいずれか１項に記載の搬送装置。