JP2007021643A - 永久磁石を用いたワーク吸着装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 ロボットによる曲げ加工システムにおいて、複雑な電気回路を設けることなく、群管理が可能であって、設置スペースが少なくて済み、段取り時間を短縮し、ワークを確実に解放できる永久磁石を用いたワーク吸着装置を提供する。
【解決手段】 シリンダ5の下端部を、ワークWに当接自在な当接ストッパとし、該ワークWを吸着する永久磁石9を、シリンダ5内のピストン7下端部に設けた。上記シリンダ5が、ロボット3のハンド本体4に多数取り付けられ、各シリンダ5の下端部には、弾性体で形成された当接ストッパ6が設けられていると共に、各シリンダ5の上端部には、エア配管21が結合され、該エア配管21は、既存のバキュームパッド用エア回路31に接続されている。
【選択図】 図4

Description

本発明は、ロボットによる曲げ加工システムにおいて、永久磁石の磁力によりワークを吸着する永久磁石を用いたワーク吸着装置に関する。
従来より、ロボットによる曲げ加工システムにおいては、ローディング・アンローディングロボットやベンディングロボットのハンド本体に、電磁石又は永久磁石の磁力を利用してワークを吸着する装置が取り付けられている。
このうち、電磁石70を(図10)用いてワークWを吸着する装置は、ワークWの大きさ・形状に基づき、多数の電磁石70のうちのどれを励磁するかという系統分けによる群管理を行うためには、複雑な電気回路を必要とし、その分コスト高となることから、永久磁石を用いたワーク吸着装置が開発され、例えば特開平9ー29365号公報に開示されている。
この装置の概略は、図11(A)に示され、上下動する永久磁石71の両側に棒状ストッパ72を配置した構成を有する。
この構成により、図11(A)の装置は、ワークW吸着時には(破線)、両側の棒状ストッパ72をワークWに当接させた状態で永久磁石71を下降させてワークWを吸着し、ワークW解放時には(実線)、永久磁石71を上昇させて棒状ストッパ72に当接しているワークWを、該永久磁石71の磁力から解放するようになっている。
特開平9ー29365号公報
しかし、前記従来の永久磁石を用いたワーク吸着装置は(図11(A))、永久磁石71と、棒状ストッパ72が離れており、そのため、両者の間隔が極めて大きい。
その結果、上記永久磁石71と棒状ストッパ72を、ロボットのハンド本体に設置しようとする場合には、比較的広い設置スペースが必要となり、また、ワークW上面のどの位置を吸着したらよいかといった吸着位置調整のための段取り時間が長くなる。
更には、ワークWの(図11(B))形状によっては、永久磁石71を上昇させても、ワークWを解放できないことがある。
即ち、図示するように、ワークWの内側を、一方の棒状ストッパ72だけで当接させた状態で、ワークWの端部を永久磁石71で吸着することがある(破線)。
この場合に、永久磁石71(実線)を上昇させてワークWを解放させようとしても、該ワークWは、その端部が永久磁石71と共に上昇するので、一方の棒状ストッパ72だけが当接している内側を支点として、時計方向に旋回し、前記図11(A)のようにはワークWを、解放させることはできない。
本発明の目的は、ロボットによる曲げ加工システムにおいて、複雑な電気回路を設けることなく、群管理が可能であって、設置スペースが少なくて済み、段取り時間を短縮し、ワークを確実に解放できる永久磁石を用いたワーク吸着装置を提供する。
上記課題を解決するために、本発明は、
請求項1に記載したように、シリンダ5の下端部を、ワークWに当接自在な当接ストッパとし、該ワークWを吸着する永久磁石9を、シリンダ5内のピストン7下端部に設けたことを特徴とする永久磁石を用いたワーク吸着装置2という手段を講じている。
上記本発明の構成によれば、永久磁石を用いたワーク吸着装置2を、例えばロボット3(図1)のハンド本体4に取り付け、該ワーク吸着装置2を構成するシリンダ5の上端部を、エア配管21を介して既存のバキュームパッド用エア回路31(図6)に接続すれば、このエア回路31を制御した場合の、圧縮空気Aの供給と遮断に伴う、各永久磁石9の下降によるワークWの吸着動作と(例えば図5(B))上昇によるワークWの解放動作が(図5(A))、同様に圧縮空気Aの供給と遮断に伴う、既存の各バキュームパッドVP(図6)の真空の発生と破壊によるワークの吸着動作と解放動作に全く同じであり、このため、複雑な電気回路を設けることなく、既存のバキュームパッド用エア回路31(図6)を制御するだけで、ワークWの大きさ・形状に基づき、多数の永久磁石9のどれを上下動させるかという系統分けによる群管理が可能となる。
また、シリンダ5の下端部に設けたゴム製の当接ストッパ6が(例えば図4)、永久磁石9の外周を包囲した状態で配置されているので、永久磁石9と当接ストッパ6は接近していて、両者の間隔が極めて小さくほぼ一体化しており、そのため、ハンド本体4(図3)に設置する場合の設置スぺースが少なくて済むと共に、ワークW上面のどの位置を吸着するかという吸着位置調整のための段取り時間が短縮され、更に、ワークW解放時に(図5(A))永久磁石9を上昇させた場合に、それに吸着しているワークWが上昇しようとしても、永久磁石9の外周に対応するワークW上面部分の全部が、前記当接ストッパ6に当接しているので、ワークWの上昇は、該当接ストッパ6で阻まれて完全に停止され、従って、上昇する永久磁石9の磁力も、停止しているワークWには完全に及ばなくなり、該ワークWは永久磁石9から確実に解放される。
上記のとおり、本発明によれば、ロボットによる曲げ加工システムにおいて、複雑な電気回路を設けることなく、群管理が可能であって、設置スペースが少なくて済み、段取り時間を短縮し、ワークを確実に解放できる永久磁石を用いたワーク吸着装置を提供するという効果を奏する。
以下、本発明を、実施の形態により添付図面を参照して、説明する。
図1は本発明の全体斜視図であり、図示するロボットによる曲げ加工システムは、曲げ加工装置10と、該曲げ加工装置10にベースプレート15を介して取り付けられたベンディングロボット11と、該ベンディングロボット11の側方に配置されたローディング・アンローディングロボット3を有している。
そして、例えばこのローディング・アンローディングロボット3、即ち搬入出ロボット3のハンド本体4には、本発明に係る永久磁石を用いたワーク吸着装置2が取り付けられている。
上記搬入出ロボット3の近傍には、素材Tとしてのワークを積載する例えばワーク一枚取り装置の素材台1と、ベンディングロボット11、即ち曲げロボット11が、そのグリップ17から加工直後の製品Qを解放して載せる中間台8と、搬入出ロボット3が、本発明に係る永久磁石を用いたワーク吸着装置2により前記中間台8から吸着した製品Qを積載する製品積載台12がそれぞれ配置されている。
また、曲げ加工装置10としては、例えばプレスブレーキがあり、該プレスブレーキは、よく知られているように、上部テーブル13に装着されたパンチPと、下部テーブル14に装着されたダイDを有している。
この構成により、既述した搬入出ロボット3が、そのワーク吸着装置2で吸着した素材Tとしてのワークを、グリップ17を介して受け取った曲げロボット11が、該ワークを突当18、19に突き当てて位置決めした後、プレスブレーキは、この位置決めされたワークを前記パンチPとダイDで曲げ加工する。
既述したように、永久磁石を用いたワーク吸着装置2は、搬入出ロボット3に取り付けられているが、曲げロボット11に取り付けることもできる。
例えば、搬入出ロボット3に取り付けられる場合には、図3に示すように、搬入出ロボット3のフレーム状ハンド本体4に、永久磁石を用いたワーク吸着装置2を構成するシリンダ5が多数取り付けられ、各シリンダ5の下端部には、当接ストッパ6が設けられ,各シリンダ5の上端部には、既述したように、既存のバキュームパッド用エア回路31(図1)に接続されたエア配管21が結合されている。
このワーク吸着装置2の詳細は、図4と図7に示され、前者は第1実施例、後者は第2実施例である。
このうち第1実施例においては(図4)、前記既存のバキュームパッド用エア回路31(図1)に接続されたエア配管21が(図4)、ハンド本体4を貫通し、該エア配管21は、既述したように、シリンダ5の上端部に結合している。
シリンダ5の下端部には、弾性体(例えばゴム)で形成された当接ストッパ6が設けられ、例えば前記搬入出ロボット3(図1)のハンド本体4を素材台1の上方へ移動させた後、下降させれば、前記当接ストッパ6は(図4)ワークWの上面に当接する。
この当接ストッパ6には、開口部6Aが形成され、該開口部6A内には、後述する永久磁石9が配置されていて上下動するようになっている。
上記当接ストッパ6は、後述するように(図5(B))、圧縮空気Aの供給に基づく永久磁石9の下降によるワークW吸着時には、該ワークWに当接してそれを押圧固定する機能を有し、圧縮空気Aの遮断に基づく永久磁石9の上昇によるワークW解放時には(図5(A))、該ワークWの上昇を停止させそれを永久磁石9から確実に解放する機能を有する。
前記シリンダ5内には(図4)、ピストン7が配置され、該ピストン7の下端部には、永久磁石9がボルト24を介して固定されている。
また、ピストン7の上方に設けた突起7Aの下端には、第1スプリング20の一端が取り付けられ、該第1スプリング20の他端は、シリンダ5の下部に設けられた突起5Aの上端に取り付けられている。
これにより、永久磁石9が設けられたピストン7は、第1スプリング20を介してシリンダ5に当接している。
この構成により、前記エア回路31のエア源30(図1)から圧縮空気Aが供給されない場合には、ピストン7は、シリンダ5内において、第1スプリング20の復元力により上方に付勢され、該ピストン7下端部の永久磁石9は、ワークWの上面よりも例えば高さH(図5(A))の位置にある。
しかし、圧縮空気A(図5(B))を供給すると、該圧縮空気Aはエア配管21内を落下してシリンダ5内に進入し、ピストン7を押圧するので、該ピストン7は、第1スプリング20の復元力に抗して下降し、該ピストン7の下端部に設けられた永久磁石9も下降することにより、ワークW上面を吸着する。
この状態で、圧縮空気Aを遮断すると(図5(A))、押圧されていたピストン7が解放されるので、該ピストン7は第1スプリング20の復元力により上昇し、該ピストン7の下端部に設けられた永久磁石9も上昇することにより、当接ストッパ6に当接しているワークWが永久磁石9から解放される。
この場合、永久磁石9を上昇させた場合には、該永久磁石9に吸着しているワークWも上昇しようとする。
しかし、当接ストッパ6が永久磁石9の外周を包囲する状態で配置されていることから、上昇する永久磁石9の外周に対応するワークW上面部分の全部が、この当接ストッパ6に当接している。
従って、本発明によれば、永久磁石9の上昇に伴うワークWの上昇は、前記当接ストッパ6で阻まれて完全に停止され、このため、上昇する永久磁石9の磁力も、当接ストッパ6に当接して停止しているワークWには完全に及ばなくなり、該ワークWは永久磁石9から確実に解放される。
また、既述したように、当接ストッパ6は、永久磁石9の外周を包囲した状態で配置されていることにより、両者は接近していて、両者の間隔が極めて小さくほぼ一体化している。
従って、本発明によれば、ハンド本体4(図3)に設置する場合の設置スぺースが少なくて済むと共に、ワークW上面のどの位置を吸着するかという吸着位置調整のための段取り時間が短縮される。
更に、前記エア配管21(図4)の外周には、第2スプリング22が配置され、該第1スプリング20の一端は、ハンド本体4に取り付けられ、他端は、シリンダ5の上端部に取り付けられている。
この構成により、シリンダ5は、第2スプリング22を介して、前記ハンド本体4に当接しており、シリンダ5下端部の当接ストッパ6が、ワークWの上面に当接したときに、該シリンダ5全体の衝撃が吸収されるようになっている。
図6は、既存のバキュームパッド用エア回路31の例であり、該エア回路31には、既述したように、前記本発明に係る永久磁石を用いたワーク吸着装置2を構成するシリンダ5が、エア配管21を介して接続されている。
この図6において、従来の既存のバキュームパッドVP(破線)は、よく知られているように、エア回路31を構成する絞り弁31Aに接続され、エア源30から供給された圧縮空気Aを(破線)前記絞り弁31Aとサイレンサ31Bを介して大気中に排出すれば、該絞り弁31A内が低圧になってバキュームパッドVP内のエアが絞り弁31A側に流れ、該バキュームパッドVP内に真空が発生してワークWを吸着する(例えば、特開平8−238531号公報の明細書の段落番号0005〜0006(図2)、0020〜0021(図1))。
また、反対に、圧縮空気Aを遮断すれば、絞り弁31A内が高圧になってバキュームパッドVP内にエアが進入することにより、該バキュームパッドVP内の真空が破壊され、ワークWは解放される。
このバキュームパッドVPの代わりに、本発明のワーク吸着装置2を構成するシリンダ5を、図示するように、前記エア配管21を介して、前記既存のバキュームパッド用エア回路31に接続する。
この構成により、エア源30からの圧縮空気Aを、前記エア配管21を介して、各シリンダ5に供給すれば、既述したように(図5(B))、該圧縮空気Aにによりシリンダ5内のピストン7が押圧され、第1スプリング20の復元力に抗して下降するので、該ピストン7の下端部に設けられた永久磁石9も下降してワークWを吸着する。
これとは反対に、圧縮空気Aを遮断すれば、既述したように(図5(A))、永久磁石9を有するピストン7は、第1スプリング20の復元力により上昇するので、当接ストッパ6に当接して停止しているワークWは、ピストン7下端部の永久磁石9から解放される。
このように、エア回路31(図6)を制御することにより、圧縮空気A(実線)の供給と遮断に伴う、各永久磁石9の下降によるワークWの吸着動作と(図5(B))上昇によるワークWの解放動作が(図5(A))行われるが、この動作は、同様に圧縮空気A(図6)(破線)の供給と遮断に伴う、既存の各バキュームパッドVPの真空の発生と破壊によるワークWの吸着動作と解放動作に全く同じである。
従って、本発明によれば、複雑な電気回路を設けることなく、既存のパキュームパッド用エア回路31(図6)を制御し、電磁弁32を切り替えるだけで、ワークWの大きさ・形状に基づき、多数の永久磁石9のどれを上下動させるかという系統分けによる群管理が可能となる。
以下、前記構成を有する本発明に係る永久磁石を用いたワーク吸着装置2の第1実施例の動作を、図5に基づいて、説明する。
当初は(図5(A))、永久磁石9を有するピストン7は、第1スプリング20の復元力により上方に付勢され、図示するように、シリンダ5の天井に当接している。
この状態で、例えば搬入出ロボット3(図1、図2)を駆動してそのハンド本体4を素材台1の上方まで移動させた後下降させれば、図5(B)に示すように、シリンダ5下端部の当接ストッパ6が素材TとしてのワークWの上面に当接し、該ワークWを押圧固定する。
そして、エア源30(図1)からの圧縮空気Aを、エア回路31を通じて前記シリンダ5に(図5(B))結合しているエア配管21に供給すれば、該圧縮空気Aは、シリンダ5内のピストン7を押圧することにより、該ピストン7が第1スプリング20の復元力に抗して下降するので、その下端部の永久磁石9も下降してワークW上面を吸着する。
このようにワークWを一枚取りした状態で、搬入出ロボット3(図1、図2)を再度駆動してハンド本体4を上昇させた後曲げロボット11側に移動させ、プレスブレーキの(図1)右端で待機している曲げロボット11のグリップ17に、一枚取りしたワークWを受け渡す。
このワークWを受け渡すときには、搬入出ロボット3側の永久磁石を用いたワーク吸着装置2(図5(A))においては、圧縮空気Aの供給が遮断されるので、該圧縮空気Aで押圧されていたピストン7が、再度第1スプリング20の復元力で上昇することにより、その下端部の永久磁石9も上昇する。
これにより、当接ストッパ6に当接していたワークWが、前記永久磁石9から解放され、前記曲げロボット11の(図1、図2)グリップ17は、解放されたワークWを把持し、グリップ17で把持されたワークWは、突当18、19で位置決めされた後、既述したように、プレスブレーキのパンチPとダイDで曲げ加工される。
そして、曲げ加工された製品Qとしてのワークが、曲げロボット11により中間台8に置かれると、再度搬入出ロボット3がそのハンド本体4に取り付けられた本発明に係る永久磁石を用いたワーク吸着装置2を用いて、製品Qとしてのワークを吸着し、該製品Qを吸着した状態で、今度はハンド本体4を製品積載台12側へ移動させることにより、その製品Qを解放して製品積載台12上に積載する。
この場合、搬入出ロボット3が製品Qとしてのワークを吸着し、また解放する動作は、既述した図5(B)、図5(A)で説明した動作と全く同じである。
図7は、既述したように、本発明の第2実施例を示し、第1実施例(図4)との主な相違は、ピストン7(図7)の下端部に、大径の永久磁石9が設けられている点と、該ピストン7を上方に付勢する第1スプリング20が、シリンダ5外のエア配管上端部のフランジ25に設けられている点にある。
即ち、図7において、シリンダ5内には、同様に、ピストン7が配置されているが、該ピストン7の下端部には、既述した第1実施例の(図4)永久磁石9よりも大径であって、ワークWに対する吸着面がより大きい永久磁石9が嵌め込まれて固定されている。
また、ピストン7は、ロッド27の下端部にねじ固定され、該ロッド27は、エア配管21を貫通して上方に延び、該エア配管21の外方に突出しており、このエア配管21の外方に突出したロッド27部分には、円筒部材26が設けられている。
そして、この円筒部材26内には、第1スプリング20の一端が取り付けられ、他端がエア配管21の上端部に設けられたフランジ25の上面に取り付けられている。
これにより、永久磁石9が設けられたピストン7は、前記ロッド27と第1スプリング20を介して、エア配管21上端部のフランジ25に当接している。
この構成により、同様に、前記エア回路31のエア源30(図1)から圧縮空気Aが供給されない場合には、ピストン7は(図7)、シリンダ5外のエア配管上端部のフランジ25において、ロッド27を介して第1スプリング20の復元力により上方に付勢され、該ピストン7下端部の永久磁石9は、ワークWの上面よりも例えば高さH(図8(A))の位置にある。
しかし、圧縮空気A(図8(B))を供給すると、該圧縮空気Aは、ロッド27の周囲のエア配管21内を落下してシリンダ5内に進入し、ピストン7を押圧する。
これにより、ピストン7は、前記エア配管21上端部のフランジ25上の第1スプリング20の復元力に抗して、ロッド27と共に下降するので、該ピストン7下端部の永久磁石9も下降してワークW上面を吸着する。
このとき、図示するように、前記ロッド27が下降するに伴って、第1スプリング20が撓むと同時に、円筒部材26が前記フランジ25上面に当接し、ロッド27下端部のピストン7は、該ピストン7の自重の他にロッド27の自重が加わってより強力に押圧されるので、大径の永久磁石9も一層強固にワークWを吸着する。
この状態で、圧縮空気Aを遮断すると(図8(A))、押圧されていたピストン7が解放されるので、該ピストン7は、第1スプリング20の復元力により、ロッド27及び円筒部材26と共に上昇し、該ピストン7下端部の永久磁石9も上昇することにより、当接ストッパ6に当接しているワークWが永久磁石9から解放される。
この場合、永久磁石9を上昇させた場合には、同様に、該永久磁石9に吸着しているワークWも上昇しようとする。
しかし、当接ストッパ6が永久磁石9の外周を包囲する状態で配置されていることから、上昇する永久磁石9の外周に対応するワークW上面部分の全部が、この当接ストッパ6に当接している。
従って、本発明によれば、同様に、永久磁石9の上昇に伴うワークWの上昇は、前記当接ストッパ6で阻まれて完全に停止され、このため、上昇する永久磁石9の磁力も、当接ストッパ6に当接して停止しているワークWには完全に及ばなくなり、該ワークWは永久磁石9から確実に解放される。
また、既述したように、当接ストッパ6は、永久磁石9の外周を包囲した状態で配置されていることにより、同様に、両者は接近していて、両者の間隔が極めて小さくほぼ一体化している。
従って、本発明によれば、同様に、ハンド本体4(図3)に設置する場合の設置スぺースが少なくて済むと共に、ワークW上面のどの位置を吸着するかという吸着位置調整のための段取り時間が短縮される。
更に、エア配管21は(図7)、図示するように、第2スプリング22を介して、ハンド本体4内で当接しており、該エア配管21に結合しているシリンダ5下端部の当接ストッパ6がワークWの上面に当接したときに、該シリンダ5全体の衝撃が吸収されるようになっている。
更には、図7に示す永久磁石を用いたワーク吸着装置2を、エア配管21を介して、既存のバキュームパッド用エア回路31(図6)に接続することにより、同様に、本発明によれば、複雑な電気回路を設けることなく、この既存のバキュームパッド用エア回路31を制御するだけで、ワークWの大きさ・形状に基づき、多数の永久磁石9のどれを上下動させるかという系統分けによる群管理が可能となる。
また、ロボットによる曲げ加工システム(図1、図2)において、本発明の第2実施例(図7)のワーク吸着装置2を、例えば搬入出ロボット3に取り付け、曲げロボット11との間でワークをやり取りして最終的には製品Q(図1)を製品積載台12上に積載するまでの動作は、既述した第1実施例の(図4)動作と全く同じであり、その説明は省略する。
既述した図4、図7の本発明に係る永久磁石を用いたワーク吸着装置2では、シリンダ5を固定した状態で、永久磁石9を上下動させることにより、ワークWを吸着・解放した。
しかし、本発明はこれに限定されることなく、ワークWを吸着・解放する手段としては、図9(A)に示すように、永久磁石9を固定した状態で、シリンダ5を上下動させてもよく、図9(B)に示すように、中空の永久磁石9を固定した状態で、該永久磁石9を貫通する棒状の当接ストッパ40を上下動させてもよく、図9(C)に示すように、棒状の当接ストッパ40を固定した状態で、永久磁石9を上下動させてもよい(図9においては、吸着されたワークWを破線で示し、解放されたワークWを実線で示してある)。
本発明は、ロボットによる曲げ加工システムにおいて、複雑な電気回路を設けることなく、群管理が可能であって、設置スペースが少なくて済み、段取り時間を短縮し、ワークを確実に解放できる永久磁石を用いたワーク吸着装置に利用され、具体的には、既存のバキュームパッド用エア回路に接続されたエア配管が結合しているシリンダの下端部を、ワークに当接自在な当接ストッパとし、該ワークを吸着する永久磁石を、シリンダ内のピストン下端部に設けた永久磁石を用いたワーク吸着装置に利用され、また、既述したように、永久磁石を有するピストンが、シリンダ内でばね付勢されている場合だけでなく、シリンダ外のエア配管上端部のフランジに、ロッドを介してばね付勢されている場合にも適用があり、更に、シリンダを固定させた状態で、永久磁石を上下動させることにより、ワークの吸着・解放を行う場合だけでなく、永久磁石を固定させた状態で、シリンダを上下動させ、又は中空永久磁石を固定させた状態で、該中空永久磁石を貫通する棒状当接ストッパを上下動させ、若しくは中空永久磁石を貫通する棒状当接ストッパを固定させた状態で、該中空永久磁石を上下動させることにより、それぞれワークの吸着・解放を行う場合にも適用があり、更には、ワーク吸着装置を搬入出ロボットに取り付けた場合だけでなく、曲げロボットに取り付けた場合にも適用があり、極めて有用である。
本発明の全体斜視図である。 本発明の全体側面図である。 本発明による永久磁石を用いたワーク吸着装置2を示す斜視図である。 本発明の第1実施例を示す図である。 図4の動作説明図である。 本発明で使用する既存のパキュームパッド用エア回路31の例を示す図である。 本発明の第2実施例を示す図である。 図6の動作説明図である。 本発明の他の実施例を示す図である。 第1従来技術を示す図である。 第2従来技術を示す図である。
符号の説明
1 素材台
2 永久磁石を用いたワーク吸着装置
3 ローディング・アンローディングロボット
4 ハンド本体
5 シリンダ
6 当接ストッパ
7 ピストン
8 中間台
9 永久磁石
10 曲げ加工装置
11 ベンディングロボット
12 製品積載台
13 上部テーブル
14 下部テーブル
15 ベースプレート
17 グリップ
18、19 突当
20 第1スプリング
21 エア配管
22 第2スプリング
24 ボルト
25 フランジ
26 円筒部材
27 ロッド
30 エア源
31 エア回路
32 電磁弁
Dダイ
P パンチ
W ワーク

Claims (5)

  1. シリンダの下端部を、ワークに当接自在な当接ストッパとし、該ワークを吸着する永久磁石を、シリンダ内のピストン下端部に設けたことを特徴とする永久磁石を用いたワーク吸着装置。
  2. 上記シリンダが、ロボットのハンド本体に多数取り付けられ、各シリンダの下端部には、弾性体で形成された当接ストッパが設けられていると共に、各シリンダの上端部には、エア配管が結合され、該エア配管は、既存のバキュームパッド用エア回路に接続されている請求項1記載の永久磁石を用いたワーク吸着装置。
  3. 上記永久磁石が設けられたピストンが、第1スプリングを介してシリンダに当接し、該シリンダが、エア配管の外周に配置された第2スプリングを介して前記ハンド本体に当接している請求項1、又は2記載の永久磁石を用いたワーク吸着装置。
  4. 上記永久磁石が設けられたピストンが、ロッドの下端部に設けられ、該ロッドは、エア配管を貫通して該エア配管の外方に突出し、ピストンは、ロッドと該ロッドのエア配管外方突出部分に設けた第1スプリングを介して、エア配管の上端部に設けられたフランジに当接し、エア配管が前記ハンド本体内で第2スプリングを介して当接している請求項1、又は2記載の永久磁石を用いたワーク吸着装置。
  5. 上記シリンダを固定させた状態で、該シリンダ内の永久磁石を有するピストンを上下動させる代わりに、シリンダ内の永久磁石を固定させた状態で、シリンダを上下動させ、又は中空永久磁石を固定させた状態で、該中空永久磁石を貫通する棒状当接ストッパを上下動させ、若しくは中空永久磁石を貫通する棒状当接ストッパを固定させた状態で、該中空永久磁石を上下動させる請求項1記載の永久磁石を用いたワーク吸着装置。
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