JP2008055517A - 搬送ピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 外付エアブローを用いずにデバイス上のゴミを完全に吹き飛ばすことができ、スリーブによりデバイスに傷をつけることのない搬送ピックアップ装置を実現することを目的とする。
【解決手段】 ピックアップ内部の流路を介して空気圧を制御することによりデバイスを吸着及びリリースする搬送ピックアップ装置において、デバイスを吸着する直前に前記流路を介して前記ピックアップ内部から圧縮空気を吹き付けて、前記デバイス上のゴミを吹き飛ばすように構成した。
【選択図】 図1
【解決手段】 ピックアップ内部の流路を介して空気圧を制御することによりデバイスを吸着及びリリースする搬送ピックアップ装置において、デバイスを吸着する直前に前記流路を介して前記ピックアップ内部から圧縮空気を吹き付けて、前記デバイス上のゴミを吹き飛ばすように構成した。
【選択図】 図1
Description
本発明はICハンドラー等で用いられる搬送ピックアップ装置に関し、特に駆動用空気圧回路の改良に関する。
図6は、従来のICハンドラーの搬送ピックアップ装置の構成例を示す図である。
11aは吸着/リリースの切換を行うメイン電磁弁、11bはリリース時に一瞬作動し、真空が残存する状態で正圧を加え、デバイスを吸着パッドから離れやすくする真空破壊電磁弁(大気開放弁ともいう)である。ここでは、2つの電磁弁11a及び11bが一体になった電磁弁装置1を使用している。12a,12bはそれぞれ電磁弁11a及び11bのスプリング、2は電磁弁11aのVポートの空気流量を制御する流量制御弁、3は流量制御弁2から空気流を引き込む真空ポンプ等からなる真空源、4は電磁弁11aのPポートに配管接続される圧力空気源、5は一端が電磁弁11aのRポートに配管接続され他端が大気中に開放する排気音低減用のサイレンサである。電磁弁11aのBポートは電磁弁11bのCポートに配管接続される。6はその一方の接続口に電磁弁11bのDポート及び電磁弁11aのAポートが配管接続されるフィルタ、7は吸着パッドを備え、その接続口にフィルタ6の他の接続口が配管接続し、シリンダ(図示せず)で上下動作されるピックアップ、8はピックアップ7により吸着・搬送されるデバイス、9はデバイス8を一時的に置くプリヒータやシャトルポケット等のデバイス収納部、10はデバイス8上のゴミを吹き飛ばすための外付けエアブローである。
11aは吸着/リリースの切換を行うメイン電磁弁、11bはリリース時に一瞬作動し、真空が残存する状態で正圧を加え、デバイスを吸着パッドから離れやすくする真空破壊電磁弁(大気開放弁ともいう)である。ここでは、2つの電磁弁11a及び11bが一体になった電磁弁装置1を使用している。12a,12bはそれぞれ電磁弁11a及び11bのスプリング、2は電磁弁11aのVポートの空気流量を制御する流量制御弁、3は流量制御弁2から空気流を引き込む真空ポンプ等からなる真空源、4は電磁弁11aのPポートに配管接続される圧力空気源、5は一端が電磁弁11aのRポートに配管接続され他端が大気中に開放する排気音低減用のサイレンサである。電磁弁11aのBポートは電磁弁11bのCポートに配管接続される。6はその一方の接続口に電磁弁11bのDポート及び電磁弁11aのAポートが配管接続されるフィルタ、7は吸着パッドを備え、その接続口にフィルタ6の他の接続口が配管接続し、シリンダ(図示せず)で上下動作されるピックアップ、8はピックアップ7により吸着・搬送されるデバイス、9はデバイス8を一時的に置くプリヒータやシャトルポケット等のデバイス収納部、10はデバイス8上のゴミを吹き飛ばすための外付けエアブローである。
以下図6〜図10を用いて搬送ピックアップ装置による吸着・搬送及びリリース動作を説明する。タイムチャート上に動作を示した図10において、シリンダ位置とはシリンダのピストン位置のことを指す。通常は上限センサ及び/又は下限センサが設けられ、シリンダ位置をその調整速度と時間から知ることができる(〔上端から下方向への位置〕=〔上端シリンダ位置〕−〔シリンダ速度〕×〔時間〕)。
図6は休止状態を表し、シリンダが上位置にあり、電磁弁11a及び11bは共にオフである。この状態では電磁弁11a及び11bは、ソレノイドが励磁されないので、弁はスプリング12a,12bの力により2位置の内の一方の位置を取る。このとき、真空源3、圧力空気源4のいずれもフィルタ6、ピックアップ7と接続しておらず、デバイス8はデバイス収納部9上に置かれたままである。この状態ではピックアップ7の内部流路は電磁弁11aのAポート、Rポート及びサイレンサ5を介して大気中に導通し、大気圧に保たれる。
シリンダが下位置まで下降した時、図7に示すように電磁弁11aがオンになる。この状態では電磁弁11aのソレノイドが励磁され、弁はスプリング12aの力に逆らって他方の位置に移動し、
ピックアップ7→フィルタ6→電磁弁11aのAポート→同Vポート→流量制御弁2→真空源3
の空気圧回路が導通する。その結果、ピックアップ7のピックアップノズル内の空気は真空源3により吸引され、真空となってデバイス8を吸着する。その直後シリンダは上昇し、目的の位置に移動する。
ピックアップ7→フィルタ6→電磁弁11aのAポート→同Vポート→流量制御弁2→真空源3
の空気圧回路が導通する。その結果、ピックアップ7のピックアップノズル内の空気は真空源3により吸引され、真空となってデバイス8を吸着する。その直後シリンダは上昇し、目的の位置に移動する。
目的位置に来たシリンダは下降し、下位置に来た時に、図8に示すように、電磁弁11aはオフ、電磁弁11bはオンとなり、
圧力空気源4→電磁弁11aのPポート→同Bポート→電磁弁11bのCポート→同Dポート→フィルタ6→ピックアップ7→フィルタ6→電磁弁11aのAポート→同Rポート→サイレンサ5
の空気圧回路が導通する。その結果、ピックアップノズル内には一瞬の短時間、大気圧に通じた空気圧がかかり、残存する真空を吹き払って、デバイス8を確実にリリースする。
圧力空気源4→電磁弁11aのPポート→同Bポート→電磁弁11bのCポート→同Dポート→フィルタ6→ピックアップ7→フィルタ6→電磁弁11aのAポート→同Rポート→サイレンサ5
の空気圧回路が導通する。その結果、ピックアップノズル内には一瞬の短時間、大気圧に通じた空気圧がかかり、残存する真空を吹き払って、デバイス8を確実にリリースする。
上記のような搬送ピックアップ装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
図9は従来の搬送ピックアップ装置におけるピックアップ7の説明断面図を示す。ピックアップ7においてノズル71内の流路72内が真空になるとデバイス8が吸着されるが、吸着時にピックアップ7のスリーブ73とデバイス8との接合面Tにゴミがあるとデバイス8に傷がつく恐れがある。図6のように外付エアブロー10を設けてもゴミを完全に吹き飛ばすことは難しく、むしろエアブロー以外の近隣のゴミを巻き込んで搬送及びピックアップの作動に支障を及ぼす可能性が高い。また、スリーブ73の接合面にゴミが付着したり、めり込んだりすると、デバイスに次々に傷を付けることになるので、従来はその都度スリーブ73を交換していた。
本発明はこのような課題を解決しようとするもので、外付エアブローを用いずにデバイス上のゴミを完全に吹き飛ばすことができ、スリーブによりデバイスに傷をつけることのない搬送ピックアップ装置を実現することを目的とする。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
圧力空気源及び真空源が配管接続されるピックアップ内部の流路の空気圧を電磁弁で制御することによりデバイスを吸着及びリリースする搬送ピックアップ装置において、
前記デバイスを吸着する直前に前記圧力空気源から前記ピックアップ内部の前記流路を介して圧縮空気を吹き付けるように構成したことを特徴とする。
圧力空気源及び真空源が配管接続されるピックアップ内部の流路の空気圧を電磁弁で制御することによりデバイスを吸着及びリリースする搬送ピックアップ装置において、
前記デバイスを吸着する直前に前記圧力空気源から前記ピックアップ内部の前記流路を介して圧縮空気を吹き付けるように構成したことを特徴とする。
請求項2記載の発明は、
請求項1記載の発明である搬送ピックアップ装置において、
前記ピックアップの下降時間中に前記デバイスに圧縮空気を吹き付けることを特徴とする。
請求項1記載の発明である搬送ピックアップ装置において、
前記ピックアップの下降時間中に前記デバイスに圧縮空気を吹き付けることを特徴とする。
請求項3記載の発明は、
請求項1又は2記載の発明である搬送ピックアップ装置において、
前記デバイスに圧縮空気を吹き付けるときは前記圧力空気源の空気流を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポートを開にすることを特徴とする。
請求項1又は2記載の発明である搬送ピックアップ装置において、
前記デバイスに圧縮空気を吹き付けるときは前記圧力空気源の空気流を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポートを開にすることを特徴とする。
請求項4記載の発明は、
大気開放端、圧力空気源及び真空源とピックアップ内部の流路の配管接続を電磁弁で制御することによりデバイスを搬送する搬送ピックアップ装置において、
前記ピックアップの休止時には前記大気開放端の大気圧を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップから前記デバイスに圧縮空気を吹き付けるときは前記圧力空気源の空気流を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップが前記デバイスを吸着するときは前記ピックアップ内部の前記流路の空気流を前記真空源へ導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップが前記デバイスをリリースするときは前記圧力空気源の空気流を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポート及び前記ピックアップ内部の前記流路の空気流を前記大気開放端へ導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップが前記デバイスをリリースした後に休止する
ことを特徴とする。
大気開放端、圧力空気源及び真空源とピックアップ内部の流路の配管接続を電磁弁で制御することによりデバイスを搬送する搬送ピックアップ装置において、
前記ピックアップの休止時には前記大気開放端の大気圧を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップから前記デバイスに圧縮空気を吹き付けるときは前記圧力空気源の空気流を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップが前記デバイスを吸着するときは前記ピックアップ内部の前記流路の空気流を前記真空源へ導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップが前記デバイスをリリースするときは前記圧力空気源の空気流を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポート及び前記ピックアップ内部の前記流路の空気流を前記大気開放端へ導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップが前記デバイスをリリースした後に休止する
ことを特徴とする。
以上述べたように、本発明によれば、ピックアップ内部の流路の空気圧を制御することによりデバイスを搬送するピックアップ装置において、デバイスを吸着する直前に前記流路を介して前記ピックアップ内部の前記流路から圧縮空気を吹き付けて、前記デバイス上のゴミを吹き飛ばすように構成したことにより、外付エアブローを用いずにデバイス上のゴミを完全に吹き飛ばすことができ、スリーブによりデバイスに傷をつけることのない搬送ピックアップ装置を実現することができる。
以下本発明につき図面を用いて詳細に説明する。
図1〜図4は本発明に係る搬送ピックアップ装置の動作を示す構成説明図で、図5はタイムチャートである。図6と同一の部分は同一の記号を付して説明を省略する。
図1において、11cはフィルタ6の一方の接続口にそのFポートが配管接続され、Eポートが電磁弁11aのAポートに配管接続される第3の電磁弁で、圧力空気源4から出力される圧力空気を大気ポートに逃がさず、ピックアップ7内部からの瞬時圧力空気でデバイス8をエアパージするために設けたものである。
図1〜図4は本発明に係る搬送ピックアップ装置の動作を示す構成説明図で、図5はタイムチャートである。図6と同一の部分は同一の記号を付して説明を省略する。
図1において、11cはフィルタ6の一方の接続口にそのFポートが配管接続され、Eポートが電磁弁11aのAポートに配管接続される第3の電磁弁で、圧力空気源4から出力される圧力空気を大気ポートに逃がさず、ピックアップ7内部からの瞬時圧力空気でデバイス8をエアパージするために設けたものである。
図1は搬送ピックアップ装置の休止状態を示し、シリンダが上位置にあり、電磁弁11a、11b及び11cは共にオフである。この状態では電磁弁11a、11b及び11cのソレノイドは励磁されず、スプリング12a,12b及び12cの力により一方の位置(ノーマル位置)を取る。この状態では真空源3、圧力空気源4のいずれもフィルタ6、ピックアップ7と接続しておらず、デバイス8はデバイス収納部9上に置かれたままである。ピックアップ7の内部は(サイレンサ5を介して)大気圧に保たれる。
図2は搬送ピックアップ装置の内部エアブロー時を示し、シリンダが下降してピックアップ7がデバイス8に近づいたある時点(地点)で電磁弁11b及び11cが短時間オンとなり、
圧力空気源4→電磁弁11aのPポート→同Bポート→電磁弁11bのCポート→同Dポート→フィルタ6→ピックアップ7
の空気圧回路が導通する。このとき、ピックアップ7から真空源3及び大気圧(サイレンサ5)へ通じる空気圧回路は遮断されるので、圧力空気源4からの圧縮空気は全てピックアップ7に伝えられる。その結果、ピックアップ7内部からのエアブローW(圧縮空気流)によりデバイス8表面の中心から放射状に気流が発生し、デバイス8表面のゴミはほぼ完全に除去される。
圧力空気源4→電磁弁11aのPポート→同Bポート→電磁弁11bのCポート→同Dポート→フィルタ6→ピックアップ7
の空気圧回路が導通する。このとき、ピックアップ7から真空源3及び大気圧(サイレンサ5)へ通じる空気圧回路は遮断されるので、圧力空気源4からの圧縮空気は全てピックアップ7に伝えられる。その結果、ピックアップ7内部からのエアブローW(圧縮空気流)によりデバイス8表面の中心から放射状に気流が発生し、デバイス8表面のゴミはほぼ完全に除去される。
図3は搬送ピックアップ装置の吸着時を示し、シリンダが下位置まで下降した時、電磁弁11aがオンとなり、
ピックアップ7→フィルタ6→電磁弁11cのFポート→同Eポート→電磁弁11aのAポート→同Vポート→流量制御弁2→真空源3
の空気圧回路が導通する。このとき、圧力空気源4からピックアップ7に通じる空気圧回路は遮断される。その結果、ピックアップ7のピックアップノズル71(図9)内の流路72の空気は真空源3により吸引され、真空となってデバイス8を吸着する。その直後シリンダは上昇し、目的の位置に移動する。
ピックアップ7→フィルタ6→電磁弁11cのFポート→同Eポート→電磁弁11aのAポート→同Vポート→流量制御弁2→真空源3
の空気圧回路が導通する。このとき、圧力空気源4からピックアップ7に通じる空気圧回路は遮断される。その結果、ピックアップ7のピックアップノズル71(図9)内の流路72の空気は真空源3により吸引され、真空となってデバイス8を吸着する。その直後シリンダは上昇し、目的の位置に移動する。
図4は搬送ピックアップ装置のリリース時を示し、目的位置に来たシリンダが下降し、下位置付近に来た時に、電磁弁11aはオフ、電磁弁11bはオンとなり、
圧力空気源4→電磁弁11aのポートP→同ポートB→電磁弁11bのCポート→同Dポート→フィルタ6→ピックアップ7→フィルタ6→電磁弁11cのFポート→同Eポート→電磁弁11aのAポート→同Rポート→サイレンサ5
の空気圧回路が導通する。その結果、ピックアップノズル内には一瞬の短時間、大気圧に通じた空気圧がかかり、残存する真空を吹き払って、デバイス8を確実にリリースする。
圧力空気源4→電磁弁11aのポートP→同ポートB→電磁弁11bのCポート→同Dポート→フィルタ6→ピックアップ7→フィルタ6→電磁弁11cのFポート→同Eポート→電磁弁11aのAポート→同Rポート→サイレンサ5
の空気圧回路が導通する。その結果、ピックアップノズル内には一瞬の短時間、大気圧に通じた空気圧がかかり、残存する真空を吹き払って、デバイス8を確実にリリースする。
上記のような構成の搬送ピックアップ装置によれば、従来のようにシリンダやピックアップの傍に外付エアブロー装置を付けて搬送等動作を妨げることがなく、小さい電磁弁1個を追加するだけ(ただし、駆動の配線とシーケンスプログラムは必要)で、内部エアブローによる効果的なゴミの除去が可能となる。
また、搬送及びピックアップの作動に支障を及ぼす恐れが少ないので、ダウンタイムが減少し、スリーブの交換部品費もかからなくなる。
また、内部エアブローは、主にシリンダの下降時間中に行われるので、エアブローのための時間がサイクルタイムに加算されることがなく、UPH(一時間当りの搬送個数)を殆んど低下させずに適用することができる。
さらに、吸着面からゴミをなくせるので、吸着パッドに傷が付かず、吸着パッドの長寿命化を図ることができる。
また、搬送及びピックアップの作動に支障を及ぼす恐れが少ないので、ダウンタイムが減少し、スリーブの交換部品費もかからなくなる。
また、内部エアブローは、主にシリンダの下降時間中に行われるので、エアブローのための時間がサイクルタイムに加算されることがなく、UPH(一時間当りの搬送個数)を殆んど低下させずに適用することができる。
さらに、吸着面からゴミをなくせるので、吸着パッドに傷が付かず、吸着パッドの長寿命化を図ることができる。
なお、上記の実施例では5ポート2位置電磁弁11aと2ポート2位置電磁弁11b、11cを用いた場合を示しているが、これに限らず、5ポート3位置電磁弁など各種電磁弁を組み合せて同様の機能を実現してもよい。
また、直動型電磁弁でなく、パイロットオペレイテッド電磁弁でもよい。
また、上記実施例では電磁弁にスプリング・リターン式を用いているが、これに限らない。
要するに、大気開放弁を備え、デバイスを吸着(搬送)リリースできる任意の電磁弁回路があれば、その一部にオン/オフバルブを追加することにより、吸着前にピックアップ内部からエアパージを行う搬送ピックアップ装置を構成することができる。
また、ICハンドラーに限らず、ピックアップで真空吸着搬送する装置全てについて、部品製造その他、上記の効果が期待できる様々の分野で適用することができる。
また、直動型電磁弁でなく、パイロットオペレイテッド電磁弁でもよい。
また、上記実施例では電磁弁にスプリング・リターン式を用いているが、これに限らない。
要するに、大気開放弁を備え、デバイスを吸着(搬送)リリースできる任意の電磁弁回路があれば、その一部にオン/オフバルブを追加することにより、吸着前にピックアップ内部からエアパージを行う搬送ピックアップ装置を構成することができる。
また、ICハンドラーに限らず、ピックアップで真空吸着搬送する装置全てについて、部品製造その他、上記の効果が期待できる様々の分野で適用することができる。
3 真空源
4 圧力空気源
7 ピックアップ
8 デバイス
11a、11b、11c 電磁弁
4 圧力空気源
7 ピックアップ
8 デバイス
11a、11b、11c 電磁弁
Claims (4)
- 圧力空気源及び真空源が配管接続されるピックアップ内部の流路の空気圧を電磁弁で制御することによりデバイスを吸着及びリリースする搬送ピックアップ装置において、
前記デバイスを吸着する直前に前記圧力空気源から前記ピックアップ内部の前記流路を介して圧縮空気を吹き付けるように構成したことを特徴とする搬送ピックアップ装置。 - 前記ピックアップの下降時間中に前記デバイスに圧縮空気を吹き付けることを特徴とする請求項1記載の搬送ピックアップ装置。
- 前記デバイスに圧縮空気を吹き付けるときは前記圧力空気源の空気流を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポートを開にする
ことを特徴とする請求項1又は2記載の搬送ピックアップ装置。 - 大気開放端、圧力空気源及び真空源とピックアップ内部の流路の配管接続を電磁弁で制御することによりデバイスを搬送する搬送ピックアップ装置において、
前記ピックアップの休止時には前記大気開放端の大気圧を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップから前記デバイスに圧縮空気を吹き付けるときは前記圧力空気源の空気流を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップが前記デバイスを吸着するときは前記ピックアップ内部の前記流路の空気流を前記真空源へ導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップが前記デバイスをリリースするときは前記圧力空気源の空気流を前記ピックアップ内部の前記流路に導く前記電磁弁のポート及び前記ピックアップ内部の前記流路の空気流を前記大気開放端へ導く前記電磁弁のポートを開にし、
前記ピックアップが前記デバイスをリリースした後に休止する
ことを特徴とする搬送ピックアップ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006231839A JP2008055517A (ja) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | 搬送ピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006231839A JP2008055517A (ja) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | 搬送ピックアップ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008055517A true JP2008055517A (ja) | 2008-03-13 |
Family
ID=39238869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006231839A Pending JP2008055517A (ja) | 2006-08-29 | 2006-08-29 | 搬送ピックアップ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008055517A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010161313A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Seiko Epson Corp | ハンドラのティーチング方法及びハンドラ |
JP2016148573A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
CN113998458A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-02-01 | 苏州钧舵机器人有限公司 | 一种电动真空吸附装置 |
CN114799503A (zh) * | 2022-05-24 | 2022-07-29 | 深圳市镭沃自动化科技有限公司 | 一种降低真空切换迟滞现象的气路结构及激光焊接设备 |
-
2006
- 2006-08-29 JP JP2006231839A patent/JP2008055517A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010161313A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Seiko Epson Corp | ハンドラのティーチング方法及びハンドラ |
JP4683129B2 (ja) * | 2009-01-09 | 2011-05-11 | セイコーエプソン株式会社 | ハンドラのティーチング方法及びハンドラ |
JP2016148573A (ja) * | 2015-02-12 | 2016-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
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