JPH08157177A - 真空吸着装置 - Google Patents
真空吸着装置Info
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- JPH08157177A JPH08157177A JP29991294A JP29991294A JPH08157177A JP H08157177 A JPH08157177 A JP H08157177A JP 29991294 A JP29991294 A JP 29991294A JP 29991294 A JP29991294 A JP 29991294A JP H08157177 A JPH08157177 A JP H08157177A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被吸着面形状の異なる各種被吸着物を、段取
替操作を必要とすることなく、かつ高い真空吸引効率で
吸着可能とすること。 【構成】 真空箱１１の吸着底面１１Ａに多数の吸着口
１３を設け、各吸着口１３を吸引路１４を介して真空箱
１１内の真空領域１１Ａに連通し、各吸引路１４に該吸
引路１４を開閉する弁１５を設け、各弁１５は各吸着口
１３を通って上記吸着底面１２より外方に突き出る弁棒
１６を備えてなる真空吸着装置１０において、弁１５が
吸引路１４回りの弁座１７との間に磁気吸引手段を設け
られて該弁座１７への密着習性を具備するもの。
替操作を必要とすることなく、かつ高い真空吸引効率で
吸着可能とすること。 【構成】 真空箱１１の吸着底面１１Ａに多数の吸着口
１３を設け、各吸着口１３を吸引路１４を介して真空箱
１１内の真空領域１１Ａに連通し、各吸引路１４に該吸
引路１４を開閉する弁１５を設け、各弁１５は各吸着口
１３を通って上記吸着底面１２より外方に突き出る弁棒
１６を備えてなる真空吸着装置１０において、弁１５が
吸引路１４回りの弁座１７との間に磁気吸引手段を設け
られて該弁座１７への密着習性を具備するもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平面状の被吸着面を備
えた被吸着物を吸着する真空吸着装置に関する。
えた被吸着物を吸着する真空吸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】工場等において壁パネル等の被吸着物を
吸着して搬送するとき、多数の真空吸着パッドを備えた
真空吸着装置を用いることがある。ところが、一般的な
真空吸着装置では、被吸着面形状の異なる多品種の被吸
着物を吸着可能とするため、吸着パッドの数を多くする
ばかりではなくそれぞれに弁を設け、それらの弁をその
都度手動にて個別に開閉したり、吸着パッドの位置を替
える必要があり、これらの段取替操作を必要として生産
性が悪い。
吸着して搬送するとき、多数の真空吸着パッドを備えた
真空吸着装置を用いることがある。ところが、一般的な
真空吸着装置では、被吸着面形状の異なる多品種の被吸
着物を吸着可能とするため、吸着パッドの数を多くする
ばかりではなくそれぞれに弁を設け、それらの弁をその
都度手動にて個別に開閉したり、吸着パッドの位置を替
える必要があり、これらの段取替操作を必要として生産
性が悪い。
【０００３】そこで従来、生産性を損なうことなく、多
品種の被吸着物を吸着可能とするための真空吸着装置と
して、特開昭49-53567号公報に記載の如くのもの（従来
技術１）や、特開昭61-43704号公報に記載の如くのもの
（従来技術２）や特開昭50-32650号公報に記載の如くの
もの（従来技術３）が提案されている。
品種の被吸着物を吸着可能とするための真空吸着装置と
して、特開昭49-53567号公報に記載の如くのもの（従来
技術１）や、特開昭61-43704号公報に記載の如くのもの
（従来技術２）や特開昭50-32650号公報に記載の如くの
もの（従来技術３）が提案されている。
【０００４】従来技術１は、真空箱の吸着底面に多数の
吸着口を設け、各吸着口を該吸着口より小径の吸引路を
介して真空箱内の真空領域に連通してなるものである。
この従来技術１では、被吸着物の被吸着面と接触しない
非閉鎖吸着口があっても、これに対応する真空箱の小径
の吸引路から侵入する大気は、真空源の強い真空力によ
り圧損バランスが保たれ、真空箱内部は一定以上の真空
度に保たれる。このため、被吸着物は上記非閉鎖吸着口
以外の吸着口に作用する吸引力で吸着される。
吸着口を設け、各吸着口を該吸着口より小径の吸引路を
介して真空箱内の真空領域に連通してなるものである。
この従来技術１では、被吸着物の被吸着面と接触しない
非閉鎖吸着口があっても、これに対応する真空箱の小径
の吸引路から侵入する大気は、真空源の強い真空力によ
り圧損バランスが保たれ、真空箱内部は一定以上の真空
度に保たれる。このため、被吸着物は上記非閉鎖吸着口
以外の吸着口に作用する吸引力で吸着される。
【０００５】従来技術２は、真空箱の吸着底面に多数の
吸着口を設け、各吸着口を該吸着口より小径の吸引路を
介して真空箱内の真空領域に連通し、各吸引路に該吸引
路を開閉する弁を設け、各弁は各吸着口を通って上記吸
着底面より外方に突き出る弁棒を備える。この従来技術
２では、被吸着物が真空箱の吸着底面に接する吸着時
に、上記該被吸着物に突き上げられる弁棒の移動ととも
に該被吸着物の被吸着面積に対応する範囲にある吸引路
の弁を開き、該被吸着物の被吸着面積に対応する範囲に
ある吸着口にのみ真空吸引力を付与する。このため、被
吸着物の被吸着面に対応しない吸引路は弁により閉じら
れて大気の侵入が軽減され、真空箱内部は高い真空度に
保たれ、被吸着物は弁が開かれた吸着口にのみ作用する
吸引力で吸着される。
吸着口を設け、各吸着口を該吸着口より小径の吸引路を
介して真空箱内の真空領域に連通し、各吸引路に該吸引
路を開閉する弁を設け、各弁は各吸着口を通って上記吸
着底面より外方に突き出る弁棒を備える。この従来技術
２では、被吸着物が真空箱の吸着底面に接する吸着時
に、上記該被吸着物に突き上げられる弁棒の移動ととも
に該被吸着物の被吸着面積に対応する範囲にある吸引路
の弁を開き、該被吸着物の被吸着面積に対応する範囲に
ある吸着口にのみ真空吸引力を付与する。このため、被
吸着物の被吸着面に対応しない吸引路は弁により閉じら
れて大気の侵入が軽減され、真空箱内部は高い真空度に
保たれ、被吸着物は弁が開かれた吸着口にのみ作用する
吸引力で吸着される。
【０００６】更に従来技術３は、上記弁をばね力により
吸引路回りの弁座に向けて付勢し、該弁に弁座への密着
習性を具備せしめている。
吸引路回りの弁座に向けて付勢し、該弁に弁座への密着
習性を具備せしめている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来技術
１では、被吸着物の被吸着面と接触しない非閉鎖吸着口
にも真空吸引力を及ぼしているため真空吸引エネルギー
のロスがある。そして、このとき、小径吸引路から吸入
される大気の流れが騒音を発生する。
１では、被吸着物の被吸着面と接触しない非閉鎖吸着口
にも真空吸引力を及ぼしているため真空吸引エネルギー
のロスがある。そして、このとき、小径吸引路から吸入
される大気の流れが騒音を発生する。
【０００８】従来技術１における課題を解決せんとして
従来技術２においては、吸引路を開閉する弁を有する。
然しながら、従来技術２における弁は単に自重によって
吸引路を閉じるのみであり、弁座に対する特別な密着習
性を具備したものではない。従って、弁が閉じてもな
お、吸着口からの大気の流入は少なからず生ずる。よっ
て、真空吸引エネルギーのロス防止及び騒音防止の為に
尚、改善の余地があった。
従来技術２においては、吸引路を開閉する弁を有する。
然しながら、従来技術２における弁は単に自重によって
吸引路を閉じるのみであり、弁座に対する特別な密着習
性を具備したものではない。従って、弁が閉じてもな
お、吸着口からの大気の流入は少なからず生ずる。よっ
て、真空吸引エネルギーのロス防止及び騒音防止の為に
尚、改善の余地があった。
【０００９】上記従来技術１、２における課題を解決せ
んとして従来技術３では、ばね力によって弁に弁座への
密着習性を具備せしめている。しかしこの従来技術３で
は、被吸着物の吸着時に、被吸着物により突き上げられ
る弁棒がばね力に抗するものであり、このばね力が弁棒
を介して被吸着物を真空箱の吸着底面から突き放す力と
して作用するため、真空吸引効率が悪化し、弁棒により
被吸着物が傷つけられる恐れもある。
んとして従来技術３では、ばね力によって弁に弁座への
密着習性を具備せしめている。しかしこの従来技術３で
は、被吸着物の吸着時に、被吸着物により突き上げられ
る弁棒がばね力に抗するものであり、このばね力が弁棒
を介して被吸着物を真空箱の吸着底面から突き放す力と
して作用するため、真空吸引効率が悪化し、弁棒により
被吸着物が傷つけられる恐れもある。
【００１０】本発明は、被吸着面形状の異なる各種被吸
着物を、段取替操作を必要とすることなく、かつ高い真
空吸引効率で吸着可能とすることを目的とする。
着物を、段取替操作を必要とすることなく、かつ高い真
空吸引効率で吸着可能とすることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、真空箱の吸着底面に多数の吸着口を設け、各吸着口
を吸引路を介して真空箱内の真空領域に連通し、各吸引
路に該吸引路を開閉する弁を設け、各弁は各吸着口を通
って上記吸着底面より外方に突き出る弁棒を備え、被吸
着物が真空箱の吸着底面に接する吸着時に、該被吸着物
に突き上げられる弁棒の移動とともに該被吸着物の被吸
着面積に対応する範囲にある吸引路の弁を開き、該被吸
着物の被吸着面積に対応する範囲にある吸着口にのみ真
空吸引力を付与可能とする真空吸着装置において、前記
弁が前記吸引路回りの弁座との間に磁気吸引手段を設け
られて該弁座への密着習性を具備するようにしたもので
ある。
は、真空箱の吸着底面に多数の吸着口を設け、各吸着口
を吸引路を介して真空箱内の真空領域に連通し、各吸引
路に該吸引路を開閉する弁を設け、各弁は各吸着口を通
って上記吸着底面より外方に突き出る弁棒を備え、被吸
着物が真空箱の吸着底面に接する吸着時に、該被吸着物
に突き上げられる弁棒の移動とともに該被吸着物の被吸
着面積に対応する範囲にある吸引路の弁を開き、該被吸
着物の被吸着面積に対応する範囲にある吸着口にのみ真
空吸引力を付与可能とする真空吸着装置において、前記
弁が前記吸引路回りの弁座との間に磁気吸引手段を設け
られて該弁座への密着習性を具備するようにしたもので
ある。
【００１２】請求項２に記載の本発明は、請求項１に記
載の本発明において更に、前記吸着口内に弁棒の移動ガ
イドが設けられてなるようにしたものである。
載の本発明において更に、前記吸着口内に弁棒の移動ガ
イドが設けられてなるようにしたものである。
【００１３】請求項３に記載の本発明は、請求項１又は
２に記載の本発明において更に、前記弁が磁粉を含有す
るゴム部材からなるようにしたものである。
２に記載の本発明において更に、前記弁が磁粉を含有す
るゴム部材からなるようにしたものである。
【００１４】
【作用】請求項１に記載の本発明によれば下記、の
作用がある。 被吸着物の被吸着時には、真空箱の吸着底面の全域に
おいて、各弁が磁気吸引手段による弁座への密着習性に
より対応する吸引路を閉じる。これにより、各吸引路へ
の大気の吸入を生ずることがなく、真空吸引エネルギー
のロスや騒音の発生を防止できる。
作用がある。 被吸着物の被吸着時には、真空箱の吸着底面の全域に
おいて、各弁が磁気吸引手段による弁座への密着習性に
より対応する吸引路を閉じる。これにより、各吸引路へ
の大気の吸入を生ずることがなく、真空吸引エネルギー
のロスや騒音の発生を防止できる。
【００１５】被吸着物の吸着時には、非吸着物の被吸
着面積に対応する範囲での弁棒の突き上げにより、該被
吸着物の被吸着面積に対応する範囲にある吸引路の弁が
開かれ、被吸着物はこの吸引路に連なる吸着口に作用す
る真空吸引力で吸着される。
着面積に対応する範囲での弁棒の突き上げにより、該被
吸着物の被吸着面積に対応する範囲にある吸引路の弁が
開かれ、被吸着物はこの吸引路に連なる吸着口に作用す
る真空吸引力で吸着される。
【００１６】このとき、弁に作用する磁気吸引力は弁座
からの距離の２乗に反比例して弱くなるため、突き上げ
られた弁棒が被吸着物に及ぼす力は弁のわずかな自重だ
けであり、被吸着物を真空箱の吸着底面から突き放すよ
うな力にはならない。このため、真空吸引効率が良い。
また被吸着物を傷つける恐れがない。
からの距離の２乗に反比例して弱くなるため、突き上げ
られた弁棒が被吸着物に及ぼす力は弁のわずかな自重だ
けであり、被吸着物を真空箱の吸着底面から突き放すよ
うな力にはならない。このため、真空吸引効率が良い。
また被吸着物を傷つける恐れがない。
【００１７】また、この被吸着物の吸着時に、被吸着物
の被吸着面に対応しない吸引路は上記と同様に閉じら
れ続け、結果として、真空吸引エネルギーの無駄な消費
や騒音の発生を防止できる。
の被吸着面に対応しない吸引路は上記と同様に閉じら
れ続け、結果として、真空吸引エネルギーの無駄な消費
や騒音の発生を防止できる。
【００１８】請求項２に記載の本発明によれば下記の
作用がある。 吸着口内に弁棒の移動ガイドが設けられることによ
り、被吸着物によって一旦突き上げられて弁棒を被吸着
物の吸着解除後に一定の移動軌跡に沿って確実に原位置
に復帰させ、弁を吸引路に対する適正な閉じ位置に安定
的に復元可能とする。
作用がある。 吸着口内に弁棒の移動ガイドが設けられることによ
り、被吸着物によって一旦突き上げられて弁棒を被吸着
物の吸着解除後に一定の移動軌跡に沿って確実に原位置
に復帰させ、弁を吸引路に対する適正な閉じ位置に安定
的に復元可能とする。
【００１９】請求項３に記載の本発明によれば下記の
作用がある。 弁が磁粉を含有するゴム部材からなるので弁座との密
着性が高くなることにより、弁による吸引路のシール性
を確実化できる。
作用がある。 弁が磁粉を含有するゴム部材からなるので弁座との密
着性が高くなることにより、弁による吸引路のシール性
を確実化できる。
【００２０】
【実施例】図１は真空吸着装置の一実施例を示す模式
図、図２は図１の弁の開閉状態を示す模式図、図３は真
空吸着装置の変形例を示す模式図である。
図、図２は図１の弁の開閉状態を示す模式図、図３は真
空吸着装置の変形例を示す模式図である。
【００２１】図１において、１は平板状被吸着物、１０
は真空吸着装置である。
は真空吸着装置である。
【００２２】真空吸着装置１０は、真空箱１１の吸着底
面１２に多数の吸着口１３を設け、各吸着口１３を該吸
着口１３より小径の吸引路１４を介して真空箱１１内の
真空領域１１Ａに連通している。真空箱１１の真空領域
１１Ａには、真空ポンプ、ブロア等の真空源が接続され
る。
面１２に多数の吸着口１３を設け、各吸着口１３を該吸
着口１３より小径の吸引路１４を介して真空箱１１内の
真空領域１１Ａに連通している。真空箱１１の真空領域
１１Ａには、真空ポンプ、ブロア等の真空源が接続され
る。
【００２３】真空吸着装置１０は、各吸引路１４に該吸
引路１４を開閉する弁１５を設け、各弁１５は各吸着口
１３を通って上記吸着底面１２より外方に突き出る弁棒
１６を備えている。
引路１４を開閉する弁１５を設け、各弁１５は各吸着口
１３を通って上記吸着底面１２より外方に突き出る弁棒
１６を備えている。
【００２４】真空吸着装置１０は、被吸着物１が真空箱
１１の吸着底面１２に接する吸着時に、該被吸着物１に
突き上げられる弁棒１６の移動とともに該被吸着物１の
被吸着面積Ａに対応する範囲にある吸引路１４の弁１５
を開き、該被吸着物１の被吸着面積Ａに対応する範囲に
ある吸着口１３にのみ真空吸引力を付与する。
１１の吸着底面１２に接する吸着時に、該被吸着物１に
突き上げられる弁棒１６の移動とともに該被吸着物１の
被吸着面積Ａに対応する範囲にある吸引路１４の弁１５
を開き、該被吸着物１の被吸着面積Ａに対応する範囲に
ある吸着口１３にのみ真空吸引力を付与する。
【００２５】これにより、被吸着物１は、真空箱１１の
吸着底面１２に吸着保持され、真空箱１１の上昇、横移
動等に従って搬送される。尚、被吸着物１が搬送先に到
達したとき、真空源の停止、もしくは真空箱１１の真空
領域１１Ａへの瞬間的な正圧付与等により、被吸着物１
を吸着解除できる。
吸着底面１２に吸着保持され、真空箱１１の上昇、横移
動等に従って搬送される。尚、被吸着物１が搬送先に到
達したとき、真空源の停止、もしくは真空箱１１の真空
領域１１Ａへの瞬間的な正圧付与等により、被吸着物１
を吸着解除できる。
【００２６】然るに、真空吸着装置１０にあって、弁１
５を磁石にて構成するとともに、吸引路１４回りの弁座
１７を鉄板等の磁性体によって形成することにより、弁
１５に弁座１７Ａの密着習性を具備せしめてある。従っ
て、弁１５は、弁棒１６が被吸着物１によって突き上げ
られていないとき、磁気吸引力によって必ず確実に弁座
１７に密着して吸引路１４を閉じる。尚、弁１５を磁性
体、弁座１７を磁石としても良い。
５を磁石にて構成するとともに、吸引路１４回りの弁座
１７を鉄板等の磁性体によって形成することにより、弁
１５に弁座１７Ａの密着習性を具備せしめてある。従っ
て、弁１５は、弁棒１６が被吸着物１によって突き上げ
られていないとき、磁気吸引力によって必ず確実に弁座
１７に密着して吸引路１４を閉じる。尚、弁１５を磁性
体、弁座１７を磁石としても良い。
【００２７】以下、本実施例の作用について説明する。 被吸着物１の被吸着時には、真空箱１１の吸着底面１
２の全域において、各弁１５が磁石による弁座１７への
密着習性により対応する吸引路１４を閉じる（図２
（Ａ））。これにより、各吸引路１４への大気の吸入を
生ずることがなく、真空吸引エネルギーの無駄な消費や
騒音の発生を防止できる。
２の全域において、各弁１５が磁石による弁座１７への
密着習性により対応する吸引路１４を閉じる（図２
（Ａ））。これにより、各吸引路１４への大気の吸入を
生ずることがなく、真空吸引エネルギーの無駄な消費や
騒音の発生を防止できる。
【００２８】被吸着物１の吸着時には、被吸着物１の
被吸着面積に対応する範囲での弁棒１６の突き上げによ
り、該被吸着物１の被吸着面積に対応する範囲にある吸
引路１４の弁１５が開かれ、被吸着物１はこの吸引路１
４に連なる吸着口１３に作用する真空吸引力で吸着され
る（図２（Ｂ））。
被吸着面積に対応する範囲での弁棒１６の突き上げによ
り、該被吸着物１の被吸着面積に対応する範囲にある吸
引路１４の弁１５が開かれ、被吸着物１はこの吸引路１
４に連なる吸着口１３に作用する真空吸引力で吸着され
る（図２（Ｂ））。
【００２９】このとき、弁に作用する磁気吸引力は弁座
からの距離の２乗に反比例して弱くなるため、突き上げ
られた弁棒が被吸着物に及ぼす力は弁のわずかな自重だ
けであり、被吸着物を真空箱の吸着底面から突き放すよ
うな力にはならない。このため、真空吸引効率が良い。
また被吸着物を傷つける恐れがない。
からの距離の２乗に反比例して弱くなるため、突き上げ
られた弁棒が被吸着物に及ぼす力は弁のわずかな自重だ
けであり、被吸着物を真空箱の吸着底面から突き放すよ
うな力にはならない。このため、真空吸引効率が良い。
また被吸着物を傷つける恐れがない。
【００３０】また、この被吸着物１の吸着時に、被吸着
物１の被吸着面に対応しない吸引路１４は上記と同様
に閉じられ続け、結果として、真空吸引エネルギーのロ
スや騒音の発生を防止できる。
物１の被吸着面に対応しない吸引路１４は上記と同様
に閉じられ続け、結果として、真空吸引エネルギーのロ
スや騒音の発生を防止できる。
【００３１】図３の変形例が図１、図２の実施例と異な
る点は、(1) 吸着口１３内に弁棒１６のための移動ガイ
ド２１を設けたこと、(2) 弁１５に代わる弁２２がゴム
製磁石（磁粉を含有するゴム部材）からなることにあ
る。尚、弁２２は、強度確保のために当金２３を接合さ
れている。
る点は、(1) 吸着口１３内に弁棒１６のための移動ガイ
ド２１を設けたこと、(2) 弁１５に代わる弁２２がゴム
製磁石（磁粉を含有するゴム部材）からなることにあ
る。尚、弁２２は、強度確保のために当金２３を接合さ
れている。
【００３２】従って、図３の変形例では、上記(1) の如
くに吸着口１３内に弁棒１６の移動ガイド２１が設けら
れることにより、被吸着物１によって一旦突き上げられ
て弁棒１６を被吸着物１の吸着解除後に一定の移動軌跡
に沿って確実に原位置に復帰させ、弁１５を吸引路１４
に対する適正な閉じ位置に安定的に復元可能とする。
くに吸着口１３内に弁棒１６の移動ガイド２１が設けら
れることにより、被吸着物１によって一旦突き上げられ
て弁棒１６を被吸着物１の吸着解除後に一定の移動軌跡
に沿って確実に原位置に復帰させ、弁１５を吸引路１４
に対する適正な閉じ位置に安定的に復元可能とする。
【００３３】また、上記(2) の如くに弁２２がゴム製磁
石（磁粉を含有するゴム部材）からなるものとすること
により、弁２２による吸引路１４のシール性を確実化で
きる。
石（磁粉を含有するゴム部材）からなるものとすること
により、弁２２による吸引路１４のシール性を確実化で
きる。
【００３４】被吸着面積が 3m × 1m 、厚みが20mm、重
さが100kg 、表面の凹凸が0 〜10mmの平板状被吸着物を
吸着したとき、前述の従来技術１では真空源として11kw
（700mmAq 、50m3/ 分）のブロアを必要とした。これに
対し、本発明の真空吸着装置１０では、同じ被吸着物に
対し、真空源として3.7kw （340mmAq 、30m3/ 分）のブ
ロアで足りることを認めた。
さが100kg 、表面の凹凸が0 〜10mmの平板状被吸着物を
吸着したとき、前述の従来技術１では真空源として11kw
（700mmAq 、50m3/ 分）のブロアを必要とした。これに
対し、本発明の真空吸着装置１０では、同じ被吸着物に
対し、真空源として3.7kw （340mmAq 、30m3/ 分）のブ
ロアで足りることを認めた。
【００３５】以上、本発明の実施例を図面により詳述し
たが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があっても本発明に含まれる。例えば、真空箱の吸
着底面をゴム板等によって構成することにより、被吸着
物に対する吸着口回り部分のシール性を高め、被吸着物
の被吸着面に多少の凹凸がある場合にも吸着性を向上さ
せることができる。
たが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があっても本発明に含まれる。例えば、真空箱の吸
着底面をゴム板等によって構成することにより、被吸着
物に対する吸着口回り部分のシール性を高め、被吸着物
の被吸着面に多少の凹凸がある場合にも吸着性を向上さ
せることができる。
【００３６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、被吸着面
形状の異なる各種被吸着物を、段取替操作を必要とする
ことなく、かつ高い真空吸引効率で吸着可能とすること
ができる。
形状の異なる各種被吸着物を、段取替操作を必要とする
ことなく、かつ高い真空吸引効率で吸着可能とすること
ができる。
【図１】図１は真空吸着装置の一実施例を示す模式図で
ある。
ある。
【図２】図２は図１の弁の開閉状態を示す模式図であ
る。
る。
【図３】図３は真空吸着装置の変形例を示す模式図であ
る。
る。
１ 被吸着物 １０ 真空吸着装置 １１ 真空箱 １１Ａ 真空領域 １２ 吸着底面 １３ 吸着口 １４ 吸引路 １５ 弁 １６ 弁棒 １７ 弁座 ２１ 移動ガイド ２２ 弁
Claims (3)
- 【請求項１】 真空箱の吸着底面に多数の吸着口を設
け、各吸着口を吸引路を介して真空箱内の真空領域に連
通し、 各吸引路に該吸引路を開閉する弁を設け、各弁は各吸着
口を通って上記吸着底面より外方に突き出る弁棒を備
え、 被吸着物が真空箱の吸着底面に接する吸着時に、該被吸
着物に突き上げられる弁棒の移動とともに該被吸着物の
被吸着面積に対応する範囲にある吸引路の弁を開き、該
被吸着物の被吸着面積に対応する範囲にある吸着口にの
み真空吸引力を付与可能とする真空吸着装置において、 前記弁が前記吸引路回りの弁座との間に磁気吸引手段を
設けられて該弁座への密着習性を具備することを特徴と
する真空吸着装置。 - 【請求項２】 前記吸着口内に弁棒の移動ガイドが設け
られてなる請求項１記載の真空吸着装置。 - 【請求項３】 前記弁が磁粉を含有するゴム部材からな
る請求項１又は２に記載の真空吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29991294A JPH08157177A (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | 真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29991294A JPH08157177A (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | 真空吸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08157177A true JPH08157177A (ja) | 1996-06-18 |
Family
ID=17878435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29991294A Pending JPH08157177A (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | 真空吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08157177A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008010251A1 (en) * | 2006-07-17 | 2008-01-24 | A. Celli Nonwovens S.P.A. | Robot for handling rolls |
| CN103895027A (zh) * | 2014-03-04 | 2014-07-02 | 江苏通达动力科技股份有限公司 | 一种可调式永磁真空多功能吸盘架 |
| CN107443131A (zh) * | 2017-07-17 | 2017-12-08 | 合肥卡星数控设备有限公司 | 一种防堵塞的真空吸附台用栓塞结构 |
| CN113306850A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-08-27 | 江苏茂硕新材料科技有限公司 | 一种半导体元件的防护方法及壳体 |
-
1994
- 1994-12-02 JP JP29991294A patent/JPH08157177A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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