JPH0662225B2 - 真空吸着装置 - Google Patents
真空吸着装置Info
- Publication number
- JPH0662225B2 JPH0662225B2 JP63068576A JP6857688A JPH0662225B2 JP H0662225 B2 JPH0662225 B2 JP H0662225B2 JP 63068576 A JP63068576 A JP 63068576A JP 6857688 A JP6857688 A JP 6857688A JP H0662225 B2 JPH0662225 B2 JP H0662225B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- ventilation
- vacuum
- vacuum chamber
- hanging shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Hooks, Suction Cups, And Attachment By Adhesive Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、板状材等を真空吸着する装置に関するもので
ある。
ある。
［従来の技術］ 従来この種の真空吸着装置には特開昭５０−１５９５７
号公報，特開昭５０−３２６５０号公報に示されたもの
がある。前者は第６図に示したように、真空ポンプに連
結された真空室ａの下面にゴム等の軟弾性プラスチック
により中空状に成形された多数の吸着パッドｂを設け、
該吸着パッドｂ中に球形弁ｃを内在させてなるものであ
る。また、後者は第７図に示したように、真空室ａの下
面に弾性平板ｄを重合貼着すると共に、該弾性平板ｄに
開設した吸気孔ｇに該真空室ａ内に設けられた弁体ｅを
コイルバネｆにより付勢して閉塞させ、該弁体ｅと一体
の垂下軸ｈを該吸気孔ｇより下方に突出させてなるもの
であった。
号公報，特開昭５０−３２６５０号公報に示されたもの
がある。前者は第６図に示したように、真空ポンプに連
結された真空室ａの下面にゴム等の軟弾性プラスチック
により中空状に成形された多数の吸着パッドｂを設け、
該吸着パッドｂ中に球形弁ｃを内在させてなるものであ
る。また、後者は第７図に示したように、真空室ａの下
面に弾性平板ｄを重合貼着すると共に、該弾性平板ｄに
開設した吸気孔ｇに該真空室ａ内に設けられた弁体ｅを
コイルバネｆにより付勢して閉塞させ、該弁体ｅと一体
の垂下軸ｈを該吸気孔ｇより下方に突出させてなるもの
であった。
［発明が解決しようとする課題］ しかし第６図に示したような従来の真空吸着装置では、
特殊な形態の吸着パッドｂを型成形しなければならず、
しかも該吸着パッドｂは内部に球形弁ｃを抱持させる必
要があるので成形技術が難しく製作コストが非常に高い
ものになるという問題がある。
特殊な形態の吸着パッドｂを型成形しなければならず、
しかも該吸着パッドｂは内部に球形弁ｃを抱持させる必
要があるので成形技術が難しく製作コストが非常に高い
ものになるという問題がある。
また、第７図に示した真空吸着装置は、コイルバネｆの
張力を真空吸引力より少し強い程度に設定した吸気孔ｇ
を閉止させる必要がある一方で被吸着材によって垂下軸
ｈをコイルバネｆの弾性に抗して持ち上げて該吸気孔ｇ
を開口させるものであるので、コイルバネｆの張力が強
すぎると真空吸着力に反して被吸着材を弾性平板ｄより
離脱させることとなるので、該コイルバネｆの張力は真
空ポンプの吸引能力をも考慮に入れて非常に微妙に調整
しない限りうまく作動しないという問題があった。
張力を真空吸引力より少し強い程度に設定した吸気孔ｇ
を閉止させる必要がある一方で被吸着材によって垂下軸
ｈをコイルバネｆの弾性に抗して持ち上げて該吸気孔ｇ
を開口させるものであるので、コイルバネｆの張力が強
すぎると真空吸着力に反して被吸着材を弾性平板ｄより
離脱させることとなるので、該コイルバネｆの張力は真
空ポンプの吸引能力をも考慮に入れて非常に微妙に調整
しない限りうまく作動しないという問題があった。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は上記問題点を解決しようとするもので、真空ポ
ンプに継げられる真空室を形成し、該真空室の平坦な底
壁に所定間隔を置いて多数の通気孔を開設し、該底壁の
下面に該通気孔より大径の抜孔を開設したゴム製の弾性
板を該抜孔が該各通気孔に合致するように貼着し、外周
に通気間隙が有するように前記通気孔中に上下動自在に
貫挿した垂下軸にはその上端に該通気孔より大径の頭部
を形成すると共に下端には前記通気間隙を閉塞し得る弁
部を形成し、該弁部は垂下軸の上下動により抜孔から下
に出没動するように構成したことを特徴とする真空吸着
装置である。
ンプに継げられる真空室を形成し、該真空室の平坦な底
壁に所定間隔を置いて多数の通気孔を開設し、該底壁の
下面に該通気孔より大径の抜孔を開設したゴム製の弾性
板を該抜孔が該各通気孔に合致するように貼着し、外周
に通気間隙が有するように前記通気孔中に上下動自在に
貫挿した垂下軸にはその上端に該通気孔より大径の頭部
を形成すると共に下端には前記通気間隙を閉塞し得る弁
部を形成し、該弁部は垂下軸の上下動により抜孔から下
に出没動するように構成したことを特徴とする真空吸着
装置である。
［作用］ 弾性板の下面に被吸着材と接触させ抜孔から下に出てい
る弁部をその接触により上動させて抜孔中に位置させれ
ば、被吸着材が接触している抜孔は通気間隙を介して真
空室に連通しているので真空になり該被吸着材を吸引す
る。一方被吸着材が接触してない抜孔は通気孔に弁部が
真空吸引により吸着され閉塞される。
る弁部をその接触により上動させて抜孔中に位置させれ
ば、被吸着材が接触している抜孔は通気間隙を介して真
空室に連通しているので真空になり該被吸着材を吸引す
る。一方被吸着材が接触してない抜孔は通気孔に弁部が
真空吸引により吸着され閉塞される。
［実施例］ 次に図面に従い本発明の真空吸着装置の一実施例を説明
する。
する。
図において、１は鋼板製長方形浅箱状の真空室、２，２
は該真空室と真空ポンプ（図示せず）とを継ぐフレキシ
ブルなホースである。該真空室１の平坦な底壁３には所
定間隔を置いて多数の通気孔４が形成されている。ちな
みに該通気孔４は直径が６．５mmの円形孔である。５は
該底壁３の下面に貼着されたゴム製の弾性板で、該弾性
板５には前記各通気孔４に合致し該通気孔４よりも大径
（直径２０mm）の円形抜孔が開設されている。７は上端
に通気孔４よりも大きい頭部８を螺着したプラスチック
製の垂下軸で、該垂下軸は直径が５mmでその外周に通気
間隙９が存するように通気孔４中に上下動自在に貫挿さ
れている。そして逆円錐台形の弁部１０が一体に形成さ
れ、該弁部１０は常態では抜孔６から下に出ている。
は該真空室と真空ポンプ（図示せず）とを継ぐフレキシ
ブルなホースである。該真空室１の平坦な底壁３には所
定間隔を置いて多数の通気孔４が形成されている。ちな
みに該通気孔４は直径が６．５mmの円形孔である。５は
該底壁３の下面に貼着されたゴム製の弾性板で、該弾性
板５には前記各通気孔４に合致し該通気孔４よりも大径
（直径２０mm）の円形抜孔が開設されている。７は上端
に通気孔４よりも大きい頭部８を螺着したプラスチック
製の垂下軸で、該垂下軸は直径が５mmでその外周に通気
間隙９が存するように通気孔４中に上下動自在に貫挿さ
れている。そして逆円錐台形の弁部１０が一体に形成さ
れ、該弁部１０は常態では抜孔６から下に出ている。
このように構成された真空吸着装置では、真空室１内を
大気圧にして弾性板５の下面に被吸着材１１を接触させ
ることにより第４図に示したように垂下軸７を持ち上げ
弁部１０を抜孔６中に収容させる。この状態で真空室１
を真空ポンプに連通させ真空にすると、抜孔６中にあっ
た空気は通気間隙９を通り真空室１に吸引され該抜孔６
内が負圧になるため被吸着材１１を弾性板５の下面に吸
着できる。そのとき第４図の左方に示されるように被吸
着材１１が接触していない抜孔６の垂下軸７は真空室１
の真空吸引力が該垂下軸７の自重に勝って上に持ち上げ
られ弁部１０が通気孔４に合着してその通気間隙９を閉
塞する。このためこの通気孔４からの外気の侵入は阻止
され真空室１内の気圧を低く保持でき該真空室１と連通
する第４図中右方２つの抜孔６の真空度を高め、被吸着
材１１を強力に吸着保持できる。なおこの場合、被吸着
材１１があると抜孔６内が真空室１と同じく気圧低下す
るため、垂下軸７が第４図の状態からさらに上動するこ
とはない。そして所要位置に該被吸着材１１を移送でき
たら真空室１を大気圧に戻すことでその吸着を解除でき
る。
大気圧にして弾性板５の下面に被吸着材１１を接触させ
ることにより第４図に示したように垂下軸７を持ち上げ
弁部１０を抜孔６中に収容させる。この状態で真空室１
を真空ポンプに連通させ真空にすると、抜孔６中にあっ
た空気は通気間隙９を通り真空室１に吸引され該抜孔６
内が負圧になるため被吸着材１１を弾性板５の下面に吸
着できる。そのとき第４図の左方に示されるように被吸
着材１１が接触していない抜孔６の垂下軸７は真空室１
の真空吸引力が該垂下軸７の自重に勝って上に持ち上げ
られ弁部１０が通気孔４に合着してその通気間隙９を閉
塞する。このためこの通気孔４からの外気の侵入は阻止
され真空室１内の気圧を低く保持でき該真空室１と連通
する第４図中右方２つの抜孔６の真空度を高め、被吸着
材１１を強力に吸着保持できる。なおこの場合、被吸着
材１１があると抜孔６内が真空室１と同じく気圧低下す
るため、垂下軸７が第４図の状態からさらに上動するこ
とはない。そして所要位置に該被吸着材１１を移送でき
たら真空室１を大気圧に戻すことでその吸着を解除でき
る。
［発明の効果］ 以上実施例について説明したように本発明の真空吸着装
置は、真空室の底壁下面にゴム製の弾性板をその抜孔と
通気孔とを合致させて貼着し、上端に頭部、下端に弁部
が形成された垂下軸を該通気孔中に貫挿することにより
特殊形状の吸着パッドを部品として成形する必要もなく
簡単に低コストで製作できる利点がある。しかも、コイ
ルバネを用いて吸気孔に弁体を圧着させる構造と異な
り、真空吸引力により弁部が通気孔に合着してその通気
間隙が閉塞されるようにしたので、常に確実に作動し調
整が容易であるなど種々の利点がある。
置は、真空室の底壁下面にゴム製の弾性板をその抜孔と
通気孔とを合致させて貼着し、上端に頭部、下端に弁部
が形成された垂下軸を該通気孔中に貫挿することにより
特殊形状の吸着パッドを部品として成形する必要もなく
簡単に低コストで製作できる利点がある。しかも、コイ
ルバネを用いて吸気孔に弁体を圧着させる構造と異な
り、真空吸引力により弁部が通気孔に合着してその通気
間隙が閉塞されるようにしたので、常に確実に作動し調
整が容易であるなど種々の利点がある。
図面は本発明の一実施例を示したもので、第１図は側面
図、第２図はその下面図、第３図は第１図の部分拡大縦
断面図、第４図は第３図の作用状態図、第５図は第３図
の部分拡大図である。第６図および第７図は従来の真空
吸着装置の縦断面図である。 １…真空室、３…底壁、４…通気孔、５…弾性板、６…
抜孔、７…垂下軸、８…頭部、９…通気間隙、１０…弁
部、１１…被吸着材
図、第２図はその下面図、第３図は第１図の部分拡大縦
断面図、第４図は第３図の作用状態図、第５図は第３図
の部分拡大図である。第６図および第７図は従来の真空
吸着装置の縦断面図である。 １…真空室、３…底壁、４…通気孔、５…弾性板、６…
抜孔、７…垂下軸、８…頭部、９…通気間隙、１０…弁
部、１１…被吸着材
Claims (1)
- 【請求項１】真空ポンプに継げられる真空室を形成し、
該真空室の平坦な底壁に所定間隔を置いて多数の通気孔
を開設し、該底壁の下面に該通気孔より大径の抜孔を開
設したゴム製の弾性板を該抜孔が該各通気孔に合致する
ように貼着し、外周に通気間隙が有するように前記通気
孔中に上下動自在に貫挿した垂下軸にはその上端に該通
気孔より大径の頭部を形成すると共に下端には前記通気
間隙を閉塞し得る弁部を形成し、該弁部は垂下軸の上下
動により抜孔から下に出没動するように構成したことを
特徴とする真空吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63068576A JPH0662225B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63068576A JPH0662225B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 真空吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01242345A JPH01242345A (ja) | 1989-09-27 |
| JPH0662225B2 true JPH0662225B2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=13377739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63068576A Expired - Lifetime JPH0662225B2 (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | 真空吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0662225B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04294992A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-19 | Sekisui Chem Co Ltd | Ｓｍｃの移載装置 |
| JPH0721641U (ja) * | 1993-09-27 | 1995-04-21 | 忠 庄司 | 吸着具 |
| KR101773779B1 (ko) * | 2011-04-26 | 2017-09-12 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 진공흡착장치 |
| WO2013058094A1 (ja) * | 2011-10-21 | 2013-04-25 | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | ワーク保持装置 |
| JP5922803B2 (ja) * | 2013-01-15 | 2016-05-24 | 株式会社メイコー | 吸着装置 |
| CN104061224B (zh) * | 2014-06-26 | 2015-12-16 | 哈尔滨工程大学 | 蜂窝状真空吸盘 |
| US11693026B2 (en) * | 2021-10-22 | 2023-07-04 | Advantest Corporation | Test carrier |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5648426B2 (ja) * | 1973-06-18 | 1981-11-16 | ||
| JPS5032650A (ja) * | 1973-07-27 | 1975-03-29 |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP63068576A patent/JPH0662225B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01242345A (ja) | 1989-09-27 |
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