JP2017024135A - 吸着固定テーブル - Google Patents
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Abstract
【課題】載置物の大きさに関わらず、吸着力の低下なく、簡単にかつ確実に載置物を吸着保持できる吸着固定テーブルを提供する。【解決手段】主面上に載置物2を真空吸着して保持するための吸着穴1が複数配置された吸着固定テーブル10であって、前記吸着穴1に連通した室11と、この室11内に突出し先端にエアー吸引穴5を有する筒体8と、この筒体8の外周面上に外挿され非圧縮状態で先端が前記筒体8より上方に位置するコイルばね6と、このコイルばね6の上端に、エアー吸引状態でコイルばね6の弾性反発力に抗して筒体8の先端のエアー吸引穴5に吸着可能に載置された弁体7とを備える。【選択図】図1
Description
本発明は、主面上に載置物を吸着固定できる吸着固定テーブルに関する。
従来、例えば基板などの載置物を、加工、組立て、搬送、検査、測定等を行う際に、載置物を真空吸着によって保持するため、複数の吸着穴を備えた吸着固定テーブルが用いられている。
載置物は形状や大きさが様々である。そのため、吸着固定テーブルに載置した載置物の形状や大きさによっては、一部の吸着穴が封止されずに開放されたままになってしまう。開いた吸着穴からは、空気が流入し、吸着力が損失する。このような損失が生じた状態では、載置物が当接する吸着穴での吸着力が弱まり、吸着効率が低下し、載置物を確実に吸着・保持できない。そのため、載置物の形状や大きさを変更する際は、載置物が無い箇所の吸着穴に、樹脂プレートなどを粘着テープなどで貼付けて吸着穴を塞いでいた。
しかしながら、吸着穴を塞ぐ樹脂プレートを、粘着テープで貼付けた場合、粘着テープの粘着物が吸着固定テーブルに転写して吸着固定テーブルに粘着残渣が残る。粘着残渣を放置すると、載置物に付着し、作業の障害や不良の原因となってしまう。
すなわち、吸着固定テーブルにおいて、載置物のサイズの切替え作業が手作業なため工数がかかるだけでなく、吸着固定テーブル上の粘着残渣を清掃する必要があるため、作業が煩雑になっていた。
すなわち、吸着固定テーブルにおいて、載置物のサイズの切替え作業が手作業なため工数がかかるだけでなく、吸着固定テーブル上の粘着残渣を清掃する必要があるため、作業が煩雑になっていた。
そこで、吸着固定テーブルの吸着穴を、載置物の形状や大きさに応じて、選択的に吸着させる装置が発明されてきた。
例えば、特許文献1には、上記載置台に載置された載置物の外寸を表わす載置物サイズを検出する載置物サイズ検出手段と、上記載置物サイズ検出手段の検出した載置物サイズに応じて載置物の外寸より小さい領域の上記吸着部を選択する選択手段とを備えた搬送装置が記載されている。
特許文献2には、載置物を吸着し保持する吸着プレートの吸引孔は、ベースプレートから昇降可能に設けられた吸引孔開閉部材により個別に開閉可能になった載置物吸着搬送装置が記載されている。
特許文献3には、ワーク(被吸着物)をステージに載置すると、吸気バルブの弁体を押し下げることにより、吸気バルブの弁体が開いて吸引孔を開放させ、ワークが当接しない吸気バルブでは、吸引孔が閉塞された状態が保持される吸着保持装置が記載されている。
例えば、特許文献1には、上記載置台に載置された載置物の外寸を表わす載置物サイズを検出する載置物サイズ検出手段と、上記載置物サイズ検出手段の検出した載置物サイズに応じて載置物の外寸より小さい領域の上記吸着部を選択する選択手段とを備えた搬送装置が記載されている。
特許文献2には、載置物を吸着し保持する吸着プレートの吸引孔は、ベースプレートから昇降可能に設けられた吸引孔開閉部材により個別に開閉可能になった載置物吸着搬送装置が記載されている。
特許文献3には、ワーク(被吸着物)をステージに載置すると、吸気バルブの弁体を押し下げることにより、吸気バルブの弁体が開いて吸引孔を開放させ、ワークが当接しない吸気バルブでは、吸引孔が閉塞された状態が保持される吸着保持装置が記載されている。
しかし、これら特許文献1、特許文献2の装置では、装置自体が複雑で大型化するという問題がある。特許文献3では、弁体がワークに接触することで、ワークが傷つく可能性がある。
本発明は、載置物の大きさに関わらず、吸着力の低下なく、簡単にかつ確実に載置物を吸着保持できる吸着固定テーブルを提供することを課題とする。
本発明は、上記課題を解決するべく完成されたものであって、以下の構成からなる。
(1)主面上に載置物を真空吸着して保持するための吸着穴が複数配置された吸着固定テーブルであって、前記吸着穴に連通した室と、この室内に突出し、先端にエアー吸引穴を有する筒体と、この筒体の外周面上に外挿され、非圧縮状態で、先端が前記筒体より上方に位置するコイルばねと、このコイルばねの上端に、エアー吸引状態でコイルばねの弾性反発力に抗して前記筒体の先端のエアー吸引穴に吸着可能に載置された弁体とを備えることを特徴とする吸着固定テーブル。
(2)前記弁体が球体である(1)に記載の吸着固定テーブル。
(1)主面上に載置物を真空吸着して保持するための吸着穴が複数配置された吸着固定テーブルであって、前記吸着穴に連通した室と、この室内に突出し、先端にエアー吸引穴を有する筒体と、この筒体の外周面上に外挿され、非圧縮状態で、先端が前記筒体より上方に位置するコイルばねと、このコイルばねの上端に、エアー吸引状態でコイルばねの弾性反発力に抗して前記筒体の先端のエアー吸引穴に吸着可能に載置された弁体とを備えることを特徴とする吸着固定テーブル。
(2)前記弁体が球体である(1)に記載の吸着固定テーブル。
本発明によれば、主面上に配置した複数の吸着穴が、載置物を載置した箇所以外では弁体によってエアー吸引穴がエアー吸引力によって塞がれているので、載置物を真空吸着して保持することができる。そのため、吸着力の損失が少なく、形状や大きさの異なる載置物であっても簡単かつ確実に吸着することができる。更に、弁体は載置物に非接触で、載置物を傷つける可能性がない。
本発明の一実施形態に係る吸着固定テーブルを図1および図2に基づいて説明する。
図1に示す吸着固定テーブル10は、主面20上に載置物2を真空吸着して保持するための複数の吸着穴1を備えている。
各吸着穴1は、真空発生装置3からエアー吸引ホース4によりエアー吸引するための開口9を底部に有する室11に連通している。この室11内には、底部の開口9より突出し、先端にエアー吸引穴5を有する筒体8が設けられる。また、筒体8の外周面上には螺旋状のコイルばね6が外挿され、コイルばね6の上端には、弁体7が筒体8の先端のエアー吸引穴に吸着可能に載置されている。
図1に示す吸着固定テーブル10は、主面20上に載置物2を真空吸着して保持するための複数の吸着穴1を備えている。
各吸着穴1は、真空発生装置3からエアー吸引ホース4によりエアー吸引するための開口9を底部に有する室11に連通している。この室11内には、底部の開口9より突出し、先端にエアー吸引穴5を有する筒体8が設けられる。また、筒体8の外周面上には螺旋状のコイルばね6が外挿され、コイルばね6の上端には、弁体7が筒体8の先端のエアー吸引穴に吸着可能に載置されている。
吸着穴1は、図1に示すように、吸着固定テーブル10の主面20に、マトリクス状に複数設けられている。吸着穴1は真空発生装置3およびエアー吸引ホース4により各吸着穴1の内部の室11内を真空状態して、上面の載置物2を真空吸着して保持する。吸着固定テーブル10の主面20に配置される吸着穴1の数と間隔は限定されるものではない。
吸着穴1は、載置物2を載置した吸着穴1Aと、載置物を載置しない吸着穴1Bとからなる。
吸着穴1は、載置物2を載置した吸着穴1Aと、載置物を載置しない吸着穴1Bとからなる。
載置物2としては、板状部材および立方体などが挙げられ、具体的には、紙や基板などが挙げられる。
載置物2は、吸着固定テーブル10上に載置され、組立てや加工、検査などを施される。
載置物2は、吸着固定テーブル10上に載置され、組立てや加工、検査などを施される。
吸着穴1で載置物2を真空吸着するための真空発生装置3は、図1に示すように、吸着固定テーブル10とは離れた位置に設けられる。真空発生装置3は、エアー吸引ホース4によって吸着固定テーブル10に接続される。吸着固定テーブル10には、図2(a)および(b)に示すように、各吸着穴1の下方に室11が設けられている。
図2(a)は、載置物2を載置した吸着穴1Aを示し、図2(b)は、載置物2を載置しない吸着穴1Bを示す。なお、図2(a)および(b)の矢印は、エアーの流れを示す。
室11は、吸着穴1の下方に連通した筒状の空間である。室11は、底部にエアー吸引ホース4によりエアー吸引される開口9と、開口9より立ち上がり、先端にエアー吸引穴5を有して室11内に突出した筒体8と、筒体8の外周面上に外挿されるコイルばね6と、筒体8の先端のエアー吸引穴5に載置された弁体7(球体)とを有する。
室11は、吸着穴1の下方に連通した筒状の空間である。室11は、底部にエアー吸引ホース4によりエアー吸引される開口9と、開口9より立ち上がり、先端にエアー吸引穴5を有して室11内に突出した筒体8と、筒体8の外周面上に外挿されるコイルばね6と、筒体8の先端のエアー吸引穴5に載置された弁体7(球体)とを有する。
コイルばね6は、筒体8の外周面上に外挿される。コイルばね6の径は弁体7の径より小さい。
図2(a)に示すように、載置物2が載置された吸着穴1Aでは、室11内のエアーが開口9より吸引されるので、弁体7はコイルばね6の上に載置されたままであり、コイルばね6は圧縮されない。
図2(a)に示すように、載置物2が載置された吸着穴1Aでは、室11内のエアーが開口9より吸引されるので、弁体7はコイルばね6の上に載置されたままであり、コイルばね6は圧縮されない。
一方、図2(b)に示すように、載置物2が載置されない吸着穴1Bでは、弁体7が、開口9からエアー吸引される。弁体7は、載置されたコイルばね6の弾性反発力に抗して、筒体8の先端のエアー吸引穴5に吸着され、エアー吸引穴5を塞ぐ。
弁体7は、図2(a)に示すように、載置物2が載置された吸着穴1Aにおいて、コイルばね6の上端により筒体8から持ち上げられても、吸着穴1とは非接触になるような大きさである。そのため、弁体7が載置物2に直接接触することがないので、載置物2を傷つけるおそれはない。また、弁体7の径は、吸着穴1、コイルばね6および筒体8の径よりも大きい。
次に、本発明に係る吸着固定テーブル10が載置物2を吸着固定する方法を図2(a)および(b)を用いて説明する。なお、各部材の説明は上記の通りであるので省略する。
載置物2を吸着固定テーブル10の主面20の吸着穴1上に載置し、吸着固定テーブル10とエアー吸引ホース4で接続された真空発生装置3を作動させると、載置物2を載置して閉じた吸着穴1Aでは、図2(a)に示すように、筒体8の先端のエアー吸引穴5と弁体7の隙間より、室11内のエアーが筒体8より開口9に吸引され、載置物2は吸着穴1Aから主面20上に吸着固定される。
一方、載置物2を載置しない吸着穴1Bでは、図2(b)に示すように、弁体7が、載置されたコイルばね6の弾性反発力に抗して、筒体8の先端のエアー吸引穴5に吸着され、エアー吸引穴5を塞ぐ。そのため、室11内はエアー吸引されない。この状態で載置物2を載置したとしても、主面20上に吸着固定されない。このとき、コイルばね6は弁体7により圧縮された状態となる。
以上のように、本発明の吸着固定テーブル10は、載置物2を載置した箇所のみが吸着穴1により真空吸着されて保持され、載置物2を載置しない箇所の吸着穴1は、特に何らの操作をすることなく、弁体7により筒体8の先端のエアー吸引穴が塞がれる。そのため、複数の吸着穴1全体の吸着力の損失が少なく、かつ形状や大きさの異なる載置物2であっても簡単かつ確実に真空吸着して保持することができる。
また、載置物2を載置しない吸着穴を塞ぐ樹脂プレートを粘着テープなどで貼る必要がないので、粘着残渣による不良が発生せず、工数も増えない。
また、載置物2を載置しない吸着穴を塞ぐ樹脂プレートを粘着テープなどで貼る必要がないので、粘着残渣による不良が発生せず、工数も増えない。
1,1A,1B 吸着穴
2 載置物
3 真空発生装置
4 エアー吸引ホース
5 エアー吸引穴
6 コイルばね
7 弁体
8 筒体
9 開口
10 吸着固定テーブル
11 室
20 主面
2 載置物
3 真空発生装置
4 エアー吸引ホース
5 エアー吸引穴
6 コイルばね
7 弁体
8 筒体
9 開口
10 吸着固定テーブル
11 室
20 主面
Claims (2)
- 主面上に載置物を真空吸着して保持するための吸着穴が複数配置された吸着固定テーブルであって、
前記吸着穴に連通した室と、
この室内に突出し、先端にエアー吸引穴を有する筒体と、
この筒体の外周面上に外挿され、非圧縮状態で、先端が前記筒体より上方に位置するコイルばねと、
このコイルばねの上端に、エアー吸引状態でコイルばねの弾性反発力に抗して前記筒体の先端のエアー吸引穴に吸着可能に載置された弁体とを備えることを特徴とする吸着固定テーブル。 - 前記弁体が球体である請求項1に記載の吸着固定テーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015147105A JP2017024135A (ja) | 2015-07-24 | 2015-07-24 | 吸着固定テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015147105A JP2017024135A (ja) | 2015-07-24 | 2015-07-24 | 吸着固定テーブル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017024135A true JP2017024135A (ja) | 2017-02-02 |
Family
ID=57950151
Family Applications (1)
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JP2015147105A Pending JP2017024135A (ja) | 2015-07-24 | 2015-07-24 | 吸着固定テーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017024135A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102003723B1 (ko) * | 2019-01-07 | 2019-07-25 | 김영애 | 개별 흡착력을 갖는 진공척 |
-
2015
- 2015-07-24 JP JP2015147105A patent/JP2017024135A/ja active Pending
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