JP2002103265A - 板状物の吸着保持方法 - Google Patents
板状物の吸着保持方法Info
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- JP2002103265A JP2002103265A JP2000302363A JP2000302363A JP2002103265A JP 2002103265 A JP2002103265 A JP 2002103265A JP 2000302363 A JP2000302363 A JP 2000302363A JP 2000302363 A JP2000302363 A JP 2000302363A JP 2002103265 A JP2002103265 A JP 2002103265A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 板ガラス等の板状物の表面を傷つけることな
く吸着保持することができ、併せて板状物の表面に付着
した埃や汚れを洗浄して除去することができる板状物の
吸着保持方法を提供する。 【解決手段】 先端に弾性変形可能なスカート部１ｂを
有し、後端が開閉弁３を備えた導液パイプ２を介して液
体供給手段に連結されてなる吸着具１を板ガラスＧに対
向配置し、液体供給手段から供給されるイオン水４を吸
着具１から板ガラスＧの表面に向けて吐出させつつ吸着
具１を板ガラスＧの表面に接近当接させてスカート部１
ｂを弾性変形させ、次いで、イオン水４の吐出を停止
し、吸着具１を後退させスカート部１ｂを復元させて吸
着具１と板ガラスＧとに囲まれた空間を減圧状態にして
板ガラスＧを吸着保持することを特徴とする。
く吸着保持することができ、併せて板状物の表面に付着
した埃や汚れを洗浄して除去することができる板状物の
吸着保持方法を提供する。 【解決手段】 先端に弾性変形可能なスカート部１ｂを
有し、後端が開閉弁３を備えた導液パイプ２を介して液
体供給手段に連結されてなる吸着具１を板ガラスＧに対
向配置し、液体供給手段から供給されるイオン水４を吸
着具１から板ガラスＧの表面に向けて吐出させつつ吸着
具１を板ガラスＧの表面に接近当接させてスカート部１
ｂを弾性変形させ、次いで、イオン水４の吐出を停止
し、吸着具１を後退させスカート部１ｂを復元させて吸
着具１と板ガラスＧとに囲まれた空間を減圧状態にして
板ガラスＧを吸着保持することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状体を吸着保持
する方法に関する。
する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、板ガラスを吸着保持する方法と
して、図３に示すように、板ガラスＧの表面に、吸着具
１０先端に設けられた弾性材料からなるスカート部１０
ｂを押し当てて、スカート部１０ｂと板ガラスＧとの密
着によって吸着具１０と板ガラスＧとに囲まれた空間に
ある空気を、吸着具１０に接続された真空ポンプ（図示
省略）で吸引し、この空間を負圧にして板ガラスＧを吸
着保持する真空チャックと称されるものがある。
して、図３に示すように、板ガラスＧの表面に、吸着具
１０先端に設けられた弾性材料からなるスカート部１０
ｂを押し当てて、スカート部１０ｂと板ガラスＧとの密
着によって吸着具１０と板ガラスＧとに囲まれた空間に
ある空気を、吸着具１０に接続された真空ポンプ（図示
省略）で吸引し、この空間を負圧にして板ガラスＧを吸
着保持する真空チャックと称されるものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような真空チャ
ックによる板ガラスの吸着保持方法では、吸着具１０の
スカート部１０ｂが板ガラスＧの表面に押し当てられる
際に、スカート部１０ｂが拡径して板ガラスＧの表面上
を摺動し、この時、摩擦によって板ガラスＧの表面に擦
傷がつくという問題がある。また、吸着具１０と板ガラ
スＧとに囲まれた空間にある空気が真空吸引されるため
に、板ガラスＧの表面が乾燥状態となり、板ガラスＧの
表面に付着していた埃や汚れがこびり付いて剥離し難く
なるという問題もある。さらに、板ガラスＧを吸着する
際に、埃や汚れが板ガラスＧの表面から剥離すると、こ
れらが空気とともに真空ポンプによって吸引されるため
に吸着具１０から真空ポンプに至るパイプ１１が詰まっ
てしまうといった問題がある。
ックによる板ガラスの吸着保持方法では、吸着具１０の
スカート部１０ｂが板ガラスＧの表面に押し当てられる
際に、スカート部１０ｂが拡径して板ガラスＧの表面上
を摺動し、この時、摩擦によって板ガラスＧの表面に擦
傷がつくという問題がある。また、吸着具１０と板ガラ
スＧとに囲まれた空間にある空気が真空吸引されるため
に、板ガラスＧの表面が乾燥状態となり、板ガラスＧの
表面に付着していた埃や汚れがこびり付いて剥離し難く
なるという問題もある。さらに、板ガラスＧを吸着する
際に、埃や汚れが板ガラスＧの表面から剥離すると、こ
れらが空気とともに真空ポンプによって吸引されるため
に吸着具１０から真空ポンプに至るパイプ１１が詰まっ
てしまうといった問題がある。
【０００４】本発明は、上記問題に鑑みてなされたもの
で、板状物の表面を傷つけることなく板状物を吸着して
保持することができ、併せて板状物の表面に付着してい
る埃や汚れを洗浄して除去することができる板状物の吸
着保持方法を提供することを目的とする。
で、板状物の表面を傷つけることなく板状物を吸着して
保持することができ、併せて板状物の表面に付着してい
る埃や汚れを洗浄して除去することができる板状物の吸
着保持方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の板状物の吸着保持方法は、先端に弾性変
形可能なスカート部を有し、後端が開閉弁を備えた管路
を介して液体供給手段に連結されてなる吸着具を板状物
の表面に対向配置し、液体供給手段から供給される液体
を吸着具から板状物の表面に向けて吐出させつつ吸着具
を板状物の表面に接近当接させてスカート部を弾性変形
させ、次いで、液体の吐出を停止し、吸着具を後退させ
スカート部を弾性復元させて吸着具と板状物とに囲まれ
た空間を減圧状態にして板状物を吸着保持することを特
徴とする。
めに、本発明の板状物の吸着保持方法は、先端に弾性変
形可能なスカート部を有し、後端が開閉弁を備えた管路
を介して液体供給手段に連結されてなる吸着具を板状物
の表面に対向配置し、液体供給手段から供給される液体
を吸着具から板状物の表面に向けて吐出させつつ吸着具
を板状物の表面に接近当接させてスカート部を弾性変形
させ、次いで、液体の吐出を停止し、吸着具を後退させ
スカート部を弾性復元させて吸着具と板状物とに囲まれ
た空間を減圧状態にして板状物を吸着保持することを特
徴とする。
【０００６】本発明の板状物の吸着保持方法は、吸着具
と板状物との当接により吸着具と板状物とに囲まれた空
間に液体を閉じ込め、板状物の表面に密着しているスカ
ート部の弾性変形を利用してこの空間に減圧状態を生じ
せしめて吸着具による板状物の吸着保持を実現するもの
である。また、本発明の板状物の吸着保持方法は、板状
物の表面に向けて吐出された液体の潤滑作用によってス
カート部と板状物との摩擦を回避して板状物の損傷を防
止するものであり、さらに、吸着に先立って板状物の表
面に向けて吐出される液体で板状物の表面にある埃や汚
れを押し流して除去するものである。
と板状物との当接により吸着具と板状物とに囲まれた空
間に液体を閉じ込め、板状物の表面に密着しているスカ
ート部の弾性変形を利用してこの空間に減圧状態を生じ
せしめて吸着具による板状物の吸着保持を実現するもの
である。また、本発明の板状物の吸着保持方法は、板状
物の表面に向けて吐出された液体の潤滑作用によってス
カート部と板状物との摩擦を回避して板状物の損傷を防
止するものであり、さらに、吸着に先立って板状物の表
面に向けて吐出される液体で板状物の表面にある埃や汚
れを押し流して除去するものである。
【０００７】また、本発明の板状物の吸着保持方法は、
液体として洗浄効果を有する洗浄液を用いることを特徴
とする。
液体として洗浄効果を有する洗浄液を用いることを特徴
とする。
【０００８】本発明の板状物の吸着保持方法は、板状物
の表面に吐出する液体として洗浄効果を有する洗浄液を
用い、吸着に先立って板状物の表面に付着した埃や汚れ
をより強力に洗浄除去するものである。
の表面に吐出する液体として洗浄効果を有する洗浄液を
用い、吸着に先立って板状物の表面に付着した埃や汚れ
をより強力に洗浄除去するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の板状物の吸着保
持方法の一例を図面を参照して説明する。
持方法の一例を図面を参照して説明する。
【００１０】図１は、本発明に係る板ガラスの吸着保持
方法の説明図で、１は吸着具を、２はステンレス製の導
液パイプを、３は電気信号により開閉が可能な開閉弁
を、４は板ガラスの表面に吐出するアルカリ性または酸
性のイオン水を、Ｇは平坦な表面を有する板ガラスをそ
れぞれ示している。
方法の説明図で、１は吸着具を、２はステンレス製の導
液パイプを、３は電気信号により開閉が可能な開閉弁
を、４は板ガラスの表面に吐出するアルカリ性または酸
性のイオン水を、Ｇは平坦な表面を有する板ガラスをそ
れぞれ示している。
【００１１】本発明に使用する板状物の吸着保持装置の
吸着具１は、金属製の基体の上端に開口孔１ａを、下端
に合成ゴムや合成樹脂等、硬度が低く弾性力を有する材
料からなる直径約５０ｍｍのスカート部１ｂを具備し、
開口孔１ａは導液パイプ２を介して液体送給手段（図示
省略）に連結されており、吸着具１は、導液パイプ２と
一体に取り付けられ昇降手段（図示省略）により上下移
動可能に構成されている。導液パイプ２には、電気信号
によって開閉作動し、液体供給手段から吸着具１へイオ
ン水４を送給あるいは停止させる開閉弁３が設けられて
いる。
吸着具１は、金属製の基体の上端に開口孔１ａを、下端
に合成ゴムや合成樹脂等、硬度が低く弾性力を有する材
料からなる直径約５０ｍｍのスカート部１ｂを具備し、
開口孔１ａは導液パイプ２を介して液体送給手段（図示
省略）に連結されており、吸着具１は、導液パイプ２と
一体に取り付けられ昇降手段（図示省略）により上下移
動可能に構成されている。導液パイプ２には、電気信号
によって開閉作動し、液体供給手段から吸着具１へイオ
ン水４を送給あるいは停止させる開閉弁３が設けられて
いる。
【００１２】次に、図２により、本発明の板ガラスの吸
着保持の工程を説明する。
着保持の工程を説明する。
【００１３】まず、吸着具１をスカート部１ｂを下向き
にして、差渡しがスカート部１ｂの直径より大きく、水
平に載置された板ガラスＧの上方に配置し、図２（Ａ）
に示すように、導液パイプ２に設けられた開閉弁３を開
いて、イオン水４を液体送給手段から吸着具１の上端の
開口孔１ａを介して吸着具１に加圧供給し、板ガラスＧ
の表面に吐出させながら昇降手段を作動させて吸着具１
を下降させ板ガラスＧの表面に接近させる。このとき、
吸着具１から吐出されたイオン水４が板ガラスＧ表面の
中心部から周辺に向かって勢いよく流れて板ガラスＧの
表面に付着している埃や汚れを押し流す。
にして、差渡しがスカート部１ｂの直径より大きく、水
平に載置された板ガラスＧの上方に配置し、図２（Ａ）
に示すように、導液パイプ２に設けられた開閉弁３を開
いて、イオン水４を液体送給手段から吸着具１の上端の
開口孔１ａを介して吸着具１に加圧供給し、板ガラスＧ
の表面に吐出させながら昇降手段を作動させて吸着具１
を下降させ板ガラスＧの表面に接近させる。このとき、
吸着具１から吐出されたイオン水４が板ガラスＧ表面の
中心部から周辺に向かって勢いよく流れて板ガラスＧの
表面に付着している埃や汚れを押し流す。
【００１４】さらに、図２（Ｂ）に示すように、吸着具
１が板ガラスＧの表面に当接した後に吸着具１を下降さ
せてスカート部１ｂを板ガラスＧの表面に押しつける。
このとき、スカート部１ｂは弾性変形により拡径して板
ガラスＧの表面を摺動するが、イオン水４がスカート部
１ｂと板ガラスＧの表面との間に介在して潤滑作用を発
揮するため板ガラスＧの表面が傷つくことはない。
１が板ガラスＧの表面に当接した後に吸着具１を下降さ
せてスカート部１ｂを板ガラスＧの表面に押しつける。
このとき、スカート部１ｂは弾性変形により拡径して板
ガラスＧの表面を摺動するが、イオン水４がスカート部
１ｂと板ガラスＧの表面との間に介在して潤滑作用を発
揮するため板ガラスＧの表面が傷つくことはない。
【００１５】この状態で、図２（Ｃ）に示すように、吸
着具１の下降を停止し、導液パイプ２の開閉弁３を閉じ
てイオン水４の供給を停止すると、スカート部１ｂは板
ガラスＧの表面に密着し、その後に吸着具１を上昇させ
ると、スカート部１ｂが弾性復元して収縮し、吸着具１
と板ガラスＧとに囲まれた空間に減圧状態が生じて板ガ
ラスＧは吸着具１に吸着保持される。
着具１の下降を停止し、導液パイプ２の開閉弁３を閉じ
てイオン水４の供給を停止すると、スカート部１ｂは板
ガラスＧの表面に密着し、その後に吸着具１を上昇させ
ると、スカート部１ｂが弾性復元して収縮し、吸着具１
と板ガラスＧとに囲まれた空間に減圧状態が生じて板ガ
ラスＧは吸着具１に吸着保持される。
【００１６】板ガラスＧの吸着保持を解くときは、開閉
弁３を開いて液体供給手段からイオン水４の供給を再開
するとイオン水４の圧力作用で吸着具１の吸着力が失わ
れて板ガラスＧを吸着具１から離脱させることができ
る。
弁３を開いて液体供給手段からイオン水４の供給を再開
するとイオン水４の圧力作用で吸着具１の吸着力が失わ
れて板ガラスＧを吸着具１から離脱させることができ
る。
【００１７】上記一連の工程において、イオン水４は、
板ガラスＧの表面上を流動するか、吸着具１と板ガラス
Ｇとに囲まれた空間に止まるかのいずれかの状態にあ
り、この状態で、イオン水４はスカート部１ｂと板ガラ
スＧの表面の間に介在して潤滑作用を及ぼしスカート部
１ｂと板ガラスＧとの摩擦を緩和する。また、イオン水
４は板ガラスＧの表面を濡らしているため、板ガラスＧ
の表面に埃や汚れがこびり付くことはない。さらに、イ
オン水４は液体供給手段に向かって逆流することがない
ため、板ガラスＧの表面から剥離した埃や汚れが導液パ
イプ２を詰まらせる事態も生じない。
板ガラスＧの表面上を流動するか、吸着具１と板ガラス
Ｇとに囲まれた空間に止まるかのいずれかの状態にあ
り、この状態で、イオン水４はスカート部１ｂと板ガラ
スＧの表面の間に介在して潤滑作用を及ぼしスカート部
１ｂと板ガラスＧとの摩擦を緩和する。また、イオン水
４は板ガラスＧの表面を濡らしているため、板ガラスＧ
の表面に埃や汚れがこびり付くことはない。さらに、イ
オン水４は液体供給手段に向かって逆流することがない
ため、板ガラスＧの表面から剥離した埃や汚れが導液パ
イプ２を詰まらせる事態も生じない。
【００１８】上記実施例において洗浄液としてイオン水
を用いたが、アルコール等、洗浄効果を有する液体であ
れば使用可能である。
を用いたが、アルコール等、洗浄効果を有する液体であ
れば使用可能である。
【００１９】上記実施例では吸着具を単数使用した場合
を示したが、これに限らず、複数の吸着具を使用するこ
とにより大面積の板状物の吸着保持に対応することも可
能である。
を示したが、これに限らず、複数の吸着具を使用するこ
とにより大面積の板状物の吸着保持に対応することも可
能である。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、吸着具と板状物とに囲
まれた空間に液体を閉じ込め、吸着具に設けたスカート
部の弾性変形を利用してこの空間に減圧状態を発生させ
ることができるため、簡単な構造によって板状物の吸着
保持が可能であり、しかも、板状物の吸着に際して、板
状物の表面に向けて吐出された液体が潤滑作用を及ぼす
ため、スカート部による板状物の表面の擦傷を防止する
ことができ、また、板状物の表面に向けて吐出される液
体で板状物の表面にある埃や汚れを押し流して除去する
ことができる。
まれた空間に液体を閉じ込め、吸着具に設けたスカート
部の弾性変形を利用してこの空間に減圧状態を発生させ
ることができるため、簡単な構造によって板状物の吸着
保持が可能であり、しかも、板状物の吸着に際して、板
状物の表面に向けて吐出された液体が潤滑作用を及ぼす
ため、スカート部による板状物の表面の擦傷を防止する
ことができ、また、板状物の表面に向けて吐出される液
体で板状物の表面にある埃や汚れを押し流して除去する
ことができる。
【００２１】さらに、本発明によれば、板状物の表面に
吐出する液体として洗浄効果を有する洗浄液を用いたの
で、板状物の表面に付着した埃や汚れをより強力に洗浄
除去することができる。
吐出する液体として洗浄効果を有する洗浄液を用いたの
で、板状物の表面に付着した埃や汚れをより強力に洗浄
除去することができる。
【図１】本発明に係る板ガラスの吸着保持方法の説明図
である。
である。
【図２】本発明による板ガラスの吸着保持の工程を示す
説明図で、（Ａ）乃至（Ｃ）は各プロセスである。
説明図で、（Ａ）乃至（Ｃ）は各プロセスである。
【図３】従来の板ガラスの吸着保持方法の説明図
１ 吸着具 ２ 導液パイプ ３ 開閉弁 ４ イオン水 Ｇ 板ガラス
Claims (2)
- 【請求項１】 先端に弾性変形可能なスカート部を有
し、後端が開閉弁を備えた管路を介して液体供給手段に
連結されてなる吸着具を板状物の表面に対向配置し、該
液体供給手段から供給される液体を前記吸着具から前記
板状物の表面に向けて吐出させつつ前記吸着具を前記板
状物の表面に接近当接させて前記スカート部を弾性変形
させ、次いで、前記液体の吐出を停止し、前記吸着具を
後退させて前記スカート部を弾性復元させ吸着具と板状
物とに囲まれた空間を減圧状態にして板状物を吸着保持
することを特徴とする板状物の吸着保持方法。 - 【請求項２】 前記液体として洗浄効果を有する洗浄液
を用いることを特徴とする請求項１に記載の板状物の吸
着保持方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000302363A JP4254040B2 (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | 板状物の吸着保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000302363A JP4254040B2 (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | 板状物の吸着保持方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002103265A true JP2002103265A (ja) | 2002-04-09 |
| JP4254040B2 JP4254040B2 (ja) | 2009-04-15 |
Family
ID=18783725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000302363A Expired - Fee Related JP4254040B2 (ja) | 2000-10-02 | 2000-10-02 | 板状物の吸着保持方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4254040B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008074565A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 板状物の吸着方法及び吸着パッド |
| JP2014086485A (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬送方法 |
| JPWO2015083613A1 (ja) * | 2013-12-03 | 2017-03-16 | 株式会社ハーモテック | 保持装置 |
| CN111941454A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-11-17 | 江苏昱博自动化设备有限公司 | 一种助力机械手用夹具 |
| CN112720542A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-30 | 广州媛爱贸易有限公司 | 一种电液伺服控制的机械臂 |
| WO2024154425A1 (ja) * | 2023-01-17 | 2024-07-25 | ソフトバンクグループ株式会社 | ロボットハンド、ロボットの制御システム、機能回復処理システム、ロボットの制御プログラム、機能回復処理プログラム |
-
2000
- 2000-10-02 JP JP2000302363A patent/JP4254040B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008074565A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 板状物の吸着方法及び吸着パッド |
| JP2014086485A (ja) * | 2012-10-22 | 2014-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 搬送方法 |
| JPWO2015083613A1 (ja) * | 2013-12-03 | 2017-03-16 | 株式会社ハーモテック | 保持装置 |
| CN111941454A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-11-17 | 江苏昱博自动化设备有限公司 | 一种助力机械手用夹具 |
| CN111941454B (zh) * | 2020-08-17 | 2021-10-01 | 江苏昱博自动化设备有限公司 | 一种助力机械手用夹具 |
| CN112720542A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-30 | 广州媛爱贸易有限公司 | 一种电液伺服控制的机械臂 |
| WO2024154425A1 (ja) * | 2023-01-17 | 2024-07-25 | ソフトバンクグループ株式会社 | ロボットハンド、ロボットの制御システム、機能回復処理システム、ロボットの制御プログラム、機能回復処理プログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4254040B2 (ja) | 2009-04-15 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090119 |
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