JP4046964B2 - 真空吸着ハンド - Google Patents
真空吸着ハンド Download PDFInfo
- Publication number
- JP4046964B2 JP4046964B2 JP2001286049A JP2001286049A JP4046964B2 JP 4046964 B2 JP4046964 B2 JP 4046964B2 JP 2001286049 A JP2001286049 A JP 2001286049A JP 2001286049 A JP2001286049 A JP 2001286049A JP 4046964 B2 JP4046964 B2 JP 4046964B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum suction
- vacuum
- component
- suction
- suction means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品を吸着する真空吸着ハンドに関し、更に詳しくは、クリーンルーム内での使用に好適な真空吸着ハンドに関する。
【0002】
【従来の技術】
クリーンルーム内で半導体部品や光学部品をピックアップし、所望の場所へ搬送する際に、真空吸着ハンドが用いられている。
【0003】
このような真空吸着ハンドにおいて、吸着した部品を吸着口より開放する際には、吸着口へ一定時間加圧空気を送り真空破壊を行えば、短時間で確実に開放することができる。しかし、加圧空気内の塵埃がクリーンルーム内に撒き散らされるので、周囲のクリーンな空気をいれ(大気開放)、真空破壊を行なう方法が用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記構成の真空吸着バンドにおいて、大気開放して真空破壊を行う場合、真空吸着ハンド内の圧力が外圧まで上がりきっていないうちに、真空吸着ハンドを部品より離そうとすると、部品が真空ハンドに付着して持ち上がり、正確な位置決めができない問題点がある。特に、部品吸着時の吸着高さ誤差を吸収するために、吸着口にゴム等の弾性パッドを設けた場合、その現象は顕著である。
【0005】
このため、短時間で部品の開放ができない問題点もある。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その第1の課題は、正確な位置決めを行える真空吸着ハンドを提供することにある。
【0006】
又、第2の課題は、短時間で部品の開放が行える真空吸着ハンドを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
図1(a)は請求項1記載の発明の原理図である。図において、ベース1は、ロボットやX−Yテーブル等の搬送機構3に対し、部品5の吸着方向(図において矢印I方向)に沿って移動可能に設けられている。
【0008】
このベース1には、負圧によって部品5を吸着し、大気開放により真空破壊がなされる真空吸着手段7,7′と、吸着した部品5を吸着方向と反対方向に押圧するノックアウト手段9,9′が設けられている。
【0009】
この構成の作動を説明すると、図1(a)に示すように、真空吸着手段7,7′が部品5を吸着し、搬送機構3によって所望の場所へ搬送される。そして、所望の場所へ搬送されると、図1(b)に示すように、大気開放により真空吸着手段7,7′の真空破壊がなされ、ノックアウト手段9,9′が部品5を押圧する。
【0010】
ノックアウト手段9,9′の部品5への押圧することにより、ベース1およびベース1に設けられた真空吸着手段7,7′が吸着方向へ持ち上がり、真空吸着手段7,7′が部品5から離れ、部品5の開放がなされる。
【0011】
このような構成によれば、ノックアウト手段9,9′が部品5を押圧した状態で、真空吸着手段7,7′を部品5より開放するので、真空吸着手段7,7′と部品5との付着がなくなり、正確な位置決めを行える。
【0012】
又、真空吸着手段7,7′内の圧力が外圧まで下がりきっていない場合でも、位置ずれなく部品の開放を行うことができるので、短時間で部品の開放を行える。
【0014】
ノックアウト手段9,9′が部品5を押圧しながら、部品5が動かない状態にして、真空吸着手段7,7′の真空破壊を行うことにより、さらに正確な位置決めが行える。
【0016】
【発明の実施の形態】
最初に、本発明の実施の形態例の真空吸着ハンドの構成図である図2、および、図2の切断線A−Aでの断面図である図3を用いて説明する。尚、本実施の形態例の真空吸着ハンドはクリーンルーム内で使用される吸着ハンドである。
【0017】
図2において、ロボットやX−Yテーブル等の搬送機構11には、支柱10を介して真空吸着ハンド13が取り付けられるハンド取り付け部15が設けられている。このハンド取り付け部15の略中央部には、貫通穴15aが形成され、貫通穴15aには、つば部17bを有する筒状のガイド17が設けられている。
【0018】
さらに、ガイド17のつば部17b上には、ガイド17の穴(内筒)17aに連通する穴21aが形成された板21が設けられている。そして、ロッド23が板21の穴21a、およびガイド17のガイド穴17aに挿通されている。
【0019】
板21の穴21aから上方に突出したロッド23上端部には、板21に当接可能な抜け止め用のリング25が取り付けられている。ガイド17のガイド穴17aから下方に突出したロッド23の下端部には、ベース27が取り付けられている。
【0020】
ベース27とガイド17との間には、ロッド23を巻回し、ベース27とガイド17とに当接するばね28が設けられ、ばね28によりベース27は下方に付勢されている。
【0021】
尚、本実施の形態例では、図3に示すように、支柱10を挟んで前後方向に同一構造のガイド17,17′が設けられている。
図2に戻って、ベース27の両側には、第1の部品(たとえば、磁気ディスク装置のエンクロージャのカバー)29を吸着する真空吸着手段31,31′と、吸着した第1の部品29を吸着方向(図2において矢印I方向)と反対方向へ押圧するノックアウト手段33,33′とが設けられている。ベース27は、ガイド17,17′とロッド23,23′とからなるスライド機構により、部品の吸着方向Iに移動可能となっている。
【0022】
真空吸着手段31,31′の下部の吸着口には、ゴム等の弾性部材でなる弾性パッド35,35′が設けられている。ノックアウト手段33,33′は、エアシリンダ37と、エアシリンダ37のロッドの先端に設けられた押し棒39とからなっている。
【0023】
次に、図4を用いて、図2の真空吸着ハンド13の空圧配管を説明する。
空圧源51からの高圧空気は、ノックアウト電磁弁(5ポート2位置スプリング電磁切替弁)53を介して、ノックアウト手段33のエアシリンダ37およびノックアウト手段33′のエアシリンダ37′に供給される。
【0024】
尚、図に示す状態のノックアウト電磁弁53は、ソレノイドが駆動しておらず、スプリングの付勢力により、空圧源51から供給される高圧空気により、ノックアウト手段33,33′のエアシリンダ37,37′は、その押し棒39,39′を上方に押し上げる方向(第1の部品29より離反する方向)に駆動されている。
【0025】
一方、スプリングの付勢力に抗して、ソレノイドが駆動すると、空圧源51から供給される高圧空気により、ノックアウト手段33,33′のエアシリンダ37,37′は、その押し棒39,39′を下方に押し下げる方向(第1の部品29を押圧する方向)に駆動される。
【0026】
又、空圧源51からの高圧空気は、真空吸着手段31,31′の脱気を行なう真空ユニット63にも供給されている。
真空ユニット63は、真空電磁弁(3ポート2位置スプリング電磁切替弁)55と、真空電磁弁55により駆動される切替弁(2ポート2位置弁)57と、エジェクタ59と、真空スイッチ61とからなっている。
【0027】
さらに、真空ユニット63と弾性パッド35,35′との間には、真空破壊弁(3ポート2位置スプリング電磁切替弁)65とフィルタ67とが設けられている。
【0028】
図に示す状態は、真空ユニット63の真空電磁弁55が駆動しておらず、空圧源51からの高圧空気が切替弁57を閉じる方向に供給されているので真空ユニット63は動作していない。
【0029】
ここで、真空吸着手段31,31′内の脱気を行う場合は、真空ユニット63の真空電磁弁55を駆動させる。すると、真空電磁弁55は切替弁57を開状態とし、空圧源51からの高圧空気がエジェクタ59を通ってクリーンルーム外へ排気される。エジェクタ59に高圧の空気が流れると、真空吸着手段31,31′内の脱気が行われる。真空吸着手段31,31′内の圧力が設定圧力まで下がると、真空スイッチ61が作動する。
【0030】
次に、真空吸着手段31,31′の真空破壊を行なう場合には、真空電磁弁55の駆動を停止し、切替弁57を閉じ、真空破壊弁65を動作させる。すると、弾性パッド35,35′から真空破壊弁65までの管路がクリーンルーム内の大気に開放され、真空吸着手段31,31′の真空破壊が行われる。
【0031】
次に、図2,図5〜図7を用いて、本実施の形態例の真空吸着ハンド13の作動を説明する。
図2に示す状態は、搬送機構11により真空吸着ハンド13が吸着する第1の部品29上に位置する状態である。
【0032】
ここで、図5に示すように、搬送機構11により、真空吸着ハンド13が下降し、真空吸着手段31,31′の弾性パッド35,35′が第1の部品29上に当接する。そして、図4に示す真空電磁弁55が駆動され、真空吸着手段31,31′内の脱気が行われ、第1の部品29は真空吸着手段31,31′により吸着される。
【0033】
第1の部品29を吸着した真空吸着ハンド13は、搬送機構11により第1の部品29が載置される第2の部品(たとえば、磁気ディスク装置のエンクロージャ)71上に搬送され、図6に示すように、第1の部品29は第2の部品71上に載置される。
【0034】
次に、図4に示すノックアウト電磁弁53が駆動され、ノックアウト手段33,33′のエアシリンダ37,37′の押し棒39,39′が第1の部品29を押圧すると共に、ノックアウト手段33,33′の押し棒39,39′が第1の部品29を押圧すると、図4に示す真空破壊弁65が駆動され、真空吸着手段31,31′内がクリーンルーム内の大気に開放され、真空吸着手段31,31′の真空破壊が行われ、真空吸着手段31,31′の第1の部品29への吸着が解除される。
【0035】
真空吸着手段31,31′の真空破壊が行われると、ノックアウト手段33,33′の第1の部品29への押圧により、ベース27およびベース27に設けられた真空吸着手段31,31′が吸着方向Iへ持ち上がり、真空吸着手段31,31′が第1の部品29より離れる。
【0036】
上記構成によれば、ノックアウト手段33,33′が第1の部品29を押圧した状態で、真空吸着手段31,31′が第1の部品29より離れるので、真空吸着手段31,31′と第1の部品29との付着がなくなり、正確な位置決めが行える。
【0037】
又、真空吸着手段31,31′内の圧力が外圧まで下がりきっていない場合でも、位置ずれなく第1の部品29の開放を行うことができるので、短時間で第1の部品29の開放を行える。
【0038】
さらに、上記実施の形態例では、ノックアウト手段33,33′が第1の部品29を押圧した状態で、真空吸着手段31,31′の真空破壊を行なうことにより、更に、正確な位置決めを行うことができる。
【0039】
又、真空吸着手段31,31′の真空破壊を大気開放で行なうことにより、塵埃を周囲に撒き散らすことがなくなり、クリーンルームで使用する場合に好適である。
【0040】
さらに、真空吸着手段31,31′の吸着口には、弾性パッド35,35′を設け、さらに、ベース27を下方に付勢するばね28を設けたことにより、部品吸着時の吸着高さ誤差を吸収することができる。
【0042】
【発明の効果】
以上述べたように請求項1記載の発明によれば、ノックアウト手段が部品を押圧した状態で、真空吸着手段を部品より離すことにより、真空吸着手段と部品との付着がなくなり、正確な位置決めが行える。
【0043】
又、真空吸着手段内の圧力が外圧まで下がりきっていない場合でも、位置ずれなく部品の開放を行うことができるので、短時間で部品の開放を行える。さらに、ノックアウト手段が部品を押圧し、部品が動かない状態にして、真空吸着手段の開放を行うことにより、さらに正確な位置決めが行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1記載の発明の原理図である。
【図2】実施の形態例の真空吸着ハンド(部品吸着前)の構成図である。
【図3】図2の切断線A−Aでの断面図である。
【図4】図2の真空吸着ハンドの空圧配管図である。
【図5】図2の真空吸着ハンドの部品吸着時を示す構成図である。
【図6】図2の真空吸着ハンドの吸着部品の載置時を示す構成図である。
【図7】図2の真空吸着ハンドの吸着部品のノックアウト時を示す構成図である。
【符号の説明】
1 ベース
3 搬送機構
5 部品
7,7′ 真空吸着手段
9,9′ ノックアウト手段
Claims (1)
- 部品を吸着する真空吸着ハンドにおいて、
ガイドによって吸着方向と同方向に移動可能に支持されたロッドと、
該ロッドを前記部品の吸着方向と反対方向に付勢する付勢手段と、
該ロッドの吸着側の端部に取り付けられたベースと、
該ベースに設けられ、負圧によって部品を吸着し、大気開放により真空破壊がなされる真空吸着手段と、
前記ベースに設けられ、前記真空吸着手段に吸着された前記部品の開放時に駆動され、吸着方向と反対方向に押し棒を突き出して、載置された前記部品に接触し、前記部品を吸着方向と反対方向に押圧すると共に、この押圧力の反作用によって、前記ベースおよび前記真空吸着手段を吸着方向に移動させ、前記部品から前記真空吸着手段を引き離すノックアウト手段と、
を有し、
前記ノックアウト手段が載置されたの前記部品を押圧しながら、前記真空吸着手段を真空破壊することを特徴とする真空吸着ハンド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001286049A JP4046964B2 (ja) | 2001-09-20 | 2001-09-20 | 真空吸着ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001286049A JP4046964B2 (ja) | 2001-09-20 | 2001-09-20 | 真空吸着ハンド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003094368A JP2003094368A (ja) | 2003-04-03 |
JP4046964B2 true JP4046964B2 (ja) | 2008-02-13 |
Family
ID=19109094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001286049A Expired - Fee Related JP4046964B2 (ja) | 2001-09-20 | 2001-09-20 | 真空吸着ハンド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4046964B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018024084A (ja) * | 2016-07-27 | 2018-02-15 | ファナック株式会社 | 吸着装置 |
CN107932535A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-04-20 | 江苏金恒信息科技股份有限公司 | 一种夹爪装置以及夹爪机器人 |
CN109927064A (zh) * | 2019-01-31 | 2019-06-25 | 丹阳启亮机械有限公司 | 一种全自动焊齿机机械手用取料臂组件 |
CN110774306B (zh) * | 2019-11-11 | 2021-02-05 | 王铁霞 | 一种机械手结构 |
DE112021004525T5 (de) * | 2020-10-30 | 2023-07-06 | Fanuc Corporation | Hand, handsystem und verfahren zur steuerung eines handsystems |
US11667042B2 (en) * | 2021-07-15 | 2023-06-06 | Southwest Research Institute | Retainer apparatus for movement of articles |
-
2001
- 2001-09-20 JP JP2001286049A patent/JP4046964B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003094368A (ja) | 2003-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4046964B2 (ja) | 真空吸着ハンド | |
JP2534196B2 (ja) | ウエ−ハ貼付方法 | |
JP4569343B2 (ja) | Ic搬送装置及びコンタクタ | |
JP2005138276A (ja) | 吸着支持装置 | |
JP2007021643A (ja) | 永久磁石を用いたワーク吸着装置 | |
JP2007090469A (ja) | 部品搬送装置および部品搬送方法 | |
JP2518163B2 (ja) | 偏平ワ―ク等の吸着式移動装置における脱着装置 | |
JP7436677B2 (ja) | 部品保持治具、ロボットシステム及び部品取付方法 | |
JP2008055517A (ja) | 搬送ピックアップ装置 | |
JP3435383B2 (ja) | 真空吸着装置およびこれを備えた吸着搬送装置 | |
JP2012055977A (ja) | ワーク支持装置及びワーク支持方法 | |
JP2648118B2 (ja) | 半導体チップのピックアップ機構 | |
JP4457351B2 (ja) | 基板保持装置 | |
JPH0639768A (ja) | 真空吸着装置 | |
JP3245581B2 (ja) | ペレット吸着機構 | |
JP2013129037A (ja) | 吸着搬送方法及び板材吸着搬送装置 | |
JPH07132478A (ja) | バキューム吸着方法および吸着装置 | |
JP2002103265A (ja) | 板状物の吸着保持方法 | |
JP4676247B2 (ja) | テープ貼り機 | |
JPH03202291A (ja) | ロボットハンド | |
JP7381509B2 (ja) | チップ部品回収装置およびこれを備えた実装装置 | |
CN221125916U (zh) | 一种用于芯片贴片加工的负压拾取装置 | |
JP2009066739A (ja) | 吸着搬送方法及び吸着装置 | |
JPH11226679A (ja) | 真空吸着パットの空圧回路 | |
JP3986018B2 (ja) | 吸着パッドを備えた吸着装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051122 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060123 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060424 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060501 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060609 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101130 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4046964 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101130 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111130 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111130 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121130 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121130 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131130 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |