JPH03202291A - ロボットハンド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、光ディスクやハードディスク等の記録担体用
のディスクの製造工程において、例えばスパッタ装置用
等の保持板にディスクを着脱可能とするロボットハンド
に関し、特にディスクとともにディスク中央部に嵌合さ
れるセンタマスクを保持して、垂直状態の保持板に対す
る着脱作業を可能とし、同時工程による作業スピードの
効率化と併せ、ディスクの保持を吸着方式としてクリー
ン作業を実現したものである。

［従来の技術］ ＣＤ、光ディスク、光磁気ディスク、磁気ディスク等の
記りｍ体用のディスクを主に表面処理のスパッタ装置用
等の保持板に装着する場合、従来は保持板を水平状態と
して、ロボットハンドにより先ずディスクを保持運搬し
て保持板に載せ、次にセンタマスクを保持運搬してディ
スク中央部に嵌合する工程となっていた。

［発明か解決しようとする課題］ ところて、スパッタ装置において、通常は保持板を垂直
状態としてディスクに対しスパッタリンク処理を行うか
、前述の如〈従来は保持板を水平状態に姿勢変換する必
要かあること、そしてディスクとセンタマスクとを別々
に保持運搬しなければならないことから１作業時間がか
かるものとなっていた。

また作業に際してはセンタマスクを仮置きしなければな
らない問題もある。即ち処理後に保持板から先ずセンタ
マスクを外してそのセンタマスクを仮置きし、次に保持
板から処理後のディスクを外し、次の未処理のディスク
を保持板に載せ、再びセンタマスクを装着する必要かあ
った。そして以上の作業は１保持板か水平状態であるこ
とに加え、保持板側にディスクの位置決め部かあること
か条件となっていた。

そこで本発明の目的は、ディスクとセンタマスクをとも
に保持して、垂直状態の保持板に対する着脱作業を可能
とし、作業スピードの効率化が図れるとともに、ディス
クの保持を吸着方式としてクリーン作業の面からも優れ
たロボットハンドを提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 以上の課題を解決すべく本発明は、記録担体用のディス
クとともにディスク中央部に嵌合されるセンタマスクを
保持して、このセンタマスクを介し保持板に対して前記
ディスクを着脱可能とするロボットハンドであって、前
記センタマスクを把持するセンタマスク把持機構と、こ
のセンタマスク把持機構を収容し、且つ負圧空気を作用
する空気室を形成して、前記ディスクを吸着する真空式
吸着部とを備えたことを特徴とする。

更に具体的には以下の構成を有する。

前記センタマスクは前記ディスク面と平行する上面を有
し、このセンタマスク上面に圧接するストッパ部を前記
センタマスク把持機構に設ける。

前記センタマスクは中央部に通気孔を有し、この通気孔
を塞ぐプラグ部を前記センタマスク把持機構に設ける。

前記保持板への装着時における把持解除後の前記センタ
マスクを押圧するピストン部を前記センタマスク把持機
構に設ける。

前記真空式吸着部の外周部には、前記ディスク外周部に
嵌合されるアウタマスクを把持するアウタマスク把持機
構か備えられ、且つ外気に開口して負圧空気か作用する
ダスト吸引部をこのアクタマスク把持機構に設ける。

前記真空式吸着部のハンド本体に対する支持をフローテ
ィング構造としている。

前記ストッパ部はハンド本体に対する可動体に形成され
、この可動体の位置を検出する可動体位置検出器を設け
る。

前記可動体に前記真空式吸着部をスライド動可能に支持
し、前記ハンド本体に対する前記真空式吸着部の位置を
検出する吸着部位置検出器を設ける。

［作用］ ロボットハンドには、センタマスクを把持するセンタマ
スク把持機構と、このセンタマスク把持機構を収容し、
且っ負圧空気を作用する空気室を形威して、ディスクを
吸着する真空式吸着部とか備えられているのて、把持機
構によるセンタマスクの把持とともに、吸着部により負
圧空気によるディスクの真空吸着か行われる。

従って垂直状態の保持板に対するディスク及びセンタマ
スクの着脱作業が同時に行える。

しかもディスクを真空吸着するのて、その空気室内のセ
ンタマスク把持機構も含んでディスク面からダストか負
圧空気により吸引される。

従ってディスク面へのダストの付着をなくしてクリーン
に保てる。

次に請求項２以下の構成による作用を記す。

センタマスク把持機構に、センタマスクのディスク面と
平行する上面に圧接するストッパ部を設けることて、保
持板への装着状態でのセンタマスクとディスクとの平行
度が保たれる。

中央部に通気孔を有するセンタマスクにおいては、セン
タマスク把持機構に、そのセンタマスク通気孔を塞ぐプ
ラク部を設けることで、真空吸着部の空気室を気密に保
てる。

センタマスク把持機構に、保持板への装着時における把
持解除後のセンタマスクを押圧するピストン部を設ける
ことて、把持部分に大きな圧力をかけることなくセンタ
マスクの保持板への装着か行われる。

ディスク外周部に嵌合されるアウタマスクを把持するア
ウタマスク把持機構を真空式吸着部の外周部に備えるこ
とで、保持板に対するアウタマスクの脱着も同時に行わ
れ、更にこのアウタマスク把持機構に、外気に開口して
負圧空気か作用するダスト吸引部を設けることで、その
負圧空気により吸着部外周のダストが吸引される。従っ
て吸着部外周よりのダストの飛散か防止される。

真空式吸着部のハンド本体に対する支持をフローティン
グ構造としておくことて、ディスクに対する吸着部の角
度誤差を吸収してディスクに吸着部を追従できる。

ハンド本体に対する可動体に前記ストッパ部を形威し、
この可動体の位置を検出する可動体位置検出器を設ける
ことで、可動体の位置変化を基にセンタマスクの把持状
態か確認可能となる。

そして真空式吸着部をその可動体にスライド動可能に支
持して、その吸着部のハンド本体に対する位置を検出す
る吸着部位置検出器を設けることで、吸着部の位置変化
を基にセンタマスクの把持位置か確認可能となる。

［実施例コ 以下に添付図面を基に実施例を説明する。

具体的な一例としての作業設備を示す第８図において、
１０は本考案のロボットハンド１１を有するロボット、
９０は垂直状態のディスク保持板、１００はディスク搬
送パレットである。

図示の如く保持板９０とパレット１００の間にロボット
１０が配設されており、ロボット１０はそのハンド１１
を昇降操作及び旋回操作自在、且つ首振り操作自在に備
えてなる。

パレット１００の基板１０１に起設したボスト１０２上
にディスク１か載置され、ボスト１０２上に突出するセ
ンタ１０３かディスク１中央部の円形孔２に嵌合してい
る。このセンタ１０３は図示せぬハネにより常時は上方
に弾発付勢されてボスト１０２上に突出し、上方からの
抑圧によりボスト１０２内に没入する。

保持板９０は図示せぬスパッタ装置用のものであり、こ
の垂直状態の保持板９０には縦横に多数の保持部９１が
設けられている。

保持部９１は例えば第２図及び第９図のように中央部に
ビス止めした筒状の保持具９２を有し、保持具９２内周
の係止溝９３には平面視三角形をなす係止ハネ９４か嵌
着されている。尚、９５はディスクｌとの接触を避ける
逃げ凹部、９６は凹部９５外周を囲う環状環部である。

そしてディスクｌのスパッタリング処理時にはセンタマ
スク（内マスク）３及びアウタマスク（外マスク）７か
用いられる。

センタマスク３は前記ディスク円形孔２内への嵌合部４
上に外方フランジ５及び頭部６を備えるとともに、中央
部に縦通ずる通気孔３ａを有している。また嵌合部４外
周に係止溝４ａを有し、更に頭部６外周に把持溝６ａを
有しており、この把持溝６ａ下方にフランジ５のフラッ
ト面５ａか連続している。

アウタマスク７はリンク部８上に内方フランジ９を備え
ており、リング部８外周に把持溝８ａを有している。

そして前記ロボットハンド１１は内部構造を示す第１図
のように構成されている。

即ち第１図において、１２はハンド本体ハウシンつてあ
り、このハウシンク１２は基板部１３と中間フロック部
１４及びスカート部１５等を合体してなる。ブロック部
１４の図示下方に開口するシリシタ収納部１６内にエア
シリンダ（センタマスク把持用アクチュエータ）２１か
組み込まれ、このエアシリンダ２１から図示下方に突出
するピストンロット２２か設けられており、図示側方に
接続されたシリンタ用空気配’ｌ’２３かブロック部１
４内の空気通路１７を介してエアシリンダ２１に連通し
ている。

更にブロック部１４の図示下方で、スカート郁１５との
結合板部１８には負圧空気導入孔１９か形成され、この
負圧空気導入孔１９にはディスク吸着用空気配管２５か
接続されている。

また結合板部１８の図示下面にガイドブロック２６が結
合され、このガイドブロック２６は前記負圧空気導入孔
１９に連通ずる空気通路２７、即ち上部空気通路２７ａ
と中間部空気通路２７ｂ及び複数本の下部空気通路２７
ｃを内部に有する。

このガイドフロック２６の図示中間部外周に摺接する円
筒状可動体３１か設けられており、この可動体３１の外
周に嵌着したスナップリング３２上のハネシート３３と
前記結合板部１８下面間にテンションハネ３４か１！７
Ｊ装されている。更に可動体３１上に位置検出板３５か
ビス止めされ、また前記ガイドフロック２６の外周に大
径の抜は止め用ストッパ部２８か形成されている。そし
て前記結合板部１８上に例えば光電式近接センサによる
可動体位置検出器３６か配設され、その検出子端３７は
結合板部１８を下方に貫通して位置検出板３５の図示上
方に臨んでいる。

更に可動体３１の下部外周には真空式吸着部をなすディ
スク吸着板４１かフローティング支持されている。即ち
吸着板４１は図示下方へ開放した皿状部４２の中央に図
示上方へ一段膨出する組込孔４３を有し、この組込孔４
３内周と可動体３１外周との間に所定の隙間４４を確保
している。

また可動体３１の図示下部外周には大径の抜は止め用ス
トッパ部３８か形成されている。更に吸着板４１の中央
部上面と前記結合板部１８下面間にテンションハネ４５
が縮装されている。また可動体３１の図示下端には前記
センタマスク３のフラット面５ａに当接可能な直径方向
に対向した一対のフラット状ストッパ部３９が突設され
ている。

そして吸着板４１の皿状部４２内方に前記空気通路２７
及び可動体３１内部を介して負圧空気か後述する如く作
用する空気室４６か形成される。

また可動体３１内方にはセンタマスク把持機構５１が配
設されている。

即ち前記ガイドブロック２６内に摺動自在に縦通ずるピ
ストン体５２が設けられ、このピストン体５２は上部に
前記ピストンロッド２２用の進入穴５３を有する。また
ピストン体５２上端のフランジ部５４とガイドブロック
２６内部間にはテンションバネ５５が縮装されている。

更にピストン体５２の中間部には直径方向に貫通する窓
部５６か形成され、この窓部５６はガイドブロック２６
の図示下部に形成した下方に開口する凹部２９内方に臨
んでいる。

モして凹部２９内に図示左右一対のショー６１か支軸６
２により組み付けられ、ショー６１は下端部に内方へ突
出した把持爪６３を有するとともに、上端部には内方へ
突出したビン部６４を有しており、凹部２９内において
左右のビン部６４゜６４間にテンションハネ６５か縮装
されている。

またショー６１の中間部内方と前記ピストン体５２の下
部外周には把持解除用のカム部６６．５７か夫々形成さ
れている。

更にピストン体５２の下部には下方に開口するプラグ収
納穴５８か形成され、この収納穴５８にプラク６７か摺
動自在に組み込まれるとともに、テンションハネ６８が
縮装されている。

次に第５図に示すアウタマスク把持機構７１について説
明する。

アウタマスク把持機構７１はケース７２で覆われて前記
ディスク吸着板４１の皿状部４２外周部の例えば３箇所
に設けられている。

第５図において、７３は吸着板皿状部４２上面にビス止
めされるブロックであり、このブロック７３の図示左方
に開口するシリンダ収納部７４内にエアシリンダ（アウ
タマスク把持用アクチュエータ）７５が組み込まれ、ブ
ロック７３の図示上方にシリンダ用空気配管７６が接続
されている。

そしてエアシリンダ７５から図示左方に突出するピスト
ンロッド７７の先端にジョー８１か設けられている。

即ちジョー８１はブロック７３に支軸８２により組み付
けられて、下端部に内方へ突出した把持爪８３を有する
とともに、上端部には第６図（ａ）のように左右の二股
部８４を有している。そしてピストンロッド７７先端の
コマ部材７８に横設されたビン７９か二股部８４の長溝
８５に係合している。更に吸着板皿状部４２の外周面に
は開口部４７か形成され、この開口部４７内にショー８
１の把持爪８３が臨んでいる。またケース７２はブロッ
ク７３にビス止めされるとともに、第６図（ｂ）のよう
に吸着板皿状部４２外周面にビス止めされている。

このようにアウタマスク把持機構７１を覆ったケース７
２上面には第５図のように負圧空気配管８６か接続され
ており、これによりケース７２内には負圧空気か作用す
る。

また第７図に示すように前記ハンド本体ハウシング１２
の側部には例えば、ダイヤルゲージによる吸着部位置検
出器（測長器〉８８か備えられており、即ちそのダイヤ
ルゲージ下端の測定子８９か前記吸着板４１上面と接触
可能となっている。

以上の如く構成したロボットハンド１１による作業を次
に説明する。

第８図の状態において、ロボットハンド１１の前記セン
タマスク把持機構５１により前記センタマスク３か把持
されるとともに、ロボットハンド１１の前記アウタマス
ク把持機構７１により前記アウタマスク７か把持されて
おり、センタマスク３及びアウタマスク７を把持したま
までパレット１００からディスクｌの吸着か行われ、そ
のディスク１とともにセンタマスク３及びアウタマスク
７をロボットハンド１１により運搬して垂直状態の保持
板９０への装着か行われる。

センタマスク３の把持は第３図に示すように行われる。

即ち前記エアシリンダ２１内への圧空供給によりピスト
ンロット２２を図示下方へ突出作動させ、ピストンロッ
ト２２か進入穴５３に突き当ってピストン体５２を前記
ハネ５５の付勢力に抗して図示下方へ突出作動すると１
力ム部５７゜６６の衝合によりショー６１かハネ６５の
付勢力に抗して互いに拡開作動する。この状態でピスト
ン体５２先端がセンタマスク頭部６上面に当接すると、
エアシリンダ２１内の空気の排出によりピストンロッド
２２を図示上方位置へ戻す過程で、カム部５７．６６の
衝合解除か行われ、バネ６５の付勢力によりジョー６１
の把持爪６３がセンタマスク頭部６下の把持溝６ａ内に
係合する。

アウタマスク７の把持は第５図に示すように行われる。

即ちエアシリンタフ５内への圧空供給によりピストンロ
ッド７７を図示左方へ突出作動させることで、ショー８
１の把持爪８３かアウタマスフッ外周の把持溝８ａ内に
係合する。

以上のようにセンタマスク３及びアウタマスク７を把持
した状態でロボットハンド１１を第８図のパレット１０
０上方に臨ませ、ボスト１０２上のディスク１を吸着す
る際、センタ１０３は上方からのセンタマスク３の押圧
によりポスト１０２内に没入するとともに、センタマス
ク３の嵌合部４がディスク円形孔２内へ嵌合する。

同時にディスク１外周部へのアウタマスク７の嵌合も行
われるか、前記ディスク吸着板４１か前記可動体３１外
周に対し前記隙間４４を有する）ローティンク支持構造
のため、ボスト１０２上に水平のディスク１に倣って吸
着板４１が追従揺動して、アウタマスク７かディスクｌ
外周部に嵌合する。

そして第１図の如くセンタマスク３のフラット面５ａに
可動体３１のストッパ部３９か衝合してディスクｌに対
するセンタマスク３の垂直度が保たれる。

このディスク１に対するセンタマスク３及びアウタマス
ク７の嵌合状態は、テンションハネ３４による可動体３
１を図示下方へ付勢する弾発力とテンションハネ４５に
よる吸着板４１を図示下方へ付勢する弾発力とによって
保たれる。

その状態において、図示せぬ真空ポンプの作動によりデ
ィスク吸着用空気配管２５から空気通路２７等を経て吸
着板４１内方に負圧空気を作用させることで、ディスク
１と吸着板４１との間に形成される空気室４６か外気圧
に対して負圧になるため、第１図のように吸着板４１に
ディスクｌか真空吸着される。ここで、センタマスク３
の通気孔３ａをプラク６７が塞ぐことで、空気室４６の
気密性か維持される。

このようにセンタマスク３及びアウタマスク７とともに
ディスクｌをロボットハンド１１に保持してから、垂直
状態の保持板９０面の保持部９１ヘロボットハンド１１
を臨ませる。

即ち第１図の状態でロボットハンド１１を保持部９１に
対面させて接近作動すると、保持部９１中夫の保持具９
２内にセンタマスク３の嵌合部４か挿入される。そして
真空ポンプを停止して吸着板４１内方への負圧作用を開
放し、ディスク１の吸着を解除するとともに、エアシリ
ンダ２１内へ圧空を供給してピストンロッド２２を図示
下方へ突出させ、進入穴５３に突き当ててピストン体５
２を図示下方へ突出作動する。

これによりカム部５７．６６か衝合してジョー６１か互
いに拡開作動し、第３図のようにセンタマスク３の把持
が解除されるとともに、ピストン体５２先端がセンタマ
スク頭部６上面に当接して押圧されることにより第９図
のように保持具９内周の係止溝９３に設けた平面視三角
形の係止ハネ９４かセンタマスク嵌合部４外周の係止溝
４ａに嵌着係止される。

また第５図のエアシリンダ７５内の空気を排出してピス
トンロット７７を図示右方へ戻すことで、アウタマスク
７の把持も同時に解除される。

ここで、アウタマスク７は保持板９０に埋設等した図示
せぬ磁石の磁力により吸着される。

以上のようにして保持板９０の各保持部９１にセンタマ
スク３及びアウタマスク７とともにディスク１を夫々装
着し、その垂直状態の保持板９０を図示せぬスパッタ装
置内に搬入してディスク１表面に対する所期のスパッタ
リング処理を行う。

スパッタリング処理後、保持板９０は第８図の状態に戻
されて、再びロボットハンド１１により保持板９０から
センタマスク３及びアウタマスク７とともにディスクｌ
の取り外しか行われる。

即ち第２図のようにディスク装着状態の保持部９１にロ
ボットハンド１１を対面させて接近作動すると、先ず第
３図のようにプラグ６７′かセンタマスク通気孔３ａを
塞ぐとともに、ピストン体５２先端かセンタマスク頭部
６上面に当接する。そしてエアシリンダ２１内の空気を
排出してピストンロッド２２を図示上方位置へ戻し、カ
ム部５７．６６の衝合を解除してハネ６５の付勢力によ
りジョー６１の把持爪６３を第１図のようにセンタマス
ク頭部６下の把持溝６ａ内に係合する。この状態てセン
タマスク３のフラット面５ａに可動体３１のストッパ部
３９か衝合してディスクｌに対するセンタマスク３の垂
直度が保たれる。

以上のセンタマスク３の把持作動の過程において、ディ
スク吸着板４１が可動体３１外周に対し隙間４４を有す
るフローティング支持構造のため、第４図のように吸着
板４１かディスク１に倣って追従揺動して、ディスクｌ
外周部のアウタマスク７に吸着板皿状部４２が嵌合する
。また同時に第５図のエアシリンダ７５内へ圧空を供給
してピストンロッド７７を図示左方へ突出作動させ、シ
ョー８１の把持爪８３をアウタマスフッ外周の把持溝８
ａ内に係合する。

そして再び真空ポンプを作動して吸着板４１内方に負圧
空気を作用させ、ディスク１と吸着板４１との間に形成
される空気室４６を外気圧に対して負圧にし、第１図の
ように吸着板４１にディスクｌを真空吸着する。

このようにしてセンタマスク３及びアウタマスク７とと
もにディスク１を保持したロボットハンド１１を保持板
９０に対して後退させると、センタマスク係止溝４ａに
対する係止バネ９４の嵌着か解除され、次にロボットハ
ンド１１を第８図のパレットｌＯＯ上方に臨ませ、ボス
ト１０２上のセンタ１０３をセンタマスク３の押圧によ
り没入させるとともに、ディスクｌの真空吸着力のみを
開放して、ボスト１０２上に完成ディスク１を載せる。

そして別のパレット１００のボスト１０２上に載置され
た未処理のディスクｌを前述と同様にしてセンタマスク
３及びアウタマスク７とともに保持し、以下、前述と同
様に保持板９０の各保持部９１に順次装着する。

以上の通り本発明のロボットハンド１１は、特にディス
ク１を真空吸着するため、吸着板４１とアウタマスク７
との間やディスクｌと各マスク３７との間の真空吸着時
の空気漏れによる空気流を利用して、ディスク１面にダ
ストが付着するのを防止できる。

そしてセンタマスク３の把持とディスク１の真空吸着に
より垂直状態の保持板９０に対するディスク１及びセン
タマスク３の同時着脱作業を行うことができ、また実施
例のようにアウタマスク７を用いる場合でもアウタマス
ク７の把持により両マスク３．７及びディスクｌの同時
脱着作業が行える。

更にディスク１へのセンタマスク３の組込時において、
センタマスク３のディスク１と平行するフラット面５ａ
に圧接するストッパ部３９を可動体３１に設けているの
で、センタマスク３の垂直度を維持してディスクｌとセ
ンタマスク３のフランジ５との平行度か保てる。

またスパッタ装置の種類によっては、実施例のようにセ
ンタマスク３に通気孔３ａを設けることか要求され、そ
の場合、ディスクｌの真空吸着時において、センタマス
ク通気孔３ａを塞ぐプラグ６７かピストン体５２に設け
られて、テンションバネ６８により突出方向に付勢され
ているので、真空吸着用の空気室４６を気密に保てる。

しかもプラグ６７はカム部５７．６６によりジョー６１
を拡開作動するピストン体５２先端に組み込まれている
のて、ショー６１の作動を阻害しない。

そして保持板９０への装着時における把持解除後のセン
タマスク３の頭部６をピストン体５２により押圧する方
式なので、保持板９０の面方向のバラツキを吸収しなが
ら薄い把持爪６３に大きな圧力をかけることなくセンタ
マスク３の装着か行える。

ここて、例えば第１図の如く可動体３１をガイドブロッ
ク２６に突き当ててセンタマスク３を可動体３１を介し
ロボットの力て保持具９２に嵌め込むか、可動体３１を
弾発付勢するテンションハネ３４の力を強力にしてその
ハネ力により可動体３１を介しセンタマスク３を保持具
９２に嵌め込むことも考えられる。

ところが、前者の方式では、ロボットティーチングが難
しく、もし保持板９０等に押し付は面方向のバラツキか
あった場合、ロボットは常にティーチングされた位置に
来るので、押し付けの圧力センサがなければ、保持板９
０に対する面方向のバラツキを補正することかできない
。また後者の方式では、通常、センタマスク３はスパッ
タリング処理時に妨害のないように把持溝６ａを設ける
頭部６か薄くてきており、把持用のジョー６１も薄く、
保持具９２に嵌め込める際の強力な圧力には耐えられな
い。

その点、センタマスク３の頭部６をピストン体５２によ
り押圧する木刀式のものでは、ロボットに押し付けの圧
力センサ等の高価で信頼性の低い付加装置を取り付ける
ことなくセンタマスク３を保持板９０に装着できる。

そして吸着板４１の外周部に備えたアウタマスク把持機
構７１のケース７２に負圧空気配管８６を接続して、ケ
ース７２内に負圧空気を作用させるようにしたのて、吸
着板皿状部４２外周の開口部４７より空気とともにダス
トを吸引して吸着板４１外周よりのダストの飛散を防止
できる。

一方、吸着板４１はテンションハネ４５の圧縮方向の弾
性変形によって保持板９０等に対する誤差やロボットテ
ィーチンク誤差を吸収できるようになっており、更に吸
着板４１の可動体３１に対する支持か隙間４４によるフ
ローティング構造のため、ディスクｌに対する吸着板４
１の角度誤差を吸収して、吸着板４１をディスクｌに追
従揺動てきる。

ところて、センタマスク把持機構５１はハンド本体ハウ
シンク１２及び吸着板４１により覆われ外部からは視認
かできないものとなっている。

この点に関しては、ストッパ部３９を有する可動体３３
上部に設けた位置検出板３５の位置を検出する例えば光
電式近接センサによる可動体位置検出器３６を設けてい
るので、センタマスク３を把持していない状態よりも可
動体３１か検出器３６に接近することを検出して、セン
タマスク３を把持したことを確認できる。

また吸着板４１のハンド本体ハウシンク１２に対する位
置を検出する例えばダイヤルゲージによる吸着部位置検
出器８８を設けているので、吸着板４１の位置からセン
タマスク３の把持位置確認か行える。

従って把持位置を直接見ることなくロボットをティーチ
ングてきる。

［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、センタマスクを把持する
センタマスク把持機構と、このセンタマスク把持機構を
収容し、且つ負圧空気を作用する空気室を形成して、デ
ィスクを吸着する真空式吸着部とを備えてなるロボット
ハンドのため、センタマスクの把持とともに、ディスク
の真空吸着を行うことかでき、しかもディスクの保持か
真空吸着方式であることから、吸着部内のセンタマスク
把持機構も含みディスク面からダストを吸引することが
てきる。

従って垂直状態の保持板に対するディスク及びセンタマ
スクの着脱作業か同時に行え、作業スピードの効率化を
達成てきるとともに、ディスク面へのダストの付着をな
くしてクリーンに保つことかてき、これによりクリーン
作業の面からも優れたロボットハンドを提供することが
てきる。

そして請求項２の如くセンタマスクのディスク面と平行
する上面に圧接するストッパ部をセンタマスク把持機構
に設けると、保持板への装着状態におけるセンタマスク
とディスクとの平行度を保つことかてきる。

また請求項３の如く中央部に通気孔を有するセンタマス
クの場合に、センタマスク通気孔を塞ぐプラグ部をセン
タマスク把持機構に設けることにより、真空吸着部の空
気室を気密に保つことができる。

更に請求項４の如く保持板への装着時における把持解除
後のセンタマスクを押圧するピストン部をセンタマスク
把持機構に設けると、把持部分に大きな圧力をかけるこ
となくセンタマスクの保持板への装着を行うことかてき
る。

そして請求項５の如くディスク外周部に嵌合されるアウ
タマスクを把持するアウタマスク把持機構を真空式吸着
部の外周部に備えることにより、保持板に対するアウタ
マスクの脱着も同時に行うことかてき、更に外気に開口
して負圧空気か作用するダスト吸引部をアウタマスク把
持機構に設けることによって、吸着部外周のダストを吸
引することかできる。

従って吸着部外周よりのダストの飛散を防止することか
てきる。

また請求項６の如く真空式吸着部のハンド本体に対する
支持をフローティング構造とすることにより、ディスク
に対する吸着部の角度誤差を吸収でき、即ちディスクに
吸着部を追従させることがてきる。

そして請求項７の如くハンド本体に対する可動体に請求
項２のストッパ部を形威し、この可動体の位置を検出す
る可動体位置検出器を設けることにより、可動体の位置
変化を基にセンタマスクの把持状態を確認することかで
きる。

更に請求項８の如く真空式吸着部を請求項７の可動体に
スライド動可能に支持して、その吸着部のハンド本体に
対する位置を検出する吸着部位置検出器を設けることに
より、吸着部の位置変化を基にセンタマスクの把持位置
を確認することかてきる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るロボットハンドの内部構造を示す
中央縦断面図、第２図は装着状態のディスク及びマスク
を保持板から外す作動を説明する要部の半裁縦断面図、
第３図はセンタマスクの把持の作動を説明する要部の縦
断面図、第４図は真空式吸着部のフローティング機能を
説明する一部を省略した要部の縦断面図、第５図はアウ
タマスク把持機構部分の縦断面図、第６図（ａ）は第５
図の矢印六方向から見た一部破断側面図、同第６図（ｂ
）は同図（ａ）の矢印Ｂ−Ｂ線に沿った断面図、第７図
は吸着部位置検出器を示す要部の半裁外観図、第８図は
一例としての作業設備を示す概略斜視図、第９図は保持
板への装着状態を示すディスク及びセンタマスク部分の
縦断面図である。 １・・・ディスク、２・・・円形孔、３・・・センタマ
スク（内マスク）、３ａ・・・通気孔、４ａ・・・係止
溝、５ａ・・・フラット面、６ａ、８ａ・・・把持溝、
７・・・アウタマスク（外マスク）、１０・・・ロボッ
ト、１１・・・ロボットハンド、１２・・・ハンド本体
ハウシンク、２１・・・センタマスク把持用アクチュエ
ータ、２５・・・ディスク吸着用空気配管、３１・・・
可動体、３６・・・可動体位置検出器、４１・・・真空
式吸着部（ディスク吸着板）、４４・・・隙間、４６・
・・空気室、５１・・・センタマスク把持機構、５２・
・・ピストン体、６１．８１・・・ショー、６３．８３
−・・把持爪、６７・・・ブラタ、７１・・・アウタマ
スク把持機構、７２・・・ケース、７５・・・アウタマ
スク把持用アクチュエータ、８６・・・負圧空気配管、
８８・・・吸着部位置検出器、９０・・・保持板、９１
・・・保持部。 ９３・・・係止溝、９４・・・係止ハネ、１００・・・
パレット、１０２・・・ポスト、１０３・・・センタ。 特　許　出　願　人　　日本ビクター株式会社第３ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、記録担体用のディスクとともにディスク中央部に嵌
   合されるセンタマスクを保持して、このセンタマスクを
   介し保持板に対して前記ディスクを着脱可能とするロボ
   ットハンドであって、前記センタマスクを把持するセン
   タマスク把持機構と、このセンタマスク把持機構を収容
   し、且つ負圧空気を作用する空気室を形成して、前記デ
   ィスクを吸着する真空式吸着部とを備えたことを特徴と
   するロボットハンド。 ２、前記センタマスクは前記ディスク面と平行する上面
   を有し、このセンタマスク上面に圧接するストッパ部を
   前記センタマスク把持機構に設けたことを特徴とする請
   求項１記載のロボットハンド。 ３、前記センタマスクは中央部に通気孔を有し、この通
   気孔を塞ぐプラグ部を前記センタマスク把持機構に設け
   たことを特徴とする請求項１記載のロボットハンド。 ４、前記保持板への装着時における把持解除後の前記セ
   ンタマスクを押圧するピストン部を前記センタマスク把
   持機構に設けたことを特徴とする請求項１記載のロボッ
   トハンド。５、前記真空式吸着部の外周部には、前記デ
   ィスク外周部に嵌合されるアウタマスクを把持するアウ
   タマスク把持機構が備えられ、且つ外気に開口して負圧
   空気が作用する真空吸引部をこのアウタマスク把持機構
   に設けたことを特徴とする請求項１記載のロボットハン
   ド。 ６、前記真空式吸着部のハンド本体に対する支持をフロ
   ーティング構造としたことを特徴とする請求項１記載の
   ロボットハンド。 ７、前記ストッパ部はハンド本体に対する可動体に形成
   され、この可動体の位置を検出する可動体位置検出器を
   設けたことを特徴とする請求項２記載のロボットハンド
   。 ８、前記可動体に前記真空式吸着部をスライド動可能に
   支持し、前記ハンド本体に対する前記真空式吸着部の位
   置を検出する吸着部位置検出器を設けたことを特徴とす
   る請求項７記載のロボットハンド。