JPH0698586B2 - ロボットハンド - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、光ディスクやハードディスク等の記録担体用
のディスクの製造工程において、例えばスパッタ装置用
等の保持板にディスクを着脱可能とするロボットハンド
に関し、特にディスクとともにディスク中央部に嵌合さ
れるセンタマスクを保持して、垂直状態の保持板に対す
る着脱作業を可能とし、同時工程による作業スピードの
効率化と併せ、ディスクの保持を吸着方式としてクリー
ン作業を実現したものである。

［従来の技術］ CD、光ディスク、光磁気ディスク、磁気ディスク等の記
録担体用のディスクを主に表面処理のスパッタ装置用等
の保持板に装着する場合、従来は保持板を水平状態とし
て、ロボットハンドにより先ずディスクを保持運搬して
保持板に載せ、次にセンタマスクを保持運搬してディス
ク中央部に嵌合する工程となっていた。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、スパッタ装置において、通常は保持板を垂直
状態としてディスクに対しスパッタリング処理を行う
が、前述の如く従来は保持板を水平状態に姿勢変換する
必要があること、そしてディスクとセンタマスクとを別
々に保持運搬しなければならないことから、作業時間が
かかるものとなっていた。

また作業に際してはセンタマスクを仮置きしなければな
らない問題もある。即ち処理後に保持板から先ずセンタ
マスクを外してそのセンタマスクを仮置きし、次に保持
板から処理後のディスクを外し、次の未処理のディスク
を保持板に載せ、再びセンタマスクを装着する必要があ
った。そして以上の作業は、保持板が水平状態であるこ
とに加え、保持板側にディスクの位置決め部があること
が条件となっていた。

そこで本発明の目的は、ディスクとセンタマスクをとも
に保持して、垂直状態の保持板に対する着脱作業を可能
とし、作業スピードの効率化が図れるとともに、ディス
クの保持を吸着方式としてクリーン作業の面からも優れ
たロボットハンドを提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 以上の課題を解決すべく本発明は、記録担体用のディス
クとともにディスク中央部に嵌合されるセンタマスクを
保持して、このセンタマスクを介し保持板に対して前記
ディスクを着脱可能とするロボットハンドであって、前
記センタマスクを把持するセンタマスク把持機構と、こ
のセンタマスク把持機構を収容し、且つ負圧空気を作用
する空気室を形成して、前記ディスクを吸着する真空式
吸着部とを備えたことを特徴とする。

更に具体的には以下の構成を有する。

前記センタマスクは前記ディスク面と平行する上面を有
し、このセンタマスク上面に圧接するストッパ部を前記
センタマスク把持機構に設ける。

前記センタマスクは中央部に通気孔を有し、この通気孔
を塞ぐプラグ部を前記センタマスク把持機構に設ける。

前記保持板への装着時における把持解除後の前記センタ
マスクを押圧するピストン部を前記センタマスク把持機
構に設ける。

前記真空式吸着部の外周部には、前記ディスク外周部に
嵌合されるアウタマスクを把持するアウタマスク把持機
構が備えられ、且つ外気に開口して負圧空気が作用する
ダスト吸引部をこのアウタマスク把持機構に設ける。

前記真空式吸着部のハンド本体に対する支持をフローテ
ィング構造としている。

前記ストッパ部はハンド本体に対する可動体に形成さ
れ、この可動体の位置を検出する可動体位置検出器を設
ける。

前記可動体に前記真空式吸着部をスライド動可能に支持
し、前記ハンド本体に対する前記真空式吸着部の位置を
検出する吸着部位置検出器を設ける。

［作用］ ロボットハンドには、センタマスクを把持するセンタマ
スク把持機構と、このセンタマスク把持機構を収容し、
且つ負圧空気を作用する空気室を形成して、ディスクを
吸着する真空式吸着部とが備えられているので、把持機
構によるセンタマスクの把持とともに、吸着部により負
圧空気によるディスクの真空吸着が行われる。

従って垂直状態の保持板に対するディスク及びセンタマ
スクの着脱作業が同時に行える。

しかもディスクを真空吸着するので、その空気室内のセ
ンタマスク把持機構も含んでディスク面からダストが負
圧空気により吸引される。

従ってディスク面へのダストの付着をなくしてクリーン
に保てる。

次に請求項２以下の構成による作用を記す。

センタマスク把持機構に、センタマスクのディスク面と
平行する上面に圧接するストッパ部を設けることで、保
持板への装着状態でのセンタマスクとディスクとの平行
度が保たれる。

中央部に通気孔を有するセンタマスクにおいては、セン
タマスク把持機構に、そのセンタマスク通気孔を塞ぐプ
ラグ部を設けることで、真空吸着部の空気室を気密に保
てる。

センタマスク把持機構に、保持板への装着時における把
持解除後のセンタマスクを押圧するピストン部を設ける
ことで、把持部分に大きな圧力をかけることなくセンタ
マスクの保持板への装着が行われる。

ディスク外周部に嵌合されるアウタマスクを把持するア
ウタマスク把持機構を真空式吸着部の外周部に備えるこ
とで、保持板に対するアウタマスクの脱着も同時に行わ
れ、更にこのアウタマスク把持機構に、外気に開口して
負圧空気が作用するダスト吸引部を設けることで、その
負圧空気により吸着部外周のダストが吸引される。従っ
て吸着部外周よりのダストの飛散が防止される。

真空式吸着部のハンド本体に対する支持をフローティン
グ構造としておくことで、ディスクに対する吸着部の角
度誤差を吸収してディスクに吸着部を追従できる。

ハンド本体に対する可動体に前記ストッパ部を形成し、
この可動体の位置を検出する可動体位置検出器を設ける
ことで、可動体の位置変化を基にセンタマスクの把持状
態が確認可能となる。

そして真空式吸着部をその可動体にスライド動可能に支
持して、その吸着部のハンド本体に対する位置を検出す
る吸着部位置検出器を設けることで、吸着部の位置変化
を基にセンタマスクの把持位置が確認可能となる。

［実施例］ 以下に添付図面を基に実施例を説明する。

具体的な一例としての作業設備を示す第８図において、
10は本考案のロボットハンド11を有するロボット、90は
垂直状態のディスク保持板、100はディスク搬送パレッ
トである。

図示の如く保持板90とパレット100の間にロボット10が
配設されており、ロボット10はそのハンド11を昇降操作
及び旋回操作自在、且つ首振り操作自在に備えてなる。

パレット100の基板101に起設したポスト102上にディス
ク１が載置され、ポスト102上に突出するセンタ103がデ
ィスク１中央部の円形孔２に嵌合している。このセンタ
103は図示せぬバネにより常時は上方に弾発付勢されて
ポスト102上に突出し、上方からの押圧によりポスト102
内に没入する。

保持板90は図示せぬスパッタ装置用のものであり、この
垂直状態の保持板90には縦横に多数の保持部91が設けら
れている。

保持部91は例えば第２図及び第９図のように中央部にビ
ス止めした筒状の保持具92を有し、保持具92内周の係止
溝93には平面視三角形をなす係止バネ94が嵌着されてい
る。尚、95はディスク１との接触を避ける逃げ凹部、96
は凹部95外周を囲う環状堤部である。

そしてディスク１のスパッタリング処理時にはセンタマ
スク（内マスク）３及びアウタマスク（外マスク）７が
用いられる。

センタマスク３は前記ディスク円形孔２内への嵌合部４
上に外方フランジ５及び頭部６を備えるとともに、中央
部に縦通する通気孔3aを有している。また嵌合部４外周
に係止溝4aを有し、更に頭部６外周に把持溝6aを有して
おり、この把持溝6a下方にフランジ５のフラット面5aが
連続している。

アウタマスク７はリング部８上に内方フランジ９を備え
ており、リング部８外周に把持溝8aを有している。

そして前記ロボットハンド11は内部構造を示す第１図の
ように構成されている。

即ち第１図において、12はハンド本体ハウジングであ
り、このハウジング12は基板部13と中間ブロック部14及
びスカート部15等を合体してなる。ブロック部14の図示
下方に開口するシリンダ収納部16内にエアシリンダ（セ
ンタマスク把持用アクチュエータ）21が組み込まれ、こ
のエアシリンダ21から図示下方に突出するピストンロッ
ド22が設けられており、図示側方に接続されたシリンダ
用空気配管23がブロック部14内の空気通路17を介してエ
アシリンダ21に連通している。

更にブロック部14の図示下方で、スカート部15との結合
板部18には負圧空気導入孔19が形成され、この負圧空気
導入孔19にはディスク吸着用空気配管25が接続されてい
る。

また結合板部18の図示下面にガイドブロック26が結合さ
れ、このガイドブロック26は前記負圧空気導入孔19に連
通する空気通路27、即ち上部空気通路27aと中間部空気
通路27b及び複数本の下部空気通路27cを内部に有する。

このガイドブロック26の図示中間部外周に摺接する円筒
状可動体31が設けられており、この可動体31の外周に嵌
着したスナップリング32上のバネシート33と前記結合板
部18下面間にテンションバネ34が縮装されている。更に
可動体31上に位置検出板35がビス止めされ、また前記ガ
イドブロック26の外周に大径の抜け止め用ストッパ部28
が形成されている。そして前記結合板部18上に例えば光
電式近接センサによる可動体位置検出器36が配設され、
その検出子端37は結合板部18を下方に貫通して位置検出
板35の図示上方に臨んでいる。

更に可動体31の下部外周には真空式吸着部をなすディス
ク吸着板41がフローティング支持されている。即ち吸着
板41は図示下方へ開放した皿状部42の中央に図示上方へ
一段膨出する組込孔43を有し、この組込孔43内周と可動
体31外周との間に所定の隙間44を確保している。また可
動体31の図示下部外周には大径の抜け止め用ストッパ部
38が形成されている。更に吸着板41の中央部上面と前記
結合板部18下面間にテンションバネ45が縮装されてい
る。また可動体31の図示下端には前記センタマスク３の
フラット面5aに当接可能な直径方向に対向した一対のフ
ラット状ストッパ部39が突設されている。

そして吸着板41の皿状部42内方に前記空気通路27及び可
動体31内部を介して負圧空気が後述する如く作用する空
気室46が形成される。

また可動体31内方にはセンタマスク把持機構51が配設さ
れている。

即ち前記ガイドブロック26内に摺動自在に縦通するピス
トン体52が設けられ、このピストン体52は上部に前記ピ
ストンロッド22用の進入穴53を有する。またピストン体
52上端のフランジ部54とガイドブロック26内部間にはテ
ンションバネ55が縮装されている。更にピストン体52の
中間部には直径方向に貫通する窓部56が形成され、この
窓部56はガイドブロック26の図示下部に形成した下方に
開口する凹部29内方に臨んでいる。

そして凹部29内に図示左右一対のジョー61が支軸62によ
り組み付けられ、ジョー61は下端部に内方へ突出した把
持爪63を有するとともに、上端部には内方へ突出したピ
ン部64を有しており、凹部29内において左右のピン部6
4,64間にテンションバネ65が縮装されている。またジョ
ー61の中間部内方と前記ピストン体52の下部外周には把
持解除用のカム部66,57が夫々形成されている。

更にピストン体52の下部には下方に開口するプラグ収納
穴58が形成され、この収納穴58にプラグ67が摺動自在に
組み込まれるとともに、テンションバネ68が縮装されて
いる。

次に第５図に示すアウタマスク把持機構71について説明
する。

アウタマスク把持機構71はケース72で覆われて前記ディ
スク吸着板41の皿状部42外周部の例えば３箇所に設けら
れている。

第５図において、73は吸着板皿状部42上面にビス止めさ
れるブロックであり、このブロック73の図示左方に開口
するシリンダ収納部74内にエアシリンダ（アウタマスク
把持用アクチュエータ）75が組み込まれ、ブロック73の
図示上方にシリンダ用空気配管76が接続されている。そ
してエアシリンダ75から図示左方に突出するピストンロ
ッド77の先端にジョー81が設けられている。

即ちジョー81はブロック73に支軸82により組み付けられ
て、下端部に内方へ突出した把持爪83を有するととも
に、上端部には第６図（ａ）のように左右の二股部84を
有している。そしてピストンロッド77先端のコマ部材78
に横設されたピン79が二股部84の長溝85に係合してい
る。更に吸着板皿状部42の外周面には開口部47が形成さ
れ、この開口部47内にジョー81の把持爪83が臨んでい
る。またケース72はブロック73にビス止めされるととも
に、第６図（ｂ）のように吸着板皿状部42外周面にビス
止めされている。

このようにアウタマスク把持機構71を覆ったケース72上
面には第５図のように負圧空気配管86が接続されてお
り、これによりケース72内には負圧空気が作用する。

また第７図に示すように前記ハンド本体ハウジング12の
側部には例えば、ダイヤルゲージによる吸着部位置検出
器（測長器）88が備えられており、即ちそのダイヤルゲ
ージ下端の測定子89が前記吸着板41上面と接触可能とな
っている。

以上の如く構成したロボットハンド11による作業を次に
説明する。

第８図の状態において、ロボットハンド11の前記センタ
マスク把持機構51により前記センタマスク３が把持され
るとともに、ロボットハンド11の前記アウタマスク把持
機構71により前記アウタマスク７が把持されており、セ
ンタマスク３及びアウタマスク７を把持したままでパレ
ット100からディスク１の吸着が行われ、そのディスク
１とともにセンタマスク３及びアウタマスク７をロボッ
トハンド11により運搬して垂直状態の保持板90への装着
が行われる。

センタマスク３の把持は第３図に示すように行われる。
即ち前記エアシリンダ21内への圧空供給によりピストン
ロッド22を図示下方へ突出作動させ、ピストンロッド22
が進入穴53に突き当ってピストン体52を前記バネ55の付
勢力に抗して図示下方へ突出作動すると、カム部57,66
の衝合によりジョー61がバネ65の付勢力に抗して互いに
拡開作動する。この状態でピストン体52先端がセンタマ
スク頭部６上面に当接すると、エアシリンダ21内の空気
の排出によりピストンロッド22を図示上方位置へ戻す過
程で、カム部57,66の衝合解除が行われ、バネ65の付勢
力によりジョー61の把持爪63がセンタマスク頭部６下の
把持溝6a内に係合する。

アウタマスク７の把持は第５図に示すように行われる。
即ちエアシリンダ75内への圧空供給によりピストンロッ
ド77を図示左方へ突出作動させることで、ジョー81の把
持爪83がアウタマスク７外周の把持溝8a内に係合する。

以上のようにセンタマスク３及びアウタマスク７を把持
した状態でロボットハンド11を第８図のパレット100上
方に臨ませ、ポスト102上のディスク１を吸着する際、
センタ103は上方からのセンタマスク３の押圧によりポ
スト102内に没入するとともに、センタマスク３の嵌合
部４がディスク円形孔２内へ嵌合する。

同時にディスク１外周部へのアウタマスク７の嵌合も行
われるが、前記ディスク吸着板41が前記可動体31外周に
対し前記隙間44を有するフローティング支持構造のた
め、ポスト102上に水平のディスク１に倣って吸着板41
が追従揺動して、アウタマスク７がディスク１外周部に
嵌合する。

そして第１図の如くセンタマスク３のフラット面5aに可
動体31のストッパ部39が衝合してディスク１に対するセ
ンタマスク３の垂直度が保たれる。

このディスク１に対するセンタマスク３及びアウタマス
ク７の嵌合状態は、テンションバネ34による可動体31を
図示下方へ付勢する弾発力とテンションバネ45による吸
着板41を図示下方へ付勢する弾発力とによって保たれ
る。

その状態において、図示せぬ真空ポンブの作動によりデ
ィスク吸着用空気配管25から空気通路27等を経て吸着板
41内方に負圧空気を作用させることで、ディスク１と吸
着板41との間に形成される空気室46が外気圧に対して負
圧になるため、第１図のように吸着板41にディスク１が
真空吸着される。ここで、センタマスク３の通気孔3aを
プラグ67が塞ぐことで、空気室46の気密性が維持され
る。

このようにセンタマスク３及びアウタマスク７とともに
ディスク１をロボットハンド11に保持してから、垂直状
態の保持板90面の保持板91へロボットハンド11を臨ませ
る。

即ち第１図の状態でロボットハンド11を保持板91に対面
させて接近作動すると、保持部91中央の保持具92内にセ
ンタマスク３の嵌合部４が挿入される。そして真空ポン
プを停止して吸着板41内方への負圧作用を開放し、ディ
スク１の吸着を解除するとともに、エアシリンクダ21内
へ圧空を供給してピストンロッド22を図示下方へ突出さ
せ、進入穴53に突き当ててピストン体52を図示下方へ突
出作動する。

これによりカム部57,66が衝合してジョー61が互いに拡
開作動し、第３図のようにセンタマスク３の把持が解除
されるとともに、ピストン体52先端がセンタマスク頭部
６上面に当接して押圧されることにより第９図のように
保持具９内周の係止溝93に設けた平面視三角形の係止バ
ネ94がセンタマスク嵌合部４外周の係止溝4aに嵌着係止
される。

また第５図のエアシリンダ75内の空気を排出してピスト
ンロッド77を図示右方へ戻すことで、アウタマスク７の
把持も同時に解除される。ここで、アウタマスク７は保
持板90に埋設等した図示せぬ磁石の磁力により吸着され
る。

以上のようにして保持板90の各保持板91にセンタマスク
３及びアウタマスク７とともにディスク１を夫々装着
し、その垂直状態の保持板90を図示せぬスパッタ装置内
に搬入してディスク１表面に対する所期のスパッタリン
グ処理を行う。

スパッタリング処理後、保持板90は第８図の状態に戻さ
れて、再びロボットハンド11により保持板90からセンタ
マスク３及びアウタマスク７とともにディスク１の取り
外しが行われる。

即ち第２図のようにディスク装着状態の保持部91にロボ
ットハンド11を対面させて接近作動すると、先ず第３図
のようにプラグ67がセンタマスク通気孔3aを塞ぐととも
に、ピストン体52先端がセンタマスク頭部６上面に当接
する。そしてエアシリンダ21内の空気を排出してピスト
ンロッド22を図示上方位置へ戻し、カム部57,66の衝合
を解除してバネ65の付勢力によりジョー61の把持爪63を
第１図のようにセンタマスク頭部５下の把持溝6a内に係
合する。この状態でセンタマスク３のフラット面5aに可
動体31のストッパ部39が衝合してディスク１に対するセ
ンタマスク３の垂直度が保たれる。

以上のセンタマスク３の把持作動の過程において、ディ
スク吸着板41が可動体31外周に対し隙間44を有するフロ
ーティング支持構造のため、第４図のように吸着板41が
ディスク１に倣って追従揺動して、ディスク１外周部の
アウタマスク７に吸着板皿状部42が嵌合する。また同時
に第５図のエアシリンダ75内へ圧空を供給してピストン
ロッド77を図示左方へ突出作動させ、ジョー81の把持爪
83をアウタマスク７外周の把持溝8a内に係合する。

そして再び真空ポンプを作動して吸着板41内方に負圧空
気を作用させ、ディスク１と吸着板41との間に形成され
る空気室46を外気圧に対して負圧にし、第１図のように
吸着板41にディスク１を真空吸着する。

このようにしてセンタマスク３及びアウタマスク７とと
もにディスク１を保持したロボットハンド11を保持板90
に対して後退させると、センタマスク係止溝4aに対する
係止バネ94の嵌着が解除され、次にロボットハンド11を
第８図のパレット100上方に臨ませ、ポスト102上のセン
タ103をセンタマスク３の押圧により没入させるととも
に、ディスク１の真空吸着力のみを開放して、ポスト10
2上に完成ディスク１を載せる。

そして別のパレット100のポスト102上に載置された未処
理のディスク１を前述と同様にしてセンタマスク３及び
アウタマスク７とともに保持し、以下、前述と同様に保
持板90の各保持部91に順次装着する。

以上の通り本発明のロボットハンド11は、特にディスク
１を真空吸着するため、吸着板41とアウタマスク７との
間やディスク１と各マスク3,7との間の真空吸着時の空
気漏れによる空気流を利用して、ディスク１面にダスト
が付着するのを防止できる。

そしてセンタマスク３の把持とディスク１の真空吸着に
より垂直状態の保持板90に対するディスク１及びセンタ
マスク３の同時着脱作業を行うことができ、また実施例
のようにアウタマスク７を用いる場合でもアウタマスク
７の把持により両マスク3,7及びディスク１の同時脱着
作業が行える。

更にディスク１へのセンタマスク３の組込時において、
センタマスク３のディスク１と平行するフラット面5aに
圧接するストッパ部39を可動体31に設けているので、セ
ンタマスク３の垂直度を維持してディスク１とセンタマ
スク３のフランジ５との平行度が保てる。

またスパッタ装置の種類によっては、実施例のようにセ
ンタマスク３に通気孔3aを設けることが要求され、その
場合、ディスク１の真空吸着時において、センタマスク
通気孔3aを塞ぐプラグ67がピストン体52に設けられて、
テンションバネ68により突出方向に付勢されているの
で、真空吸着用の空気室46を気密に保てる。しかもプラ
グ67はカム部57,66によりジョー61を拡開作動するピス
トン体52先端に組み込まれているので、ジョー61の作動
を阻害しない。

そして保持板90への装着時における把持解除後のセンタ
マスク３の頭部６をピストン体52により押圧する方式な
ので、保持板90の面方向のバラツキを吸収しながら薄い
把持爪63に大きな圧力をかけることなくセンタマスク３
の装着が行える。

ここで、例えば第１図の如く可動体31をガイドブロック
26に突き当ててセンタマスク３を可動体31を介しロボッ
トの力で保持具92に嵌め込むか、可動体31を弾発付勢す
るテンションバネ34の力を強力にしてそのバネ力により
可動体31を介しセンタマスク３を保持具92に嵌め込むこ
とも考えられる。

ところが、前者の方式では、ロボットティーチングが難
しく、もし保持板90等に押し付け面方向のバラツキがあ
った場合、ロボットは常にティーチングされた位置に来
るので、押し付けの圧力センサがなければ、保持板90に
対する面方向のバラツキを補正することができない。ま
た後者の方式では、通常、センタマスク３はスパッタリ
ング処理時に妨害のないように把持溝6aを設ける頭部６
が薄くできており、把持用のジョー61も薄く、保持具92
に嵌め込める際の強力な圧力には耐えられない。

その点、センタマスク３の頭部６をピストン体52により
押圧する本方式のものでは、ロボットに押し付けの圧力
センサ等の高価で信頼性の低い付加装置を取り付けるこ
となくセンタマスク３を保持板90に装着できる。

そして吸着板41の外周部に備えたアウタマスク把持機構
71のケース72に負圧空気配管86を接続して、ケース72内
に負圧空気を作用させるようにしたので、吸着板皿状部
42外周の開口部47より空気とともにダストを吸引して吸
着板41外周よりのダストの飛散を防止できる。

一方、吸着板41はテンションバネ45の圧縮方向の弾性変
形によって保持板90等に対する誤差やロボットティーチ
ング誤差を吸収できるようになっており、更に吸着板41
の可動体31に対する支持が隙間44によるフローティング
構造のため、ディスク１に対する吸着板41の角度誤差を
吸収して、吸着板41をディスク１に追従揺動できる。

ところで、センタマスク把持機構51はハンド本体ハウジ
ング12及び吸着板41により覆われ外部からは視認ができ
ないものとなっている。

この点に関しては、ストッパ部39を有する可動体33上部
に設けた位置検出板35の位置を検出する例えば光電式近
接センサによる可動体位置検出器36を設けているので、
センタマスク３を把持していない状態よりも可動体31が
検出器36に接近することを検出して、センタマスク３を
把持したことを確認できる。

また吸着板41のハンド本体ハウジング12に対する位置を
検出する例えばダイヤルゲージによる吸着部位置検出器
88を設けているので、吸着板41の位置からセンタマスク
３の把持位置確認が行える。

従って把持位置を直接見ることなくロボットをティーチ
ングできる。

［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、センタマスクを把持する
センタマスク把持機構と、このセンタマスク把持機構を
収容し、且つ負圧空気を作用する空気室を形成して、デ
ィスクを吸着する真空式吸着部とを備えてなるロボット
ハンドのため、センタマスクの把持とともに、ディスク
の真空吸着を行うことができ、しかもディスクの保持が
真空吸着方式であることから、吸着部内のセンタマスク
把持機構も含みディスク面からダストを吸引することが
できる。

従って垂直状態の保持板に対するディスク及びセンタマ
スクの着脱作業が同時に行え、作業スピードの効率化を
達成できるとともに、ディスク面へのダストの付着をな
くしてクリーンに保つことができ、これによりクリーン
作業の面からも優れたロボットハンドを提供することが
できる。

そして請求項２の如くセンタマスクのディスク面と平行
する上面に圧接するストッパ部をセンタマスク把持機構
に設けると、保持板への装着状態におけるセンタマスク
とディスクとの平行度を保つことができる。

また請求項３の如く中央部に通気孔を有するセンタマス
クの場合に、センタマスク通気孔を塞ぐプラグ部をセン
タマスク把持機構に設けることにより、真空吸着部の空
気室を気密に保つことができる。

更に請求項４の如く保持板への装着時における把持解除
後のセンタマスクを押圧するピストン部をセンタマスク
把持機構に設けると、把持部分に大きな圧力をかけるこ
となくセンタマスクの保持板への装着を行うことができ
る。

そして請求項５の如くディスク外周部に嵌合されるアウ
タマスクを把持するアウタマスク把持機構を真空式吸着
部の外周部に備えることにより、保持板に対するアウタ
マスクの脱着も同時に行うことができ、更に外気に開口
して負圧空気が作用するダスト吸引部をアウタマスク把
持機構に設けることによって、吸着部外周のダストを吸
引することができる。

従って吸着部外周よりのダストの飛散を防止することが
できる。

また請求項６の如く真空式吸着部のハンド本体に対する
支持をフローティング構造とすることにより、ディスク
に対する吸着部の角度誤差を吸収でき、即ちディスクに
吸着部を追従させることができる。

そして請求項７の如くハンド本体に対する可動体に請求
項２のストッパ部を形成し、この可動体の位置を検出す
る可動体位置検出器を設けることにより、可動体の位置
変化を基にセンタマスクの把持状態を確認することがで
きる。

更に請求項８の如く真空式吸着部を請求項７の可動体に
スライド動可能に支持して、その吸着部のハンド本体に
対する位置を検出する吸着部位置検出器を設けることに
より、吸着部の位置変化を基にセンタマスクの把持位置
を確認することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るロボットハンドの内部構造を示す
中央縦断面図、第２図は装着状態のディスク及びマスク
を保持板から外す作動を説明する要部の半截縦断面図、
第３図はセンタマスクの把持の作動を説明する要部の縦
断面図、第４図は真空式吸着部のフローティング機能を
説明する一部を省略した要部の縦断面図、第５図はアウ
タマスク把持機構部分の縦断面図、第６図（ａ）は第５
図の矢印Ａ方向から見た一部破断側面図、同第６図
（ｂ）は同図（ａ）の矢印Ｂ−Ｂ線に沿った断面図、第
７図は吸着部位置検出器を示す要部の半截外観図、第８
図は一例としての作業設備を示す概略斜視図、第９図は
保持板への装着状態を示すディスク及びセンタマスク部
分の縦断面図である。 １……ディスク、２……円形孔、３……センタマスク
（内マスク）、3a……通気孔、4a……係止溝、5a……フ
ラット面、6a,8a……把持溝、７……アウタマスク（外
マスク）、10……ロボット、11……ロボットハンド、12
……ハンド本体ハウジング、21……センタマスク把持用
アクチュエータ、25……ディスク吸着用空気配管、31…
…可動体、36……可動体位置検出器、41……真空式吸着
部（ディスク吸着板）、44……隙間、46……空気室、51
……センタマスク把持機構、52……ピストン体、61,81
……ジョー、63,83……把持爪、67……プラグ、71……
アウタマスク把持機構、72……ケース、75……アウタマ
スク把持用アクチュエータ、86……負圧空気配管、88…
…吸着部位置検出器、90……保持板、91……保持部、93
……係止溝、94……係止バネ、100……パレット、102…
…ポスト、103……センタ。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】記録担体用のディスクとともにディスク中
   央部に嵌合されるセンタマスクを保持して、このセンタ
   マスクを介し保持板に対して前記ディスクを着脱可能と
   するロボットハンドであって、前記センタマスクを把持
   するセンタマスク把持機構と、このセンタマスク把持機
   構を収容し、且つ負圧空気を作用する空気室を形成し
   て、前記ディスクを吸着する真空式吸着部とを備えたこ
   とを特徴とするロボットハンド。
2. 【請求項２】前記センタマスクは前記ディスク面と平行
   する上面を有し、このセンタマスク上面に圧接するスト
   ッパ部を前記センタマスク把持機構に設けたことを特徴
   とする請求項１記載のロボットハンド。
3. 【請求項３】前記センタマスクは中央部に通気孔を有
   し、この通気孔を塞ぐプラグ部を前記センタマスク把持
   機構に設けたことを特徴とする請求項１記載のロボット
   ハンド。
4. 【請求項４】前記保持板への装着時における把持解除後
   の前記センタマスクを押圧するピストン部を前記センタ
   マスク把持機構に設けたことを特徴とする請求項１記載
   のロボットハンド。
5. 【請求項５】前記真空式吸着部の外周部には、前記ディ
   スク外周部に嵌合されるアウタマスクを把持するアウタ
   マスク把持機構が備えられ、且つ外気に開口して負圧空
   気が作用する真空吸引部をこのアウタマスク把持機構に
   設けたことを特徴とする請求項１記載のロボットハン
   ド。
6. 【請求項６】前記真空式吸着部のハンド本体に対する支
   持をフローティング構造としたことを特徴とする請求項
   １記載のロボットハンド。
7. 【請求項７】前記ストッパ部はハンド本体に対する可動
   体に形成それ、この可動体の位置を検出する可動体位置
   検出器を設けたことを特徴とする請求項２記載のロボッ
   トハンド。
8. 【請求項８】前記可動体に前記真空式吸着部をスライド
   動可能に支持し、前記ハンド本体に対する前記真空式吸
   着部の位置を検出する吸着部位置検出器を設けたことを
   特徴とする請求項７記載のロボットハンド。