JP2001035862A - ペレット吸着機構 - Google Patents
ペレット吸着機構Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ペレットマウント工程でのペレット持ち帰り
現象を防止し、高速マウント動作に適応したペレット吸
着機構を提供する。 【解決手段】 ペレット７を吸着するノズルホルダー１
のシャフト部に大気開放孔１０ａを有する開放溝１０を
設け、ペレット７をリードフレーム９にマウントする際
に、ノズルホルダー１がスライドすると同時に大気開放
孔１０ａおよび開放溝１０から大気が流入して真空が開
放され、ペレット７がノズル８から瞬時に分離される。
このように、ペレットに近い位置で真空と大気の切換が
行なわれるため、高速マウント動作が可能となる。
現象を防止し、高速マウント動作に適応したペレット吸
着機構を提供する。 【解決手段】 ペレット７を吸着するノズルホルダー１
のシャフト部に大気開放孔１０ａを有する開放溝１０を
設け、ペレット７をリードフレーム９にマウントする際
に、ノズルホルダー１がスライドすると同時に大気開放
孔１０ａおよび開放溝１０から大気が流入して真空が開
放され、ペレット７がノズル８から瞬時に分離される。
このように、ペレットに近い位置で真空と大気の切換が
行なわれるため、高速マウント動作が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
工程で使用するペレットマウント装置において、ペレッ
トを真空吸着してマウント（ダイボンディング）する際
に使用するノズル構造のペレット吸着機構に関する。
工程で使用するペレットマウント装置において、ペレッ
トを真空吸着してマウント（ダイボンディング）する際
に使用するノズル構造のペレット吸着機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置の製造工程で使用する
ペレットマウント装置は、例えばペレットをリードフレ
ームにマウントする際、ペレットをノズル構造の吸着機
構により真空吸着し、吸着したままリードフレームに押
圧してマウントを行ない、マウント後、ノズル内部を大
気解放して真空を解除し、ノズルをペレットから離間さ
せてペレットマウントが完了する。
ペレットマウント装置は、例えばペレットをリードフレ
ームにマウントする際、ペレットをノズル構造の吸着機
構により真空吸着し、吸着したままリードフレームに押
圧してマウントを行ない、マウント後、ノズル内部を大
気解放して真空を解除し、ノズルをペレットから離間さ
せてペレットマウントが完了する。
【０００３】このようなペレットマウント装置に付属し
ている従来のペレット吸着機構について、図３を用いて
説明する。図３は、従来のペレット吸着機構の構造を示
す図で、同図（ａ）はペレット吸着動作を示す図、同図
（ｂ）はペレットマウント動作を示す図である。
ている従来のペレット吸着機構について、図３を用いて
説明する。図３は、従来のペレット吸着機構の構造を示
す図で、同図（ａ）はペレット吸着動作を示す図、同図
（ｂ）はペレットマウント動作を示す図である。
【０００４】図３に示すような従来のペレット吸着機構
は、ペレットマウント装置（図示せず）の一部に取り付
けられており、吸着機構全体がＸ−Ｙ方向への移動を可
能とし、ペレット吸着動作とペレットマウント動作を行
なう機能を備えている。
は、ペレットマウント装置（図示せず）の一部に取り付
けられており、吸着機構全体がＸ−Ｙ方向への移動を可
能とし、ペレット吸着動作とペレットマウント動作を行
なう機能を備えている。
【０００５】図３に示すように、ペレットマウント装置
側に固定されているスライド式のベアリング１２に円筒
状のノズルホルダー１１が嵌装され、ノズルホルダー１
１は上下方向（Ｚ方向）にスライドできるようになって
いる。ノズルホルダー１１は吸着ブロック１３に取り付
けられ、ノズルホルダー１１と吸着ブロック１３は一体
となって移動するようになっている。
側に固定されているスライド式のベアリング１２に円筒
状のノズルホルダー１１が嵌装され、ノズルホルダー１
１は上下方向（Ｚ方向）にスライドできるようになって
いる。ノズルホルダー１１は吸着ブロック１３に取り付
けられ、ノズルホルダー１１と吸着ブロック１３は一体
となって移動するようになっている。
【０００６】また、ノズルホルダー１１の中心部には中
心軸方向吸引孔１６が形成され、中心軸方向吸引孔１６
は径方向吸引孔１６ａを介して吸着ブロック１３内の真
空吸引孔１５ａを通って真空配管１５に接続している。
また、ノズルホルダー１１の先端のペレット吸着部とな
るノズル１８はゴムで形成され、緩衝材としてペレット
の破損を防止している。
心軸方向吸引孔１６が形成され、中心軸方向吸引孔１６
は径方向吸引孔１６ａを介して吸着ブロック１３内の真
空吸引孔１５ａを通って真空配管１５に接続している。
また、ノズルホルダー１１の先端のペレット吸着部とな
るノズル１８はゴムで形成され、緩衝材としてペレット
の破損を防止している。
【０００７】さらに、ベアリング１２と吸着ブロック１
３とは間隔ａを空けて設置され、この両者間にマウント
荷重バネ１４が張架されている。この間隔ａが最小とな
る位置（ストッパー等で規制）が、ノズルホルダー１１
が最も下がった位置となり、マウント荷重バネ１４によ
ってマウント時にペレットに加わるマウント荷重の基準
位置となる。
３とは間隔ａを空けて設置され、この両者間にマウント
荷重バネ１４が張架されている。この間隔ａが最小とな
る位置（ストッパー等で規制）が、ノズルホルダー１１
が最も下がった位置となり、マウント荷重バネ１４によ
ってマウント時にペレットに加わるマウント荷重の基準
位置となる。
【０００８】このような構造のペレット吸着機構を用い
てペレットマウントを行なう場合には、まず、図３
（ａ）に示すように、ウエハを分割しシート（図示せ
ず）上に個々に貼着されているペレット１７上にペレッ
ト吸着機構全体をを移動させ、ペレット１７を突き上げ
てノズル１８に接触させる。それと同時に真空配管１５
を真空引きすると、ペレット１７はシートから離れてノ
ズル１８に吸着される。
てペレットマウントを行なう場合には、まず、図３
（ａ）に示すように、ウエハを分割しシート（図示せ
ず）上に個々に貼着されているペレット１７上にペレッ
ト吸着機構全体をを移動させ、ペレット１７を突き上げ
てノズル１８に接触させる。それと同時に真空配管１５
を真空引きすると、ペレット１７はシートから離れてノ
ズル１８に吸着される。
【０００９】次に、図３（ｂ）に示すように、ペレット
１７を吸着したままペレット吸着機構全体をリードフレ
ーム１９のマウント位置であるアイランド上に移動さ
せ、ペレット吸着機構全体を降下させると、ペレット１
７がリードフレーム１９に接触してノズルホルダー１１
の降下が停止しても、ベアリング１２は下がり続けるた
めマウント荷重バネ１４が延び、所定のマウント荷重が
ペレット１７に加わった時点で降下を停止させる。
１７を吸着したままペレット吸着機構全体をリードフレ
ーム１９のマウント位置であるアイランド上に移動さ
せ、ペレット吸着機構全体を降下させると、ペレット１
７がリードフレーム１９に接触してノズルホルダー１１
の降下が停止しても、ベアリング１２は下がり続けるた
めマウント荷重バネ１４が延び、所定のマウント荷重が
ペレット１７に加わった時点で降下を停止させる。
【００１０】それと同時に、バルブ２０を真空から大気
に切り換えてノズルホルダー１１の中心軸方向吸引孔１
６内の真空を解除すると同時に大気開放を行なう。この
ようにして、ペレットを、接着剤を介してアイランドに
圧着することによって、ペレットマウントを完了させ
る。
に切り換えてノズルホルダー１１の中心軸方向吸引孔１
６内の真空を解除すると同時に大気開放を行なう。この
ようにして、ペレットを、接着剤を介してアイランドに
圧着することによって、ペレットマウントを完了させ
る。
【００１１】このようなノズル内を大気開放するペレッ
ト吸着機構としては、例えば、特開昭６３−２９５３９
号公報に示されるように、真空配管の途中に切換弁を設
けてノズル内の真空と大気とを切り換えるようにした機
構が提案されている。
ト吸着機構としては、例えば、特開昭６３−２９５３９
号公報に示されるように、真空配管の途中に切換弁を設
けてノズル内の真空と大気とを切り換えるようにした機
構が提案されている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のペレッ
ト吸着機構を用いて、リードフレームのアイランド上へ
のペレットマウントが完了すると、真空配管１５の先方
に設けられているバルブ２０が動作し、中心軸方向吸引
孔１６内の真空を解除して大気開放を行ない、それと同
時にペレット吸着機構全体が上昇し、ノズル１８がペレ
ット１７から離間し、ペレット１７はリードフレーム１
９上に固着される。
ト吸着機構を用いて、リードフレームのアイランド上へ
のペレットマウントが完了すると、真空配管１５の先方
に設けられているバルブ２０が動作し、中心軸方向吸引
孔１６内の真空を解除して大気開放を行ない、それと同
時にペレット吸着機構全体が上昇し、ノズル１８がペレ
ット１７から離間し、ペレット１７はリードフレーム１
９上に固着される。
【００１３】しかし、ノズル１８からバルブ２０に至る
までの経路が長いため、高速マウント動作になると真空
の大気解放が間に合わず、ペレット１７がノズル１８か
ら離れないままノズルホルダー１１が上昇してしまい、
せっかくマウントしたペレットを接着剤から引き剥がし
てしまうという、いわゆるペレット持ち帰り現象が発生
する。
までの経路が長いため、高速マウント動作になると真空
の大気解放が間に合わず、ペレット１７がノズル１８か
ら離れないままノズルホルダー１１が上昇してしまい、
せっかくマウントしたペレットを接着剤から引き剥がし
てしまうという、いわゆるペレット持ち帰り現象が発生
する。
【００１４】本発明は、このペレット持ち帰り現象の問
題を解消し、大気解放を容易に行なうことができる高速
マウント動作が可能なペレット吸着機構を提供すること
を目的とする。
題を解消し、大気解放を容易に行なうことができる高速
マウント動作が可能なペレット吸着機構を提供すること
を目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明のペレット吸着機
構は、下端にペレットを吸着するノズルを備えベアリン
グを介して上下方向にスライド可能なノズルホルダーを
有し、ペレット吸着動作とペレットマウント動作を行な
うペレット吸着機構において、前記ベアリングに一体に
取り付けられ前記ノズルホルダーがスライド自在に嵌装
された吸着ブロックを有し、この吸着ブロックにはノズ
ルホルダーとのスライド面に開口する真空吸引孔を設
け、また、前記ノズルホルダーは中心軸方向吸引孔につ
ながる径方向吸引孔を有し、かつこの径方向吸引孔より
上方のノズルホルダー外周面に開放溝を設け、この開放
溝内に前記中心軸方向吸引孔につながる大気開放孔が放
射状に開孔している。
構は、下端にペレットを吸着するノズルを備えベアリン
グを介して上下方向にスライド可能なノズルホルダーを
有し、ペレット吸着動作とペレットマウント動作を行な
うペレット吸着機構において、前記ベアリングに一体に
取り付けられ前記ノズルホルダーがスライド自在に嵌装
された吸着ブロックを有し、この吸着ブロックにはノズ
ルホルダーとのスライド面に開口する真空吸引孔を設
け、また、前記ノズルホルダーは中心軸方向吸引孔につ
ながる径方向吸引孔を有し、かつこの径方向吸引孔より
上方のノズルホルダー外周面に開放溝を設け、この開放
溝内に前記中心軸方向吸引孔につながる大気開放孔が放
射状に開孔している。
【００１６】また、前記ペレット吸着動作時には、ノズ
ルホルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真空吸引孔
との位置を一致させてペレットの真空吸着動作を行な
い、その時点で開放溝は吸着ブロック内にとどまって大
気開放孔への大気の流入を遮断している。
ルホルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真空吸引孔
との位置を一致させてペレットの真空吸着動作を行な
い、その時点で開放溝は吸着ブロック内にとどまって大
気開放孔への大気の流入を遮断している。
【００１７】また、前記ペレットマウント動作時には、
吸着ブロックをノズルホルダーに対しスライド降下さ
せ、ノズルホルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真
空吸引孔との位置をずらして真空を遮断し、それと同時
に開放溝が吸着ブロックから外に出て大気開放孔内に大
気が流入し、ノズルホルダーの中心軸方向吸引孔を大気
開放してペレットをノズルから離間させる。
吸着ブロックをノズルホルダーに対しスライド降下さ
せ、ノズルホルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真
空吸引孔との位置をずらして真空を遮断し、それと同時
に開放溝が吸着ブロックから外に出て大気開放孔内に大
気が流入し、ノズルホルダーの中心軸方向吸引孔を大気
開放してペレットをノズルから離間させる。
【００１８】また、前記吸着ブロックには真空吸引孔の
ほかにノズルホルダーとのスライド面に開口する大気流
入孔を設けている。
ほかにノズルホルダーとのスライド面に開口する大気流
入孔を設けている。
【００１９】また、前記ペレット吸着動作時には、ノズ
ルホルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真空吸引孔
との位置を一致させてペレットの真空吸着動作を行な
い、その時点でノズルホルダーの開放溝と吸着ブロック
の大気流入孔とは位置をずらして大気開放孔への大気の
流入を遮断している。
ルホルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真空吸引孔
との位置を一致させてペレットの真空吸着動作を行な
い、その時点でノズルホルダーの開放溝と吸着ブロック
の大気流入孔とは位置をずらして大気開放孔への大気の
流入を遮断している。
【００２０】また、前記ペレットマウント動作時には、
吸着ブロックをノズルホルダーに対しスライド降下さ
せ、ノズルホルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真
空吸引孔との位置をずらして真空を遮断し、それと同時
に開放溝が大気流入孔と一致して大気開放孔内に大気が
流入し、ノズルホルダーの中心軸方向吸引孔を大気開放
してペレットをノズルから離間させる。
吸着ブロックをノズルホルダーに対しスライド降下さ
せ、ノズルホルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真
空吸引孔との位置をずらして真空を遮断し、それと同時
に開放溝が大気流入孔と一致して大気開放孔内に大気が
流入し、ノズルホルダーの中心軸方向吸引孔を大気開放
してペレットをノズルから離間させる。
【００２１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて詳細に説明する。図１は、本発明にお
けるペレット吸着機構の第１の実施の形態を示す構成図
で、同図（ａ）はペレット吸着動作を説明する図、同図
（ｂ）はペレットマウント動作を説明する図である。
て、図面を用いて詳細に説明する。図１は、本発明にお
けるペレット吸着機構の第１の実施の形態を示す構成図
で、同図（ａ）はペレット吸着動作を説明する図、同図
（ｂ）はペレットマウント動作を説明する図である。
【００２２】まず、本発明のペレット吸着機構の構成に
ついて、図１を用いて説明する。第１の実施の形態のペ
レット吸着機構は、ペレットマウント装置（図示せず）
の一部に取り付けられており、吸着機構全体がＸ−Ｙ方
向への移動を可能とし、ペレット吸着動作とペレットマ
ウント動作を行なう機能を備えている。
ついて、図１を用いて説明する。第１の実施の形態のペ
レット吸着機構は、ペレットマウント装置（図示せず）
の一部に取り付けられており、吸着機構全体がＸ−Ｙ方
向への移動を可能とし、ペレット吸着動作とペレットマ
ウント動作を行なう機能を備えている。
【００２３】図１に示すように、ペレットマウント装置
側に固定されているスライド式のベアリング２に円筒状
のノズルホルダー１が嵌装され、ノズルホルダー１は上
下方向（Ｚ方向）にスライドできるようになっている。
また、ベアリング２には吸着ブロック３が取り付けら
れ、ベアリング２と吸着ブロック３は一体構造となって
いる。吸着ブロック３には、ノズルホルダー１がスライ
ド可能に貫通する貫通孔が設けられている。
側に固定されているスライド式のベアリング２に円筒状
のノズルホルダー１が嵌装され、ノズルホルダー１は上
下方向（Ｚ方向）にスライドできるようになっている。
また、ベアリング２には吸着ブロック３が取り付けら
れ、ベアリング２と吸着ブロック３は一体構造となって
いる。吸着ブロック３には、ノズルホルダー１がスライ
ド可能に貫通する貫通孔が設けられている。
【００２４】ノズルホルダー１の中心部には中心軸方向
吸引孔６が形成され、この中心軸方向吸引孔６につなが
る径方向吸引孔６ａおよび吸着ブロック３に設けられた
真空吸引孔５ａを介して真空配管５に接続している。ま
た、ノズルホルダー１には、ノズルホルダー１のシャフ
ト部外周の一部を切り開いた開放溝１０が形成され、こ
の開放溝１０内には、中心軸方向吸引孔６から放射状に
延びる大気開放孔１０ａが明けられている。
吸引孔６が形成され、この中心軸方向吸引孔６につなが
る径方向吸引孔６ａおよび吸着ブロック３に設けられた
真空吸引孔５ａを介して真空配管５に接続している。ま
た、ノズルホルダー１には、ノズルホルダー１のシャフ
ト部外周の一部を切り開いた開放溝１０が形成され、こ
の開放溝１０内には、中心軸方向吸引孔６から放射状に
延びる大気開放孔１０ａが明けられている。
【００２５】そして、ペレットマウント動作以外の時
は、開放溝１０は吸着ブロック３内に納まっており（図
１（ａ）の状態）、大気開放孔１０ａは閉鎖された状態
となっている。また、ノズルホルダー１の先端のペレッ
ト吸着部となるノズル８はゴムで形成され、緩衝材とし
てペレットの破損を防止している。
は、開放溝１０は吸着ブロック３内に納まっており（図
１（ａ）の状態）、大気開放孔１０ａは閉鎖された状態
となっている。また、ノズルホルダー１の先端のペレッ
ト吸着部となるノズル８はゴムで形成され、緩衝材とし
てペレットの破損を防止している。
【００２６】さらに、吸着ブロック３とノズルホルダー
１の上部に取り付けられた部材１ａとの間には、間隔ｂ
を置いてマウント荷重バネ４が張架されている。この間
隔ｂが最小となる位置（ストッパー等で規制）が、ノズ
ルホルダー１が最も下がった位置となり、マウント荷重
バネ４によってマウント時にペレットに加わるマウント
荷重の基準位置となる。
１の上部に取り付けられた部材１ａとの間には、間隔ｂ
を置いてマウント荷重バネ４が張架されている。この間
隔ｂが最小となる位置（ストッパー等で規制）が、ノズ
ルホルダー１が最も下がった位置となり、マウント荷重
バネ４によってマウント時にペレットに加わるマウント
荷重の基準位置となる。
【００２７】このような構造を有する本発明のペレット
吸着機構を用いて、ペレット吸着およびペレットマウン
トを行なう場合について、図１（ａ）、（ｂ）を用いて
説明する。まず、図１（ａ）に示すように、ペレット吸
着動作を行なうために、ウエハを分割しシート（図示せ
ず）上に貼着されているペレット７上に、ペレット吸着
機構全体を移動させる。
吸着機構を用いて、ペレット吸着およびペレットマウン
トを行なう場合について、図１（ａ）、（ｂ）を用いて
説明する。まず、図１（ａ）に示すように、ペレット吸
着動作を行なうために、ウエハを分割しシート（図示せ
ず）上に貼着されているペレット７上に、ペレット吸着
機構全体を移動させる。
【００２８】次いで、ペレット７をシートを介して突き
上げてノズル８に接触させ、それと同時に真空配管５を
真空引きすると、ペレット７はシートから離れてノズル
８に吸着される。この時、ノズルホルダー１の径方向吸
引孔６ａと吸着ブロック３の真空吸引孔５ａとは孔位置
が一致しており、また、ノズルホルダー１１の上部に取
り付けられている部材１ａと吸着ブロック３との間は、
間隔ｂの状態が保たれている。
上げてノズル８に接触させ、それと同時に真空配管５を
真空引きすると、ペレット７はシートから離れてノズル
８に吸着される。この時、ノズルホルダー１の径方向吸
引孔６ａと吸着ブロック３の真空吸引孔５ａとは孔位置
が一致しており、また、ノズルホルダー１１の上部に取
り付けられている部材１ａと吸着ブロック３との間は、
間隔ｂの状態が保たれている。
【００２９】次に、図１（ｂ）に示すように、ペレット
マウント動作を行なう。まず、ペレット７を吸着したま
ま吸着機構全体をリードフレーム９のマウント位置であ
るアイランド上に移動させ、吸着機構全体を降下させ
る。ペレット７がリードフレーム９に接触してノズルホ
ルダー１の降下が停止しても、吸着ブロック３およびベ
アリング２は下がり続けるためマウント荷重バネ４が伸
び、所定のマウント荷重がペレットに加わった時点で降
下を停止させる。
マウント動作を行なう。まず、ペレット７を吸着したま
ま吸着機構全体をリードフレーム９のマウント位置であ
るアイランド上に移動させ、吸着機構全体を降下させ
る。ペレット７がリードフレーム９に接触してノズルホ
ルダー１の降下が停止しても、吸着ブロック３およびベ
アリング２は下がり続けるためマウント荷重バネ４が伸
び、所定のマウント荷重がペレットに加わった時点で降
下を停止させる。
【００３０】上述したように、ペレット７がリードフレ
ーム９に接触すると同時に、吸着ブロック３が下がり始
める。すると、開放溝１０が吸着ブロック３から外に出
て大気開放孔１０ａも露出して大気が流入し、それと同
時に径方向吸引孔６ａと真空吸引孔５ａとの孔位置がず
れて真空経路を遮断するため、瞬間的にノズルホルダー
１の中心軸方向吸引孔６内の真空が大気開放され、ペレ
ット７は瞬時にノズル８から分離され、安定してリード
フレーム９上に供給される。
ーム９に接触すると同時に、吸着ブロック３が下がり始
める。すると、開放溝１０が吸着ブロック３から外に出
て大気開放孔１０ａも露出して大気が流入し、それと同
時に径方向吸引孔６ａと真空吸引孔５ａとの孔位置がず
れて真空経路を遮断するため、瞬間的にノズルホルダー
１の中心軸方向吸引孔６内の真空が大気開放され、ペレ
ット７は瞬時にノズル８から分離され、安定してリード
フレーム９上に供給される。
【００３１】次に、本発明における第２の実施の形態に
ついて説明する。図２は第２の実施の形態におけるペレ
ット吸着機構の一部を示す図で、同図（ａ）はペレット
吸着動作時の状態を示し、同図（ｂ）はペレットマウン
ト動作時の状態を示す、それぞれ説明図である。
ついて説明する。図２は第２の実施の形態におけるペレ
ット吸着機構の一部を示す図で、同図（ａ）はペレット
吸着動作時の状態を示し、同図（ｂ）はペレットマウン
ト動作時の状態を示す、それぞれ説明図である。
【００３２】第１の実施の形態では、ペレットマウント
動作時に、ノズルホルダー１に形成された開放溝１０が
吸着ブロック３の降下により吸着ブロック３から外に出
ることによって大気開放が行なわれていたが、本実施の
形態では、吸着ブロック３が降下してもノズルホルダー
１の開放溝１０は吸着ブロック３から外れないように
し、吸着ブロック３内には真空吸引孔５ａのほかに大気
流入孔１０ｂを、ノズルホルダー１を中心にして放射状
に複数本設けている。
動作時に、ノズルホルダー１に形成された開放溝１０が
吸着ブロック３の降下により吸着ブロック３から外に出
ることによって大気開放が行なわれていたが、本実施の
形態では、吸着ブロック３が降下してもノズルホルダー
１の開放溝１０は吸着ブロック３から外れないように
し、吸着ブロック３内には真空吸引孔５ａのほかに大気
流入孔１０ｂを、ノズルホルダー１を中心にして放射状
に複数本設けている。
【００３３】まず、図２（ａ）に示すように、ペレット
吸着動作時には、ノズルホルダー１の径方向吸引孔６ａ
と吸着ブロック３の真空吸引孔５ａとの位置が一致して
いるため、ペレットの真空吸着が行われる。次いで、図
２（ｂ）に示すように、ペレットマウント動作時には吸
着ブロック３が下降し、径方向吸引孔６ａと真空吸引孔
５ａの位置がずれて真空が遮断されると同時に、ノズル
ホルダー１の開放溝１０と吸着ブロック３の大気流入孔
１０ｂの位置が一致して大気が中心軸方向吸引孔６に流
れ込み、ペレットの吸着が解除される。
吸着動作時には、ノズルホルダー１の径方向吸引孔６ａ
と吸着ブロック３の真空吸引孔５ａとの位置が一致して
いるため、ペレットの真空吸着が行われる。次いで、図
２（ｂ）に示すように、ペレットマウント動作時には吸
着ブロック３が下降し、径方向吸引孔６ａと真空吸引孔
５ａの位置がずれて真空が遮断されると同時に、ノズル
ホルダー１の開放溝１０と吸着ブロック３の大気流入孔
１０ｂの位置が一致して大気が中心軸方向吸引孔６に流
れ込み、ペレットの吸着が解除される。
【００３４】本実施の形態によれば、開放溝１０内の大
気開放孔１０ａが吸着ブロック３の外に出ないので、大
気開放時にゴミや異物などが大気開放孔１０ａに吸い込
まれることがないので目詰まりなどの心配がない。
気開放孔１０ａが吸着ブロック３の外に出ないので、大
気開放時にゴミや異物などが大気開放孔１０ａに吸い込
まれることがないので目詰まりなどの心配がない。
【００３５】
【発明の効果】本発明のペレット吸着機構によれば、ペ
レット吸着ノズルホルダーのシャフト部に大気開放孔お
よび開放溝を追加したことによって、ペレットを吸着後
マウントする際に、ノズルホルダーがスライドすると同
時に真空が遮断されて大気開放孔および開放溝から空気
が流入し、ノズルホルダー内の吸引孔が大気開放され、
従来は遠方のバルブ切替えによって行われていた真空の
遮断と大気の開放が、ペレットの近くで行われることに
なったので、ペレットのノズルからの分離を瞬時に行な
うことができる。
レット吸着ノズルホルダーのシャフト部に大気開放孔お
よび開放溝を追加したことによって、ペレットを吸着後
マウントする際に、ノズルホルダーがスライドすると同
時に真空が遮断されて大気開放孔および開放溝から空気
が流入し、ノズルホルダー内の吸引孔が大気開放され、
従来は遠方のバルブ切替えによって行われていた真空の
遮断と大気の開放が、ペレットの近くで行われることに
なったので、ペレットのノズルからの分離を瞬時に行な
うことができる。
【００３６】このように、ノズルホルダー部に大気開放
孔および開放溝を設けたことによって、ペレット吸着機
構の高速マウント動作および軽量化に対応しつつペレッ
トの分離動作が行なえるため、安定した製品品質の確保
ができる。
孔および開放溝を設けたことによって、ペレット吸着機
構の高速マウント動作および軽量化に対応しつつペレッ
トの分離動作が行なえるため、安定した製品品質の確保
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図
（ａ）はペレット吸着動作を示し、図（ｂ）はペレット
マウント動作を示す。
（ａ）はペレット吸着動作を示し、図（ｂ）はペレット
マウント動作を示す。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図
（ａ）はペレット吸着動作を示し、図（ｂ）はペレット
マウント動作を示す。
（ａ）はペレット吸着動作を示し、図（ｂ）はペレット
マウント動作を示す。
【図３】従来のペレット吸着機構を示す図で、図（ａ）
はペレット吸着動作を示し、図（ｂ）はペレットマウン
ト動作を示す。
はペレット吸着動作を示し、図（ｂ）はペレットマウン
ト動作を示す。
１，１１ ノズルホルダー １ａ 部材 ２，１２ ベアリング ３，１３ 吸着ブロック ４，１４ マウント荷重バネ ５，１５ 真空配管 ５ａ，１５ａ 真空吸引孔 ６，１６ 中心軸方向吸引孔 ６ａ，１６ａ 径方向吸引孔 ７，１７ ペレット ８，１８ ノズル ９，１９ リードフレーム １０ 開放溝 １０ａ 大気開放孔 １０ｂ 大気流入孔 ２０ バルブ
Claims (6)
- 【請求項１】 下端にペレットを吸着するノズルを備え
ベアリングを介して上下方向にスライド可能なノズルホ
ルダーを有し、ペレット吸着動作とペレットマウント動
作を行なうペレット吸着機構において、前記ベアリング
に一体に取り付けられ前記ノズルホルダーがスライド自
在に嵌装された吸着ブロックを有し、この吸着ブロック
にはノズルホルダーとのスライド面に開口する真空吸引
孔を設け、また、前記ノズルホルダーは中心軸方向吸引
孔につながる径方向吸引孔を有し、かつこの径方向吸引
孔より上方のノズルホルダー外周面に開放溝を設け、こ
の開放溝内に前記中心軸方向吸引孔につながる大気開放
孔が放射状に開孔していることを特徴とするペレット吸
着機構。 - 【請求項２】 前記ペレット吸着動作時には、ノズルホ
ルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真空吸引孔との
位置を一致させてペレットの真空吸着動作を行ない、そ
の時点で開放溝は吸着ブロック内にとどまって大気開放
孔への大気の流入を遮断していることを特徴とする請求
項１記載のペレット吸着機構。 - 【請求項３】 前記ペレットマウント動作時には、吸着
ブロックをノズルホルダーに対しスライド降下させ、ノ
ズルホルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真空吸引
孔との位置をずらして真空を遮断し、それと同時に開放
溝が吸着ブロックから外に出て大気開放孔内に大気が流
入し、ノズルホルダーの中心軸方向吸引孔を大気開放し
てペレットをノズルから離間させることを特徴とする請
求項１記載のペレット吸着機構。 - 【請求項４】 前記吸着ブロックには真空吸引孔のほか
にノズルホルダーとのスライド面に開口する大気流入孔
を設けたことを特徴とする請求項１記載のペレット吸着
機構。 - 【請求項５】 前記ペレット吸着動作時には、ノズルホ
ルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真空吸引孔との
位置を一致させてペレットの真空吸着動作を行ない、そ
の時点でノズルホルダーの開放溝と吸着ブロックの大気
流入孔とは位置をずらして大気開放孔への大気の流入を
遮断していることを特徴とする請求項４記載のペレット
吸着機構。 - 【請求項６】 前記ペレットマウント動作時には、吸着
ブロックをノズルホルダーに対しスライド降下させ、ノ
ズルホルダーの径方向吸引孔と吸着ブロックの真空吸引
孔との位置をずらして真空を遮断し、それと同時に開放
溝が大気流入孔と一致して大気開放孔内に大気が流入
し、ノズルホルダーの中心軸方向吸引孔を大気開放して
ペレットをノズルから離間させることを特徴とする請求
項４記載のペレット吸着機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21015499A JP3245581B2 (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | ペレット吸着機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21015499A JP3245581B2 (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | ペレット吸着機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001035862A true JP2001035862A (ja) | 2001-02-09 |
| JP3245581B2 JP3245581B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
ID=16584672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21015499A Expired - Fee Related JP3245581B2 (ja) | 1999-07-26 | 1999-07-26 | ペレット吸着機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3245581B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009088035A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 電子部品装着装置 |
| JP2014020993A (ja) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Medica Tekku Kk | ノズル型検査洗浄装置 |
| JP2014136263A (ja) * | 2013-01-15 | 2014-07-28 | Sinfonia Technology Co Ltd | 吸着装置及びこれを備えた搬送装置 |
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| EP4005742A1 (de) * | 2020-11-27 | 2022-06-01 | Bizerba SE & Co. KG | Etikettenapplikator |
-
1999
- 1999-07-26 JP JP21015499A patent/JP3245581B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (18)
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| US10392201B2 (en) | 2015-12-01 | 2019-08-27 | Nike, Inc. | Manufacturing pickup tool |
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| US11078033B2 (en) | 2015-12-01 | 2021-08-03 | Nike, Inc. | Manufacturing pickup tool |
| CN106865215A (zh) * | 2015-12-01 | 2017-06-20 | 耐克创新有限合伙公司 | 制造的拾取工具 |
| US11884496B2 (en) | 2015-12-01 | 2024-01-30 | Nike, Inc. | Manufacturing pickup tool |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3245581B2 (ja) | 2002-01-15 |
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