TWI629125B - Object suction mechanism - Google Patents
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Abstract
一種物件吸載機構，其包含承置器、複數個吸台件、複數個抽氣控制件及流路結構，該承置器係設有複數個不同區域之承置區，各承置區分別裝配至少一可吸附物件之吸台件，另於承置器之內部設有流路結構，該流路結構係設有複數個抽氣道，複數個抽氣道係連通複數個承置區及複數個抽氣控制件，使複數個抽氣控制件控制複數個抽氣道啟閉，進而控制不同區域之吸台件吸放物件；藉此，可視待作業物件之尺寸，該吸載機構可選擇開啟承置物件區域範圍所對應之抽氣控制件及抽氣道，使該區域範圍之吸台件吸附物件定位，並關閉其他未承置物件區域範圍所對應之抽氣控制件及抽氣道，而可易於防止其他區域範圍之吸台件破真空，達到提升作業便利性及節省成本之實用效益。
Description
本發明係提供一種可視待作業物件之尺寸，而可選擇開啟適當數量之抽氣控制件及抽氣道，以控制不同區域範圍的吸台件吸附物件定位，進而提升作業便利性及節省成本之物件吸載機構。
在現今，該吸載機構可應用於不同作業設備(例如車床設備之工作台或電子元件測試分類設備之移料裝置)，以吸附物件(如塑膠膜片或電子元件)定位，進而便利作業設備之作業裝置對物件執行預設作業，以研磨晶圓表面之塑膠膜片為例，其表面必須利用車床加工出複數個呈同心圓之環槽，由於塑膠膜片輕薄且體積大，於製作加工時，車床必須利用吸載機構將塑膠膜片吸附定位，以便進行加工作業；請參閱第1、2、3圖，係為應用吸載機構之車床，該車床係於機台11之一側裝配有具加工刀具之加工裝置12，並於另一側機架上裝配可吸附塑膠膜片14定位之吸載機構13，該吸載機構13係設有一呈圓形之台座131，並於台座131之底面開設有主氣道132，該主氣道132係連通台座131內部呈放射狀排列且相通的複數個支氣道133，另於台座131之頂面開設有複數個呈同心圓排列之環槽134，各環槽134係於相對應各支氣道133之位置開設有相通的吸孔135，用以吸附塑膠膜片14，又該台座131之底面裝配有具通氣孔137之轉軸136，並令通氣孔137連通台座131之主氣道132及抽氣設備(圖未示出)，再將轉軸136架設於機架上，並連接一旋轉驅動源(圖未示出)，使轉軸136可帶動台座131旋轉作動；請參閱第1、4、5圖，由於吸載機構13之台座131尺寸與待作業之塑膠膜片14尺寸會有不同，業者於加工作業前，即會視待作業之塑膠膜片14尺寸，而預先將台座131未承置塑膠膜片
14之區域範圍的吸孔135A以膠帶138封閉，僅預留部份待承置塑膠膜片14之區域範圍的吸孔135B，於執行加工作業時，該吸載機構13係以台座131承置待作業的塑膠膜片14，該抽氣設備即利用轉軸136內之通氣孔137對台座131之主氣道132抽氣，該主氣道132再經由複數個支氣道133而令複數個吸孔135B呈負壓狀態，使複數個吸孔135B吸附待作業的塑膠膜片14定位，以供加工裝置12對待作業的塑膠膜片14執行加工作業；惟，該吸載機構13於使用上具有如下缺失：
1．當待作業的塑膠膜片14之尺寸小於台座131之尺寸時，業者即必須繁瑣耗時預先利用膠帶138將未使用之複數個吸孔135A封閉而避免破真空及降低吸力，使其他已使用之複數個吸孔135B吸附待作業的塑膠膜片14定位，但欲加工另一批次不同尺寸之塑膠膜片時，業者又必須將膠帶138撕除，並視另一批塑膠膜片之尺寸，再重新於台座131上以膠帶138將未使用之吸孔135A封閉，此一反覆黏貼及撕除膠帶138的動作，造成作業不便之缺失。
2．業者加工不同批次、尺寸之塑膠膜片14時，即必須停機且耗時於台座131上反覆黏貼或撕除膠帶138，方可使台座131上已使用之複數個吸孔135B以預設吸力吸附塑膠膜片14定位，以致增加作業時間，造成降低生產效能之缺失。
3．當業者未將台座131上未使用之吸孔135A黏貼膠帶138，即導致未使用之吸孔135A破真空，以致降低已使用之吸孔135B的吸力，業者若為使已使用之吸孔135B以預設吸力確實吸附塑膠膜片14，即必須更換具有較大抽氣力之抽氣設備，造成增加成本之缺失。
本發明之目的一，係提供一種物件吸載機構，其包含承置器、複數個吸台件、複數個抽氣控制件及流路結構，該承置器係設有複數個不同區域之承置區，各承置區分別裝配至少一可吸附物件之吸台件，另於承置器之內部設有流路結構，該流路結構係設有複數個抽氣道，複數個
抽氣道係連通複數個承置區及複數個抽氣控制件，使複數個抽氣控制件控制複數個抽氣道啟閉，進而控制不同區域之吸台件吸放物件；藉此，可視待作業物件之尺寸，該吸載機構可選擇開啟承置物件區域範圍所對應之抽氣控制件及抽氣道，使該區域範圍之吸台件吸附物件定位，並關閉其他未承置物件區域範圍所對應之抽氣控制件及抽氣道，而可易於防止其他區域範圍之吸台件破真空，達到提升作業便利性之實用效益。
本發明之目的二，係提供一種物件吸載機構，其中，於承置器承載一批次尺寸較小之物件時，可選擇開啟至少一抽氣控制件及抽氣道，以供承置該較小尺寸物件之區域範圍的至少一區吸台件吸附物件定位，於承置器承載另一批次尺寸較大之物件時，則可選擇開啟複數個抽氣控制件及抽氣道，以供承置該較大尺寸物件之區域範圍的複數區吸台件吸附物件定位，毋須於承置器上反覆黏貼或撕除膠帶，進而有效縮短作業時間，達到提升生產效能之實用效益。
本發明之目的三，係提供一種物件吸載機構，其中，該吸載機構之複數個抽氣道係連通不同區域之吸台件，並以複數個抽氣控制件控制不同區域之吸台件啟閉，進而該吸載機構可視待作業物件之尺寸而選擇開啟適當數量之抽氣控制件及抽氣道，並關閉未使用之抽氣控制件、抽氣道及吸台件而防止破真空，進而使已承置物件之區域範圍的吸台件以預設吸力確實吸附物件定位，毋須配置具有更大抽氣力之抽氣設備，達到節省成本之實用效益。
11‧‧‧機台
12‧‧‧加工裝置
13‧‧‧吸載機構
131‧‧‧台座
132‧‧‧主氣道
133‧‧‧支氣道
134‧‧‧環槽
135、135A、135B‧‧‧吸孔
136‧‧‧轉軸
137‧‧‧通氣孔
138‧‧‧膠帶
14‧‧‧塑膠膜片
20‧‧‧吸載機構
21‧‧‧承台
2111‧‧‧第一環形肋條
2112‧‧‧第二環形肋條
212‧‧‧第一容置槽
2121‧‧‧第一凸塊
2122‧‧‧第一流道段
213‧‧‧第一直肋條
214‧‧‧第二容置槽
2141‧‧‧第二凸塊
2142‧‧‧第四流道段
215‧‧‧第二直肋條
216‧‧‧第三容置槽
2161‧‧‧第三凸塊
2162‧‧‧第七流道段
2171‧‧‧第一支氣道
2172‧‧‧第一環溝
2173‧‧‧第一吸孔
2174‧‧‧第二支氣道
2175‧‧‧第二環溝
2176‧‧‧第二吸孔
2177‧‧‧第三支氣道
2178‧‧‧第三環溝
2179‧‧‧第三吸孔
22‧‧‧座體
2211‧‧‧第一環槽
2212‧‧‧第一通孔
2213‧‧‧第二環槽
2214‧‧‧第二通孔
2215‧‧‧第三環槽
2216‧‧‧第三通孔
23‧‧‧支撐軸
231‧‧‧固定軸座
2311‧‧‧第一通氣孔
2312‧‧‧第二通氣孔
2313‧‧‧第三通氣孔
2321‧‧‧第一軸孔
2322‧‧‧第一軸槽
2323‧‧‧第二軸孔
2324‧‧‧第二軸槽
2325‧‧‧第三軸孔
2326‧‧‧第三軸槽
241‧‧‧第一吸台件
242‧‧‧第二吸台件
243‧‧‧第三吸台件
251‧‧‧第一抽氣控制件
252‧‧‧第二抽氣控制件
253‧‧‧第三抽氣控制件
30‧‧‧車床
31‧‧‧機台
32‧‧‧加工裝置
33‧‧‧機架
41、42‧‧‧塑膠膜片
第1圖：習知吸載機構應用於車床之示意圖。
第2圖：習知吸載機構之示意圖(一)。
第3圖：習知吸載機構之示意圖(二)。
第4圖：習知吸載機構吸附塑膠膜片之使用示意圖(一)。
第5圖：習知吸載機構吸附塑膠膜片之使用示意圖(二)。
第6圖：本發明吸載機構之外觀圖。
第7圖：本發明吸載機構之零件分解圖。
第8圖：本發明承台及底座之俯視圖。
第9圖：本發明吸載機構之局部剖視圖(一)。
第10圖：本發明吸載機構之局部剖視圖(二)。
第11圖：本發明吸載機構應用於車床之示意圖。
第12圖：本發明吸載機構承載尺寸較小物件之使用示意圖(一)。
第13圖：本發明吸載機構承載尺寸較小物件之使用示意圖(二)。
第14圖：本發明吸載機構承載尺寸較大物件之使用示意圖(一)。
第15圖：本發明吸載機構承載尺寸較大物件之使用示意圖(二)。
為使 貴審查委員對本發明作更進一步之瞭解，茲舉一較佳實施例並配合圖式，詳述如後：
請參閱第6、7、8、9、10圖，本發明之吸載機構20包含承置器、複數個吸台件、複數個抽氣控制件及流路結構，該承置器係設有複數個不同區域之承置區，複數個承置區分別設有至少一容置槽，更進一步，該承置器可為單一構件或由複數個構件所組成，於本實施例中，該承置器係由承台21、座體22及支撐軸23等構件所組成，該承台21係設有複數個具至少一容置槽之承置區，該容置槽係設有至少一承置該吸台件之凸塊，於本實施例中，該承台21係以一面作為第一面，以另一面作為第二面，於第一面設有複數個呈同心圓排列之第一、二環形肋條2111、2112，以劃分出第一承置區、第二承置區及第三承置區，該位於最內層之第一承置區係設有第一容置槽212，第一容置槽212之底面設有複數個第一凸塊2121，以使第一凸塊2121之周側形成氣體流動之空間，該位於中層之第二承置區係以複數個呈放射狀排列之第一直肋條213劃分出複數個第二容置槽214，第二容置槽214之底面設有複數個第二凸塊2141，以使第二凸塊2141之周側形成氣體流動之空間，該位於外層之第三承置區係以複數個呈放射狀排列之第二直肋條215劃分出複數個第三容置槽216，第三容置槽216之底面設有複數個第三凸塊2161，以使第三凸塊2161之周側形成氣體流動之空間；該座體22係組裝連結承台21，並以相對承台21第二面之該面
作為第三面，以另一面作為第四面，該座體22係以第三面連結承台21之第二面；該支撐軸23係組裝連結座體22，用以支撐座體22及承台21，更進一步，該支撐軸23可為固定軸或轉軸，用以架設於機架、機械手臂或裝配於一輸送機構上，於本實施例中，該支撐軸23係為轉軸，其第一端係連結座體22之第四面，並於第二端裝配有具軸承之固定軸座231，該支撐軸23之第二端可連結驅動源(圖未示出)，以帶動座體22及承台21旋轉作動；複數個吸台件係裝配於承置器之複數個承置區，用以承置及吸附物件，於本實施例中，複數個吸台件係為具有多氣孔之陶瓷吸盤，而分別為第一吸台件241、第二吸台件242及第三吸台件243，該第一吸台件241係位於承台21之第一承置區的第一容置槽212內，並跨置於第一凸塊2121上，而與第一容置槽212內底面之間具有氣體流動空間，用以吸放物件，該複數個第二吸台件242係位於承台21之第二承置區的複數個第二容置槽214內，並跨置於第二凸塊2141上，而與第二容置槽214內底面之間具有氣體流動空間，用以吸放物件，該複數個第三吸台件243係位於承台21之第三承置區的複數個第三容置槽216內，並跨置於第三凸塊2161上，而與第三容置槽216內底面之間具有氣體流動空間，用以吸放物件；複數個抽氣控制件係用以控制複數個吸台件吸放物件，於本實施例中，該複數個抽氣控制件係為電磁閥，而分別為第一抽氣控制件251、第二抽氣控制件252及第三抽氣控制件253，並經由流路結構而分別控制第一吸台件241、第二吸台件242及第三吸台件243吸放物件；該流路結構係設於承置器之內部，並具有複數個抽氣道，複數個抽氣道係連通複數個承置區及複數個抽氣控制件，使複數個抽氣控制件控制複數個抽氣道啟閉，進而控制不同承置區之吸台件吸放物件，更進一步，該流路結構之複數個抽氣道係設於該承台21、該座體22及該支撐軸23之間，該複數個抽氣道之一端係分別連通該承台21之複數個承置區的容置槽，另一端則分別連通該複數個抽氣控制件，又該抽氣道係設有複數個相通之流道段，複數個流道段分別設於該承台21、該座體22及該支撐軸23，並以位於該承台21之流道段連通該容置槽，以及位於該支撐軸23之另一流道段連通
該抽氣控制件，其中，該位於底座22處之又一流道段係於相對應該承台21之流道段位置設有可供氣體流動之環槽，並於該環槽開設有至少一通孔，以及該位於支撐軸23處之另一流道段係設有相通該底座22處之又一流道段的軸孔，該軸孔係連通該支撐軸23外環面之軸槽，該軸槽再連通至少一通氣孔，該通氣孔則連接該抽氣控制件，於本實施例中，該流路結構係設有第一抽氣道、第二抽氣道及第三抽氣道，該第一抽氣道係連通第一承置區的第一容置槽212、第一吸台件241及第一抽氣控制件251，該第二抽氣道係連通第二承置區的第二容置槽214、第二吸台件242及第二抽氣控制件252，該第三抽氣道係連通第三承置區的第三容置槽216、第三吸台件243及第三抽氣控制件253，於本實施例中，該第一抽氣道係於承台21之第一容置槽212內底面設有至少一為通孔之第一流道段，於本實施例中，係設有複數個呈環形排列之第一流道段2122，複數個第一流道段2122係連通第一吸台件241，又第一抽氣道並於座體22設有至少一連通第一流道段之第二流道段，於本實施例中，該第二流道段係於座體22之第三面相對應第一流道段2122之位置設有可供氣體流動之第一環槽2211，並於第一環槽2211開設有複數個相通至座體22第四面之第一通孔2212，該第一抽氣道另於支撐軸23內設有至少一連通第二流道段之第三流道段，於本實施例中，第三流道段係於支撐軸23內開設複數個連通第一通孔2212之第一軸孔2321，複數個第一軸孔2321連通位於支撐軸23外環面之第一軸槽2322，第一軸槽2322再連通固定軸座231上開設之複數個第一通氣孔2311，第一通氣孔2311連接第一抽氣控制件251，進而第一流道段2122、第一環槽2211、第一通孔2212、第一軸孔2321、第一軸槽2322及第一通氣孔2311即組成第一抽氣道，該第二抽氣道係於承台21之第二容置槽214內底面設有至少一為通孔之第四流道段，於本實施例中，係於第二容置槽214內底面設有第四流道段2142，第四流道段2142連通第二吸台件242，又第二抽氣道並於座體22設有至少一連通第四流道段之第五流道段，於本實施例中，該第五流道段係於座體22之第三面相對應第四流道段214
2之位置設有可供氣體流動之第二環槽2213，並於第二環槽2213開設有複數個相通至座體22第四面之第二通孔2214，該第二抽氣道另於支撐軸23內設有至少一連通第五流道段之第六流道段，於本實施例中，第六流道段係於支撐軸23內開設複數個連通第二通孔2214之第二軸孔2323，複數個第二軸孔2323係連通位於支撐軸23外環面之第二軸槽2324，第二軸槽2324再連通固定軸座231上開設之複數個第二通氣孔2312，複數個第二通氣孔2312則連接第二抽氣控制件252，進而第四流道段2142、第二環槽2213、第二通孔2214、第二軸孔2323、第二軸槽2324及第二通氣孔2312即組成第二抽氣道，該第三抽氣道係於承台21之第三容置槽216內底面設有至少一為通孔之第七流道段，於本實施例中，係於第三容置槽216內底面設有第七流道段2162，第七流道段2162連通第三吸台件243，又第三抽氣道並於座體22設有至少一連通第七流道段之第八流道段，於本實施例中，該第八流道段係於座體22之第三面相對應第七流道段2162之位置設有可供氣體流動之第三環槽2215，並於第三環槽2215開設有複數個相通至座體22第四面之第三通孔2216，該第三抽氣道另於支撐軸23內設有至少一連通第八流道段之第九流道段，於本實施例中，第九流道段係於支撐軸23內開設複數個連通第三通孔2216之第三軸孔2325，複數個第三軸孔2325係連通位於支撐軸23外環面之第三軸槽2326，第三軸槽2326再連通固定軸座231上開設之複數個第三通氣孔2313，複數個第三通氣孔2313則連接第三抽氣控制件253，進而該第七流道段2162、第三環槽2215、第三通孔2216、第三軸孔2325、第三軸槽2326及第三通氣孔2313即組成第三抽氣道，再者，該承置器之容置槽內環面係開設有至少一支氣道，並於該承置區設有至少一環溝，該環溝係設有至少一連通該支氣道之吸孔，更進一步，該流路結構係於承置器之承台21的第一直肋條213內開設有相通至第一容置槽212之第一支氣道2171，並於第一環形肋條2111凹設有第一環溝2172，且於第一環溝2172相對應第一支氣道2171之位置開設有第一吸孔2173，用以吸
附位於第一承置區處之物件的外周緣定位而防止翹曲，又該流路結構係於承台21的第二直肋條215內開設有相通至第二容置槽214之第二支氣道2174，並於第二環形肋條2112凹設有第二環溝2175，且於第二環溝2175相對應第二支氣道2174之位置開設有第二吸孔2176，用以吸附位於第二承置區處之物件的外周緣定位而防止翹曲，另該流路結構係於承台21之第三承置區內環面開設有相通至第三容置槽216之第三支氣道2177，並於第三承置區之外側凹設有第三環溝2178，且於第三環溝2178相對應第三支氣道2177之位置開設有第三吸孔2179，用以吸附位於第三承置區處之物件的外周緣定位而防止翹曲。
請參閱第10、11、12、13圖，本發明之吸載機構20可應用於不同作業設備，例如車床之工作台或電子元件測試分類設備之移料裝置，以吸附物件(如塑膠膜片或電子元件)定位，進而便利作業裝置對物件執行預設作業，以本發明吸載機構20應用於車床30為例，該車床30係於機台31之一側設有具加工刀具之加工裝置32，並於另一側機架33上裝配有可吸附塑膠膜片定位之吸載機構20；當車床30欲加工尺寸較小之塑膠膜片41時，由於塑膠膜片41之尺寸位於承置器之第一承置區的區域範圍內，可利用人工或機械手臂將待作業之塑膠膜片41置放於吸載機構20之第一承置區的第一吸台件241上，業者即可選擇控制開啟第一抽氣控制件251，並關閉第二、三抽氣控制件252、253，而易於防止第二、三抽氣道及第二、三吸台件242、243破真空，亦即毋須於第二、三吸台件242、243黏貼膠帶，進而節省作業時間及提升作業便利性；於開啟第一抽氣控制件251後，其係利用第一抽氣道位於支撐軸23之第一通氣孔2311、第一軸槽2322及第一軸孔2321連通座體22之第一通孔2212及第一環槽2211，再經由第一環槽2211連通至承台21之第一流道段2122及第二容置槽212，而對第一吸台件241抽氣，使第一吸台件241形成負壓狀態以吸附待作業之塑膠膜片41定位，另該第一流道段2122於抽氣時，可利用第一支氣道2171經第一環溝2172而使第一吸孔217
3抽氣，令第一吸孔2173吸附待作業塑膠膜片41之外周緣定位而防止翹曲，於支撐軸23帶動座體22、承台21及塑膠膜片41旋轉作動時，即可供車床30之加工裝置32對塑膠膜片42進行加工作業。
請參閱第11、12、14、15圖，當車床30欲加工尺寸較大之塑膠膜片42時，由於塑膠膜片42之尺寸位於第一、二、三承置區的區域範圍內，於第一、二、三承置區處之第一、二、三吸台件241、242、243承置塑膠膜片42後，業者即可選擇控制開啟第一、二、三抽氣控制件251、252、253，該第一抽氣控制件251即利用第一抽氣道位於支撐軸23之第一通氣孔2311、第一軸槽2322及第一軸孔2321連通座體22之第一通孔2212及第一環槽2211，再經由第一環槽2211連通至承台21之第一流道段2122及第一容置槽212，而對第一吸台件241抽氣，使第一吸台件241形成負壓狀態以吸附待作業之塑膠膜片41定位，並可經由第一支氣道2171、第一環溝2172使第一吸孔2173吸附塑膠膜片42而增加吸附面積及防止翹曲，該第二抽氣控制件252係利用第二抽氣道位於支撐軸23之第二通氣孔2312、第二軸槽2324及第二軸孔2323連通座體22之第二通孔2214及第二環槽2213，再經由第二環槽2213連通至承台21之第四流道段2142及第二容置槽214，而對第二吸台件242抽氣，使第二吸台件242形成負壓狀態以吸附待作業之塑膠膜片42定位，並可經由第二支氣道2174、第二環溝2175使第二吸孔2176吸附塑膠膜片42而增加吸附面積及防止翹曲，該第三抽氣控制件253則利用第三抽氣道位於支撐軸23之第三通氣孔2313、第三軸槽2326及第三軸孔2325連通座體22之第三通孔2216及第三環槽2215，再經由第三環槽2215連通至承台21之第七流道段2162及第三容置槽216，而對第三吸台件243抽氣，使第三吸台件243形成負壓狀態以吸附待作業之塑膠膜片42定位，並可經由第三支氣道2177、第三環溝2178使第三吸孔2179吸附塑膠膜片42而增加吸附面積及防止翹曲，於支撐軸23帶動座體22、承台21及塑膠膜片42旋轉作動時，即可供車床30之加工裝置32對
塑膠膜片42進行加工作業。
Claims (9)
- 一種物件吸載機構，包含：承置器：其包含承台、座體及支撐軸，該承台係設有複數個不同區域之承置區，該複數個承置區分別設有至少一容置槽，該座體係連結該承台，該支撐軸係連結該座體；複數個吸台件：其係裝配於該承置器之複數個承置區，以吸附該物件；複數個抽氣控制件：其係控制該複數個吸台件吸放該物件；流路結構：其係於該承台、該座體及該支撐軸之間設有複數個抽氣道，該複數個抽氣道係連通該承台之該複數個承置區及該複數個抽氣控制件，該複數個抽氣控制件可控制該複數個抽氣道啟閉，以控制該複數個不同區域之承置區處的吸台件吸放該物件。
- 依申請專利範圍第1項所述之物件吸載機構，其中，該承置器之容置槽係設有至少一承置該吸台件之凸塊。
- 依申請專利範圍第1項所述之物件吸載機構，其中，該承置器之容置槽內環面係開設有至少一支氣道，並於該承置區設有至少一環溝，該環溝係設有至少一連通該支氣道之吸孔。
- 依申請專利範圍第1項所述之物件吸載機構，其中，該流路結構之抽氣道係設有複數個相通之流道段，複數個流道段分別設於該承台、該座體及該支撐軸，並以位於該承台之流道段連通該容置槽，以及位於該支撐軸之另一流道段連通該抽氣控制件。
- 依申請專利範圍第4項所述之物件吸載機構，其中，該流路結構位於該底座處之又一流道段係於相對應該承台之流道段位置設有可供氣體流動之環槽，並於該環槽開設有至少一通孔。
- 依申請專利範圍第5項所述之物件吸載機構，其中，該流路結構位於該支撐軸處之另一流道段係設有相通該底座處之又一流道段的軸孔，該軸孔係連通該支撐軸外環面之軸槽，該軸槽再連通至少一通氣孔，該通氣孔則連接該抽氣控制件。
- 依申請專利範圍第6項所述之物件吸載機構，其中，該支撐軸之第一端係連結該座體，並於第二端裝配有固定軸座，該流路結構係於該固定軸座開設有該通氣孔。
- 依申請專利範圍第4項所述之物件吸載機構，其中，該承台之複數個承置區係為第一、二、三承置區，該複數個抽氣控制件係為第一、二、三抽氣控制件，該流路結構之複數個抽氣道係為第一、二、三抽氣道，該第一抽氣道係於該承台設有連通該第一承置區之第一流道段，並於該座體設有連通該第一流道段之第二流道段，以及於該支撐軸設有連通該第二流道段之第三流道段，該第二抽氣道係於該承台設有連通該第二承置區之第四流道段，並於該座體設有連通該第四流道段之第五流道段，以及於該支撐軸設有連通該第五流道段之第六流道段，該第三抽氣道係於該承台設有連通該第三承置區之第七流道段，並於該座體設有連通該第七流道段之第八流道段，以及於該支撐軸設有連通該第八流道段之第九流道段。
- 依申請專利範圍第8項所述之物件吸載機構，其中，該流路結構之第二流道段係於該座體相對應該第一流道段之位置設有可供氣體流動之第一環槽，並於該第一環槽開設有至少一第一通孔，該第三流道段係於該支撐軸內開設連通該第一通孔之至少一第一軸孔，該第一軸孔連通該支撐軸外環面之第一軸槽，該第一軸槽再連通至少一第一通氣孔，該第一通氣孔則連接該第一抽氣控制件，該流路結構之第五流道段係於該座體相對應該第四流道段之位置設有可供氣體流動之第二環槽，並於該第二環槽開設有至少一第二通孔，該第六流道段係於該支撐軸內開設連通該第二通孔之至少一第二軸孔，該第二軸孔連通該支撐軸外環面之第二軸槽，該第二軸槽再連通至少一第二通氣孔，該第二通氣孔則連接該第二抽氣控制件，該流路結構之第八流道段係於該座體相對應該第七流道段之位置設有可供氣體流動之第三環槽，並於該第三環槽開設有至少一第三通孔，該第九流道段係於該支撐軸內開設連通該第三通孔之至少一第三軸孔，該第三軸孔連通該支撐軸外環面之第三軸槽，該第三軸槽再連通至少一第三通氣孔，該第三通氣孔則 連接該第三抽氣控制件。
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