JP2014086485A - 搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持テーブル2に保持され裏面Wb側に表出した溝Gを有する溝付き板状ワークWを搬送手段4によって搬出する際に、搬送パッド40の保持面400において溝付き板状ワークWの裏面Wbを吸引するとともに、水供給手段5の供給口51から側面Wcに水9を供給し続けることにより水9によって溝Gを封止し、溝Gから吸引力がもれるのを防ぎ、溝付き板状ワークWを確実に吸引保持する。
【選択図】図1
Description
図4に示すように、研削後の溝付き板状ワークWは、溝Gが裏面Wb側から表出し、裏面Wbが上向きに露出している。バルブ23は開いた状態となっており、溝付き板状ワークWの表面Wa側は、吸引源24からの吸引力により吸引保持されている。上下駆動部44は、モータ441の駆動によりボールネジ440を回動させ、搬送パッド40を溝付き板状ワークWの裏面Wbにむけて、例えば矢印Z1方向に下降させる。
吸引工程を継続しながら、水供給手段5によって図3に示した溝付き板状ワークWの溝Gから吸引力がもれないようにワーク吸引保持を実施する。具体的には、図5に示す水供給手段5は、水供給源54の作動とともに第2の開閉バルブ53を開き、水9を供給路52に供給する。
ワーク吸引保持工程を継続しながら、溝付き板状ワークWを保持テーブル2から搬出する。まず、図5に示す保持テーブル2は、バルブ23を閉じて溝付き板状ワークWの吸引保持を解除する。次いで、保持テーブル2は、供給源26の作動とともにバルブ25を開いてエアーを溝付き板状ワークWの表面Waにむけて供給する。これにより、エアーの圧力によって溝付き板状ワークWが保持面21から離反しやすい状態となる。
2:保持テーブル
20:保持部 21:保持面 22:流路 23:バルブ 24:吸引源
25:バルブ 26:供給源
3:研削手段 30:スピンドル 31:マウント 32:研削ホイール 33:砥石
4:搬出手段 40:搬送パッド 40a:保持部材 40b:枠体
400:保持面 401:外周部 402:傾斜部
41:連結部
42:搬送アーム
43:第1の開閉バルブ
44:上下駆動部 440:ボールネジ 441:モータ
45:吸引路
46:吸引源
5:水供給手段 50:ハウジング 51:供給口 52:供給路 53:第2の開閉バルブ54:水供給源
6:昇降部
7:支持部
8:移動駆動部
9:水
W:溝付き板状ワーク Wa:表面 Wb:裏面 Wc:側面
T:保護テープ D:デバイス G:溝 N:ノッチ
Claims (1)
- 表面に溝が形成され該表面に保護テープが貼着された溝付き板状ワークの該表面を該保護テープを介して保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された溝付き板状ワークの裏面を研削し該溝を該裏面側から表出させる研削手段と、該研削手段により研削された溝付き板状ワークの該裏面を吸引保持して該保持テーブルから溝付き板状ワークを搬出する搬出手段と、を少なくとも備える研削装置を用いて溝付き板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出方法であって、
該搬出手段は、溝付き板状ワークを吸引保持する保持面を有する搬送パッドと、該保持面と吸引源との間の連通と遮断とを切り替える第1の開閉バルブと、該搬送パッドを上下動作させる上下駆動部と、により少なくとも構成され、
該保持テーブルが保持する溝付き板状ワークの裏面に該搬送パッドの該保持面が接触したときに該溝付き板状ワークの側面に水を供給する水供給手段が該搬送パッドの外周側に配設され、
該水供給手段は、該搬送パッドの外周側から水を放出する供給口と、
該供給口と水供給源とを連通させる供給路と、
該供給路に配設され該供給路を開閉する第2の開閉バルブと、から少なくとも構成されており、
該上下駆動部の駆動により該保持テーブルが保持する研削加工後の溝付き板状ワークの裏面に該搬送パッドの該保持面を接触させ、該第1の開閉バルブを開き該搬送パッドの該保持面が吸引源に連通して該保持面が溝付き板状ワークの裏面を吸引する吸引工程と、
該吸引工程を継続しつつ、該水供給手段の該第2の開閉バルブを開き該供給口から該溝付き板状ワークの側面に水を供給し、該搬送パッドによって該溝付き板状ワークを吸引保持するワーク吸引保持工程と、
該ワーク吸引保持工程を継続しつつ、該保持テーブルによる該溝付き板状ワークの保持を解除するとともに該上下駆動部によって該搬送パッドを上昇させ、該溝付き板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出工程と、からなる搬出方法。
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