KR102185240B1 - 판형 워크의 반출 방법 - Google Patents

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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은 척 테이블로부터 판형 워크를 반출할 때에, 판형 워크의 하면에 연삭 부스러기를 부착시키지 않도록 하는 것을 목적으로 한다.
흡인 라인(6)에 의해 다공성판(2)과 흡인원(7)을 연통시켜 흡인 영역(3)으로 판형 워크(W)를 흡인 유지하면서 세정수 공급 라인(13)에 세정수(14)를 공급하여 흡인 영역(3)의 외주 부분으로부터 세정수(14)를 분출시켜 판형 워크(W)의 외주부만을 흡인 영역(3)으로부터 부상시키는 외주 부상 공정과, 반출 수단(20)으로 판형 워크(W)를 유지하는 판형 워크 유지 공정과, 척 테이블(1)로부터 판형 워크(W) 전체를 이격시켜 척 테이블(1)로부터 판형 워크(W)를 반출하는 반출 공정을 실시함으로써, 판형 워크(W)의 외주부(Wc)가 흡인 영역(3)에 흡반같이 달라붙어 판형 워크(W)가 만곡하여 깨지는 것을 방지하고, 판형 워크(W)를 척 테이블(1)로부터 반출할 때에 판형 워크(W)의 하면(Wb)에 연삭 부스러기가 부착되는 것을 방지한다.

Description

판형 워크의 반출 방법{METHOD FOR CARRYING OUT PLATE­SHPAED WORK}
본 발명은 척 테이블에 유지된 판형 워크를 반출하는 방법에 관한 것이다.
판형 워크에 연삭을 실시하는 연삭 지석을 갖는 연삭 장치에 있어서 척 테이블에 유지된 판형 워크를 원하는 두께로 연삭한 후, 상기 척 테이블로부터 판형 워크를 반출할 때에는, 예컨대, 반출 수단의 흡인 패드로 판형 워크의 상면을 흡인 유지하고, 척 테이블로부터 기체(예컨대 에어)나 액체(예컨대 세정수)를 분출하여 판형 워크를 부상(浮上)시킨 후, 반출 수단이 상승함으로써 판형 워크를 척 테이블로부터 반출하고 있다.
척 테이블로부터 에어만을 분출하여 판형 워크를 부상시키는 경우에는, 연삭시에 사용한 연삭수가 판형 워크에 부착되어 있는 영향으로 척 테이블로부터 분출한 에어가 국소적으로 판형 워크를 부상시켜 버려, 판형 워크가 깨지는 경우가 있다. 또한, 판형 워크의 중앙 부분에 에어를 내뿜으면, 상기 중앙 부분만이 부상하고, 판형 워크의 외주부가 척 테이블의 유지면에 흡반(吸盤)같이 달라붙어 판형 워크가 만곡하여 깨지는 경우도 있다.
한편, 척 테이블로부터 세정수만을 분출하여 판형 워크를 부상시키는 경우에는, 판형 워크를 부상시키는 데 시간이 걸린다. 또한, 판형 워크의 유지면과 판형 워크의 하면 사이에 액체가 개재함으로써, 액체의 표면 장력이 판형 워크의 반출시의 방해가 된다.
그래서, 척 테이블의 유지면으로부터 판형 워크의 중앙 부분을 향해, 에어와 세정수를 혼합시킨 혼합 유체를 분출하여 판형 워크를 부상시킴으로써, 세정수의 표면 장력을 저하시키고, 국소적으로 판형 워크가 부상하는 것을 방지하는 기술이 제안되어 있다(예컨대, 하기의 특허문헌 1을 참조).
일본 특허 공개 제2013-184269호 공보
여기서, 판형 워크의 연삭시에는, 판형 워크의 외주부로부터 척 테이블의 내부[다공성판(porous plate)]에 연삭 부스러기가 침입하고 있어, 반출 수단에 의해 척 테이블로부터 연삭 후의 판형 워크를 반출할 때에, 상기한 바와 같은 혼합 유체를 척 테이블로부터 판형 워크의 중앙 부분에 분출함으로써, 다공성판으로부터 연삭 부스러기가 뿜어 나와 판형 워크의 하면에 부착되어 버린다고 하는 문제가 있다.
또한, 척 테이블로부터 판형 워크를 반출할 때에, 척 테이블로부터 판형 워크의 중앙 부분에 혼합 유체를 분출함으로써, 국소적으로 판형 워크가 부상할 우려는 저감되지만, 판형 워크가 만곡하여 깨지는 경우가 있기 때문에, 개선이 필요하다.
본 발명은 상기한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 척 테이블로부터 판형 워크를 이격시켜 반출할 때에, 판형 워크의 깨짐 및 판형 워크의 하면에의 연삭 부스러기의 부착을 방지하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명은 판형 워크를 흡인 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블이 흡인 유지하는 판형 워크를 연삭 가공하는 연삭 수단과, 상기 연삭 수단에 의해 연삭된 판형 워크를 유지하여 상기 척 테이블로부터 판형 워크를 반출하는 반출 수단을 포함하는 연삭 장치에서, 연삭 가공을 실시한 판형 워크를 상기 반출 수단으로 상기 척 테이블로부터 반출하는 반출 방법으로서, 상기 척 테이블이 판형 워크를 흡인 유지하는 흡인 영역을 갖는 다공성판(porous plate)과, 상기 흡인 영역을 개방시켜 상기 다공성판의 측면과 하면을 둘러싸는 프레임체와, 상기 프레임체의 바닥면의 중앙 부분에 형성되며 상기 다공성판과 흡인원을 연통(連通)시키는 흡인 라인과, 상기 프레임체의 바닥면의 외주 부분 또는 상기 프레임체의 내측면에 형성되며 상기 다공성판과 세정수 공급원을 연통시켜 상기 흡인 영역의 외주 부분으로부터 세정수를 분출시키는 세정수 공급 라인을 포함하고, 상기 판형 워크의 반출 방법은 상기 흡인 라인으로 상기 다공성판과 상기 흡인원을 연통시켜 상기 흡인 영역으로 판형 워크를 흡인 유지하면서 상기 세정수 공급 라인에 세정수를 공급하여 상기 흡인 영역의 외주 부분으로부터 세정수를 분출시켜 판형 워크의 외주부만을 상기 흡인 영역으로부터 부상(浮上)시키는 외주 부상 공정과, 상기 반출 수단으로 판형 워크를 유지하는 판형 워크 유지 공정과, 상기 판형 워크 유지 공정과 상기 외주 부상 공정 후에, 상기 흡인 영역에서의 판형 워크의 흡인을 차단하고 상기 척 테이블로부터 판형 워크 전체를 이격시켜 상기 척 테이블로부터 판형 워크를 반출하는 반출 공정을 포함한다.
본 발명에 따른 판형 워크의 반출 방법은, 척 테이블의 흡인 영역으로 판형 워크를 흡인 유지하면서 세정수 공급 라인에 세정수를 공급하여 흡인 영역의 외주 부분으로부터 세정수를 분출시켜 판형 워크의 외주부만을 흡인 영역으로부터 부상시키는 외주 부상 공정과, 반출 수단에 의해 판형 워크를 유지하는 판형 워크 유지 공정과, 판형 워크 유지 공정 및 상기 외주 부상 공정 후, 흡인 영역에서의 판형 워크의 흡인을 차단하여 척 테이블로부터 판형 워크 전체를 이격시켜 척 테이블로부터 판형 워크를 반출하는 반출 공정을 구비하고, 판형 워크 전체를 부상시키기 전에, 판형 워크의 외주부만을 부상시키기 때문에, 판형 워크가 만곡하여 깨지는 일이 없다. 또한, 다공성판의 내부에 침입한 연삭 부스러기를 세정수에 의해 배출할 수 있어, 판형 워크를 척 테이블로부터 반출할 때에 판형 워크에 연삭 부스러기가 부착되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 판형 워크에 부착된 연삭 부스러기를 제거하는 세정 기구를 별도로 설치할 필요가 없어진다.
도 1은 판형 워크를 유지하는 척 테이블, 판형 워크를 흡인 유지하여 반출하는 반출 수단 및 이 반출 수단을 승강시키는 승강 수단의 구성을 도시한 단면도.
도 2는 반출 방법의 제1 예의 판형 워크 유지 공정을 도시한 단면도.
도 3은 반출 방법의 제1 예의 외주 부상 공정을 도시한 단면도.
도 4는 반출 방법의 제1 예의 판형 워크 부상 공정을 도시한 단면도.
도 5는 반출 방법의 제1 예의 반출 공정을 도시한 단면도.
도 6은 판형 워크를 유지하는 척 테이블, 판형 워크의 외주부를 에지 클램프하여 반출하는 반출 수단 및 이 반출 수단을 승강시키는 승강 수단의 구성을 도시한 단면도.
도 7은 반출 방법의 제2 예의 외주 부상 공정을 도시한 단면도.
도 8은 반출 방법의 제2 예의 판형 워크 유지 공정을 도시한 단면도.
도 9는 반출 방법의 제2 예의 판형 워크 부상 공정을 도시한 단면도.
도 10은 반출 방법의 제2 예의 반출 공정을 도시한 단면도.
1 판형 워크의 반출 방법의 제1 예
먼저, 피가공물인 판형 워크에 연삭을 실시하는 연삭 장치의 구성에 대해 설명한다. 연삭 장치는, 도 1에 도시한 바와 같이, 판형 워크를 흡인 유지하는 척 테이블(1)과, 척 테이블(1)이 흡인 유지하는 판형 워크에 연삭을 실시하는 연삭 수단(15)과, 연삭 수단(15)에 의해 연삭된 판형 워크를 흡인 유지하여 척 테이블(1)로부터 반출하는 반출 수단(20)과, 반출 수단(20)을 연직 방향(Z축 방향)으로 승강시키는 승강 수단(30)을 적어도 구비하고 있다.
척 테이블(1)은, 원반 형상으로 형성되는 다공성판(2)과, 다공성판(2)의 측면과 하면을 둘러싸는 프레임체(4)를 구비하고 있다. 다공성판(2)은, 그 상면이 판형 워크를 흡인 유지하는 흡인 영역(3)으로 되어 있다. 프레임체(4)에는, 다공성판(2)의 직경보다 약간 대직경의 오목부(5)가 형성되어 있다. 프레임체(4)의 오목부(5)에 다공성판(2)을 그 하면측으로부터 끼워 넣고, 흡인 영역(3)을 노출시켜 개방하며, 다공성판(2)의 측면과 하면을 둘러싸서 척 테이블(1)로서 사용할 수 있다.
척 테이블(1)은, 프레임체(4)의 오목부(5)의 바닥면(5a)의 중앙 부분에 연통하여 형성된 흡인 라인(6)과, 프레임체(4)의 오목부(5)의 내측면(5b)에 연통하여 형성된 세정수 공급 라인(9)을 구비하고 있다. 흡인 라인(6)은, 흡인 밸브(8)를 통해 흡인원(7)에 접속되어 있다. 흡인 밸브(8)를 개방하면, 다공성판(2)과 흡인원(7)을 연통시켜, 흡인 라인(6)을 통해 흡인 영역(3)으로 판형 워크를 흡인 유지할 수 있다.
세정수 공급 라인(9)은, 제1 공급 밸브(11)를 통해 세정수 공급원(10)에 접속되어 있다. 제1 공급 밸브(11)를 개방하면, 다공성판(2)과 세정수 공급원(10)을 연통시켜, 세정수 공급 라인(9)을 통해 프레임체(4)의 오목부(5)의 내측면(5b)으로부터 다공성판(2)의 측면에 세정수를 공급하여, 흡인 영역(3)의 외주 부분으로부터 세정수를 분출시킬 수 있다. 도 1의 예에서의 세정수 공급 라인(9)은, 오목부(5)의 내측면(5b)에 형성되어 있으나, 세정수 공급 라인(9)은, 오목부(5)의 바닥면(5a)의 외주 부분에 형성되어 있어도 좋다.
흡인 라인(6)과 세정수 공급 라인(9) 사이에는, 제2 공급 밸브(12)가 배치되어 있다. 흡인 밸브(8)를 폐쇄하고, 제1 공급 밸브(11) 및 제2 공급 밸브(12)를 개방함으로써, 세정수 공급 라인(9), 세정수 공급 라인(13) 및 흡인 라인(6)을 통해 다공성판(2)의 흡인 영역(3)에 원하는 수압으로 세정수를 공급할 수 있다.
연삭 수단(15)은, 회전 가능한 스핀들(150)과, 스핀들(150)의 하단에 장착된 마운트(151)와, 마운트(151)에 장착된 연삭 휠(152)로 구성되고, 연삭 휠(152)의 하면에는 원환형으로 고착된 연삭 지석(153)을 구비하고 있다. 연삭 수단(15)은, 연삭 이송 수단(16)에 의해, 척 테이블(1)에 대해 접근하는 방향 및 이격하는 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
반출 수단(20)은, 아암부(21)와, 아암부(21)의 일단에 연결부(22)를 통해 접속된 반송 패드(23)를 구비하고 있다. 반송 패드(23)는, 판형 워크를 흡인 유지하는 흡인 유지면(24)을 갖고 있으며, 흡인원(25)에 접속되어 있다. 한편, 반송 패드(23)는, 판형 워크보다 소직경으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
승강 수단(30)은, Z축 방향으로 연장되는 볼 나사(31)와, 볼 나사(31)의 일단에 접속된 모터(32)와, 볼 나사(31)와 평행하게 연장되는 가이드(33)와, 반출 수단(20)의 아암부(21)의 타단에 연결된 승강부(34)를 구비하고 있다. 승강부(34)에 가이드(33)가 슬라이딩 접촉하고, 승강부(34)의 중앙부에 형성된 너트에 볼 나사(31)가 나사 결합되어 있으며, 모터(32)가 볼 나사(31)를 회동시킴으로써, 승강부(34)와 함께 반출 수단(20)을 가이드(33)를 따라 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다.
다음으로, 반출 수단(20)을 이용하여 척 테이블(1)로부터 판형 워크(W)를 반출하는 방법에 대해 설명한다. 판형 워크(W)는, 원반형의 피가공물의 일례이며, 특별히 재질 등이 한정되는 것은 아니다. 판형 워크(W) 중 연삭되는 면이 상면(Wa)으로 되어 있고, 이 상면(Wa)과 반대측에 있는 면이 척 테이블(1)에 흡인 유지되는 하면(Wb)으로 되어 있다. 연삭 수단(15)에 의한 연삭 가공 후의 판형 워크(W)는, 하면(Wb)이 척 테이블(1)에 흡인 유지된 상태로 되어 있다.
판형 워크 유지 공정
도 2에 도시한 바와 같이, 승강 수단(30)이 볼 나사(31)를 회동시켜서 승강부(34)와 함께 반출 수단(20)을 예컨대 Z1 방향으로 하강시켜, 반송 패드(23)의 흡인 유지면(24)을 판형 워크(W)의 상면(Wa)에 접촉시킨다. 그 후, 흡인원(25)에 의해 흡인 유지면(24)에 흡인력을 작용시켜 반송 패드(23)의 흡인 유지면(24)으로 판형 워크(W)의 상면(Wa)을 흡인 유지한다. 이렇게 해서, 반출 수단(20)은, 척 테이블(1)에 흡인 유지되어 있는 판형 워크(W)를 흡인 유지한다. 이 시점에서는, 흡인 밸브(8)가 개방되어 있어, 척 테이블(1)도 판형 워크(W)를 흡인 유지하고 있다.
(2) 외주 부상 공정
상기한 바와 같이, 척 테이블(1) 및 반출 수단(20)에 의해 판형 워크가 상하면으로부터 흡인된 상태에서, 도 3에 도시한 바와 같이, 척 테이블(1)의 흡인 영역(3)으로부터 판형 워크(W)의 외주부(Wc)만을 부상시킨다. 구체적으로는, 흡인 밸브(8)를 개방한 상태인 채로 하여 판형 워크(W)의 하면(Wb)의 중앙 부분을 흡인 영역(3)으로 흡인 유지하면서, 제1 공급 밸브(11)를 개방하여 세정수 공급원(10)과 다공성판(2)을 세정수 공급 라인(9)을 통해 연통시킨다.
이에 의해, 세정수 공급 라인(9)을 따라 다공성판(2)의 측면에 세정수(14)가 유입되고, 흡인 영역(3)의 외주 부분으로부터 세정수(14)가 분출된다. 반송 패드(23)가 판형 워크(W)보다 소직경으로 형성되어 있기 때문에, 분출된 세정수(14)가 판형 워크(W)의 외주부(Wc)를 하방으로부터 밀어 올려 외주부(Wc)만을 흡인 영역(3)으로부터 부상시킨다. 이때, 다공성판(2)의 내부에 침입하고 있는 연삭 부스러기는, 흡인원(7)으로부터의 흡인력에 의해 세정수(14)와 함께 다공성판(2)으로부터 배출되고, 판형 워크(W)의 외주에 부착되어 있는 연삭 부스러기는, 분출된 세정수(14)에 의해 외측으로 토출된다. 이러한 외주 부상 공정은, 상기한 판형 워크 유지 공정 전에 실시해도 좋다.
(3) 판형 워크 부상 공정
계속해서, 도 4에 도시한 바와 같이, 척 테이블(1)의 흡인 영역(3)으로부터 판형 워크(W) 전체를 부상시킨다. 구체적으로는, 제1 공급 밸브(11)를 개방한 채로, 흡인 밸브(8)를 폐쇄하여 흡인 영역(3)에서의 판형 워크(W)의 흡인을 차단한다. 이와 함께 제2 공급 밸브(12)를 개방하여, 흡인 영역(3)에 공급하는 세정수의 공급량이 예컨대 5 L/min 이상이 되도록 한다.
다공성판(2)의 측면에 유입되는 세정수의 공급량이 예컨대 5 L/min 이상이 되면, 다공성판(2)의 흡인 영역(3)의 외주 부분으로부터 중앙을 향해 세정수(14)가 흘러간다. 이 세정수(14)에 의해 판형 워크(W)를 하방으로부터 밀어 올려, 판형 워크(W) 전체를 흡인 영역(3)으로부터 부상시킨다. 한편, 흡인 영역(3)에의 세정수의 공급 경로에 승압 수단을 설치하여 세정수의 공급 압력을 높이도록 하면, 흡인 영역(3) 전체로 세정수를 널리 퍼지게 하여 확실하게 판형 워크(W)를 부상시킬 수 있다. 그 승압 수단은, 판형 워크(W)의 연삭 중 등의 척 테이블(1)의 회전시에는 작동하지 않도록 제어한다.
(4) 반출 공정
판형 워크(W) 전체가 흡인 영역(3)으로부터 부상한 후, 도 5에 도시한 바와 같이, 모터(32)가 볼 나사(31)를 회동시킴으로써 승강부(34)와 함께 반출 수단(20)을 Z2 방향으로 상승시켜, 반송 패드(23)가 흡인 유지하고 있는 판형 워크(W)를 척 테이블(1)로부터 이격시켜, 판형 워크(W)를 반출한다. 그리고, 반출한 판형 워크(W)를 원하는 반송처에 반송한다.
이와 같이, 판형 워크의 반출 방법의 제1 예에서는, 척 테이블(1)로 판형 워크(W)를 흡인 유지하면서 다공성판(2)의 흡인 영역(3)의 외주 부분으로부터 세정수(14)를 분출시켜 판형 워크(W)의 외주부(Wc)만을 부상시키고, 그 후, 판형 워크 부상 공정을 실시하여 흡인 영역(3)으로부터 판형 워크(W) 전체를 부상시켜 가기 때문에, 판형 워크(W)의 외주부(Wc)가 흡인 영역(3)에 흡반같이 달라붙어 판형 워크(W)가 만곡하여 깨지는 일은 없다.
또한, 흡인 영역(3)의 외주 부분으로부터 세정수(14)를 분출하여 판형 워크(W)의 외주부(Wc)를 먼저 부상시키기 때문에, 다공성판(2)의 내부에 침입한 연삭 부스러기를 세정수(14)에 의해 미리 배출할 수 있어, 판형 워크(W)를 척 테이블(1)로부터 반출할 때에 판형 워크(W)의 하면(Wb)에 연삭 부스러기가 부착되는 것을 방지할 수 있다.
2 판형 워크의 반출 방법의 제2 예
판형 워크(W)를 척 테이블(1)로부터 반출하는 수단으로서, 도 6에 도시한 바와 같이, 판형 워크(W)의 외주부(Wc)를 에지 클램프하는 반출 수단(40)을 사용해도 좋다. 반출 수단(40)은, 아암부(41)와, 아암부(41)의 일단에 있어서 연결부(42)를 통해 접속된 플레이트(43)와, 플레이트(43)의 외주측에 배치되며 플레이트(43)의 직경 방향으로 이동 가능한 개폐 기구(44)와, 판형 워크(W)의 외주부(Wc)를 에지 클램프하는 외주 유지부(45)를 구비하고 있다. 외주 유지부(45)는 개폐 기구(44)에 접속되어 있다. 판형 워크(W)의 사이즈에 따라 개폐 기구(44)가 플레이트(43)의 직경 방향으로 이동함으로써, 판형 워크(W)의 사이즈에 맞춰 판형 워크를 외주측으로부터 유지할 수 있다. 한편, 도 6에 도시한 연삭 장치는, 반출 수단(40) 이외의 구성은 도 1과 동일하기 때문에, 도 1과 동일하게 구성되는 부위에는 동일한 부호를 붙이고, 그 설명은 생략하기로 한다.
다음으로, 반출 수단(40)을 이용하여 척 테이블(1)로부터 판형 워크(W)를 반출하는 방법에 대해 설명한다. 한편, 판형 워크의 반출 방법의 제1 예와 마찬가지로, 연삭 후의 판형 워크(W)는 척 테이블(1)에 흡인 유지되어 있다.
(1) 외주 부상 공정
도 7에 도시한 바와 같이, 척 테이블(1)의 흡인 영역(3)으로부터 판형 워크(W)의 외주부(Wc)만을 부상시킨다. 즉, 판형 워크(W)의 하면(Wb)의 중앙 부분을 흡인 영역(3)으로 흡인 유지하면서, 제1 공급 밸브(11)를 개방하여 세정수 공급 라인(9)을 통해 다공성판(2)의 측면측으로부터 그 내부에 세정수(14)를 유입시킨다. 이에 의해, 다공성판(2)의 흡인 영역(3)의 외주 부분으로부터 세정수(14)가 분출하여 판형 워크(W)의 외주부(Wc)를 하방으로부터 밀어 올려, 판형 워크(W)의 외주부(Wc)만을 흡인 영역(3)으로부터 부상시킨다. 판형 워크의 반출 방법의 제2 예에서는, 판형 워크(W)의 외주부(Wc)를 에지 클램프하기 쉬운 상태로 하기 위해서, 후기하는 판형 워크 유지 공정보다 전에 외주 부상 공정을 실시한다.
(2) 판형 워크 유지 공정
다음으로, 도 8에 도시한 바와 같이, 반출 수단(40)에 의해, 척 테이블(1)에 흡인 유지되어 있는 판형 워크(W)의 외주부(Wc)를 에지 클램프한다. 구체적으로는, 개폐 기구(44)에 의해, 미리 판형 워크(W)의 외주부(Wc)보다 외측에 외주 유지부(45)를 위치시켜 두고, 모터(32)가 볼 나사(31)를 회동시켜 승강부(34)와 함께 반출 수단(40)을 Z1 방향으로 하강시켜, 판형 워크(W)의 외주부(Wc)를 둘러싸도록 외주 유지부(45)를 위치시킨다.
계속해서 개폐 기구(44)에 의해 외주 유지부(45)를 판형 워크(W)를 향해 이동시키고, 흡인 영역(3)의 외주 부분으로부터 부상한 판형 워크(W)의 외주부(Wc)를 에지 클램프한다.
(3) 판형 워크 부상 공정
계속해서, 도 9에 도시한 바와 같이, 척 테이블(1)의 흡인 영역(3)으로부터 판형 워크(W) 전체를 부상시킨다. 제1 공급 밸브(11)를 개방한 채로, 흡인 밸브(8)를 폐쇄하여 흡인 영역(3)에서의 판형 워크(W)의 흡인을 차단한다. 이와 함께 제2 공급 밸브(12)를 개방한다. 다공성판(2)의 측면에 유입되는 세정수의 공급량이 예컨대 5 L/min 이상이 되면, 다공성판(2)의 흡인 영역(3)의 외주 부분으로부터 중앙을 향해 세정수(14)가 흘러간다. 이 세정수(14)에 의해 판형 워크(W)를 하방으로부터 밀어 올려, 판형 워크(W) 전체를 흡인 영역(3)으로부터 부상시킨다. 한편, 흡인 영역(3)에의 세정수의 공급 경로에 승압 수단을 설치하여 세정수의 공급 압력을 높이도록 하면, 흡인 영역(3) 전체에 세정수를 널리 퍼지게 하여 확실하게 판형 워크(W)를 부상시킬 수 있다. 그 승압 수단은, 판형 워크(W)의 연삭 중 등의 척 테이블(1)의 회전시에는 작동하지 않도록 제어한다.
(4) 반출 공정
판형 워크(W) 전체가 흡인 영역(3)으로부터 부상한 후, 도 10에 도시한 바와 같이, 반출 수단(40)에 의해 척 테이블(1)로부터 판형 워크(W)를 반출한다. 모터(32)가 볼 나사(31)를 회동시킴으로써 승강부(34)와 함께 반출 수단(40)을 Z2 방향으로 상승시켜, 외주 유지부(45)에 의해 에지 클램프하고 있는 판형 워크(W)를 척 테이블(1)로부터 이격시켜 반출한다. 그리고, 반출한 판형 워크(W)를 원하는 반송처에 반송한다.
이와 같이, 판형 워크의 반출 방법의 제2 예에서는, 세정수(14)로 판형 워크(W)의 외주부(Wc)만을 부상시키고, 반출 수단(40)의 외주 유지부(45)에 의해 판형 워크(W)의 외주부(Wc)를 에지 클램프한 후, 판형 워크 부상 공정과 반출 공정을 순차 실시하기 때문에, 판형 워크(W)가 만곡하여 깨지는 일도 없고, 또한, 판형 워크(W)를 척 테이블(1)로부터 반출할 때에 판형 워크(W)의 하면(Wb)에 연삭 부스러기가 부착되는 일도 없다.
판형 워크의 반출 방법의 제1 예 및 판형 워크의 반출 방법의 제2 예에서는, 판형 워크(W)를 부상시키기 위해서 에어를 사용하지 않고, 세정수(14)를 흡인 영역(3)의 외주측으로부터 중앙부를 향해 진수(進水)시키기 때문에, 판형 워크(W)의 외주부(Wc)의 깨짐이 발생하기 어려워지고, 척 테이블(1)의 흡인 영역(3) 상에서 판형 워크(W)가 진동하는 것을 방지할 수 있다.
1: 척 테이블 2: 다공성판
3: 흡인 영역 4: 프레임체
5: 오목부 5a: 바닥면
5b: 내측면 6: 흡인 라인
7: 흡인원 8: 흡인 밸브
9: 세정수 공급 라인 10: 세정수 공급원
11: 제1 공급 밸브 12: 제2 공급 밸브
13: 세정수 공급 라인 14: 세정수
15: 연삭 수단 150: 스핀들
151: 마운트 152: 연삭 휠
153: 연삭 지석 16: 연삭 이송 수단
20: 반출 수단 21: 아암부
22: 연결부 23: 반송 패드
24: 흡인 유지면 25: 흡인원
30: 승강 수단 31: 볼 나사
32: 모터 33: 가이드
34: 승강부 40: 반출 수단
41: 아암부 42: 연결부
43: 플레이트 44: 개폐 기구
45: 외주 유지부

Claims (1)

  1. 판형 워크를 흡인 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블이 흡인 유지하는 판형 워크를 연삭 가공하는 연삭 수단과, 상기 연삭 수단에 의해 연삭된 판형 워크를 유지하여 상기 척 테이블로부터 판형 워크를 반출하는 반출 수단을 포함하는 연삭 장치에서, 연삭 가공을 실시한 판형 워크를 상기 반출 수단으로 상기 척 테이블로부터 반출하는 반출 방법으로서,
    상기 척 테이블이
    상기 판형 워크를 흡인 유지하는 흡인 영역을 갖는 다공성판과,
    상기 흡인 영역을 개방시켜 상기 다공성판의 측면과 하면을 둘러싸는 프레임체와,
    상기 프레임체의 바닥면의 중앙 부분에 형성되며 상기 다공성판과 흡인원을 연통시키는 흡인 라인과,
    상기 프레임체의 바닥면의 외주 부분 또는 상기 프레임체의 내측면에 형성되며 상기 다공성판과 세정수 공급원을 연통시켜 상기 흡인 영역의 외주 부분으로부터 세정수를 분출시키는 세정수 공급 라인
    을 포함하고,
    상기 판형 워크의 반출 방법은
    상기 흡인 라인으로 상기 다공성판과 상기 흡인원을 연통시켜 상기 흡인 영역으로 판형 워크를 흡인 유지하면서 상기 세정수 공급 라인에 세정수를 공급하여 상기 흡인 영역의 외주 부분으로부터 세정수를 분출시켜 판형 워크의 외주부만을 상기 흡인 영역으로부터 부상시키는 외주 부상 공정과,
    상기 반출 수단으로 판형 워크를 유지하는 판형 워크 유지 공정과,
    상기 판형 워크 유지 공정과 상기 외주 부상 공정 후에, 상기 흡인 영역에서의 판형 워크의 흡인을 차단하고 상기 척 테이블로부터 판형 워크 전체를 이격시켜 상기 척 테이블로부터 판형 워크를 반출하는 반출 공정
    을 포함하는 판형 워크의 반출 방법.
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