JP6309371B2 - 板状ワークの搬出方法 - Google Patents
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Description
まず、被加工物である板状ワークに研削を施す研削装置の構成について説明する。研削装置は、図1に示すように、板状ワークを吸引保持するチャックテーブル1と、チャックテーブル1が吸引保持する板状ワークに研削を施す研削手段15と、研削手段15によって研削された板状ワークを吸引保持してチャックテーブル1から搬出する搬出手段20と、搬出手段20を鉛直方向(Z軸方向)に昇降させる昇降手段30とを少なくとも備えている。
図2に示すように、昇降手段30がボールネジ31を回動させて昇降部34とともに搬出手段20を例えばZ1方向に下降させ、搬送パッド23の吸引保持面24を板状ワークWの上面Waに接触させる。その後、吸引源25によって吸引保持面24に吸引力を作用させて搬送パッド23の吸引保持面24で板状ワークWの上面Waを吸引保持する。このようにして、搬出手段20は、チャックテーブル1に吸引保持されている板状ワークWを吸引保持する。この時点では、吸引バルブ8が開いており、チャックテーブル2も板状ワークWを吸引保持している。
上記のように、チャックテーブル2及び搬出手段20によって板状ワークが上下面から吸引された状態で、図3に示すように、チャックテーブル1の吸引エリア3から板状ワークWの外周部Wcのみを浮上させる。具体的には、吸引バルブ8を開いた状態のままにして板状ワークWの下面Wbの中央部分を吸引エリア3で吸引保持しつつ、第1の供給バルブ11を開いて洗浄水供給源10とポーラス板2とを洗浄水供給ライン9を介して連通させる。
続いて、図4に示すように、チャックテーブル1の吸引エリア3から板状ワークWの全体を浮上させる。具体的には、第1の供給バルブ11を開いたまま、吸引バルブ8を閉じて吸引エリア3における板状ワークWの吸引を遮断する。これとともに第2の供給バルブ12を開いて、吸引エリア3に供給する洗浄水の供給量が例えば5L/min以上となるようにする。
板状ワークWの全体が吸引エリア3から浮上した後、図5に示すように、モータ32がボールネジ31を回動させることにより昇降部34とともに搬出手段20をZ2方向に上昇させ、搬送パッド23が吸引保持している板状ワークWをチャックテーブル1から離反させて、板状ワークWを搬出する。そして、搬出した板状ワークWを所望の搬送先に搬送する。
また、吸引エリア3の外周部分から洗浄水14を噴き出して板状ワークWの外周部Wcを先に浮上させることから、ポーラス板2の内部に浸入した研削屑を洗浄水14によってあらかじめ排出でき、板状ワークWをチャックテーブル2から搬出する際に板状ワークWの下面Wbに研削屑が付着するのを防止できる。
板状ワークWをチャックテーブル1から搬出する手段として、図6に示すように、板状ワークWの外周部Wcをエッジクランプする搬出手段40を使用してもよい。搬出手段40は、アーム部41と、アーム部41の一端において連結部42を介して接続されたプレート43と、プレート43の外周側に配設されプレート43の径方向に移動可能な開閉機構44と、板状ワークWの外周部Wcをエッジクランプする外周保持部45とを備えている。外周保持部45は開閉機構44に接続されている。板状ワークWのサイズに応じて開閉機構44がプレート43の径方向に移動することにより、板状ワークWのサイズにあわせて板状ワークを外周側から保持することができる。なお、図6に示す研削装置は、搬出手段40以外の構成は図1と同様であるため、図1と同様に構成される部位には同一の符号を付し、その説明は省略することとする。
図7に示すように、チャックテーブル1の吸引エリア3から板状ワークWの外周部Wcのみを浮上させる。すなわち、板状ワークWの下面Wbの中央部分を吸引エリア3で吸引保持しつつ、第1の供給バルブ11を開いて洗浄水供給ライン9を介してポーラス板2の側面側からその内部に洗浄水14を流入させる。これにより、ポーラス板2の吸引エリア3の外周部分から洗浄水14が噴き出し板状ワークWの外周部Wcを下方から押し上げ、板状ワークWの外周部Wcのみを吸引エリア3から浮上させる。板状ワークの搬出方法の第2例では、板状ワークWの外周部Wcをエッジクランプしやすい状態にするため、後記の板状ワーク保持工程よりも前に外周浮上工程を実施する。
次に、図8に示すように、搬出手段40によって、チャックテーブル1に吸引保持されている板状ワークWの外周部Wcをエッジクランプする。具体的には、開閉機構44によって、あらかじめ板状ワークWの外周部Wcよりも外側に外周保持部45を位置させておき、モータ32がボールネジ31を回動させて昇降部34とともに搬出手段40をZ1方向に下降させ、板状ワークWの外周部Wcを囲繞するように外周保持部45を位置づける。
続いて開閉機構44によって外周保持部45を板状ワークWに向けて移動させ、吸引エリア3の外周部分から浮上した板状ワークWの外周部Wcをエッジクランプする。
続いて、図9に示すように、チャックテーブル1の吸引エリア3から板状ワークWの全体を浮上させる。第1の供給バルブ11を開いたまま、吸引バルブ8を閉じて吸引エリア3における板状ワークWの吸引を遮断する。これとともに第2の供給バルブ12を開く。ポーラス板2の側面に流入される洗浄水の供給量が例えば5L/min以上となると、ポーラス板2の吸引エリア3の外周部分から中央に向けて洗浄水14が流れていく。この洗浄水14によって板状ワークWを下方から押し上げ、板状ワークWの全体を吸引エリア3から浮上させる。なお、吸引エリア3への洗浄水の供給経路に昇圧手段を設けて洗浄水の供給圧力を高めるようにすると、吸引エリア3の全体に洗浄水を行き渡らせて確実に板状ワークWを浮上させることができる。その昇圧手段は、板状ワークWの研削中などのチャックテーブル1の回転時には作動しないように制御する。
板状ワークWの全体が吸引エリア3から浮上した後、図10に示すように、搬出手段40によってチャックテーブル1から板状ワークWを搬出する。モータ32がボールネジ31を回動させることにより昇降部34とともに搬出手段40をZ2方向に上昇させ、外周保持部45でエッジクランプしている板状ワークWをチャックテーブル1から離反させて搬出する。そして、搬出した板状ワークWを所望の搬送先に搬送する。
4:枠体 5:凹部 5a:底面 5b:内側面 6:吸引ライン 7:吸引源
8:吸引バルブ 9:洗浄水供給ライン 10:洗浄水供給源 11:第1の供給バルブ
12:第2の供給バルブ 13:洗浄水供給ライン 14:洗浄水
15:研削手段 150:スピンドル 151:マウント 152:研削ホイール
153:研削砥石 16:研削送り手段
20:搬出手段 21:アーム部 22:連結部 23:搬送パッド
24:吸引保持面 25:吸引源
30:昇降手段 31:ボールネジ 32:モータ 33:ガイド 34:昇降部
40:搬出手段 41:アーム部 42:連結部 43:プレート 44:開閉機構
45:外周保持部
Claims (1)
- 板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルが吸引保持する板状ワークを研削加工する研削手段と、該研削手段によって研削された板状ワークを保持し該チャックテーブルから板状ワークを搬出する搬出手段と、を備える研削装置において、研削加工を施した板状ワークを該搬出手段によって該チャックテーブルから搬出する搬出方法であって、
該チャックテーブルは、板状ワークを吸引保持する吸引エリアを有するポーラス板と、
該吸引エリアを開放して該ポーラス板の側面と下面とを囲繞する枠体と、該枠体の底面の中央部分に形成され該ポーラス板と吸引源とを連通させる吸引ラインと、該枠体の底面の外周部分または該枠体の内側面に形成され該ポーラス板と洗浄水供給源とを連通させ該吸引エリアの外周部分から洗浄水を噴出させる洗浄水供給ラインと、を備え、
該吸引ラインによって該ポーラス板と該吸引源とを連通させ該吸引エリアで板状ワークを吸引保持しつつ、該洗浄水供給ラインに洗浄水を供給し該吸引エリアの外周部分から洗浄水を噴出させて板状ワークの外周部のみを該吸引エリアから浮上させる外周浮上工程と、
該搬出手段によって板状ワークを保持する板状ワーク保持工程と、
該板状ワーク保持工程及び該外周浮上工程の後、該吸引エリアにおける板状ワークの吸引を遮断して該チャックテーブルから板状ワーク全体を離反させて該チャックテーブルから板状ワークを搬出する搬出工程と、を備える板状ワークの搬出方法。
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