JP2018176323A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明に係る加工装置1によれば、ワークセットWSの形態で、搬送・加工を行うことができるため、例えば研削や研磨した後のウエーハW(サブストレート付きのウエーハを含む)を分割する際に、テープマウントなどの工程を省略でき、時間短縮を図れる。なお、テープマウントを省略できる分、テープTの使用量も削減することが可能である。
5:搬出入手段 6:仮置きテーブル 7:洗浄手段 8:ターンテーブル 9:コラム
10:保持手段 11:保持部 11a:保持面 12:枠体 120,121:吸引路13:テーブルフレーム保持部 14:凹部 15:回転軸
16:回転手段 160:モータ 161:駆動プーリ 162:従動プーリ
163:ベルト 17:吸引源 18:バルブ 19:ケース 190:排水口
20:加工手段 21:スピンドル 22:スピンドルハウジング 23:ホルダ
24:モータ 25:研磨ホイール 26:研磨パッド
30:加工送り手段 31:ボールネジ 32:モータ 33:ガイドレール
34:昇降板
40:搬送手段 41:プレート 42:アーム 43:昇降手段 430:軸部材
44:フレーム保持部 45:スプリング 46:押さえ部 47:吸引源
48:エア供給源 49a,49b:バルブ 50:第2の搬送手段
W:ウエーハ Wa:表面 Wb:裏面 Wc:外周部分 T:テープ Tc:環状部分
F:フレーム WS:ワークセット
Claims (2)
- リングフレームに貼着したテープを介してウエーハを支持するワークセットを保持する保持手段と、該保持手段が保持した該ワークセットのウエーハを加工する加工手段と、該ワークセットを該保持手段に搬送する搬送手段と、該搬送手段を昇降させる昇降手段と、を備えた加工装置であって、
該搬送手段は、該リングフレームを保持するフレーム保持部と、
該保持手段が保持した該ワークセットの該テープのうち該フレーム保持部で保持した該リングフレームの内周とウエーハの外周との間の環状部分を押さえる押さえ部と、を備え、
該押さえ部により該環状部分を押さえて該テープの下面と該保持手段の保持面とを密着させ該保持面で該テープを介してウエーハを吸引保持する加工装置。 - 前記ワークセットのウエーハの外周部分には、前記テープから剥がれる方向に反りが形成されている請求項1記載の加工装置。
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