JP2020145258A - ウエーハ搬送機構および研削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
4:ウエーハ保持手段
6:移動手段
8:吸引保持部
8a:保持面
10:水噴出部
12:プレート
W:ウエーハ
WS:小径ウエーハ
WL:大径ウエーハ
L:水の層
50:研削装置
52:カセット
52a:第一のカセット
52b:第二のカセット
54:カセット載置部
54a:第一のカセット載置部
54b:第二のカセット載置部
56:ウエーハ搬出入手段
58:仮置き手段
60:チャックテーブル
62:第一の搬送手段
64:研削手段
66:洗浄手段
126:乾燥手段
Claims (4)
- ウエーハを搬送するウエーハ搬送機構であって、
ウエーハを保持するウエーハ保持手段と、該ウエーハ保持手段を移動する移動手段とを備え、
該ウエーハ保持手段は、ウエーハの中央領域を吸引保持する保持面を備えた吸引保持部と、該吸引保持部の外周に配設され水を噴出する水噴出部と、該水噴出部の外周に配設され該保持面に保持されたウエーハとの間で隙間を形成しウエーハと対面して水の層を形成するプレートとを含むウエーハ搬送機構。 - 該ウエーハ保持手段は2種類以上の大きさのウエーハに対応でき、該吸引保持部の大きさは2種類以上の大きさのウエーハのうち一番小さいウエーハの大きさ以下であり、該プレートの大きさは2種類以上の大きさのウエーハのうち一番大きいウエーハの大きさ以上である請求項1記載のウエーハ搬送機構。
- 複数のウエーハを収容したカセットが載置されるカセット載置部と、該カセットからウエーハを搬出および搬入するウエーハ搬出入手段と、該ウエーハ搬出入手段によって搬出されたウエーハが仮置きされる仮置き手段と、該仮置き手段に仮置きされたウエーハをチャックテーブルまで搬送する第一の搬送手段と、該チャックテーブルに保持されたウエーハの上面を研削する研削手段と、研削済みのウエーハを該チャックテーブルから搬出し洗浄手段まで搬送する第二の搬送手段と、
から少なくとも構成された研削装置であって、
該第二の搬送手段は、請求項1または2記載のウエーハ搬送機構から構成される研削装置。 - 該チャックテーブルと該洗浄手段との間に該第二の搬送手段によって搬送されるウエーハの下面を乾燥する乾燥手段が配設される請求項3記載の研削装置。
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