JP2004306169A - 吸着装置 - Google Patents
吸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004306169A JP2004306169A JP2003100163A JP2003100163A JP2004306169A JP 2004306169 A JP2004306169 A JP 2004306169A JP 2003100163 A JP2003100163 A JP 2003100163A JP 2003100163 A JP2003100163 A JP 2003100163A JP 2004306169 A JP2004306169 A JP 2004306169A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- pad
- work
- negative pressure
- suction pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
【解決手段】負圧によりワークWを吸着する吸着パッド3と、ワークWへの当接時に発生する吸着パッド3の変形状態を検出する検知手段7と、吸着パッド3と負圧発生源16とを連通させる通路5に配置され、前記検知手段7により吸着パッド3の全周の変形が検出されたとき開放作動されて負圧発生源16よりの負圧を吸着パッド3内に導入する負圧バルブ6と、により、ワーク吸着面の有無に応じて吸着パッド3を選択的に作動するようにした。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、吸着可能面積が相違する二種類以上のワークの供給や搬出等に用いる吸着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から吸着可能面積が相違する二種類以上のワークの供給や搬出のため、多数の小径の吸着パッドをワークハンドに並べて装備し、ワークの大きさに合わせて作動させる吸着パッドを選択する吸着装置が提案されている(特許文献1参照)。
【0003】
これは、予めワークの大きさや形状を検出若しくは記憶し、ワークを吸着する際に吸着パッド個々に装備した開閉バルブを操作し、ワークの大きさに合った吸着パッドを作動させるようにしたものである。
【0004】
【特許文献1】
特開平10−120354号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例では、多数の吸着パッド個々に設けた開閉バルブをワーク形状に合わせて開閉制御する制御装置を必要とし、また、作動させる吸着パッドを判別するために、ワークの大きさ若しくは形状を予め検出する検知装置を必要とし、装置が複雑となる不具合があった。
【0006】
そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、二種類以上のワークに適用可能な簡易な吸着装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、負圧によりワークを吸着する吸着パッドと、ワークへの当接時に発生する吸着パッドの変形状態を検出する検知手段と、吸着パッドと負圧発生源とを連通させる通路に配置され、前記検知手段により吸着パッドの全周の変形が検出されたとき開放作動されて負圧発生源よりの負圧を吸着パッド内に導入する負圧バルブと、により、ワーク吸着面の有無に応じて吸着パッドを選択的に作動するようにした。
【0008】
【発明の効果】
したがって、本発明では、ワークへの当接時に発生する吸着パッドの変形状態を検出する検知手段により、吸着パッドの全周の変形が検出されたときに、開放作動する負圧バルブを介して吸着パッド内に負圧を導入して、吸着パッドがワーク吸着面の有無に応じて選択的に作動するようにしたため、ワーク形状に合わせて負圧バルブを開閉制御する制御装置やワーク形状を予め検出する検知装置が不要とでき、簡易な吸着装置とすることができる。例えば、この吸着装置をワークハンドに並べて装備する場合には、種々の形状のワークを制御を必要とせずに吸着保持することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【0010】
図1〜図7は、本発明を適用した吸着装置の一実施形態を示し、図1は吸着装置の全体構造を示す断面図、図2はバルブ構造の拡大断面図、図3は動作要領を示す説明図、図4〜図7は作動状態を示す断面図である。
【0011】
図1において、本実施形態の吸着装置1は、内外二重となった小口径パッド2および大口径パッド3と、小口径パッド2内に負圧を供給する負圧通路4と、負圧通路4を分岐して小口径パッド2の外周側の大口径パッド3内に負圧を供給する分岐通路5と、分岐通路5に設けられた負圧バルブ6と、ワークWへ当接する大口径パッド3の撓み状態を検知して負圧バルブ6を開方向に作動させる検知手段7とから構成している。
【0012】
前記小口径パッド2は小口径パッド2の取付金具10に加硫接着等により一体化され、前記大口径パッド3は大口径パッド3の取付金具11に加硫接着等により一体化され、両パッド2、3は略同一平面状に位置させて夫々の取付金具10、11によりワークハンドへの取付ロッド12先端に固定される。取付ロッド12には、大口径パッド3の取付金具11を取囲み覆うカップ部材13が一体に固定されている。小口径パッド2内には、ワーク吸着時にワークWに当接してワークWのそれ以上の接近を規制して小口径パッド2の撓みを規制するストッパ14が設けられている。前記大口径パッド3は、小口径パッド2を取囲んで位置し、その吸着パッド3の先端は、小口径パッド2の先端より僅かにワークW側に突出させて位置する。従って、ワークWへの接近時には、先ず、大口径パッド3の先端がワークWに接触し、さらにワークWに接近させるとき、小口径パッド2の先端がワークWに接触することとなる。
【0013】
前記小口径パッド2内に負圧を導入する負圧通路4は、ワークハンドへの取付ロッド12を貫通して小口径パッド4内に開口する貫通孔で構成され、導入管路15を介して負圧発生装置16に接続され、導入管路15に設けた吸着作動弁17の開放作動時に、負圧発生装置16で発生された負圧が導入されるようにしている。
【0014】
前記分岐通路5は、半径方向穴および大口径吸着パッド3の取付金具11を貫通し大口径パッド3内であり且つ小口径パッド2の外側に開口する貫通穴により、前記負圧通路4を分岐させて構成する。分岐通路5は、負圧通路4に導入された負圧を分岐して小口径パッド2と大口径パッド3とで囲まれる空間に導入可能としている。
【0015】
前記負圧バルブ6は、図2に拡大して示すように、大口径パッド3の取付金具11に外周側からその端面および壁面に前記分岐通路5を開口させるよう設けた段付きのバルブ穴20に挿入配置される。負圧バルブ6は、前記バルブ穴20の段付き21に係合させて配置され、前記分岐通路5を連通させる貫通穴23を備え、貫通穴23の端部をバルブシート24とするシート部材22と、バルブ穴20に外周側から挿入され、シート部材22をバルブ穴20の段付き21に押付け固定するプラグ25とを備える。前記シート部材22のバルブシート24に着座可能にバルブ26が配置され、バルブ26は、着座時、前記分岐通路5の連通を遮断し、バルブシート24からの離脱時、前記分岐通路5を連通可能とする。
【0016】
前記プラグ25内には、ピストン27が摺動可能に挿入され、ピストン27には、シート部材22の貫通穴23を貫通して突出する前記バルブ26のステム28がピン29により連結される。前記ピストン27は、シート部材22に着座するリターンスプリング30によりバルブ26をバルブシート24に着座させるよう方向に付勢され、ステム28と連結する背面側にプラグ25に設けた穴31を介して後述する検知圧が導入されるとき、前記リターンスプリング30に抗してバルブ26をバルブシート24への着座状態から離脱させるよう作動する。前記リターンスプリング30のセット力は、検知圧が上昇しない状態で、小口径パッド2内が負圧となってその負圧がバルブ26の端面を吸引作用する時に、バルブ26が開放動作するのを防止可能な値に設定される。即ち、セット力が負圧による吸引力より強くなるように設定している。
【0017】
前記検知手段7は、図1に示すように、ワークWへ当接する大口径パッド3の撓み状態を検出するカップ部材13を備える。カップ部材13の開放端34は、大口径パッド3の半径方向外方に位置し、大口径パッド3がワークWに当接して外方へ撓むとき大口径パッド3に接触する。この接触が大口径パッド3とカップ部材13の開放端34の全周で行われるとき、大口径パッド3はその全周がワークWに接触したと判断され、前記接触が全周の一部のみでも接触がなされない場合には、大口径パッド3はその全周がワークWに接触していないと判断できる。後者の状態は、大口径パッド3に当接するようなワークWが存在しない、即ち、ワークWの大きさが小口径パッド2のみに相当するサイズの場合や、ワークW表面に段差があって大口径パッド3の一部がワークWによって撓ませられていない場合がある。
【0018】
前記大口径パッド3のカップ部材13開放端34への接触状態は、カップ部材13と大口径パッド3の取付金具11との間に正圧発生装置35より供給された低圧縮の空気圧(例えば、0.1MPa程度)の変化に変換され、検知圧として前記負圧バルブ6のピストン27背面に導入される。前記検知圧は、大口径パッド3とカップ部材11の開放端34との接触が、全周でなされる場合には圧力上昇され、一部でも接触しない場合には圧力上昇されない。即ち、大口径パッド3の全周がワークWに接触して全周が撓み、全周でカップ部材13の開放端34に接触した場合にのみ、検知圧を圧力上昇させ、負圧バルブ6を開放して、大口径パッド3内に分岐通路5を介して負圧を導入するようにしている。
【0019】
前記カップ部材13は、大口径パッド3との接触後におけるワークWへの更なる接近による大口径パッド3の撓みを許容するため、カップ部材13の外周に摺動自在に嵌合し、その先端が大口径パッド3の外周近傍に位置するようスプリング36により突出付勢された筒状の遮蔽板37によりカップ部材13の開放端34を形成している。従って、筒状の遮蔽板37は、大口径パッド3がワークWに当接して撓むとき遮蔽板37に当接し、さらに大口径パッド3が撓む場合には、スプリング36に抗して後退移動可能である。
【0020】
以上の構成の吸着装置1の動作について図3〜図7を利用して以下に説明する。
【0021】
図3に示すように、本実施形態の吸着装置1においては、(A)図示のように、小口径パッド2と大口径パッド3とを共にワークWに接触させての吸着作動と、(B)図示のように、小口径パッド2のみでの吸着作動とを行わせることができる。
【0022】
先ず、小口径パッド2と大口径パッド3とを共にワークWに接触させての吸着作動について、図1、図4および図5により説明する。
【0023】
図1は、ワークハンドにより吸着装置1がワークWに接近して大口径パッド3の先端がワークWに接触した状態を示し、正圧発生装置35より供給された低圧縮の空気は、カップ部材13と大口径パッド3の取付金具11との隙間を通過して遮蔽板37と大口径パッド3との間を通って外気に排出され、検知圧の圧力上昇はなく、負圧バルブ6は閉じて分岐通路5を遮断している。この状態において、吸着作動弁17を開いて負圧発生装置16よりの負圧を負圧通路4を経由して小口径パッド2内に導入すると、ワークWに当接した小口径パッド2内は負圧で満たされてワークWを吸着するが、負圧バルブ6が閉じているため、負圧は分岐通路5から大口径パッド3内には導入されない。
【0024】
ワークハンドにより吸着装置1をワークWに接近させると、図4に示すように、小口径パッド2の先端もワークWに当接し、大口径パッド3はワークWにより接近することにより撓み、その外周部分を遮蔽板37に接触させる。この接触により遮蔽板37と大口径パッド3との隙間がなくなり、圧縮空気の外気への排出がなくなるため、検知圧は上昇し、負圧バルブ6のピストン27を押して負圧バルブ6のバルブ26がバルブシート24の着座状態を離脱させて負圧バルブ6は開放する。
【0025】
この状態において、吸着作動弁17を開いて負圧発生装置16よりの負圧を負圧通路4を経由して小口径パッド2内に導入すると、ワークWに当接した小口径パッド2内は負圧で満たされる一方、分岐通路5、負圧バルブ6を経由して大口径パッド3内にも負圧で満たされ、図5に示すように、小口径パッド2および大口径パッド3は夫々ワークWを吸着する。
【0026】
ワークWの吸着により、吸着装置1はワークWにより一層接近し、小口径パッド2および大口径パット3共に外方向へ撓み、大口径パッド3の外方への撓みは、リターンスプリング36に抗して遮蔽板37を押上げて吸収される。
【0027】
この状態でワークハンドを上昇させれば、大口径パッド3および小口径パッド2の両方の吸着パッドにより吸着したワークWを持上げ、搬送することができる。この場合のワークWの重量は、例えば、小口径パッド2の径が60mm、大口径パッド3の径が100mmであれば、40Kg程度まで吸着可能であり、小口径パッド2のみでは14Kg程度までとなる。
【0028】
次に、図3(B)に示すように、小口径パッド2のみを用いてワークWを吸着する場合について説明する。
【0029】
この場合においては、小口径パッド2のみがワークWに当接し、大口径パッド3がワークWに当接しない。このため、正圧発生装置35より供給された低圧縮の空気は、大口径パッド3の外周の遮蔽板37との隙間を経由して大気に排出されるため、検知圧の上昇はなく、負圧バルブ6は閉じた状態に維持される。
【0030】
従って、専ら小口径パッド2内にのみ負圧供給装置16よりの負圧が導入され、小口径パッド2のみでワークWを吸着して搬送することとなる。
【0031】
図6および図7は、吸着すべき表面に段差があるワークWを吸着する場合の吸着装置1の作動状態を示したものである。
【0032】
この場合においては、図6に示すように、ワークWの段差部分に位置する大口径パッド3の一部のパッド部分がワークWに接触しない状態となる。従って、図7に示すように、小口径パッド2内に負圧を導入して小口径パッド2によりワークWを吸着して、ワークハンドをワークWに接近させても、大口径パッド3のパッド部分の大部分がワークWにより撓むものであるが、段差が存在する部分に臨むパッド部分は依然としてワークWにより撓ませられることがない。
【0033】
従って、正圧発生装置35より供給された低圧縮の空気は、大口径パッド3の外周の遮蔽板37との隙間を経由して大気に排出されるため、検知圧の上昇はなく、負圧バルブ6は閉じた状態に維持される。このため、専ら小口径パッド2内にのみ負圧供給装置16よりの負圧が導入され、小口径パッド2のみでワークWを吸着して搬送することとなる。
【0034】
なお、以上の構成および作動は、小口径パッド2と大口径パッド3との一組の吸着装置1の作動について説明しているが、これら組になった大小口径の吸着パッド2、3を、ワークハンドに2個以上を直線状に配列する場合には、幅狭のワークWと幅広のワークWとに対応して大口径パッド3が自動的に作動・非作動となって夫々のワークWを吸着させることができる。また、これに組になった大小口径の吸着パッド2、3をワークWの夫々の隅部を吸着可能にワークハンドに配列すれば、小口径パッド2同士のみで吸着可能なワークWと若干それより大型のワークWとをワークWに対応して大口径パッド3が自動的に作動・非作動となって夫々のワークWを吸着させることができる。
【0035】
また、上記実施形態において、吸着装置1として大口径パッド3と小口径パッド2とが同心に配列されたものを一組として用いるものについて説明したが、図示はしないが、小口径パッド2に大口径パッド3を並べて配置し(この場合には、吸着パッドの大きさに差を設けることは必ずしも必要でない)、常時作動する吸着装置1のみで吸着可能なワークWと検知手段7および負圧バルブ6を備えた選択的に作動する吸着装置1の両者で吸着可能なワークWとを吸着させるようにしてもよく、また、これらを2組配置して、幅が異なるワークWを吸着するようにしてもよく、さらには、内方に常時作動の吸着装置1の吸着パッド2を、外方に選択作動の吸着装置1の吸着パッド3を夫々配置し、大きさの相違するワークWを吸着させるようにしてもよい。
【0036】
また、上記実施形態では、常時作動する吸着装置1の吸着パッド2と選択作動の吸着装置1の吸着パッド3とを一組にして用いるものについて説明したが、図示しないが、選択作動の吸着装置1の吸着パッド3のみを一個〜複数個用いてワークWを吸着するものでもよく、一個〜複数個の常用作動の吸着装置1の吸着パッド2と一個〜複数個の選択作動の吸着装置1の吸着パッド3を組合せるものであってもよい。
【0037】
本実施形態においては、以下に記載する効果を奏することができる。
【0038】
(ア)ワークWへの当接時に発生する吸着パッド3の変形状態を検出する検知手段7により、吸着パッド3の全周の変形が検出されたときに、開放作動する負圧バルブ6を介して吸着パッド3内に負圧を導入して、吸着パッド3がワーク吸着面の有無に応じて選択的に作動するようにしたため、ワーク形状に合わせて負圧バルブを開閉制御する制御装置やワーク形状を予め検出する検知装置が不要とでき、簡易な吸着装置1とすることができる。例えば、この吸着装置1をワークハンドに並べて装備する場合には、種々の形状のワークWを制御を必要とせずに吸着保持することができる。
【0039】
(イ)また、選択的に作動する吸着装置1としての大口径パッド3の少なくとも一個が、負圧導入時にワークWを吸着する吸着パッドとしての小口径パッド2を備える常用作動の吸着装置1と組合せて構成されているため、両吸着装置1を分離してワークハンドに装備する場合には、常用作動の吸着装置1としての小口径パッド2のワークWへの吸着位置を基準として、選択作動の吸着装置1としての大口径パッド3を様々な形状のワークWに対応してワークハンドに配置することで、吸着できるワークWの種類を増加させることができる。
【0040】
(ウ)また、選択的に作動する吸着装置1としての大口径パッド3と前記常用作動の吸着装置1としての小口径パッド2とを、常用作動の吸着装置1の吸着パッドとしての小口径パッド2を内方に含んで選択的に作動する吸着装置1の吸着パッドとしての大口径パッド3を配置すると、ワークWの平面状の大きさおよび重量に対応した吸着をさせることができる。
【0041】
(エ)ワークWへの当接時に発生する吸着パッド3の変形状態を検出する検知手段7として、吸着パッド3の外周に配置した筒状部材(遮蔽板37)と吸着パッド3外周との隙間に空気を流通させ、吸着パッド3がワークWへ当接した時に生ずる吸着パッド3の外方への撓みにより吸着パッド3外周が全周で筒状部材37に接触したとき生ずる通過空気の圧力変化(この場合には、圧力上昇)により検知するよう構成し、この検知手段7の圧力変化により負圧バルブ6を開方向に作動するため、吸着パッド3がその全周でワークWに当接したか否かを精度よく検出でき、ワーク形状に正確に対応させて作動させることができる。特に段差のあるワークWに対しても精度よく対応可能とできる。
【0042】
なお、上記実施形態において、ワークWへの当接時に発生する吸着パッド3の変形状態を検出する検知手段7として、吸着パッド3の外周に配置した遮蔽板37と吸着パッド3外周との隙間に低圧縮の空気を流通させ、吸着パッド3がワークWへ当接した時に生ずる吸着パッド3の外方への撓みにより吸着パッド3外周が全周で遮蔽板37に接触したとき生ずる通過空気の圧力上昇により検知するよう構成しているが、図示しないが、低圧縮の空気に代えて、負圧を供給し、吸着パッド3外周が全周で遮蔽板37に接触したとき生ずる負圧値の上昇により検出して、負圧バルブ6を開方向に切換えるものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の吸着装置の全体構造を示す断面図。
【図2】同じくバルブ構造の拡大断面図。
【図3】吸着装置の動作要領を(A)、(B)に分けて示す説明図。
【図4】平面状のワーク吸着面への吸着装置の吸着作動を説明する断面図。
【図5】図4に続く平面状のワーク吸着面への吸着装置の吸着作動を説明する断面図。
【図6】ワーク表面に段差があるワークへの吸着装置の吸着作動を説明する断面図。
【図7】図6に続くワーク表面に段差があるワークへの吸着装置の吸着作動を説明する断面図。
【符号の説明】
W ワーク
1 吸着装置
2 小口径パッド(吸着パッド、常用作動の吸着装置)
3 大口径パッド(吸着パッド、選択作動の吸着装置)
6 負圧バルブ
7 検知手段
16 負圧発生装置、負圧発生源
24 バルブシート
26 バルブ
27 ピストン
28 ステム
30 リターンスプリング
34 開放端
37 筒状部材としての遮蔽板
Claims (4)
- 負圧によりワークを吸着する吸着パッドと、
ワークへの当接時に発生する吸着パッドの変形状態を検出する検知手段と、
吸着パッドと負圧発生源とを連通させる通路に配置され、前記検知手段により吸着パッドの全周の変形が検出されたとき開放作動されて負圧発生源よりの負圧を吸着パッド内に導入する負圧バルブと、により構成され、
ワーク吸着面の有無に応じて選択的に作動することを特徴とする吸着装置。 - 前記選択的に作動する吸着装置は少なくとも一個が、負圧導入時にワークを吸着する吸着パッドを備える常用作動の吸着装置と組合せて構成されていることを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。
- 前記選択的に作動する吸着装置と前記常用作動の吸着装置とは、常用作動の吸着装置の吸着パッドを内方に含んで選択的に作動する吸着装置の吸着パッドを配置したことを特徴とする請求項2に記載の吸着装置。
- 前記検知手段は、吸着パッドの外周に配置した筒状部材と吸着パッド外周との隙間に空気を流通させ、吸着パッドがワークへ当接した時に生ずる吸着パッドの外方への撓みにより吸着パッド外周が全周で筒状部材に接触したとき生ずる通過空気の圧力変化により検知するよう構成し、
前記負圧バルブは、前記検知手段の圧力変化により開方向に作動されるものであることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一つに記載の吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003100163A JP4092487B2 (ja) | 2003-04-03 | 2003-04-03 | 吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003100163A JP4092487B2 (ja) | 2003-04-03 | 2003-04-03 | 吸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004306169A true JP2004306169A (ja) | 2004-11-04 |
JP4092487B2 JP4092487B2 (ja) | 2008-05-28 |
Family
ID=33464376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003100163A Expired - Fee Related JP4092487B2 (ja) | 2003-04-03 | 2003-04-03 | 吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4092487B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008149435A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | I & T:Kk | ワーク吸着装置 |
JP2008238377A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Nidek Co Ltd | レンズ固定用カップ |
KR101456302B1 (ko) * | 2007-03-28 | 2014-11-03 | 가부시키가이샤 니데크 | 안경 렌즈 가공 장치 및 렌즈 고정용 컵 |
JP2014217912A (ja) * | 2013-05-08 | 2014-11-20 | サンビット株式会社 | 吸着パッド、搬送ロボット及び吸着機構 |
WO2016056115A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 富士機械製造株式会社 | 吸着ノズル |
JP2019155553A (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | 株式会社東芝 | 保持装置および搬送装置 |
WO2019205154A1 (zh) * | 2018-04-28 | 2019-10-31 | 深圳蓝胖子机器人有限公司 | 复合吸盘、复合吸盘组件以及机械手 |
WO2020230250A1 (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | オムロン株式会社 | コントローラ |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108724234A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-11-02 | 芜湖易泽中小企业公共服务股份有限公司 | 一种机器人用吸盘装置 |
-
2003
- 2003-04-03 JP JP2003100163A patent/JP4092487B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008149435A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | I & T:Kk | ワーク吸着装置 |
JP2008238377A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Nidek Co Ltd | レンズ固定用カップ |
KR101456302B1 (ko) * | 2007-03-28 | 2014-11-03 | 가부시키가이샤 니데크 | 안경 렌즈 가공 장치 및 렌즈 고정용 컵 |
JP2014217912A (ja) * | 2013-05-08 | 2014-11-20 | サンビット株式会社 | 吸着パッド、搬送ロボット及び吸着機構 |
WO2016056115A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 富士機械製造株式会社 | 吸着ノズル |
JP2019155553A (ja) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | 株式会社東芝 | 保持装置および搬送装置 |
WO2019205154A1 (zh) * | 2018-04-28 | 2019-10-31 | 深圳蓝胖子机器人有限公司 | 复合吸盘、复合吸盘组件以及机械手 |
WO2020230250A1 (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | オムロン株式会社 | コントローラ |
JPWO2020230250A1 (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | ||
JP7303454B2 (ja) | 2019-05-13 | 2023-07-05 | オムロン株式会社 | コントローラ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4092487B2 (ja) | 2008-05-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3797577B2 (ja) | 吸着装置 | |
US8267367B2 (en) | Vacuum pad device | |
CN114734472B (zh) | 把持工具以及把持系统 | |
JP2004306169A (ja) | 吸着装置 | |
JP2006351619A (ja) | 被処理物供給装置及び被処理物供給方法 | |
KR20080023642A (ko) | 진공흡착장치 | |
JP2007021643A (ja) | 永久磁石を用いたワーク吸着装置 | |
JP2009034750A (ja) | 工作機械におけるワークの有無検出装置 | |
JP7293533B2 (ja) | ワーク搬送用ハンド | |
JP4457351B2 (ja) | 基板保持装置 | |
JPH05305592A (ja) | 真空チャック | |
JP2008055517A (ja) | 搬送ピックアップ装置 | |
JP2005329474A (ja) | 吸着装置 | |
JPH0639768A (ja) | 真空吸着装置 | |
JP3548508B2 (ja) | 真空発生器用の真空破壊ユニット及び真空発生器 | |
JPH08309684A (ja) | 排気流量調整機構付き真空吸着装置 | |
JP2958311B1 (ja) | ウェハ搬送用ロボット | |
JPH0342433A (ja) | 吸着具 | |
JP2006130631A (ja) | 吸着把持装置 | |
JP2997862B2 (ja) | バキュウム吸着装置 | |
JP2010025686A (ja) | 基板固定機構およびこれを備えた基板固定装置 | |
JP3986018B2 (ja) | 吸着パッドを備えた吸着装置 | |
JPH0342432A (ja) | 吸着具 | |
JPH09226935A (ja) | 部品吸着方法と、吸着ヘッドおよび部品移載装置 | |
JP4058610B2 (ja) | 導電性ボール搭載装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070925 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080218 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120314 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130314 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130314 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |