CN104918757A - 吸附装置 - Google Patents

Abstract

吸附装置(1)包括：吸附部(2)，所述吸附部(2)与吸附对象物(9)抵接，并形成有多个吸引孔(8)；侧壁(3)及顶壁(4)，所述侧壁(3)及顶壁(4)与吸附部(2)协同作用而形成负压室(10)；销形状的阀芯(13)，所述阀芯(13)从负压室(10)延伸到吸引孔(8)内；以及封闭部(16)，所述封闭部(16)因该阀芯(13)在吸引孔(8)内滑动而使阀芯(13)的一部分与吸引孔(8)的内壁的一部分紧密接触，来将吸引孔(8)封闭，阀芯(13)具有位于负压室(10)内的一方的端部、即根部(13a)，该根部(13a)固定在具有挠性的板形状的挠性体(17)上，所述挠性体(17)在负压室(10)内跨设并固定在侧壁(3)间，挠性体(17)具有多个通孔(19)。

Description

吸附装置

技术领域

本发明涉及一种用于吸附并保持基板的吸附装置。

背景技术

当在基板制造工艺中处理基板时，使用对基板那样的板材进行吸附保持的吸附装置(例如参照专利文献1)。在专利文献1那样的吸附装置中，通过吸引空气而利用负压对板材进行吸附保持。详细而言，专利文献1的吸附装置包括能在进行吸引的孔内自由移动的阀芯，该阀芯利用在重力作用下进行的动作，来实现用负压对板材的保持。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2005－28489号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，上述那样利用重力作用的方式，仅能在吸引孔朝向下方的情况下使用。当将板材设于上侧而朝向上方时，阀芯因重力而下降，会将负压室与板材之间封闭，从而无法对板材进行吸引保持。

本发明是在考虑上述现有技术后进行而做成的，其目的在于提供一种无论空气对作为吸附对象物的板材(基板)的吸引方向为何种朝向，都能可靠地对吸附对象物进行吸引保持的吸附装置。

解决技术问题所采用的技术方案

为了实现上述目的，在本发明中，提供一种吸附装置，其特征是，包括：吸附部，上述吸附部与吸附对象物抵接，并形成有多个吸引孔；侧壁及顶壁，上述侧壁及顶壁与该吸附部协同作用而形成大致密闭的负压室；销形状的阀芯，上述阀芯从上述负压室延伸到上述吸引孔内；以及封闭部，上述封闭部因该阀芯在上述吸引孔内滑动而使上述阀芯的一部分与上述吸引孔的内壁的一部分紧密接触，来将上述吸引孔封闭，上述阀芯具有位于上述负压室内的一方的端部、即根部，该根部固定在具有挠性的板形状的挠性体上，上述挠性体在上述负压室内跨设并固定在上述侧壁间，上述挠性体具有多个通孔。

理想的是，在上述吸附对象物侧露出的上述吸引孔的开口部的孔径为2mm以下。

理想的是，上述吸引孔的轴线间的间隔为3mm以下。

发明效果

根据本发明，由于将阀芯形成为销形状，并将该阀芯的根部固定在负压室内，因此，阀芯不会因重力而在吸引孔内自由移动。因而，无论空气对作为吸附对象物的板材(基板)的吸引方向为何种朝向，都能防止阀芯因重力而发生移动来使吸引孔被封闭部封闭。因而，能够可靠地对吸附对象物进行吸引保持。另外，即使吸附对象物存在与吸引孔连通而与吸附对象物的外部连通的部分(连通部)，由于阀芯的根部被固定在具有挠性的挠性体上，因此，在进行吸引时，挠性体发生挠曲而使阀芯移动，利用封闭部将该吸引孔封闭，因而，能够维持负压室内的负压而可靠地对吸附对象物进行吸引保持。另外，由于在挠性体中设置有多个通孔，因此负压室不会被挠性体封闭，能够可靠地确保从吸引泵到吸引孔的吸引路径，仍然能够可靠地对吸附对象物进行吸引保持。

另外，通过将开口部的孔径设置为2mm以下，能够减小各吸引孔的吸附力。因此，即使将吸附对象物层叠，而使吸引孔与位于更外侧的其它吸附对象物经由上述连通部相通，也不会对其它吸附对象物进行吸引。因而，能提高处理性。另外，确认到通过形成为这种小径的吸引孔，即使是较薄的玻璃基板，也不会产生经过吸引孔而带来的吸引痕迹。

另外，通过将吸引孔的轴线间的间隔设置为3mm以下，使吸引孔变得密集。确认到通过形成为这种间隔，即使吸附对象物存在许多个上述连通部，也能将本发明应用于该吸附对象物而对该吸附对象物进行吸引保持。

附图说明

图1是表示本发明的吸附装置的一例的示意图。

图2是表示本发明的吸附装置的一例的放大示意图。

图3是吸附部的示意图。

具体实施方式

如图1及图2所示，本发明的吸附装置1具有吸附部2、侧壁3及顶壁4。在本例中，吸附部2是将片材5、6、7层叠而形成的三层结构。在各片材5、6、7上形成有多个贯穿该片材5、6、7的通孔，这些通孔彼此连通而形成吸引孔8。因而，在吸附部2中形成有多个吸引孔8。片材5、6例如由丙烯酸制的板材形成。片材7由于与所要吸引保持的作为吸附对象物的基板9抵接，因此，理想的是橡胶制的橡胶片。

侧壁3及顶壁4与吸附部2进行协同作用而形成大致密闭的负压室10。详细而言，使侧壁3分别相对而形成四条边，将顶壁4配置于一方的端部，将吸附部2配置于另一方的端部而形成箱体。顶壁4、侧壁3和片材5、6例如通过螺栓11相互旋紧而固定。片材7例如通过粘接而固定在片材6上。这样形成的箱体的内部成为负压室10。连接管12贯穿顶壁4，负压室10经由该连接管12而与吸引泵(未图示)连通。通过使吸引泵工作，能够吸引负压室内10的空气而使负压室10内处于负压状态。

在吸引孔8内配置有销形状的阀芯13。该阀芯13能在吸引孔8内沿吸引孔8的轴向滑动。阀芯13的一方的端部、即根部13a配置在负压室10内。阀芯13的另一方的端部、即前端部13b配置在吸引孔8内。即，阀芯13从负压室10延伸到吸引孔8内。前端部13b具有朝向前端逐渐扩径的扩径部14。另一方面，吸引孔8(在图中是形成在片材5中的通孔)具有朝向阀芯13的前端部13侧逐渐扩径的扩径部15。当阀芯13向根部13a侧滑动时，作为阀芯13的一部分的扩径部14与作为吸引孔8的一部分的扩径部15紧密接触。这样，因扩径部14、15紧密接触，而形成封闭部16，从而形成有封闭部16的吸引孔8被封闭，来切断空气的流通。

在相对的侧壁4间跨设并固定有挠性体17。挠性体17具有挠性，例如能够使用橡胶片、板簧或树脂类的板材。例如使用螺钉18将挠性体17的两端螺纹固定在侧壁4上。在挠性体17中以适当的间隔形成有多个通孔19。

在使用这种吸附装置1对作为吸附对象物的基板9进行吸引保持的情况下，首先使吸附部2的片材9与基板9抵接。在该状态下使上述吸引泵工作，对负压室10内的空气进行吸引。如图2所示，利用基板9将吸引孔8的在基板9一侧露出的开口部8a封闭，因此，被吸引泵吸引的空气的流动如箭头A所示。即，使空气从吸引孔8流过吸引孔8与阀芯13之间，并经由挠性体17的通孔19而从负压室10流出。藉此，负压室10内成为负压。此时，由于能确保从吸引泵到基板9的吸引空气的流路，因此，能够利用吸附装置1对基板9进行吸引保持。

更进一步而言，无论吸引孔8内的空气对基板9的吸引方向为何种朝向，都能对基板9进行吸引保持。即，如图2所示，可以使开口部8a朝向下方，也可以横向、朝向上方、或是任意角度的朝向。这是由于将阀芯13形成为销形状并将该阀芯13的根部13a固定在负压室10内，因此，阀芯13不会因重力而在吸引孔8内自由移动。由于阀芯13不会受到重力的作用，因此即使使开口部8a朝向上方进行吸引，阀芯也不会因重力而下降以形成封闭部16。因而，无论空气对作为吸附对象物的板材(基板9)的吸引方向为何种朝向，都能防止阀芯13在重力的作用下发生移动而使吸引孔8被封闭部16封闭。因而，能够可靠地对基板9进行吸引保持。另外，在进行吸引时，虽然挠性体17稍微挠曲而使阀芯13向负压室10侧移动，但阀芯13不会向负压室10侧移动，而达到将封闭部16形成为使负压室10内处于真空状态这种程度。

另一方面，对基板9实施各种各样的加工。例如形成将基板9贯穿的穿孔20(参照图1)。在具有这种穿孔20的情况下，若如上所述地固定阀芯13，则空气从基板9的外部流入到吸引孔8内，因此无法维持负压室10内的负压，使得基板9的吸引保持变得不稳定。但是，由于挠性体17具有挠性，因此，在吸引泵的吸引作用下会使挠性体17进一步挠曲，而使阀芯13向负压室10侧移动。藉此，扩径部14与扩径部15紧密接触而形成封闭部16。因而，负压室10内维持负压状态而处于真空状态，能够利用其它的吸引孔8对基板9进行吸引保持。

上述穿孔20是作为对基板9实施形状加工而在连通部8与基板9的外部之间确保空气的流通路径的部分(连通部)的一例。作为这种连通部，除此之外还可在基板制造工艺中具有V形切口，该V形切口是在将基板分割开的部分切入刻痕直至基板的中途深度而形成的。在上述V形切口部分配置开口部8a，也能使挠性体17挠曲而形成封闭部16，从而能维持负压室10内的负压状态。为了仅使插通到如上所述配置于连通部的吸引孔8内的阀芯13滑动，理想的是在根部13a所固定的周围设置通孔19。藉此，能仅使该阀芯13可靠地滑动移动。另外，由于在吸引时自动进行这种阀芯13的移动，因此，不用考虑形成于基板9的连通部的位置就能进行吸引保持作业，是高效的。另外，通过改变挠性体17的材质等，能够改变挠曲量。

如图3所示，在吸附部2所具有的片材7中，吸引孔8的开口部8a在作为吸附对象物的基板9侧露出。理想的是，将该开口部8a的孔径设置为2mm以下。通过将开口部8a的孔径设置为2mm以下，能够减小各吸引孔8的吸附力。因此，即使将作为吸附对象物的基板9层叠，而使吸引孔8与位于更外侧的其它吸附对象物经由上述连通部20连通，也不会对其它吸附对象物9进行吸引。因而，能提高处理性。另外，确认到通过形成为这种小径的吸引孔8，即使吸附对象物9是较薄的玻璃基板，也不会产生经过吸引孔8而带来的吸引痕迹。

另外，如图3所示，理想的是，吸引孔8的轴线间的间隔为3mm以下。通过将吸引孔8的轴线间的间隔p设置为3mm以下，使吸引孔8变得密集。确认到通过形成为这种间隔，即使吸附对象物9存在许多个上述连通部20，也能将本发明应用于该吸附对象物9而对该吸附对象物9进行吸引保持。

(符号说明)

1 吸附装置

2 吸附部

3 侧壁

4 顶壁

5 片材

6 片材

7 片材

8 吸引孔

8a 开口部

9 基板(吸附对象物)

10 负压室

11 螺栓

12 连接管

13 阀芯

13a 根部

13b 前端部

14 扩径部

15 扩径部

16 封闭部

17 挠性体

18 螺钉

19 通孔

20 穿孔(连通部)。

Claims (3)

1.一种吸附装置，其特征在于，包括：

吸附部，所述吸附部与吸附对象物抵接，并形成有多个吸引孔；

侧壁及顶壁，所述侧壁及顶壁与所述吸附部协同作用而形成大致密闭的负压室；

销形状的阀芯，所述阀芯从所述负压室延伸到所述吸引孔内；以及

封闭部，所述封闭部因所述阀芯在所述吸引孔内滑动而使所述阀芯的一部分与所述吸引孔的内壁的一部分紧密接触，来将所述吸引孔封闭，

所述阀芯具有位于所述负压室内的一方的端部、即根部，

所述根部固定在具有挠性的板形状的挠性体上，所述挠性体在所述负压室内跨设并固定在所述侧壁间，

所述挠性体具有多个通孔。

2.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，

在所述吸附对象物侧露出的所述吸引孔的开口部的孔径为2mm以下。

3.如权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，

所述吸引孔的轴线间的间隔为3mm以下。