JP6832720B2 - チャック装置、及びチャック方法 - Google Patents

Description

本発明は、シートをチャックするための技術に関する。

特許文献１には、シートと基板とを貼り合せる装置が開示されている。特許文献１の装置は、基板を保持する基板保持器と、シートを保持するシート保持器と、を備えている。そして、基板保持器と、シート保持器とを移動することで、シートを基板に貼り合せている。さらに、特許文献１の装置は、基板とシートとをニップする弾性ローラを備えている。したがって、特許文献１の装置によれば、気泡無くシートを基板に貼り合せることができる。

特開２００４−１４６０２７号公報

しかしながら、特許文献１の装置では、装置構成が大型化、複雑化してしまうという問題点がある。例えば、基板保持器、シート保持器、及び弾性ローラを駆動するための機構が必要となる。したがって、装置を簡素な構成とすることが困難である。

このようなシートの製造プロセス中において、気泡が発生した状態でシートがチャックされると、適切に後のプロセスを施すことができなくなってしまうという問題がある。したがって、気泡が発生することなく、シートを適切のチャックすることが望まれる。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、簡素な構成で、シートを適切にチャックする技術を提供することを目的とする。

本実施形態の一態様に係るチャック装置は、チャック面を有し、載置面に載置されているシートをチャックするハンドと、前記ハンドが前記シートに接触する前において、前記載置面に対する前記チャック面の角度が所定の角度となるように前記ハンドを保持し、且つ、前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記所定の角度が減少するように前記ハンドを回転可能に保持する回転保持機構と、前記載置面に対する前記チャック面の角度が前記所定の角度に保たれた状態で、前記ハンドが前記シートの一端側をチャックするように、前記ハンドを下降させる昇降機構と、を備えたものである。これにより、簡素な構成で、シートを適切にチャックすることができる。

上記のチャック装置は、前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記ハンドを下降させながら前記所定の角度を減少させ、前記チャック面が前記シートの他端側と近づくように、前記回転保持機構、及び昇降機構を制御する制御部をさらに備えていてもよい。これにより、簡素な構成で、シートを適切にチャックすることができる。

上記のチャック装置において、前記シートと前記チャック面との間の空気を逃がす空気穴が前記ハンドに設けられていることが好ましい。これにより、シートをより適切にチャックすることができる。

上記のチャック装置において、前記ハンドが静電チャックにより前記シートをチャックするものであってもよい。これにより、狭いスペースにハンドを挿入することができる。

本実施形態の一態様に係るチャック方法は、チャック面を有し、載置面に載置されたシートをチャックするハンドと、前記載置面に対する前記チャック面の角度を変えるよう、前記ハンドを回転可能に保持する回転保持機構と、前記ハンドを下降させる昇降機構と、を備えたチャック装置を用いたチャック方法であって、前記ハンドが前記シートに接触する前において、前記載置面に対する前記チャック面の角度が所定の角度となるように前記ハンドを保持するステップと、前記載置面に対して前記チャック面が前記所定の角度になっている状態で、前記ハンドが前記シートの一端側をチャックするように、前記ハンドを下降させるステップと前記ハンドが前記シートの一端側に接触した後において、前記ハンドが回転することで前記所定の角度が減少するステップと、を備えたものである。これにより、簡素な構成で、シートを適切にチャックすることができる。

上記のチャック方法において、前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記ハンドを下降させながら前記所定の角度を減少させ、前記チャック面が前記シートの他端側と近づくように、前記回転保持機構、及び昇降機構を制御するようにしてもよい。これにより、簡素な構成で、シートを適切にチャックすることができる。

上記のチャック方法において、前記シートと前記チャック面との間の空気を逃がす空気穴が前記ハンドに設けられていることが好ましい。これにより、シートをより適切にチャックすることができる。

上記のチャック方法において、前記ハンドが静電チャックにより前記シートをチャックするものであってもよい。これにより、狭いスペースにハンドを挿入することができる。

本発明によれば、簡素な構成で、シートを適切にチャックする技術を提供することができる。

実施の形態１にかかるチャック装置の構成を示すＸＺ平面図である。 実施の形態１にかかるチャック装置の構成を示すＹＺ平面図である。 実施の形態１にかかるチャック装置のハンドの構成を示すＸＹ平面図である。 実施の形態１にかかるチャック装置の動作を示すＸＺ平面図である。 実施の形態１にかかるチャック装置の動作を示すＸＺ平面図である。 実施の形態１にかかるチャック装置の動作を示すＸＺ平面図である。 空気穴を有するハンドの構成を示すＸＹ平面図である。 実施の形態２にかかるチャック装置の動作を示す斜視図である。 実施の形態２にかかるチャック装置の構成を示すＸＺ平面図である。 実施の形態３にかかるチャック装置の構成を示す斜視図である。

以下、本発明の実施形態の一例について図面を参照して説明する。以下の説明は、本発明の好適な実施形態を示すものであって、本発明の技術的範囲が以下の実施形態に限定されるものではない。

実施の形態１．
本実施の形態にかかるチャック装置は、シート状デバイスであるシート状二次電池をチャックする。以下、本実施の形態にかかるチャック装置について、図１〜図３を参照して説明する。なお、説明の明確化のため、図にはＸＹＺ３次元直交座標系が示されている。Ｚ方向は、鉛直方向となり、ＸＹ平面は水平面方向となる。シート７０はＸＹ平面と平行になっている。図１は、チャック装置１００の構成を示すＸＺ平面図である。図２は、チャック装置１００の構成を示すＹＺ平面図である。図３は、チャック装置１００のハンド１０の構成を示すＸＹ平面図である。なお、正方形状のシート７０の端辺は、Ｘ方向、及びＹ方向と平行になるように載置されている。

チャック装置１００は、ハンド１０と、アーム機構２０とを備えている。また、チャック対象となるシート７０は、ステージ５０の上に載置されている。ステージ５０の載置面５１は、ＸＹ平面と平行になっている。よって、シート７０は、ＸＹ平面と平行な状態で、ステージ５０の上に配置されている。シート７０は、基材シート上に設けられた充電層等を有している。基材シートには、アルミニウムなどの金属材料が用いられる。

ハンド１０は、載置面５１に載置されているシート７０をチャックする。したがって、ハンド１０の下面がチャック面１１となっている。チャック面１１は平面となっている。例えば、ハンド１０は、平行平板型の部材である。

具体的には、ハンド１０は、静電チャック、又は真空チャックによりシート７０をチャックする。静電チャックの場合に、ハンド１０は、セラミックと、電極とを有している。セラミックに内蔵された電極に電圧が印可されることで、シート７０をチャックするためのクーロン力が発生する。真空チャックの場合、チャック面１１に設けられた吸着穴内の空気を排気することで、シート７０が吸着される。なお、静電チャックを用いた場合、真空チャックを用いた場合よりもハンド１０を薄くすることができる。よって、静電チャックを用いた場合、より狭いスペースにハンド１０を挿入することができる。

ここでは、ハンド１０に静電チャックを用いた一例について説明する。シート７０は、３００ｍｍ×３００ｍｍの正方形となっている。図３に示すように、ハンド１０の静電チャック範囲は３１０ｍｍ×３１０ｍｍの正方形となっている。よって、チャック面１１は、シート７０よりも大きくなっている。

アーム機構２０は、例えば、ハンド１０を動作させるためのロボットアームである。アーム機構２０は、ハンド１０を移動可能に保持している。アーム機構２０は、ハンド１０をステージ５０の上方に保持している。アーム機構２０は、回転機構２１と、昇降機構２２と、制御部２５と、を備えている。

回転機構２１は、ハンド１０の上面に取り付けられている。回転機構２１はハンド１０を保持している。回転機構２１は、モータなどのアクチュエータ２１ａを有している。回転機構２１の回転軸は、Ｙ方向と平行になっている。すなわち、回転機構２１の回転軸は、シート７０の端辺と平行になっている。アクチュエータ２１ａが駆動することで、ハンド１０がＹ軸周りに回転する。回転機構２１が駆動することで、ハンド１０のチャック面１１の傾きが変化する。回転機構２１は、シート７０に対するチャック面１１の傾きを変えるよう、ハンド１０を回転させる。

昇降機構２２は、ハンド１０を昇降させる。昇降機構２２は、モータ等のアクチュエータ２２ａを備えている。昇降機構２２は、回転機構２１を保持している。アクチュエータ２２ａが駆動することで、回転機構２１が上下方向（Ｚ方向）に移動する。これにより、ハンド１０を上下方向に移動させることができる。

制御部２５は、プロセッサやメモリなどを有しており、回転機構２１と昇降機構２２とを制御する。例えば、制御部２５は、アクチュエータ２１ａ、及ぶアクチュエータ２２ａを駆動するための駆動信号を生成する。アクチュエータ２１ａ、及びアクチュエータ２２ａは、サーボモータなどであり、制御部２５からの駆動信号に応じた駆動量で駆動する。これにより、回転機構２１の回転量と、昇降機構２２の移動量を制御することができる。すなわち、制御部２５は、ハンド１０のチャック面１１の角度と、ハンド１０のＺ方向位置とを制御することができる。

次に、チャック装置１００を用いたチャック方法について、図１、図４〜図６を参照して説明する。図１、図４〜図６は、チャック装置１００の動作を説明するためのＸＺ平面図である。なお、以下に説明するチャック装置１００の回転機構２１、及び昇降機構２２の動作は、制御部２５によって制御される。

図１は、ハンド１０がチャックを開始する前の待機位置にある状態を示している。図１に示すように、チャック開始前の状態では、ハンド１０がシート７０と接触していない。すなわち、ハンド１０は、シート７０の上方に離間して配置されている。また、シート７０に対してチャック面１１が傾いている。具体的には、シート７０の一端側（−Ｘ側）では、シート７０の他端側（＋Ｘ側）よりも、Ｚ方向におけるシート７０とチャック面１１との距離が小さくなっている。つまり、チャック面１１が載置面５１に対して所定の角度を有している。なお、本実施の形態において、シート７０の−Ｘ側の端部をシート７０の一端とし、シート７０の＋Ｘ側の端部をシート７０の他端とする。シート７０の一端は、他端よりもチャック面１１に近くなっている。

図１に示す状態から、昇降機構２２がハンド１０を下降させていくと、図４に示す状態となる。図４は、ハンド１０が下降している下降中の状態を示している。図４では、図１と同様に、チャック面１１がシート７０に対して傾いている。すなわち、シート７０に対してチャック面１１が傾いた状態で、昇降機構２２がハンド１０を下降させていく。

ハンド１０とシート７０とが接近した部分からチャックが開始される。ハンド１０がシート７０の一端側を他端側よりも早くチャックする。図４では、ハンド１０がシート７０の一端側のみをチャックしており、他端側をチャックしていない。シート７０の一端では、他端よりもシート７０とチャック面１１との距離が短いため、静電チャックのクーロン力によってシート７０の一端側のみがチャックされる。チャック開始時点では、シート７０の一端側がチャック面１１と接触しており、他端側は接触していない。したがって、シート７０は、チャック面１１の傾きの減少に伴って、載置面５１に載置されていた状態から、一端側を徐々に変形させながらハンド１０にチャックされる。

このように、シート７０に対してチャック面１１が傾いた状態でハンド１０がシート７０の一端側をチャックするように、昇降機構２２がハンド１０を下降させる。なお、図１から図４までの間、回転機構２１の回転角は、変化せず一定となっている。

そして、図４に示す状態となったら、制御部２５がハンド１０を下降させながら、チャック面１１の傾きを変えて、チャック面１１がシート７０の他端側と近づくように、回転機構２１、及び昇降機構２２を制御する。具体的には、昇降機構２２による下降と、回転機構２１による回転とが同期して行われるように、制御部２５が、アクチュエータ２１ａ、及びアクチュエータ２２ａを制御する。これにより、ハンド１０が矢印Ｂの方向に下降中に、シート７０の他端側がチャック面１１に近づくように、ハンド１０が矢印Ａの方向に回転する。

図５に示すように、チャック面１１がＸＹ平面と平行になるまで、回転機構２１がハンド１０を回転させる。図５は、ハンド１０の下降が終了した状態を示している。チャック面１１が水平になるまで回転機構２１がハンド１０を回転させる。そして、チャック面１１が水平になるタイミングで昇降機構２２によるハンド１０の下降が終了する。これにより、チャック面１１がステージ５０の載置面５１と平行になり、ハンド１０がシート７０の全体をチャックする。なお、アクチュエータ２１ａの回転量が大きくなり過ぎないようにメカストッパを回転機構２１に設けてもよい。

このように、ハンド１０の下降中に、回転機構２１がチャック面１１の傾きを徐々に変化させている。よって、シート７０の一端から他端に向けて、ハンド１０が徐々にシート７０をチャックしていく。このようにすることで、シート７０のチャック時に、シート７０とチャック面１１との間の空気を、シート７０の他端側から逃がすことができる。シート７０とチャック面１１との間に気泡が発生するのを防ぐことができる。よって、シート７０にしわを発生させることなく、ハンド１０がシート７０をチャックすることができる。また、チャック面１１がステージ５０の載置面５１と平行であるため、シート７０は平坦にチャックされる。

ハンド１０がシート７０の全体をチャックしたら、図６に示すように、昇降機構２２がハンド１０を上昇させる。すなわち、ハンド１０がステージ５０から離れていく。なお、ハンド１０がステージ５０から離れていく際に、回転機構２１がハンド１０を回転させることで、チャック面１１が元の傾きに戻る。すなわち、図６に示す状態では、チャック面１１が図１に示したチャック面１１と平行になっている。なお、ハンド１０がシート７０をチャックした後のチャック面１１の傾きは特に限定されるものではない。

これにより、シート７０とチャック面１１との間に気泡が発生するのを防ぐことができる。シート７０にしわが残らなくなり、歩留まり向上を図ることできる。よって、簡素な構成で、しわを発生させることなく、チャック装置１００がシート７０をハンドリングすることができる。

シート７０に次のプロセスを施すため、アーム機構２０は、別の装置（図示省略）にシート７０を搬送する。別の装置では、シート７０に気泡が発生していない状態でプロセスを施すことができるため、シート７０に対する処理を適切に施すことができる。

また、回転機構２１の回転軸がＹ方向に沿って配置されている。回転機構２１の回転軸がチャック前のシート７０と平行になっている。よって、回転機構２１が回転することで、シート７０の−Ｘ側の端辺から、＋Ｘ側の端辺に向けて、シート７０が徐々にチャックされていく。したがって、シート７０とチャック面１１との間に気泡が発生するのをより効果的に、防ぐことができる。

さらに、チャック面１１とシート７０との間の空気を逃がすための空気穴をハンド１０に設けるようにしてもよい。図７に、空気穴１２を有するハンド１０の構成の一例を示す。図７は、ハンド１０のチャック範囲を模式的に示すＸＹ平面図である。

ハンド１０には、一定間隔で空気穴１２が設けられている。空気穴１２は、ハンド１０を貫通穴である。ここでは、Ｘ方向、及ぶＹ方向に空気穴１２が３０ｍｍピッチで配置されている。Ｘ方向に１０個、Ｙ方向に１０個の空気穴がアレイ状に配列されている。空気穴１２の直径は１ｍｍである。また、ハンド１０には、２つの電極穴１３が設けられている。静電チャックのチャック電極に接続するために設けられている。電極穴１３は、空気穴１２と重ならない位置に配置されている。

このように、ハンド１０に空気を逃がすための空気穴１２を設けることで、気泡が発生するのを効果的に防ぐことができる。よって、より適切にシート７０をチャックすることが可能となる。

さらに、本実施の形態において、回転機構２１の回転軸は駆動軸ではなく、従動軸となっていてもよい。すなわち、回転機構２１にはアクチュエータ２１ａが設けられいなくてもよく。この場合、回転機構２１は、ハンド１０がシート７０に接触する前において、ハンド１０を所定の角度に保持する回転保持機構となり、ハンド１０に外力が加わった場合に、ハンド１０がＹ軸周りに回転する。制御部２５は、昇降機構２２のみを制御して、回転機構２１を制御する必要がなくなる。すなわち、制御部２５は、昇降機構２２のみをストロークで昇降させればよい。

具体的には、回転機構２１は、ハンド１０がシート７０に接触する前では、載置面５１に対するチャック面１１の角度が所定の角度となるようにハンド１０を保持する。すなわち、ハンド１０がシート７０に接触する前では、載置面５１とチャック面１１との間の角度が０度ではない所定の角度になっている。そして、昇降機構２２がハンド１０を下降させていき、ハンド１０がシート７０に接触すると、ハンド１０の下降に応じて、チャック面１１と載置面５１の角度が徐々に減少していく。チャック面１１と載置面５１の角度が０度、すなわち、チャック面１１と載置面５１が平行となると、昇降機構２２が下降を終了する。チャック面１１の回転角度は、メカストッパなどにより規制してもよい。

本実施の形態にかかるチャック装置は、ハンド１０がシート７０に接触する前において、チャック面１１が載置面５１に対する角度が所定の角度となるようにハンド１０を保持し、且つ、ハンド１０がシート７０に接触した後において、所定の角度が減少するようにハンド１０を回転可能に保持する回転保持機構を備えている。また、チャック装置は、載置面５１に対してチャック面１１が所定の角度に保たれた状態で、ハンド１０がシートの７０一端側をチャックするように、昇降機構２２がハンド１０を下降させる。シート７０がチャック面１１と接触した後は、昇降機構２２の回転に応じて、載置面５１とチャック面１１との間の角度が徐々に減少していく。

本実施の形態にかかるチャック方法は、ハンド１０がシート７０に接触する前において、載置面５１に対するチャック面１１の角度が所定の角度となる様にハンド２０を保持するステップと、載置面５１に対してチャック面１１が所定の角度になっている状態で、ハンド１０がシート７０の一端側をチャックするように、ハンド１０を下降させるステップと、ハンド１０がシートの一端側に接触した後において、ハンド１０が回転することで所定の角度が減少するステップと、を備えている。

実施の形態２．
本実施の形態のチャック装置について、図８、及び図９を用いて説明する。図８は、本実施の形態にかかるチャック装置のアーム機構２０Ａを模式的に示す斜視図である。図９は、アーム機構２０Ａに取り付けられたハンド１０を示す側面図である。なお、アーム機構２０Ａ以外の構成、及び動作は、実施の形態１と同様であるため、適宜説明を省略する。

図８に示すように、アーム機構２０Ａが６軸のロボットアームとなっている。アーム機構２０Ａは、Ｓ軸、Ｌ軸、Ｕ軸、Ｒ軸、Ｔ軸、及びＢ軸を有している。各軸は、それぞれサーボモータ等のアクチュエータが設けられた関節機構である。また、アーム機構２０Ａは、本体２６と、アーム２７と、手首２８とを備えている。図９に示すように、手首２８の先端に、実施の形態１で示したハンド１０（図８では、図示を省略）が取り付けられている。本体２６はアーム２７を移動可能に保持している。アーム２７は、手首２８を移動可能に保持している

Ｓ軸は、アーム機構２０Ａの本体２６を回転させる回転軸である。Ｌ軸はアーム機構２０Ａの本体２６を前後に動かす回転軸である。Ｕ軸は、アーム２７を上下に動かす回転軸である。Ｒ軸は、アーム２７を回転させる回転軸である。Ｔ軸は手首２８を回転させる回転軸である。Ｂ軸は手首２８を上下に振る回転軸である。

アーム機構２０ＡのＴ軸が実施の形態１の回転機構２１に対応する。図９に示すように、アーム機構２０ＡのＴ軸が駆動することで、ハンド１０が図９の矢印Ａ方向に回転する。これにより、ハンド１０のチャック面１１の傾きが変化する。また、Ｕ軸が実施の形態１の昇降機構２２に対応する。アーム機構２０ＡのＵ軸が駆動することで、ハンド１０が図９の矢印Ｂ方向に移動する。

ステージ５０Ａの上に、シート７０Ａが載置されている。実施の形態１と同様に、シート７０Ａに対してチャック面１１Ａが傾いた状態で、Ｕ軸がハンド１０Ａを下降させていく。これにより、ハンド１０Ａがシート７０Ａの一端側をチャックする。そして、Ｕ軸がハンド１０Ａを下降させている間、Ｔ軸がチャック面１１Ａの傾きを変えることで、チャック面１１Ａがシート７０Ａの他端側と近づいていく。

このように６軸のアーム機構２０Ａによっても、実施の形態１と同様にハンド１０を動作させることができる。よって、実施の形態１と同様に、シート７０を適切にチャックすることができる。また、アーム機構２０Ａによって、チャックしたシート７０を任意の位置に移動させることができる。よって、シート７０のハンドリングが容易になる。もちろん、アーム機構２０Ａの回転軸の数は、６軸に限られるものではない。また、Ｕ軸のみを駆動してハンド１０を上下に移動したが、Ｕ軸とともに他の回転軸を駆動することで、ハンド１０を上下に移動させてもよい。

実施の形態３．
図１０は、実施の形態３にかかるチャック装置１００Ｂの要部構成を模式的に示す斜視図である。図１０では、アーム機構２０Ｂの先端部分のみを示している。実施の形態３では、実施の形態２で示したアーム機構２０Ａと同様に６軸のアーム機構２０Ｂを用いている。よって、アーム機構２０Ｂは、Ｓ軸、Ｌ軸、Ｕ軸、Ｒ軸、Ｔ軸、及びＢ軸を有している。なお、実施の形態３にかかるチャック装置１００Ｂの基本的構成、及び動作については、実施の形態１、２と重複するため、適宜説明を省略する。

本実施の形態では、Ｂ軸とＴ軸との２軸によって、回転機構が構成されている。このようにすることで、シート７０Ｂの対角線に沿った回転軸周りに、ハンド１０Ａが回転する。すなわち、回転機構の回転軸が実施の形態１と異なっている。回転機構２１の回転軸は、シート７０の端辺と平行になっていない。また、Ｕ軸によって、昇降機構が構成されている。シート７０Ｂの＋Ｘ側かつ＋Ｙ側の角部において、シート７０Ｂとハンド１０Ｂとが最も接近しており、−Ｘ側かつ−Ｙ側の角部において最も離れている。

実施の形態１で説明したように、アーム機構２０Ｂがハンド１０Ｂを下降させながら、チャック面の傾きを変える。具体的には、シート７０Ｂに対してチャック面が傾いた状態でハンド１０Ｂがシート７０の一端側をチャックするように、Ｕ軸がハンド１０Ｂを下降させる。その後、Ｕ軸がハンド１０Ｂを下降させながら、チャック面の傾きを変えて、チャック面をシート７０の他端側と近づけていく。なお、本実施の形態では、シート７０Ｂの一端は、＋Ｘ側かつ＋Ｙ側の角部となり、他端側はシート７０Ｂの一端は、−Ｘ側かつ−Ｙ側の角部となる。

このようにすることで、シート７０Ｂの＋Ｘ側かつ＋Ｙ側の角部から、−Ｘ側かつ−Ｙ側の角に向けて、徐々にハンド１０Ｂがシート７０Ｂをチャックしていく。よって、実施の形態１と同様に、気泡の発生を防ぐことができる。これにより、シート７０Ｂを適切にチャックすることができる。なお、昇降機構を２軸によって構成してもよい。

上記したチャック装置は、ロールトゥロール方式で製造されたシート状二次電池のチャックに好適である。もちろん、本実施の形態では、チャック装置におけるチャック対象物は、シート状二次電池に限られるものではなく、二次電池以外のシート状デバイスであってもよい。例えば、ロールトゥロール方式で、基材の片面、又は両面に充電層や電極層等を形成することで、シートにデバイスを製造する。ロールトゥロール方式では、シート状デバイスが形成されたロールが製造される。そして、シート状デバイスのロールを切断した後、チャック装置がチャックする。チャック装置は、シートを次の工程に搬送して、プロセスを施す。チャック対象物は、シート状デバイスに限らず、種々の用途のフィルムやシートであってもよい。なお、チャックするシート７０の平面形状は正方形に限られず、長方形や円形などの他の形状であってもよい。

以上、本発明の実施形態の一例を説明したが、本発明はその目的と利点を損なうことのない適宜の変形を含み、更に、上記の実施形態による限定は受けない。

１００ チャック装置
１０、１０Ａ、１０Ｂ ハンド
１１ チャック面
２０、２０Ａ、２０Ｂ アーム機構
２１ 回転機構
２１ａ アクチュエータ
２２ 昇降機構
２２ａ アクチュエータ
２５ 制御部
２６ 本体
２７ アーム
２８ 手首
５０ ステージ
７０、７０Ａ、７０Ｂ シート

Claims (8)

1. 平面であるチャック面を有し、平面である載置面に載置されているシートをチャックするハンドと、
   前記ハンドが前記シートに接触する前において、前記載置面に対する前記チャック面の角度が所定の角度となるように前記ハンドを保持し、且つ、前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記所定の角度が減少するように前記ハンドを回転可能に保持する回転保持機構と、
   前記載置面に対する前記チャック面の角度が前記所定の角度に保たれた状態で、前記ハンドが前記シートの一端側をチャックするように、前記ハンドを下降させる昇降機構と、
   前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記ハンドを下降させながら前記所定の角度を減少させ、前記チャック面が前記シートの他端側と近づくように、前記回転保持機構、及び昇降機構を制御する制御部と、を備えたチャック装置。
2. 前記シートの全体をチャックした後に、前記回転保持機構が前記ハンドを回転させながら、前記昇降機構が前記ハンドを上昇させていく請求項１に記載のチャック装置。
3. 前記シートと前記チャック面との間の空気を逃がす空気穴が前記ハンドに設けられていることを特徴とする請求項１、又は２に記載のチャック装置。
4. 前記ハンドが静電チャックにより前記シートをチャックする請求項１〜３のいずれか１項に記載のチャック装置。
5. 平面であるチャック面を有し、平面である載置面に載置されたシートをチャックするハンドと、
   前記載置面に対する前記チャック面の角度を変えるよう、前記ハンドを回転可能に保持する回転保持機構と、
   前記ハンドを下降させる昇降機構と、を備えたチャック装置を用いたチャック方法であって、
   前記ハンドが前記シートに接触する前において、前記載置面に対する前記チャック面の角度が所定の角度となるように前記ハンドを保持するステップと、
   前記載置面に対して前記チャック面が前記所定の角度になっている状態で、前記ハンドが前記シートの一端側をチャックするように、前記ハンドを下降させるステップと、
   前記ハンドが前記シートの一端側に接触した後において、前記ハンドが回転することで前記所定の角度が減少するステップと、を備え、
   前記ハンドが前記シートに接触した後において、前記ハンドを下降させながら前記所定の角度を減少させ、前記チャック面が前記シートの他端側と近づくように、前記回転保持機構、及び昇降機構を制御する、チャック方法。
6. 前記シートの全体をチャックした後に、前記回転保持機構が前記ハンドを回転させながら、前記昇降機構が前記ハンドを上昇させていく請求項５に記載のチャック方法。
7. 前記シートと前記チャック面との間の空気を逃がす空気穴が前記ハンドに設けられていることを特徴とする請求項５、又は６に記載のチャック方法。
8. 前記ハンドが静電チャックにより前記シートをチャックする請求項５〜７のいずれか１項に記載のチャック方法。

Images