JP6592662B1 - ワーク運搬装置 - Google Patents
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Abstract
Description
請求項2に記載の発明は、前記ジョイント部は、請求項1に記載のワーク運搬装置であって、前記吸着部の向き・角度を一定の範囲内で調整・保持可能である、ことを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2何れか1項に記載のワーク運搬装置であって、前記吸着層の反電極層側に、前記樹脂シートより比誘電率の低い低誘電膜または電気伝導性を有する導電膜が形成されている、ことを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1から3何れか1項に記載のワーク運搬装置であって、前記ベース部の面内に1個以上の開口が形成されている、ことを特徴とする。
これによれば、電池から供給された電圧が、電圧発生回路で300V以上に昇圧され、第一正極、第一負極から端子部を通じて電極層に印加され、吸着層に静電気を発生させ、この静電力によりワークを吸着させる。
2 本体部
21 筐体
22 第一電極部
22P 第一正極部
22N 第一負極部
23 電圧発生回路
3 ジョイント部
4 吸着部
41 ベース部
42 電極層
42P 第二正極部
42N 第二負極部
Claims (4)
- 印加された電圧により発生する静電力によりワークを吸着する静電チャック型のワーク運搬装置であって、
前記ワーク運搬装置は、ワーク運搬時に把持するとともに高電圧を発生する本体部と、ワークを吸着する吸着部と、前記本体部と前記吸着部を機械的に接続するジョイント部を備え、
前記本体部は、ワーク運搬時に把持する筐体と、前記筐体に内蔵され、電池を電源として300V以上の高電圧を発生させる電圧発生回路と、同様に前記筐体に取り付けられ、前記電圧を出力するための第一正極と第一負極と、を有し、
前記吸着部は、平板状のベース部と、第二正極または第二負極として設置されたシート状の電極層と、前記電極層に一体的に形成されたシート状の吸着層からなる積層シートと、を有し、
前記ベース部は、厚さが0.5mm以上の樹脂板よりなり、
前記電極層は、柔軟性を有する厚さが8μm以上30μm以下の2枚以上の金属箔を有する薄膜よりなり、
前記吸着層は、柔軟性を有する厚さが7μm以上300μm以下の樹脂シートよりなり、
前記積層シートは、ワークの歪みや凹凸に追従してワークを保持することができるように、その外周部の全部または一部がワークの歪みや凹凸に追従可能なゆとりを持って、前記電極層が前記ベース部に対面する向きで、前記ベース部に着脱自在に固定され、
前記第一正極は、前記第二正極に、前記第一負極は前記第二負極に、電気的に接続されている、
ことを特徴とする、ワーク運搬装置。 - 前記ジョイント部は、前記吸着部の向き・角度を一定の範囲内で調整・保持可能である、
ことを特徴とする、請求項1に記載のワーク運搬装置。 - 前記吸着層の反電極層側に、前記樹脂シートより比誘電率の低い低誘電膜または電気伝導性を有する導電膜が形成されている、
ことを特徴とする、請求項1または2何れか1項に記載のワーク運搬装置。 - 前記ベース部の面内に1個以上の開口が形成されている、
ことを特徴とする、請求項1から3何れか1項に記載のワーク運搬装置。
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