JP2010027652A - 静電吸着用基板固定部材 - Google Patents
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Abstract
【課題】表面処理中に接着力が低下せず、表面処理後に基板から容易に剥離させることができる静電吸着用の基板固定部材及びそれを用いた基板の表面処理方法を提供する。
【解決手段】静電気力を用いて基板を載置部に静電吸着させるためにその基板に貼り付けられる基板固定部材10に、導電性を有する導電部材12と、所定温度以上で接着力が低下する、導電部材12を基板に接着させる熱剥離接着部材14とを設ける。基板と基板固定部材10の接着に熱剥離接着部材14が用いられているため、基板の温度をその所定温度よりも低く保っておけば、表面処理中に接着力が低下することがない。また、表面処理後に基板を所定温度以上に加熱するだけで、基板から基板固定部材10を容易に剥離させることができる。
【選択図】図1
【解決手段】静電気力を用いて基板を載置部に静電吸着させるためにその基板に貼り付けられる基板固定部材10に、導電性を有する導電部材12と、所定温度以上で接着力が低下する、導電部材12を基板に接着させる熱剥離接着部材14とを設ける。基板と基板固定部材10の接着に熱剥離接着部材14が用いられているため、基板の温度をその所定温度よりも低く保っておけば、表面処理中に接着力が低下することがない。また、表面処理後に基板を所定温度以上に加熱するだけで、基板から基板固定部材10を容易に剥離させることができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、静電気力を用いて基板を載置部に静電吸着させるために該基板に貼り付けられる基板固定部材及びそれを用いた基板の表面処理方法に関する。
真空中で行われるプラズマ処理等の表面処理では、被処理物である基板の表面にラジカルやイオンが到達して基板表面が処理されるときに熱が発生し、基板の温度が上昇する。基板温度が高くなると、基板上に形成された電子回路が破壊されたり、基板表面に設けられたフォトレジストが損傷を受ける。それを防ぐため、基板が固定される載置部の表面に溝を設け、溝とその上に載置された基板に囲まれた空間(流路)にヘリウムガス等の熱媒体を流し、基板で発生した熱を熱媒体を介して外部に放出させて基板を冷却させることが行われている。
真空中で表面処理を行う表面処理装置では、基板を載置部に固定する方法として静電チャックが広く用いられている。静電チャック機能を有する載置部は、基板が載置される誘電層の下に電極が設けられたものである。その電極に直流電圧が印加されると、誘電層とその上に載置された基板の間に静電気力が発生する。この静電気力によって、基板は誘電層に吸着される。
静電チャックは、金属やシリコン等に対しては十分な吸着力を発揮するが、化合物半導体やサファイア、SiO2等に対しては吸着力が弱い。そのため、化合物半導体等の基板を誘電層に吸着させても、基板と誘電層の間には僅かな隙間が生じやすく、基板で発生した熱を誘電層側に効率よく逃がすことができない。誘電層の表面に熱媒体を流すための溝が設けられている場合には、基板を十分に密着させないと、その溝の上縁部と基板の間に隙間が生じ、そこから熱媒体であるガスが漏れ出す。静電チャックの吸着力を強めるために電極に高電圧を印加すると、プラズマ処理においてはプラズマの形成に悪影響が及ぶ。
そこで、従来より、片面に導電層を有する粘着テープを基板に貼り付け、その導電層を誘電層に静電吸着させることにより、基板を載置部に固定することが提案されている(特許文献1参照)。また、基板表面を保護するために用いられる保護テープの粘着剤として、紫外線によって接着力が低下するものを使用し、紫外線照射により基板を傷つけることなく基板から保護テープを容易に剥離させることも提案されている(特許文献2参照)。
特許文献1に記載の従来の粘着テープは、表面処理中に基板から剥がれることがないように基板に対して十分に強い接着力を有する。そのため、表面処理後に粘着テープを基板から剥離させにくく、誤って基板を破損させてしまうおそれがある。また、そのようなテープの粘着剤として、特許文献2に記載の粘着剤を使用すると、紫外線透過率の高いサファイア等の基板を表面処理する際には、プラズマ等から放射される紫外線が基板を透過して粘着剤に到達し、プラズマ処理中に徐々に粘着剤の接着力が低下してしまう。
本発明は以上のような課題を解決するために成されたものであり、その目的は、表面処理中に接着力が低下せず、表面処理後に基板から容易に剥離させることができる静電吸着用の基板固定部材及びそれを用いた基板の表面処理方法を提供することである。
上記課題を解決するために成された本発明に係る静電吸着用の基板固定部材は、
静電気力を用いて基板を載置部に静電吸着させるために該基板に貼り付けられる基板固定部材であって、
導電性を有する導電部材と、
所定温度以上で接着力が低下する、前記導電部材を前記基板に接着させる熱剥離接着部材と、
を備えることを特徴とする。
静電気力を用いて基板を載置部に静電吸着させるために該基板に貼り付けられる基板固定部材であって、
導電性を有する導電部材と、
所定温度以上で接着力が低下する、前記導電部材を前記基板に接着させる熱剥離接着部材と、
を備えることを特徴とする。
上記課題を解決するために成された本発明に係る基板の表面処理方法は、
導電性を有する導電部材と、所定温度以上で接着力が低下する、前記導電部材を基板に接着させる熱剥離接着部材と、を備える静電吸着用の基板固定部材を用いる基板の表面処理方法であって、
a)前記基板固定部材を前記基板に貼り付ける工程と、
b)前記基板を前記基板固定部材を介して載置部に載置し、静電気力を用いて該基板を前記載置部に静電吸着させる工程と、
c)前記基板を前記所定温度よりも低い温度に保ちながら表面処理する工程と、
d)該表面処理後に前記基板を前記所定温度以上に加熱することにより、該基板から前記基板固定部材を剥離する工程と、
を有することを特徴とする。
導電性を有する導電部材と、所定温度以上で接着力が低下する、前記導電部材を基板に接着させる熱剥離接着部材と、を備える静電吸着用の基板固定部材を用いる基板の表面処理方法であって、
a)前記基板固定部材を前記基板に貼り付ける工程と、
b)前記基板を前記基板固定部材を介して載置部に載置し、静電気力を用いて該基板を前記載置部に静電吸着させる工程と、
c)前記基板を前記所定温度よりも低い温度に保ちながら表面処理する工程と、
d)該表面処理後に前記基板を前記所定温度以上に加熱することにより、該基板から前記基板固定部材を剥離する工程と、
を有することを特徴とする。
前記導電部材は、静電チャックにより十分に強い吸着力を得ることができる程度の導電性を有するものであり、例えば20℃における電気抵抗率が5.0×103(Ωm)以下のものを用いることができる。電気抵抗率の値がこの値より高いものを導電部材として用いると、静電チャックに高電圧を印加する必要があり、プラズマの均一性が悪くなる傾向がある。導電部材の具体例としてはシリコン(4.0×103Ωm)、炭素(1.6×10-5Ωm)、スズ(1.1×10-7Ωm)、銅(1.7×10-8Ωm)、銀(1.6×10-8Ωm)、金(2.2×10-8Ωm)、アルミニウム(2.7×10-8Ωm)、ニッケル(7.0×10-8Ωm)等が挙げられる。
上記構成から成る本発明に係る静電吸着用の基板固定部材及び基板の表面処理方法によれば、基板と基板固定部材の接着に、所定温度以上で接着力が低下する熱剥離接着部材が用いられているため、基板の温度をその所定温度よりも低く保っておけば、表面処理中に接着力が低下することがない。また、表面処理後に基板を所定温度以上に加熱するだけで、基板から基板固定部材を容易に剥離させることができる。
以下、図面に基づき、本発明に係る静電吸着用の基板固定部材及びそれを用いる基板の表面処理方法の実施例について説明する。
図1は、本発明の第1の実施例に係る静電吸着用の基板固定部材10の断面図である。基板固定部材10は、静電気力を用いて基板を載置部に静電吸着させるために基板に貼り付けられるものであり、シート状の熱剥離接着シート11と、熱剥離接着シート11の一面(図1における下面)に設けられた導電性を有する導電部材12から構成されている。
熱剥離接着シート11は、その一面に導電部材12が設けられたシート状の基材13と、基材13の他方の面に設けられた所定温度以上で接着力が低下する熱剥離接着部材14とから成る。熱剥離接着シート11としては市販されている各種のものを使用することができ、例えば日東電工株式会社製リバアルファ(登録商標)等を用いることができる。熱剥離接着部材14の接着力が低下する所定温度は、被処理物である基板の種類やプラズマ処理中の基板温度等によって適宜定め、例えば90℃、120℃、150℃等にする。なお、熱剥離接着部材14は、プラズマ処理中に発生する紫外線によって接着力が低下することはない。
本実施例の導電部材12は金属や炭素等から成る導電性を有する薄膜である。この薄膜はスパッタ法やCVD法等により基材13上に直接設けることができる。導電部材12は、基材13に貼り付けることが可能なものでもよく、例えば、片面に粘着剤の層が設けられた金属箔であるアルミテープや、PET等の樹脂の内部に金属若しくは炭素の粉末が分散している樹脂シート、導電性高分子から成る導電性高分子シート等でもよい。ここで、炭素の粉末としてはカーボンファイバやカーボンブラック等を用いることができ、導電性高分子としてはポリアセチレン、ポリパラフェニレン、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリパラフェニレンビニレン等に微量のキャリアをドープしたもの等を用いることができる。導電部材12は静電チャックにより十分に強い吸着力を得ることができる程度の導電性を有するものとする。具体的には例えば20℃における電気抵抗率が1012〜1014(Ωm)のポリエステル樹脂に5.0×103(Ωm)以下の導電部材を練り込んだものや、20℃における電気抵抗率が5.0×103(Ωm)以下の導電性高分子等を用いることができる。
次に、基板固定部材10を用いた基板のプラズマ処理について説明する。図2は、プラズマ処理装置20の縦断面図である。プラズマ処理装置20の内部には、上部電極21及び下部電極22が対向して設けられている。下部電極22の上面には誘電層23が設けられており、下部電極22及び誘電層23が静電チャック部24として機能する。図3は、静電チャック部24の縦断面図である。誘電層23の上面には被処理物である基板30の大きさに対応する複数の凹部25が設けられている。このように誘電層23に複数の凹部25を設けることにより、複数の基板30を同時に表面処理することができる。凹部25の底面にはヘリウムガス等の熱媒体を循環させるための溝26が設けられており、この溝26はポンプや熱交換器等に接続している(図示せず)。
プラズマ処理を行う前に、まず基板30の裏面に基板固定部材10を貼り付ける。基板30はシリコンウェハに限らず、GaN、AlGaN、GaAs、InP、ZnO等の化合物半導体や、サファイア、SiO2等から成る基板でもよい。基板30に基板固定部材10を貼り付ける際には、それらの間に気泡が入らないようにする。これは、基板30と基板固定部材10の間に気泡が存在すると、基板30の周囲が減圧された際に気泡が膨張して、基板30と基板固定部材10の接触面積が減少し、プラズマ処理中に基板30で発生した熱が基板30から逃げにくくなるからである。
次に、基板固定部材10が貼り付けられた基板30をプラズマ処理装置20の内部に搬送して凹部25に載置し、プラズマ処理装置20の内部を減圧する。下部電極22に直流電圧を印加すると、誘電層23と基板固定部材10の導電部材12の間に静電気力が発生する。この静電気力により基板固定部材10が誘電層23に吸着される。この状態で溝26と基板固定部材10に囲まれた流路にヘリウムガス等の熱媒体を流し、基板30の冷却を開始する。
減圧されているプラズマ処理装置20の内部に不活性ガスや反応ガスを導入し、上部電極21と下部電極22の間に高周波電圧等を印加して、基板30の上方にプラズマを発生させる。これにより、プラズマ中のラジカルやイオンが基板30の表面に到達して基板30の表面がプラズマ処理される。プラズマ処理中に基板30で発生する熱は、流路を循環する熱媒体を介して熱交換器に送られ、外部に放出される。このような冷却を行うことにより、プラズマ処理中の基板30の温度を熱剥離接着部材14の接着力が低下する所定温度よりも低い温度に保つことができる。基板30が紫外線透過率の高いサファイア等である場合には、プラズマから放射される紫外線が基板30を透過して熱剥離接着部材14に到達するが、熱剥離接着部材14はこの紫外線により粘着剤の接着力が低下することはない。そのため、プラズマ処理中に発生する紫外線により基板固定部材10から基板30が外れることはない。
プラズマ処理の終了後、下部電極22への直流電圧の印加を停止し、静電チャック部24による基板固定部材10の吸着を解除する。その後、基板30をプラズマ処理装置20から取り出し、それを熱風乾燥機等により所定温度以上に加熱する。これにより、熱剥離接着部材14の接着力が低下し、基板30から基板固定部材10が剥離する。
図4は、本発明の第2の実施例に係る静電吸着用の基板固定部材40の断面図である。基板固定部材40は、所定温度以上で接着力が低下する熱剥離接着部材41が、導電性を有する導電部材42の上面に塗布されているものである。熱剥離接着部材41は基板の熱を効率よく伝達するためには導電部材42上面の全面に塗布されていることが好ましいが、その全面ではなく部分的に塗布されていてもよい。
本実施例の導電部材42は、導電性高分子から成る導電性高分子シートである。導電部材42は、例えば、アルミ箔等の金属箔や、PET等の樹脂の内部に金属若しくは炭素の粉末が分散している樹脂シート、金属や炭素等から成る薄膜が成膜された樹脂シート等であってもよい。
図5は、本発明の第3の実施例に係る静電吸着用の基板固定部材50の断面図である。基板固定部材50は、所定温度以上で接着力が低下する熱剥離接着部材51が、導電性を有する導電部材52の内部に分散しているとともに、その一部が導電部材52の表面に露出している。この露出した熱剥離接着部材51が、基板固定部材50を基板に貼り付けることを可能にしている。
本実施例の導電部材52は導電性高分子から成る導電性高分子シートである。導電部材52はPET等の樹脂の内部に金属若しくは炭素の粉末が分散している樹脂シートであってもよい。
上記実施例は本発明の一例であり、本発明の趣旨の範囲で適宜変更が許容される。例えば、基板の表面処理はプラズマ処理に限らず、スパッタリングや真空蒸着、CVD等でもよい。1つの静電チャック部に複数の基板を載置するのではなく、小型の静電チャック部を複数用意し、各静電チャック部に基板の大きさに対応する凹部をそれぞれ1つずつ設け、それら複数の静電チャック部を装置内に設置してもよい。
10、40、50…基板固定部材
11…熱剥離接着部材
12、42、52…導電部材
13…基材
14、41、51…熱剥離接着部材
20…プラズマ処理装置
21…上部電極
22…下部電極
23…誘電層
24…静電チャック部
25…凹部
26…溝
30…基板
11…熱剥離接着部材
12、42、52…導電部材
13…基材
14、41、51…熱剥離接着部材
20…プラズマ処理装置
21…上部電極
22…下部電極
23…誘電層
24…静電チャック部
25…凹部
26…溝
30…基板
Claims (6)
- 静電気力を用いて基板を載置部に静電吸着させるために該基板に貼り付けられる基板固定部材であって、
導電性を有する導電部材と、
所定温度以上で接着力が低下する、前記導電部材を前記基板に接着させる熱剥離接着部材と、
を備えることを特徴とする静電吸着用の基板固定部材。 - 前記熱剥離接着部材がシート状の基材の前記基板側の面に設けられ、前記導電部材が前記基材の前記載置部側の面に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の静電吸着用の基板固定部材。
- 前記導電部材が、金属又は炭素から成る薄膜、金属箔、樹脂の内部に金属若しくは炭素の粉末が分散している樹脂シート、又は導電性高分子から成る導電性高分子シートのいずれかから成ることを特徴とする請求項1又は2に記載の静電吸着用の基板固定部材。
- 前記導電部材が、樹脂の内部に金属若しくは炭素の粉末が分散している樹脂シート、又は導電性高分子から成る導電性高分子シートであり、
前記熱剥離接着部材が前記導電部材の内部に分散しているとともに、
該熱剥離接着部材の一部が該導電部材の表面に露出していることを特徴とする請求項1に記載の静電吸着用の基板固定部材。 - 導電性を有する導電部材と、所定温度以上で接着力が低下する、前記導電部材を基板に接着させる熱剥離接着部材と、を備える静電吸着用の基板固定部材を用いる基板の表面処理方法であって、
a)前記基板固定部材を前記基板に貼り付ける工程と、
b)前記基板を前記基板固定部材を介して載置部に載置し、静電気力を用いて該基板を前記載置部に静電吸着させる工程と、
c)前記基板を前記所定温度よりも低い温度に保ちながら表面処理する工程と、
d)該表面処理後に前記基板を前記所定温度以上に加熱することにより、該基板から前記基板固定部材を剥離する工程と、
を有することを特徴とする基板の表面処理方法。 - 前記基板が、化合物半導体、サファイア又はSiO2であることを特徴とする請求項5に記載の基板の表面処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008183623A JP2010027652A (ja) | 2008-07-15 | 2008-07-15 | 静電吸着用基板固定部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008183623A JP2010027652A (ja) | 2008-07-15 | 2008-07-15 | 静電吸着用基板固定部材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010027652A true JP2010027652A (ja) | 2010-02-04 |
Family
ID=41733236
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008183623A Pending JP2010027652A (ja) | 2008-07-15 | 2008-07-15 | 静電吸着用基板固定部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010027652A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016103560A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 京セラ株式会社 | 試料保持具 |
US11318572B2 (en) * | 2018-09-27 | 2022-05-03 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Electrostatic chuck device |
WO2024014528A1 (ja) * | 2022-07-15 | 2024-01-18 | 大日本印刷株式会社 | 電子デバイスの製造方法、導電性フィルム、第1積層体及び第2積層体 |
-
2008
- 2008-07-15 JP JP2008183623A patent/JP2010027652A/ja active Pending
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JP2016103560A (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 京セラ株式会社 | 試料保持具 |
US11318572B2 (en) * | 2018-09-27 | 2022-05-03 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Electrostatic chuck device |
WO2024014528A1 (ja) * | 2022-07-15 | 2024-01-18 | 大日本印刷株式会社 | 電子デバイスの製造方法、導電性フィルム、第1積層体及び第2積層体 |
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