JP2006237542A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006237542A JP2006237542A JP2005081161A JP2005081161A JP2006237542A JP 2006237542 A JP2006237542 A JP 2006237542A JP 2005081161 A JP2005081161 A JP 2005081161A JP 2005081161 A JP2005081161 A JP 2005081161A JP 2006237542 A JP2006237542 A JP 2006237542A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- support
- manufacturing
- layer
- film base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
【課題】
フィルム基材上に半導体素子を形成する製造工程中で、フィルム基材の変形をなくしてフィルム基材の取り扱いを容易にすることで、フィルム基材上に半導体素子を容易に、且つ高精度に形成する半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
支持体11上に加熱、冷却、紫外線照射、電子線照射及び放射線照射することにより剥離強度が低下する接着層もしくは粘着層からなる固定化層21を形成し、ラミネーターにてフィルム基材31を貼り合わせる。フィルム基材31上にドライバ回路41及び画素部TFT回路42を形成し、アクティブマトリックス積層体40を作製する。アクティブマトリックス積層体40と電気泳動表示部50とを貼り合わせ、固定化層21を加熱、冷却、紫外線照射、電子線照射及び放射線照射することにより、支持体11を剥離し、半導体装置100を得る。
【選択図】図1
フィルム基材上に半導体素子を形成する製造工程中で、フィルム基材の変形をなくしてフィルム基材の取り扱いを容易にすることで、フィルム基材上に半導体素子を容易に、且つ高精度に形成する半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
支持体11上に加熱、冷却、紫外線照射、電子線照射及び放射線照射することにより剥離強度が低下する接着層もしくは粘着層からなる固定化層21を形成し、ラミネーターにてフィルム基材31を貼り合わせる。フィルム基材31上にドライバ回路41及び画素部TFT回路42を形成し、アクティブマトリックス積層体40を作製する。アクティブマトリックス積層体40と電気泳動表示部50とを貼り合わせ、固定化層21を加熱、冷却、紫外線照射、電子線照射及び放射線照射することにより、支持体11を剥離し、半導体装置100を得る。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特に、軽量薄型柔軟な半導体装置を得るための製造方法に関する。
なお、ここで言う半導体装置とは、半導体特性を利用して機能する装置全般を指し、電気
光学装置、発光装置、半導体回路および、電子機器の全てを含む。
光学装置、発光装置、半導体回路および、電子機器の全てを含む。
各種半導体装置のうち、液晶表示装置や、電界発光表示装置、電気泳動型表示装置等のアクティブマトリックス基板は絶縁表面を有する基板の表面にフォトリソグラフィーなどの方法を用いて薄膜トランジスタ(以下、TFTと言う)を形成する。
一般的にTFTを作製する際の金属や半導体、絶縁体を成膜する工程は高温処理を伴うため、用いる基板には耐熱性の優れる材質が必要であり、石英ガラスや耐熱ガラスが用いられている。
また、これらの表示装置の応用例として携帯機器や大型壁掛テレビへの利用が注目されている。
現在、TFTの基板として用いられている石英ガラスや耐熱ガラスは耐熱性に優れるが重く割れやすい欠点があり、基板を軽量化、薄型化するためガラス基板などに代えてプラスチックシートを基板として用いた半導体装置の作製が試みられている(例えば、特許文献1参照)。
特開2000−243943号公報
通常、耐熱ガラス基板を用いたTFTの作製工程では400℃から500℃程度の熱がかかる。一方、一般的なプラスチックフィルムのガラス転移温度Tgは200℃以下であ
り、フィルム基材上に直接TFTを作製することはできなかった。
り、フィルム基材上に直接TFTを作製することはできなかった。
フィルム基材上に熱をかけずにTFTを形成する方法として、ガラス基板上にTFTを形成した後に、ガラス基板からフィルム基材に半導体素子と回路を転写する方法が考案されているが、ガラスもしくはフィルム基材に直接TFTを作製する方法と比較して製造方法が複雑となりコストが高くなる欠点がある。
また、フィルム基材上に直接TFTを形成するため、工程温度を下げる試みがなされているが、良好な電気特性のTFTを形成するためには少なくとも120℃から180℃の工程温度は必要と考えられる。
しかし、その工程温度条件においてもフィルム基材の熱寸法変化は大きく、電気特性上の問題となっている。
また、フィルム基材単体の搬送や位置合せなどの取り扱いをガラス基板と同じように行うのは変形などの問題があり、困難である。
本発明は上記問題点に鑑み考案されたもので、フィルム基材上に半導体素子を作製する際の工程温度によるフィルム基材の熱寸法変化を抑制することと、フィルム基材の変形をなくしてフィルム基材の取り扱いを容易にすることで、フィルム基材上に半導体素子を容易に、且つ高精度に形成する半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず、請求項1においては、フィルム基材上に半導体素子を形成する半導体装置の製造方法であって、前記フィルム基材を支持体に固定する工程と、固定されたフィルム基材上に半導体素子を形成する工程と、前記フィルム基材を前記支持体から剥離する工程とを少なくとも有することを特徴とする半導体装置の製造方法としたものである。
また、請求項2においては、前記フィルム基材が固定化層を介し前記支持体に固定されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法としたものである。
また、請求項3においては、前記固定化層は、加熱、冷却又は電離放射線照射により接着性又は粘着性が低下する接着層又は粘着層からなり、前記剥離工程で固定化層を加熱、冷却又は電離放射線照射することにより、接着性又は粘着性を低下させることで剥離強度を低下させ、前記フィルム基材と前記支持体を剥離することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法としたものである。
また、請求項4においては、前記支持体の融点が500℃以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法としたものである。
また、請求項5においては、前記支持体の線膨張係数が10ppm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法としたものである。
また、請求項6においては、前記支持体の厚さが0.4mm以上であることを特徴とす
る請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法としたものである。
る請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法としたものである。
また、請求項7においては、前記固定化層の厚さが1μm以上100μm以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法としたものである。
また、請求項8においては、半導体が単元素半導体、酸化物半導体または、有機半導体であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法としたものである。
本発明の半導体装置の製造方法によれば、加熱、冷却又は電離放射線照射により接着性又は粘着性が低下する固定化層にて支持体上とフィルム基材とを固定することによって、フィルム基材の熱寸法変化と変形を抑制することができ、半導体素子の電気特性低下を抑制し、各製造工程における取り扱い性を向上させることができ、容易に且つ高精度に半導体装置をフィルム基材上に作製することができる。
また、プロセスが終了した時点で固定化層を加熱、冷却又は電離放射線照射することにより、支持体とフィルム基材とを容易に剥離することができる。
本発明の半導体装置の製造方法は、支持体上にフィルム基材を固定した状態でフィルム基材上に半導体装置を作製し、その後に、フィルム基材を支持体から剥離することでフィルム基材上に半導体装置を作製するものである。
よって、本発明ではフィルム基材を支持体に固定した状態で取り扱うので、石英ガラスや、耐熱ガラスと同様の搬送装置や位置合わせ装置が使用でき、フィルム基材上に半導体装置を容易に且つ高精度に作製できる。
請求項1に係る支持体上にフィルム基材を固定する工程では、接着剤を支持体あるいはフィルム基材上にスピンコート法やダイコート、グラビアなどの印刷法で塗布するか、粘着テープ等を貼付することで固定化層を形成した後、ラミネーターで当該フィルム基材を支持体に固定する。
固定化層は加熱、冷却、紫外線照射、電子線照射及び放射線照射することにより剥離強度が低下する接着剤もしくは粘着剤からなる接着層もしくは粘着層で構成されており、剥離工程で、固定化層を加熱、冷却、紫外線照射、電子線照射及び放射線照射することにより剥離強度を低下させて、支持体から半導体装置が形成されたフィルム基材を容易に剥離できるようにしている。
フィルム基材の熱寸法変化と取り扱い性は支持体に依存するところが大きく、フィルム基材の熱寸法変化を抑制するには当該支持体の融点を500℃以上、線膨張係数を10ppm以下であることが好ましく、支持体の取り扱いの点から当該支持体の厚さは0.4mm以上であることが好ましい。
フィルム基材と支持体を固定するために設けられた固定化層はフィルム基材の熱寸法変化をフィルム基材と固定化層と支持体の積層体内のせん断応力によって抑制することを特徴とする。
固定化層の厚さは、下記の数1に示すVoigtとMaxwellの粘弾性の式(引用文献;『接着ハンドブック第3版』日本接着学会)より、熱寸法変化を抑制するせん断応力を与えるためには薄いことがよい。また、上記文献よりせん断強さは接着層が非常に薄くなると急速に低下する欠膠がおこるので、固定化層の厚さは1μmから100μmが好ましい。
通常、フィルム基材として使用されているプラスチック材料は線膨張係数が大きく、加熱と冷却の工程において大きな熱寸法変化を生ずる。フィルム基材を支持体に固定して、加熱する際にはフィルム基材と支持体の線膨張係数が異なることから、フィルム基材と、支持体の間にはせん断応力(基材間のせん断応力)がかかる。
また、フィルム基材をガラス点移転温度程度まで加熱する際にはフィルム基材の熱収縮により、フィルム基材と支持体の間には基材間のせん断応力がかかる。これらの基材間のせん断応力より、接着剤や粘着材の破壊が始まるせん断強さの方が大きな場合には、基材間のせん断応力と接着剤もしくは粘着材がフィルム基材と支持体間に及ぼすせん断応力とが釣り合い、フィルム基材の寸法変化と変形を抑制することができる。
本発明の実施の形態として、電気泳動表示装置のアクティブマトリックスの製造に適用した例を説明する。
図1(a)〜(e)は、本発明の半導体装置の製造方法の一例を工程順に示す模式構成断
面図である。
面図である。
図2は、本発明の半導体装置の製造方法にて作製した半導体装置の一実施例を示す模式構
成断面図である。
成断面図である。
まず、支持体11上に加熱、冷却、紫外線照射、電子線照射及び放射線照射することにより剥離強度が低下する接着層もしくは粘着層で固定化層21を形成し、ラミネーターにてフィルム基材31を貼り合わせる(図1(a)参照)。
このとき、フィルム基材31の全面を支持体11に固定することによって、部分的に固定したときと比較して応力ムラがなく、フィルム基材31全面におよぶせん断応力によって熱寸法変化が抑制され、フィルム基材31が変形することによる取り扱いの不便さを解消できる。
支持体11としては、石英ガラスや耐熱ガラス、金属やセラミック等の融点が500℃以上の材質を用いる。また、支持体11の線膨張係数は10ppm以下で、機械強度や取り扱い性の点から支持体11の板厚は0.4mm以上であればよい。
固定化層21として用いる接着層としては、ユリア樹脂系接着剤、メラミン樹脂系接着剤、フェノール樹脂系接着剤、酢酸ビニル樹脂系溶剤形接着剤、天然ゴム系溶剤形接着剤、酢酸ビニル樹脂系エマルジョン形接着剤、酢酸ビニル共重合樹脂系エマルジョン形接着剤、EVA樹脂系エマルジョン形接着剤、アクリル樹脂系エマルジョン形接着剤、イソシアネート系接着剤、合成ゴム系ラテックス型接着剤、エポキシ樹脂系接着剤、シアノアクリレート系接着剤、ポリウレタン系接着剤、アクリル樹脂系接着剤などを用いることができる。
固定化層21として用いる粘着層としては、アクリル系粘着剤、シリコーン系、天然ゴム系粘着剤、合成ゴム系粘着剤などを用いることができる。
また、微小な吸盤が形成されている樹脂膜もしくは、平面の基材との密着性の高い軟質の
シリコーンゴムなどの樹脂膜のような吸着性もしくは付着性を有した材料を用いることが
できる。
シリコーンゴムなどの樹脂膜のような吸着性もしくは付着性を有した材料を用いることが
できる。
フィルム基材31としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリカーボネート、セルローストリアセテート、ポリオレフィン、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルメタクリレート、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂などのプラスチックシートが使用できる。
次に、フィルム基材31上にゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体層、データ線、ソース線、パッシベーション膜、コンタクトホール及び画素電極を順次形成してドライバ回路41及び画素部TFT回路42を形成し、アクティブマトリックス積層体40を作製する(図1(b)参照)。
前記の電極材料としてはAl、Cu、Cr、Fe、Ni、Au、Ag、Pt、Pd、Co、Mnなどの金属や、ポリアニリン、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)、ポリピロールなどの導電性高分子などを用いる事ができる。
前記の半導体材料としては、SiやGeなどの単元素半導体、GaAs、InP、GaN、ZnS、ZnSe、SiC、SiGe、InGaZnO系、InGaO系、ZnGaO系、InZnO系、ZnOなどの酸化物半導体や、ポリピロール類、ポリチオフェン類、ポリアニリン類、ポリアリルアミン類、フルオレン類、ポリカルバゾール類、ポリインドール類、ポリ(P-フェニレンビニレン)類、ペンタセンなどの多環芳香族の誘導体、フタロシアニン誘導体、ペリレン誘導体、テトラチアフルバレン誘導体、テトラシアノキノジメタン誘導体、フラーレン類、カーボンナノチューブ類などの有機半導体を用いることができる。
ゲート絶縁膜やパッシベーションなどの絶縁材料はSiO2、SiON、HfO2などの無機材料やポリビニルフェノール、ポリパラキシレン、ポリイミド、ポリアクリロニトリル、ポリメタクリル酸メチルなどのアクリル系樹脂、エポキシ樹脂、シアノエチルプルランなどの樹脂、光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂などの有機材料を用いることができる。
電極や絶縁層、半導体層などの要素を形成する方法としては、スパッタやレーザーアブレーション、有機金属化学気相成長等などで成膜し、フォトリソなど公知の方法でパターン形成する方法を用いることができる。
また、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、反転印刷、インクジェット、熱転写印刷、ディスペンサなどの印刷的手法でパターンを形成する方法を用いることができる。
ドライバ回路41と画素部TFT回路42は同一基板上に形成しても良く、別基板上に形成したドライバ回路を画素部TFT回路に接合しても良い。
次に、アクティブマトリックス積層体40とフィルム基材32上に透明電極51、保護層61及び電気泳動分散層62が形成された電気泳動表示部50とをラミネートする(図1(c)及び(d)参照)。
次に、固定化層21を加熱、冷却、紫外線照射、電子線照射及び放射線照射することによってアクティブマトリックス積層体40と支持体11とを剥離し、フィルム基材31上にアクティブマトリックスと電気泳動表示部50が形成された半導体装置100を得る(図1(e)参照)。
ここで、フィルム基材31を支持体11に固定した際の固定化層21はフィルム基材31または支持体11に付着した状態でもよく、必要であれば除去する。
以下、支持体11とフィルム基材31との貼り合わせ、剥離を加熱、冷却及び紫外線照射によって粘着力が低下する粘着層からなる固定化層21を用いた事例について説明する。
加熱によって粘着力が低下する粘着層からなる固定化層21を用いた事例では、まず、加熱によって粘着力の低下する粘着材を用いた粘着層つきの両面テープを支持体11に貼りあわせて固定化層21を形成した後、支持体11とフィルム基材31をラミネートし、フィルム基材31を支持体11に固定する。
次に、支持体11とフィルム基材31との剥離は、固定化層21を加熱処理することにより、粘着力を低下させることにより行う。
ここで、加熱により粘着力の低下する粘着材を用いた粘着層つきプラスチックシートとしては、例えば、ソマール株式会社製の「ソマタック」や、日東電工株式会社製の「リバアルファ」、ニッタ株式会社製の「インテリマーテープ ウォームオフタイプ」などがあり、粘着力低下は180℃以下で可能で、フィルム基材31に損傷を与えずに容易に剥離することができる。
冷却によって粘着力が低下する粘着層からなる固定化層21を用いた事例では、まず、冷却によって粘着力の低下する粘着材を用いた粘着層つきの両面テープを支持体11に貼りあわせて固定化層21を形成した後、支持体11とフィルム基材31をラミネートし、フィルム基材31を支持体11に固定する。
次に、支持体11とフィルム基材31との剥離は、固定化層21を冷却処理することにより、粘着力を低下させることにより行う。
ここで、冷却により粘着力の低下する粘着材を用いた粘着層つきプラスチックシートとしては、例えば、ニッタ株式会社製の「インテリマーテープ クールオフタイプ」などがあり、粘着力低下は20℃から60℃の範囲に設定することが可能で、フィルム基材31に損傷を与えずに容易に剥離することができる。
紫外線照射によって粘着力が低下する粘着層からなる固定化層21を用いた事例では、まず、紫外線照射によって粘着力の低下する粘着材を用いた粘着層つきの両面テープを支持体11に貼りあわせて固定化層21を形成した後、支持体11とフィルム基材31をラミネートし、フィルム基材31を支持体11に固定する。
次に、支持体11とフィルム基材31との剥離は、固定化層21を紫外線照射処理することにより、粘着力を低下させることにより行う。
ここで、紫外線照射により粘着力の低下する粘着材を用いた粘着層つきプラスチックシートとしては、例えば、積水化学工業株式会社製の「セルファ」や、日東電工株式会社製の「エレップホルダー」、古河電気工業株式会社製の「SP−575B−150」などがあり、紫外線照射することにより、フィルム基材31に損傷を与えずに容易に剥離することができる。
11……支持体
21……固定化層
31、32……フィルム基材
40……アクティブマトリックス積層体
41……ドライバ回路
42……画素部TFT回路
50……電気泳動表示部
51……透明電極
61……保護層
62……電気泳動分散層
100……半導体装置
21……固定化層
31、32……フィルム基材
40……アクティブマトリックス積層体
41……ドライバ回路
42……画素部TFT回路
50……電気泳動表示部
51……透明電極
61……保護層
62……電気泳動分散層
100……半導体装置
Claims (8)
- フィルム基材上に半導体素子を形成する半導体装置の製造方法であって、前記フィルム基材を支持体に固定する工程と、固定されたフィルム基材上に半導体素子を形成する工程と、前記フィルム基材を前記支持体から剥離する工程とを少なくとも有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記フィルム基材が固定化層を介し前記支持体に固定されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記固定化層は、加熱、冷却又は電離放射線照射により、接着性又は粘着性が低下する接着層又は粘着層からなり、前記剥離工程で固定化層を加熱、冷却又は電離放射線照射することにより、接着性又は粘着性を低下させることで剥離強度を低下させ、前記フィルム基材と前記支持体を剥離することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記支持体の融点が500℃以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記支持体の線膨張係数が10ppm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記支持体の厚さが0.4mm以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記固定化層の厚さが1μm以上100μm以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記半導体が、単元素半導体、酸化物半導体または、有機半導体であることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005081161A JP2006237542A (ja) | 2005-01-28 | 2005-03-22 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005021047 | 2005-01-28 | ||
JP2005081161A JP2006237542A (ja) | 2005-01-28 | 2005-03-22 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006237542A true JP2006237542A (ja) | 2006-09-07 |
Family
ID=37044815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005081161A Pending JP2006237542A (ja) | 2005-01-28 | 2005-03-22 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006237542A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009104371A1 (ja) * | 2008-02-20 | 2009-08-27 | シャープ株式会社 | フレキシブル半導体基板の製造方法 |
JP2010039472A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-02-18 | Nitto Denko Corp | 電子ペーパーの製造方法、及び電子ペーパー形成工程用両面粘着テープ |
US8199269B2 (en) | 2007-07-11 | 2012-06-12 | Hitachi Displays, Ltd. | Method for manufacturing thin film transistors |
JP2014045200A (ja) * | 2009-02-20 | 2014-03-13 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
US9030427B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-05-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Flexible display panel with touch sensor function |
JP2015518177A (ja) * | 2012-04-05 | 2015-06-25 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | フィルム型ディスプレイ基板の製造方法およびフィルム型ディスプレイ基板製造用工程フィルム |
JP2015198176A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | 東洋紡株式会社 | フレキシブル電子デバイスの製造方法 |
US9254631B2 (en) | 2011-04-28 | 2016-02-09 | Sony Corporation | Lamination apparatus |
-
2005
- 2005-03-22 JP JP2005081161A patent/JP2006237542A/ja active Pending
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8199269B2 (en) | 2007-07-11 | 2012-06-12 | Hitachi Displays, Ltd. | Method for manufacturing thin film transistors |
WO2009104371A1 (ja) * | 2008-02-20 | 2009-08-27 | シャープ株式会社 | フレキシブル半導体基板の製造方法 |
US8216876B2 (en) | 2008-02-20 | 2012-07-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing flexible semiconductor substrate |
JP2010039472A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-02-18 | Nitto Denko Corp | 電子ペーパーの製造方法、及び電子ペーパー形成工程用両面粘着テープ |
US10586811B2 (en) | 2009-02-20 | 2020-03-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, method for manufacturing the same, and semiconductor device |
JP2014045200A (ja) * | 2009-02-20 | 2014-03-13 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
US11824062B2 (en) | 2009-02-20 | 2023-11-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, method for manufacturing the same, and semiconductor device |
US11011549B2 (en) | 2009-02-20 | 2021-05-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, method for manufacturing the same, and semiconductor device |
US9209283B2 (en) | 2009-02-20 | 2015-12-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, method for manufacturing the same, and semiconductor device |
US9443981B2 (en) | 2009-02-20 | 2016-09-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, method for manufacturing the same, and semiconductor device |
US9859306B2 (en) | 2009-02-20 | 2018-01-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, method for manufacturing the same, and semiconductor device |
US10096623B2 (en) | 2009-02-20 | 2018-10-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, method for manufacturing the same, and semiconductor device |
US8987822B2 (en) | 2009-02-20 | 2015-03-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Thin film transistor, method for manufacturing the same, and semiconductor device |
US9030427B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-05-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Flexible display panel with touch sensor function |
US9254631B2 (en) | 2011-04-28 | 2016-02-09 | Sony Corporation | Lamination apparatus |
US10268058B2 (en) | 2012-04-05 | 2019-04-23 | Samsung Display Co., Ltd | Method of manufacturing a flexible display substrate and process film for manufacturing a flexible display substrate |
US11084270B2 (en) | 2012-04-05 | 2021-08-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing a flexible display substrate and process film for manufacturing a flexible display substrate |
JP2015518177A (ja) * | 2012-04-05 | 2015-06-25 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | フィルム型ディスプレイ基板の製造方法およびフィルム型ディスプレイ基板製造用工程フィルム |
US11951726B2 (en) | 2012-04-05 | 2024-04-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing a flexible display substrate and process film for manufacturing a flexible display substrate |
JP2015198176A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | 東洋紡株式会社 | フレキシブル電子デバイスの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006237542A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US9228115B2 (en) | Method of fabricating flexible substrate structure | |
US9496155B2 (en) | Methods of selectively transferring active components | |
TW594947B (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
US8934259B2 (en) | Substrates with transferable chiplets | |
JP5094776B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
TW564471B (en) | Semiconductor device and peeling off method and method of manufacturing semiconductor device | |
US10723112B2 (en) | Method of transferring thin film | |
JP2011520248A5 (ja) | ||
US20100003804A1 (en) | Electronic Device and Method for Manufacturing Same | |
JP6002135B2 (ja) | フレキシブルデバイスの製造方法 | |
US20090202857A1 (en) | Method for forming an electronic device on a flexible metallic substrate and resultant device | |
US20160270215A1 (en) | Flexible electronics device | |
WO2007118081A2 (en) | Manufacturing devices using a donee layer cleaved from a crystalline donor | |
Zhao et al. | Wafer‐Scale Coplanar Electrodes for 3D Conformal Organic Single‐Crystal Circuits | |
WO2012046428A1 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20140110562A (ko) | 표시 장치의 제조 방법 | |
JP5898949B2 (ja) | フレキシブルデバイスの製造方法 | |
US10355228B2 (en) | Method of manufacturing flexible substrate and flexible substrate | |
JP2004047975A (ja) | 積層体の転写方法及び半導体装置の作製方法 | |
JP2007088235A (ja) | 薄膜素子の転写方法、製造方法、薄膜装置の製造方法及び電子機器 | |
JP2009231533A (ja) | 剥離方法、剥離装置および半導体装置の製造方法 | |
JP4186502B2 (ja) | 薄膜デバイスの製造方法、薄膜デバイスおよび表示装置 | |
Haq et al. | Temporary bond—debond technology for high‐performance transistors on flexible substrates | |
JP2007311590A (ja) | 被転写物の転写方法、半導体装置の製造方法および転写装置 |