JP2011520248A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2011520248A5
JP2011520248A5 JP2011504098A JP2011504098A JP2011520248A5 JP 2011520248 A5 JP2011520248 A5 JP 2011520248A5 JP 2011504098 A JP2011504098 A JP 2011504098A JP 2011504098 A JP2011504098 A JP 2011504098A JP 2011520248 A5 JP2011520248 A5 JP 2011520248A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flexible substrate
adhesive layer
rigid support
assembly
adhesive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011504098A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011520248A (ja
JP5555226B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/US2009/039577 external-priority patent/WO2009126544A1/en
Publication of JP2011520248A publication Critical patent/JP2011520248A/ja
Publication of JP2011520248A5 publication Critical patent/JP2011520248A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5555226B2 publication Critical patent/JP5555226B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (16)

  1. フレキシブル基板アセンブリの製造方法であって、
    180℃よりも低いガラス転移温度および220℃よりも高い分解温度を有する粘弾性ポリマーを含む接着層を用いて、剛性支持体にフレキシブル基板を取り付ける工程を含む方法。
  2. 前記取り付ける工程は、
    前記剛性支持体の表面に前記接着層を堆積させる工程
    前記接着層が前記剛性支持体と前記フレキシブル基板の間に存在するように、前記剛性支持体と前記フレキシブル基板を結合する工程
    を含む請求項1に記載の方法。
  3. 前記接着層は、約10〜約1000ppm/℃の範囲の熱膨張率を有し、約27mPaリットル/秒(2×10 -4 トルリットル/秒)未満の割合で脱気される請求項1または2に記載の方法。
  4. 前記接着層はポリイミド、ポリアクリル、アクリル、ウレタン、エポキシ、フェノール、ビスマレイミド、シリコーンまたはシロキサンを含む請求項に記載の方法。
  5. 前記接着層はn−アクリル酸ブチル、ポリシロキサン、ポリシリコーンまたはポリイミドを含む請求項に記載の方法。
  6. 前記剛性支持体は半導体ウェーハ、アルミナ、ガラスまたは熱膨張率がフレキシブル基板に適合した材料を含む請求項1−のいずれか一項に記載の方法。
  7. 前記フレキシブル基板はプラスチック基板または金属基板である請求項1−のいずれか一項に記載の方法。
  8. 前記フレキシブル基板と剛性キャリヤを接続する前に、
    前記接着層上に絶縁層または金属層を直接形成する工程と、
    前記絶縁層または前記金属層上に両面接着テープを直接配置する工程
    をさらに含む請求項1−のいずれか1項に記載の方法。
  9. 前記フレキシブル基板上にディスプレイアーキテクチャを形成する工程と、
    前記フレキシブル基板の表面上に、1または複数の薄膜トランジスタ、有機発光ダイオード、無機発光ダイオード、電極アレイ、電界効果トランジスタ、パッシブ構造およびそれらの組み合わせを形成する工程と、
    をさらに含む請求項1−のいずれか一項に記載の方法。
  10. フレキシブル基板、剛性支持体、および接着層を備えたアセンブリであって、
    前記フレキシブル基板は、フレキシブル基板と剛性支持体の間において接着層を用いて前記剛性支持体に取り付けられており、前記接着剤が、180℃よりも低いガラス転移温度および220℃よりも高い分解温度を有する粘弾性ポリマーの接着剤を含む、アセンブリ。
  11. 前記接着剤は、約10〜約1000ppm/℃の範囲の熱膨張率を有し、約27mPaリットル/秒(2×10 -4 トルリットル/秒)未満の割合で脱気される請求項10に記載のアセンブリ。
  12. 前記接着層はポリイミド、ポリアクリル、アクリル、ウレタン、エポキシ、フェノール、ビスマレイミド、シリコーンまたはシロキサンを含む請求項11に記載のアセンブリ。
  13. 前記接着層はn−アクリル酸ブチル、ポリシロキサン、ポリシリコーンまたはポリイミドを含む請求項12に記載のアセンブリ。
  14. 前記剛性支持体は半導体ウェーハ、アルミナ、ガラスまたは熱膨張率がフレキシブル基板に適合した材料を含む請求項1013のいずれか一項に記載のアセンブリ。
  15. 前記接着層上に直接形成された絶縁層または金属層と、
    前記絶縁層または前記金属層上に直接形成された両面接着テープとをさらに備え、
    前記フレキシブル基板両面接着テープに接触している請求項1014のいずれか一項に記載のアセンブリ。
  16. フレキシブルディスプレイの処理方法であって、
    フレキシブルディスプレイを提供する工程
    請求項1−28のいずれか一項に記載の剛性基板に、前記フレキシブルディスプレイを取り付ける工程であって、前記フレキシブルディスプレイが前記フレキシブル基板である、前記工程と、
    を含む方法。
JP2011504098A 2008-04-08 2009-04-06 半導体加工中のフレキシブル基板のwarpおよびbowを減少させるアセンブリおよび方法 Active JP5555226B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US4322308P 2008-04-08 2008-04-08
US61/043,223 2008-04-08
PCT/US2009/039577 WO2009126544A1 (en) 2008-04-08 2009-04-06 Assemblies and methods for reducing warp and bow of a flexible substrate during semiconductor processing

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2011520248A JP2011520248A (ja) 2011-07-14
JP2011520248A5 true JP2011520248A5 (ja) 2012-05-24
JP5555226B2 JP5555226B2 (ja) 2014-07-23

Family

ID=41011823

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011504098A Active JP5555226B2 (ja) 2008-04-08 2009-04-06 半導体加工中のフレキシブル基板のwarpおよびbowを減少させるアセンブリおよび方法

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8685201B2 (ja)
EP (1) EP2274162A1 (ja)
JP (1) JP5555226B2 (ja)
KR (1) KR101517263B1 (ja)
CN (1) CN101980861B (ja)
SG (1) SG188921A1 (ja)
TW (1) TWI488750B (ja)
WO (1) WO2009126544A1 (ja)

Families Citing this family (65)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2009257368B2 (en) 2008-06-13 2014-09-11 Djt, Llc Shockwave balloon catheter system
US10702293B2 (en) 2008-06-13 2020-07-07 Shockwave Medical, Inc. Two-stage method for treating calcified lesions within the wall of a blood vessel
US9752022B2 (en) 2008-07-10 2017-09-05 Avery Dennison Corporation Composition, film and related methods
US9044618B2 (en) 2008-11-05 2015-06-02 Shockwave Medical, Inc. Shockwave valvuloplasty catheter system
US9991311B2 (en) 2008-12-02 2018-06-05 Arizona Board Of Regents On Behalf Of Arizona State University Dual active layer semiconductor device and method of manufacturing the same
WO2015057719A1 (en) * 2013-10-14 2015-04-23 Arizona Board Of Regents For And On Behalf Of Arizona State University Method of providing a flexible semiconductor device and flexible semiconductor device thereof
CN103596370A (zh) * 2008-12-02 2014-02-19 代表亚利桑那大学的亚利桑那校董会 准备柔性基板组件的方法和从其得到的柔性基板组件
US9601530B2 (en) 2008-12-02 2017-03-21 Arizona Board Of Regents, A Body Corporated Of The State Of Arizona, Acting For And On Behalf Of Arizona State University Dual active layer semiconductor device and method of manufacturing the same
US9721825B2 (en) 2008-12-02 2017-08-01 Arizona Board Of Regents, A Body Corporate Of The State Of Arizona, Acting For And On Behalf Of Arizona State University Method of providing a flexible semiconductor device and flexible semiconductor device thereof
TWI505410B (zh) * 2008-12-30 2015-10-21 Ind Tech Res Inst 應用於軟性電子元件之基板結構及其製造方法
SG176601A1 (en) 2009-05-29 2012-01-30 Univ Arizona Method of providing a flexible semiconductor device at high temperatures and flexible semiconductor device thereof
EP2542409B1 (en) 2010-03-04 2018-12-19 Avery Dennison Corporation Non-pvc film and non-pvc film laminate
US8233280B2 (en) 2010-03-15 2012-07-31 Lincoln Global, Inc. Electronic module with center mounting fasteners
WO2012021197A2 (en) 2010-05-21 2012-02-16 Arizona Board Of Regents, For And On Behalf Of Arizona State University Method of manufacturing electronic devices on both sides of a carrier substrate and electronic devices thereof
WO2012021196A2 (en) 2010-05-21 2012-02-16 Arizona Board Of Regents, For And On Behalf Of Arizona State University Method for manufacturing electronic devices and electronic devices thereof
CN102637575B (zh) * 2011-02-09 2015-07-01 群康科技(深圳)有限公司 元件基板的制造方法
US8574247B2 (en) 2011-11-08 2013-11-05 Shockwave Medical, Inc. Shock wave valvuloplasty device with moveable shock wave generator
US10543662B2 (en) 2012-02-08 2020-01-28 Corning Incorporated Device modified substrate article and methods for making
WO2014055583A1 (en) 2012-10-05 2014-04-10 Corning Incorporated Glass/metal laminated structures and methods of manufacturing laminated structures
US10014177B2 (en) 2012-12-13 2018-07-03 Corning Incorporated Methods for processing electronic devices
US9340443B2 (en) 2012-12-13 2016-05-17 Corning Incorporated Bulk annealing of glass sheets
TWI617437B (zh) 2012-12-13 2018-03-11 康寧公司 促進控制薄片與載體間接合之處理
US10086584B2 (en) 2012-12-13 2018-10-02 Corning Incorporated Glass articles and methods for controlled bonding of glass sheets with carriers
JP6278480B2 (ja) * 2013-01-07 2018-02-14 コーニング インコーポレイテッド 強化合わせガラス構造
KR102130547B1 (ko) * 2013-03-27 2020-07-07 삼성디스플레이 주식회사 가요성 기판 및 이를 포함하는 가요성 표시 장치
US10510576B2 (en) 2013-10-14 2019-12-17 Corning Incorporated Carrier-bonding methods and articles for semiconductor and interposer processing
US20150183544A1 (en) 2013-12-30 2015-07-02 Avery Dennison Corporation Label Application System
US10381224B2 (en) 2014-01-23 2019-08-13 Arizona Board Of Regents On Behalf Of Arizona State University Method of providing an electronic device and electronic device thereof
WO2017034645A2 (en) 2015-06-09 2017-03-02 ARIZONA BOARD OF REGENTS, a body corporate for THE STATE OF ARIZONA for and on behalf of ARIZONA STATE UNIVERSITY Method of providing an electronic device and electronic device thereof
WO2015156891A2 (en) 2014-01-23 2015-10-15 Arizona Board Of Regents, Acting For And On Behalf Of Arizona State University Method of providing a flexible semiconductor device and flexible semiconductor device thereof
WO2015175353A1 (en) 2014-05-13 2015-11-19 Arizona Board Of Regents, For And On Behalf Of Arizona State University Method of providing an electronic device and electronic device thereof
CN106132688B (zh) 2014-01-27 2020-07-14 康宁股份有限公司 用于薄片与载体的受控粘结的制品和方法
CN106457758B (zh) 2014-04-09 2018-11-16 康宁股份有限公司 装置改性的基材制品及其制备方法
US10249741B2 (en) 2014-05-13 2019-04-02 Joseph T. Smith System and method for ion-selective, field effect transistor on flexible substrate
KR20170043586A (ko) * 2014-08-20 2017-04-21 코닝 인코포레이티드 크고 얇은 유리/금속 라미네이트
USD761820S1 (en) 2014-08-28 2016-07-19 Samsung Electronics Co., Ltd. Display screen or portion thereof with graphical user interface
US9741742B2 (en) 2014-12-22 2017-08-22 Arizona Board Of Regents, A Body Corporate Of The State Of Arizona, Acting For And On Behalf Of Arizona State University Deformable electronic device and methods of providing and using deformable electronic device
US10446582B2 (en) 2014-12-22 2019-10-15 Arizona Board Of Regents On Behalf Of Arizona State University Method of providing an imaging system and imaging system thereof
CN104559852B (zh) * 2014-12-31 2018-02-27 深圳市化讯半导体材料有限公司 一种用于薄晶圆加工的临时键合胶及其制备方法
CN107431059B (zh) 2015-01-02 2020-03-17 亚利桑那州立大学董事会 用于可变形电子装置的阿基米德螺线设计
US10890669B2 (en) 2015-01-14 2021-01-12 General Electric Company Flexible X-ray detector and methods for fabricating the same
KR101993652B1 (ko) * 2015-03-05 2019-09-24 주식회사 엘지화학 광전소자의 플렉시블 기판용 폴리이미드 필름용 조성물
US11167532B2 (en) 2015-05-19 2021-11-09 Corning Incorporated Articles and methods for bonding sheets with carriers
KR102024481B1 (ko) * 2015-06-03 2019-09-23 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 가요성 디스플레이용 조립체 층
WO2016209897A1 (en) 2015-06-26 2016-12-29 Corning Incorporated Methods and articles including a sheet and a carrier
CN105093615B (zh) * 2015-07-29 2018-01-26 合肥鑫晟光电科技有限公司 曲面显示面板及其制备方法、显示装置
US10226265B2 (en) 2016-04-25 2019-03-12 Shockwave Medical, Inc. Shock wave device with polarity switching
TW202216444A (zh) 2016-08-30 2022-05-01 美商康寧公司 用於片材接合的矽氧烷電漿聚合物
TWI810161B (zh) 2016-08-31 2023-08-01 美商康寧公司 具以可控制式黏結的薄片之製品及製作其之方法
EP3777723B1 (en) 2016-10-06 2024-01-17 Shockwave Medical, Inc. Aortic leaflet repair using shock wave applicators
US10357264B2 (en) 2016-12-06 2019-07-23 Shockwave Medical, Inc. Shock wave balloon catheter with insertable electrodes
US10068787B2 (en) * 2016-12-30 2018-09-04 Sunpower Corporation Bowing semiconductor wafers
WO2018212871A2 (en) 2017-05-16 2018-11-22 Hanqing Jiang Three-dimensional soft electrode for lithium metal batteries
US10966737B2 (en) 2017-06-19 2021-04-06 Shockwave Medical, Inc. Device and method for generating forward directed shock waves
KR102659516B1 (ko) 2017-08-18 2024-04-23 코닝 인코포레이티드 유리 적층체
CN111615567B (zh) 2017-12-15 2023-04-14 康宁股份有限公司 用于处理基板的方法和用于制备包括粘合片材的制品的方法
CN108282960A (zh) * 2018-01-08 2018-07-13 苏州群策科技有限公司 一种超薄板的制造方法
WO2019152643A1 (en) 2018-02-02 2019-08-08 Arizona Board Of Regents On Behalf Of Arizona State University Origami-based collapsible and watertight cases
AU2019290401A1 (en) 2018-06-21 2021-01-07 Shockwave Medical, Inc. System for treating occlusions in body lumens
AU2020354380A1 (en) 2019-09-24 2022-04-07 Shockwave Medical, Inc. System for treating thrombus in body lumens
US11076491B2 (en) * 2019-10-16 2021-07-27 Compass Technology Company Limited Integrated electro-optical flexible circuit board
CN112203402B (zh) * 2020-10-27 2022-08-26 中国科学院深圳先进技术研究院 印制电路板及其制备方法
US11992232B2 (en) 2020-10-27 2024-05-28 Shockwave Medical, Inc. System for treating thrombus in body lumens
CN118139590A (zh) 2021-10-19 2024-06-04 冲击波医疗公司 具有干涉冲击波的血管内碎石导管
WO2024029759A1 (ko) * 2022-08-02 2024-02-08 삼성전자 주식회사 플렉서블 디스플레이를 포함하는 전자 장치

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2113288A (en) 1987-09-08 1989-03-09 Dow Chemical Company, The Aqueous latex laminating adhesives which improve adherence between various substrates
AU4471797A (en) 1996-10-08 1998-05-05 Hitachi Chemical Company, Ltd. Semiconductor device, semiconductor chip mounting substrate, methods of manufacturing the device and substrate, adhesive, and adhesive double coated film
JPH10242086A (ja) 1997-02-26 1998-09-11 Nitto Denko Corp 半導体ウエハ保持シート
KR100320983B1 (ko) * 1997-08-22 2002-06-20 포만 제프리 엘 칩조립체및직접적인개방열전도성경로의제공방법
US6108210A (en) * 1998-04-24 2000-08-22 Amerasia International Technology, Inc. Flip chip devices with flexible conductive adhesive
JP4034911B2 (ja) * 1999-07-22 2008-01-16 三菱樹脂株式会社 合わせガラス用中間膜及び合わせガラス
JP3878386B2 (ja) 2000-02-23 2007-02-07 三菱樹脂株式会社 中間膜用粘着シート及び合わせガラス積層体
US6784555B2 (en) * 2001-09-17 2004-08-31 Dow Corning Corporation Die attach adhesives for semiconductor applications utilizing a polymeric base material with inorganic insulator particles of various sizes
US20030068841A1 (en) 2001-09-26 2003-04-10 Nitto Denko Corporation Process of producing semiconductor device and resin composition sheet used therefor
JP2003174125A (ja) * 2001-09-26 2003-06-20 Nitto Denko Corp 半導体装置の製造法及びこれに用いるシート状樹脂組成物
DE10162676B4 (de) * 2001-12-19 2005-06-02 Infineon Technologies Ag Elektronisches Bauteil mit einem Halbleiterchip und einer Umverdrahtungsplatte und Systemträger für mehrere elektronische Bauteile sowie Verfahren zur Herstellung derselben
JP2004300231A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Nitto Denko Corp 熱剥離性両面粘着シート、被着体の加工方法および電子部品
US20040248488A1 (en) * 2003-06-05 2004-12-09 Tebbetts Carly P. Wallcovering backing fabric
US20060154546A1 (en) * 2003-06-25 2006-07-13 Andover Coated Products, Inc. Air permeable pressure-sensitive adhesive tapes
JP2005026547A (ja) * 2003-07-04 2005-01-27 Hitachi Chem Co Ltd 半導体装置およびその製造方法、ならびに半導体装置に用いられる接着シート
JP4566527B2 (ja) * 2003-08-08 2010-10-20 日東電工株式会社 再剥離型粘着シート
CN2679972Y (zh) * 2003-12-16 2005-02-16 上海华仕德电路技术有限公司 刚挠多层板
JP2005280172A (ja) 2004-03-30 2005-10-13 Nisshin Steel Co Ltd ヘアライン調ラミネート金属板
JP4103116B2 (ja) * 2004-06-09 2008-06-18 日東電工株式会社 積層シート、プラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法、プラズマディスプレイパネル用背面基板、及びプラズマディスプレイパネル
TWI260065B (en) * 2005-01-03 2006-08-11 Unimicron Technology Corp Substrate and method for fabricating the same
JP2007146121A (ja) * 2005-11-01 2007-06-14 Hitachi Chem Co Ltd 粘弾性樹脂組成物、これを用いた金属箔張積層板、プリプレグ、樹脂付き金属箔及び樹脂フィルム。
SG172621A1 (en) * 2006-07-05 2011-07-28 Univ Arizona Method of temporarily attaching a rigid carrier to a substrate
KR101125762B1 (ko) * 2007-04-10 2012-03-20 스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드 반도체용 접착필름 및 이를 이용한 반도체 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011520248A5 (ja)
JP4834758B2 (ja) フレキシブル電子デバイスに適用される基板構造およびその作製方法
US7575983B2 (en) Method for fabricating a device with flexible substrate and method for stripping flexible-substrate
JP5555226B2 (ja) 半導体加工中のフレキシブル基板のwarpおよびbowを減少させるアセンブリおよび方法
JP2019528480A5 (ja)
US20180226609A1 (en) Manufacturing method for flexible oled and flexible oled
JP2004297084A5 (ja)
JP2009010356A5 (ja)
WO2009066561A1 (ja) 有機エレクトロルミネッセンス装置およびその製造方法
TWI610431B (zh) 柔性封裝襯底及其製造方法和使用該襯底的oled封裝方法
WO2019206216A1 (zh) 预拉伸基底及其制作方法、电子器件及其制作方法
CN107845740B (zh) 一种柔性基板的制备方法及柔性基板
US11307688B2 (en) Thermal transfer substrate, touch display panel and manufacturing methods therefor, and display device
WO2007142865A3 (en) Thin film photovoltaic structure and fabrication
Zhao et al. Wafer‐Scale Coplanar Electrodes for 3D Conformal Organic Single‐Crystal Circuits
JP2006237542A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2006216456A (ja) 有機電子デバイスの製造方法
JP2005178363A5 (ja)
US10355228B2 (en) Method of manufacturing flexible substrate and flexible substrate
JP2007114788A (ja) ダミーガラス基板と表示装置の製造方法
US20060280936A1 (en) Carrier tape for loading flexible printed circuits
TW200717808A (en) Flexible thin film transistor substrate and method of fabricating the same
US20200185628A1 (en) Device and method for manufacturing flexible substrate
JP2008097829A5 (ja)
KR20160028554A (ko) 플렉서블 터치센서 제조방법 및 플렉서블 터치센서