JPH11207532A - 部品供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 部品をダイシングシートから確実にピックア
ップして、所定の工程に効率よく供給することが可能な
部品供給装置を提供する。 【解決手段】 ダイシングシート変形手段（突き上げピ
ン）１によりダイシングシート２の所定位置を突き上げ
てその表面を隆起させ、部品３（３ａ）とダイシングシ
ート２との接触面積を減少させることにより、ダイシン
グシート２の部品保持力を低下させ、かつ、チャック機
構（真空吸引チャック）４を、その当接部５が部品３
（３ａ）に当接した状態で略水平方向に移動させ、部品
３（３ａ）に略水平方向に力を加えることにより、部品
３（３ａ）をダイシングシート２から剥離させるととも
に、当該部品３（３ａ）を真空吸引チャック４によりピ
ックアップして所定の工程に供給する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、電子部品などを
所定の工程に供給するための部品供給装置に関し、詳し
くは、ダイシングシート上に保持された部品をピックア
ップして所定の工程に供給するための部品供給装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】例え
ば、積層セラミックコンデンサなどの電子部品（以下単
に「部品」ともいう）の製造工程においては、複数の電
子部品素子を含むマザーブロックをダイシングした後、
個々の素子を外部電極形成工程などの所定の工程に供給
することが必要になる場合がある。

【０００３】そして、その場合に用いられる部品供給装
置としては、例えば、図４に示すように、突き上げピン
５１により、ダイシングシート５２の所定位置を、その
下面側から突き上げて、ダイシングシート５２上に粘着
・保持された所定の部品５３とダイシングシート５２と
の接触面積を減少させることにより、ダイシングシート
５２の粘着力による部品保持力を低下させ、真空吸引チ
ャック５４により、部品５３をピックアップして、所定
の工程に供給するようにした部品供給装置（従来例１）
がある。

【０００４】また、図５に示すように、突き上げピンの
代わりに、長手方向と直交する方向の断面形状が櫛歯状
の櫛歯部材６１を用い、櫛歯部材６１とダイシングシー
ト５２との間の空間６２を真空吸引し、ダイシングシー
ト５２と部品５３との接触面積を減らしてダイシングシ
ート５２の粘着力による部品保持力を低下させ、真空吸
引チャック５４により、部品をピックアップして、所定
の工程に供給するようにした部品供給装置（従来例２）
も用いられている。

【０００５】しかし、前者の部品供給装置（従来例１）
においては、突き上げピン５１の動作と、真空吸引チャ
ック５４の動作を正確に同期させることが必要で、動作
速度を向上させることが困難であるという問題点があ
る。

【０００６】また、後者の部品供給装置（従来例２）に
おいては、残留する粘着力が不安定になり、真空吸引チ
ャック５４によるピックアップ（チャッキング）が不安
定になるという問題点がある。

【０００７】また、上記従来例１及び２の部品供給装置
においては、真空吸引チャック５４を垂直に引き上げて
部品５３のピックアップを行うようにしているので、そ
の間は真空吸引チャック５４を水平方向に移動させるこ
とができず、部品供給速度の向上が妨げられるという問
題点がある。

【０００８】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、部品をダイシングシートから確実にピックアップ
して、所定の工程に効率よく供給することが可能な部品
供給装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明の請求項１の部品供給装置は、表面が粘着
性を有するダイシングシート上に保持された部品を、ダ
イシングシート上からピックアップして所定の工程に供
給するための部品供給装置において、ダイシングシート
から部品をピックアップするためのチャック機構であっ
て、部品と当接して部品に水平方向に力を加えることが
可能な形状の当接部を有するチャック機構を具備し、前
記チャック機構を、その当接部が部品に当接した状態で
略水平方向に移動させ、部品に略水平方向に力を加える
ことにより、部品をダイシングシートから剥離させると
ともに、当該部品を前記チャック機構によりピックアッ
プして所定の工程に供給するように構成されていること
を特徴としている。

【００１０】当接部を部品に当接させた状態でチャック
機構を略水平方向に移動させ、部品に対して略水平方向
に力を加えることにより、部品をダイシングシートから
確実に剥離させることが可能になり、当該部品をピック
アップして所定の工程に効率よく供給することが可能に
なる。なお、「当接部を部品に当接させた状態でチャッ
ク機構を略水平方向に移動させ」とは、チャック機構側
を移動させる場合に限らず、ダイシングシート側を移動
させる場合も含む概念である。

【００１１】また、本願発明の請求項２の部品供給装置
は、表面が粘着性を有するダイシングシート上に保持さ
れた部品を、ダイシングシート上からピックアップして
所定の工程に供給するための部品供給装置であって、ダ
イシングシートを変形させてその表面に凹凸を生じさ
せ、所定の部品とダイシングシートとの接触面積を減少
させるダイシングシート変形手段と、ダイシングシート
から部品をピックアップするためのチャック機構であっ
て、部品と当接して部品に水平方向に力を加えることが
可能な形状の当接部を有するチャック機構とを具備し、
ダイシングシート変形手段によりダイシングシートの所
定位置を変形させてその表面に凹凸を生じさせ、所定の
部品とダイシングシートとの接触面積を減少させること
により、ダイシングシートの部品保持力を低下させ、か
つ、前記チャック機構を、その当接部が部品に当接した
状態で略水平方向に移動させ、部品に略水平方向に力を
加えることにより、部品をダイシングシートから剥離さ
せるとともに、当該部品を前記チャック機構によりピッ
クアップして所定の工程に供給するように構成されてい
ることを特徴としている。

【００１２】ダイシングシート変形手段によりダイシン
グシートを変形させてその表面に凹凸を生じさせ、部品
とダイシングシートとの接触面積を減少させてダイシン
グシートの部品保持力を低下させるとともに、当接部を
部品に当接させた状態でチャック機構を略水平方向に移
動させて部品に略水平方向に力を加えてダイシングシー
トから部品を剥離させるようにしているので、部品を確
実にピックアップして所定の工程に効率よく供給するこ
とが可能になる。

【００１３】また、本願発明の請求項３の部品供給装置
は、前記ダイシングシート変形手段が、ダイシングシー
トの所定位置を下面側から突き上げてその表面を隆起さ
せ、ダイシングシート上に粘着・保持された所定の部品
とダイシングシートとの接触面積を減少させるととも
に、当該所定の部品を隣接する部品と緩衝しない高さに
まで上昇させる突き上げピンであることを特徴としてい
る。

【００１４】ダイシングシート変形手段として、ダイシ
ングシートの所定位置を下面側から突き上げてその表面
に凹凸を生じさせる突き上げピンを用いた場合、ダイシ
ングシート上に粘着・保持された部品とダイシングシー
トとの接触面積を確実に減少させることが可能になると
ともに、部品を、チャック機構によりピックアップして
水平に移動させたときに、当該部品が隣接する部品と緩
衝しない高さにまで確実に上昇させることが可能にな
り、本願発明をより実効あらしめることができる。

【００１５】また、本願発明の請求項４の部品供給装置
は、ロータリーテーブルに前記チャック機構を複数個取
り付け、ロータリーテーブルを連続的に回転させて各チ
ャック機構を周方向に移動させることにより、ダイシン
グシートからの部品の剥離と、当該部品のピックアップ
を行うようにしたことを特徴としている。

【００１６】ロータリーテーブルにチャック機構を複数
個取り付け、ロータリーテーブルを回転させることによ
り各チャック機構を周方向に移動させるようにした場
合、ロータリーテーブルを連続的に回転させながらダイ
シングシートからの部品の剥離と、当該部品のピックア
ップを行うことができるようになり、部品供給速度を大
幅に向上させることが可能になる。

【００１７】また、本願発明の請求項５の部品供給装置
は、前記チャック機構が、真空吸引することにより部品
をピックアップする真空吸引チャックであることを特徴
としている。

【００１８】本願発明においては、部品に略水平方向に
力を加えることにより部品をダイシングシートから確実
に剥離できるようにしているので、構造の簡単な真空吸
引チャックを用いて部品を効率よくピックアップするこ
とが可能になり、設備コストの低減を図ることが可能に
なる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。

【００２０】［実施形態１］なお、図１は本願発明の一
実施形態にかかる部品供給装置の要部の構成を模式的に
示す斜視図、図２(ａ)，(ｂ)，(ｃ)はこの実施形態の部
品供給装置の動作を説明するための図である。この部品
供給装置は、図１及び図２に示すように、表面が粘着性
を有するダイシングシート２上に保持された部品３を、
ダイシングシート２上からピックアップして所定の工程
に供給するために用いられるものであり、ダイシングシ
ート２を下面側から突き上げて、その表面を隆起させ、
所定の部品３（３ａ）とダイシングシート２との接触面
積を減少させるとともに、当該所定の部品３（３ａ）を
隣接する部品と緩衝しない高さにまで上昇させる突き上
げピン（ダイシングシート変形手段）１と、ダイシング
シート２から部品３をピックアップするためのチャック
機構（この実施形態では真空吸引チャック）４とを備え
ている。

【００２１】真空吸引チャック４は、水平方向及び垂直
方向の両方向に移動可能に構成されており、その下部に
は、部品３と当接して部品３に水平方向に力を加えるこ
とが可能な形状の当接部５が下面側に突出するように配
設されている。

【００２２】次に、この実施形態の部品供給装置の動作
を、図２を参照しつつ説明する。なお、図２において、
図１と同一の符号を付した部分は、図１と同一の部分を
示している。この実施形態の部品供給装置を用いて部品
をダイシングシートからピックアップするにあたって
は、まず、図２(ａ)に示すように、突き上げピン１を上
昇させてダイシングシート２の所定の位置を下面側から
突き上げ、ダイシングシート２上に粘着・保持された所
定の部品３（３ａ）とダイシングシート２との接触面積
を減少させるとともに、部品３（３ａ）を、隣接する部
品３と緩衝しない高さにまで上昇させる。例えば、部品
３の厚みが０．２mmである場合には、ピックアップしよ
うとする部品３（３ａ）を０．３mm程度上昇させる。

【００２３】それから、図２(ｂ)に示すように、真空吸
引チャック４を、突き上げピンの動作により突き上げら
れた部品３（３ａ）の近傍（例えば、部品の上面より
０．１mm程度上方の位置）にまで移動させて真空吸引チ
ャック４の当接部５を部品３（３ａ）に当接させる。

【００２４】そして、図２(ｃ)に示すように、当接部５
を部品３（３ａ）に当接させた状態で真空吸引チャック
４を略水平方向に移動させ、部品３（３ａ）に略水平方
向に力を加えることにより、部品３（３ａ）を、例えば
０．１mm程度水平方向に移動させて部品３（３ａ）をダ
イシングシート２から剥離させた後、真空吸引チャック
４の吸引をＯＮにして、部品３（３ａ）を真空吸引チャ
ック４により吸着する。それから、このようにして真空
吸引チャック４で吸着することによりピックアップした
部品３（３ａ）を所定の工程に供給する。

【００２５】なお、部品をダイシングシート上からピッ
クアップする場合、その前に、ダイシングシートと部品
との接着力を低下させておくことが望ましいが、そのた
めの方法としては、上記実施形態のように、突き上げピ
ン１で突き上げることにより部品３とダイシングシート
２の接触面積を減らす方法に限らず、加熱したり紫外線
を照射したりすることにより接着力が低下するダイシン
グシートを使用し、所定のタイミングでダイシングシー
トを加熱したり紫外線を照射したりする方法を用いるこ
とも可能であり、適用することが可能である。

【００２６】［実施形態２］図３に、本願発明の他の実
施形態にかかる部品供給装置の要部の構成を示す。この
実施形態の部品供給装置においては、チャック機構（真
空吸引チャック））４が、ロータリーテーブル６に、周
方向に所定の間隔をおいて複数配設されており、このロ
ータリーテーブル６の下方に、部品３をその表面に粘着
・保持するダイシングシート２がＸ，Ｙ方向に移動可能
に配設されている。なお、特に図示していないが、この
実施形態の部品供給装置もダイシングシートを下面側か
ら突き上げる突き上げピンを備えている。また、さらに
その他の部分の構成も上記実施形態１の場合と同様であ
る。

【００２７】なお、この実施形態の部品供給装置におい
て、真空吸引チャック４は、サーボモータにより、ロー
タリーテーブル６の動作と同期して上下方向に駆動され
るように構成されており、そのストロークは部品３の厚
み、突き上げピンによる突き上げ量に応じて可変とされ
ている。なお、真空吸引チャック４は、ピックアップ時
に、部品３の上方約０．１mmの位置にまで降下するよう
に構成されている。また、ロータリーテーブル６は、真
空吸引チャック４が部品３にあたる直前に減速し、ピッ
クアップ後に加速されるように構成されている。

【００２８】この実施形態の部品供給装置においては、
真空吸引チャック４が、ロータリーテーブル６の回転と
同期して動作し、ピックアップすべき所定の部品３の直
前に部品の０．１mm上方にまで降下する。そして、上記
実施形態１の場合と同様に、図１に示すように、真空吸
引チャック４の当接部５が、部品３の側面に当接し、約
０．１mm程度水平方向に部品３を移動させる。こうして
部品３（３ａ）をダイシングシート２から剥離させた
後、真空吸引チャック４の吸引をＯＮにして、部品３
（３ａ）を真空吸引チャック４により吸引するととも
に、真空吸引チャック４を上昇させて次の所定の工程に
供給する。なお、ロータリーテーブル６は、真空吸引チ
ャック４が部品３にあたる直前に減速するが停止するこ
とはない。

【００２９】上記実施形態１，２においては、突き上げ
ピン１により、ダイシングシート２の所定の位置を下面
側から突き上げ、ダイシングシート２上に粘着・保持さ
れた所定の部品３（３ａ）とダイシングシート２との接
触面積を減少させるとともに、部品３（３ａ）を、隣接
する部品３と緩衝しない高さにまで上昇させるようにし
た場合について説明したが、突き上げピン１でダイシン
グシートを突き上げるようにしなくても、真空吸引チャ
ック４の当接部５を部品３（３ａ）に当接させた状態で
真空吸引チャック４を水平方向に移動させて、部品３
（３ａ）に水平方向の力を加えるだけで、部品３を効率
よくダイシングシート２から剥離させて真空吸引チャッ
ク４により吸着し、所定の工程に供給することが可能な
場合もある。したがって、その場合には、突き上げピン
を用いることなく本願発明の基本的な効果を得ることが
可能になる。

【００３０】また、上記実施形態では、ダイシングシー
ト変形手段として、突き上げピンを用いた場合について
説明したが、その具体的な手段には特別の制約はなく、
長手方向に直交する方向の断面形状が櫛歯状である櫛歯
部材などを用いることも可能である。

【００３１】また、上記実施形態では、チャック機構と
して、真空吸引チャックを用いた場合について説明した
が、真空吸引式のものに限らず、機械式のチャック装置
を用いることも可能である。

【００３２】本願発明は、さらにその他の点においても
上記実施形態に限定されるものではなく、部品の形状や
種類、チャック機構の当接部の具体的な形状などに関
し、発明の要旨の範囲内において種々の応用、変形を加
えることが可能である。

【００３３】

【発明の効果】上述のように、本願の請求項１の部品供
給装置は、当接部を部品に当接させた状態でチャック機
構を略水平方向に移動させ、部品に対して略水平方向に
力を加えることにより、部品をダイシングシートから確
実に剥離させることが可能になり、当該部品をピックア
ップして所定の工程に効率よく供給することができる。

【００３４】また、本願発明の請求項２の部品供給装置
は、ダイシングシート変形手段によりダイシングシート
を変形させてその表面に凹凸を生じさせ、部品とダイシ
ングシートとの接触面積を減少させてダイシングシート
の部品保持力を低下させるとともに、当接部を部品に当
接させた状態でチャック機構を略水平方向に移動させて
部品に略水平方向に力を加えてダイシングシートから部
品を剥離させるようにしているので、部品を確実にピッ
クアップして所定の工程に効率よく供給することができ
る。

【００３５】また、本願発明の請求項３の部品供給装置
のように、ダイシングシート変形手段として、ダイシン
グシートの所定位置を下面側から突き上げてその表面に
凹凸を生じさせる突き上げピンを用いた場合、ダイシン
グシート上に粘着・保持された部品とダイシングシート
との接触面積を確実に減少させることが可能になるとと
もに、部品を、チャック機構によりピックアップして水
平に移動させたときに、当該部品が隣接する部品と緩衝
しない高さにまで確実に上昇させることが可能になり、
本願発明をより実効あらしめることができる。

【００３６】また、本願発明の請求項４の部品供給装置
のように、ロータリーテーブルにチャック機構を複数個
取り付け、ロータリーテーブルを回転させることにより
各チャック機構を周方向に移動させるようにした場合、
ロータリーテーブルを連続的に回転させながらダイシン
グシートからの部品の剥離と、当該部品のピックアップ
を行うことができるようになり、部品供給速度を大幅に
向上させることが可能になる。

【００３７】また、本願発明においては、部品に略水平
方向に力を加えることにより部品をダイシングシートか
ら確実に剥離できるようにしているので、本願発明の請
求項５の部品供給装置のように、構造の簡単な真空吸引
チャックを用いて部品を効率よくピックアップすること
が可能になり、設備コストの低減を図ることが可能にな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態にかかる部品供給装置の
要部の構成を模式的に示す斜視図である。

【図２】本願発明の一実施形態にかかる部品供給装置の
動作を説明するための図であり、(ａ)は真空吸引チャッ
クの当接部を部品に当接させる前の状態を示す図、(ｂ)
は真空吸引チャックの当接部を部品に当接させた状態を
示す図、(ｃ)は真空吸引チャックにより部品をピックア
ップした状態を示す図である。

【図３】本願発明の他の実施形態にかかる部品供給装置
の要部の構成を示す平面図である。

【図４】従来の部品供給装置の要部の構成を示す図であ
る。

【図５】従来の他の部品供給装置の要部の構成を示す図
である。

【符号の説明】

１ 突き上げピン ２ ダイシングシート ３（３ａ） 部品 ４ 真空吸引チャック ５ 当接部 ６ ロータリーテーブル

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１１年４月２７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項４

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項５

【補正方法】変更

【補正内容】

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表面が粘着性を有するダイシングシート上
   に保持された部品を、ダイシングシート上からピックア
   ップして所定の工程に供給するための部品供給装置にお
   いて、 ダイシングシートから部品をピックアップするためのチ
   ャック機構であって、部品と当接して部品に水平方向に
   力を加えることが可能な形状の当接部を有するチャック
   機構を具備し、 前記チャック機構を、その当接部が部品に当接した状態
   で略水平方向に移動させ、部品に略水平方向に力を加え
   ることにより、部品をダイシングシートから剥離させる
   とともに、当該部品を前記チャック機構によりピックア
   ップして所定の工程に供給するように構成されているこ
   とを特徴とする部品供給装置。
2. 【請求項２】表面が粘着性を有するダイシングシート上
   に保持された部品を、ダイシングシート上からピックア
   ップして所定の工程に供給するための部品供給装置であ
   って、 ダイシングシートを変形させてその表面に凹凸を生じさ
   せ、所定の部品とダイシングシートとの接触面積を減少
   させるダイシングシート変形手段と、 ダイシングシートから部品をピックアップするためのチ
   ャック機構であって、部品と当接して部品に水平方向に
   力を加えることが可能な形状の当接部を有するチャック
   機構とを具備し、 ダイシングシート変形手段によりダイシングシートの所
   定位置を変形させてその表面に凹凸を生じさせ、所定の
   部品とダイシングシートとの接触面積を減少させること
   により、ダイシングシートの部品保持力を低下させ、か
   つ、前記チャック機構を、その当接部が部品に当接した
   状態で略水平方向に移動させ、部品に略水平方向に力を
   加えることにより、部品をダイシングシートから剥離さ
   せるとともに、当該部品を前記チャック機構によりピッ
   クアップして所定の工程に供給するように構成されてい
   ることを特徴とする部品供給装置。
3. 【請求項３】前記ダイシングシート変形手段が、ダイシ
   ングシートの所定位置を下面側から突き上げてその表面
   を隆起させ、ダイシングシート上に粘着・保持された所
   定の部品とダイシングシートとの接触面積を減少させる
   とともに、当該所定の部品を隣接する部品と緩衝しない
   高さにまで上昇させる突き上げピンであることを特徴と
   する請求項２記載の部品供給装置。
4. 【請求項４】ロータリーテーブルに前記チャック機構を
   複数個取り付け、ロータリーテーブルを連続的に回転さ
   せて各チャック機構を周方向に移動させることにより、
   ダイシングシートからの部品の剥離と、当該部品のピッ
   クアップを行うようにしたことを特徴とする請求項１〜
   ３記載の部品供給装置。
5. 【請求項５】前記チャック機構が、真空吸引することに
   より部品をピックアップする真空吸引チャックであるこ
   とを特徴とする請求項１〜４記載の部品供給装置。