JP6592261B2 - 搬送装置および搬送方法 - Google Patents
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Description
特許文献1に記載された搬送方法は、ウエハ把持装置でウエハの外周からその面方向中心に向けて把持力を付与し、当該ウエハを位置決めして搬送するようになっている。
本発明の搬送装置において、前記被搬送物に振動を付与する振動付与手段を有することが好ましい。
また、当接手段を備えることで、被搬送物を所定領域内で容易に移動させることができる。
さらに、振動付与手段を備えることで、被搬送物を所定領域内で一層容易に移動させることができる。
なお、各実施形態において、X軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な矢印D1方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向、「後」がその逆方向とする。
第2実施形態以降において、第1実施形態で説明した同様の構成および同様の動作は、適宜省略または簡略化する。
図1、図2において、搬送装置10は、所定領域としてのカセットCT内における不特定の位置にある被搬送物としてのウエハWFを保持して搬送する装置であって、ウエハWFを保持面21Aで保持する保持手段20と、保持手段20を移動させる移動手段30と、ウエハWFに振動を付与する振動付与手段50とを備え、カセットCTから取り出したウエハWFを位置決めし、当該搬送装置10に対して所定の位置にある作業テーブル60上に載置するようになっている。なお、カセットCTは、開口部CT1と、ウエハWFの左右両側を支持して当該ウエハWFを上下方向に多段積み可能な複数のリブCT2とを備え、当該搬送装置10に対して所定の位置にある載置台70上の所定の位置に位置決めして載置されるようになっている。
第1、第2当接部材21D、21Eは、保持アーム21の基準位置HCを通って当該保持アーム21の延出方向に延びる基準線HLに対して線対象に配置され、それぞれがウエハWFの外縁における任意の2点に当接することで、当該ウエハWFの中心WCを基準線HL上に位置させることができるようになっている。
先ず、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送機器がリブCT2上の不特定の位置にウエハWFが収納されたカセットCTを載置台70上に載置する。次いで、オペレータが操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介してウエハWFの円周部の直径寸法等を入力した後、自動運転開始の信号を入力する。すると、移動手段30が多関節ロボット31を駆動し、図2(A)に示すように、保持アーム21をウエハWFの下方に差し入れて当該ウエハWFをリブCT2から離間させた後、図2(B)に示すように、カセットCT内で保持アーム21を前方向に所定距離移動させる。このとき、保持手段2は、吸引口21BでウエハWFを吸着保持してもよいし、吸着保持しなくてもよい。その後、移動手段30が多関節ロボット31を駆動し、保持アーム21を下方に下げてウエハWFをリブCT2で支持させる。
図3において、搬送装置10Aは、第1実施形態の搬送装置10における保持手段20の代わりに、保持手段20Aが採用されている点が異なっている。保持手段20Aは、ウエハWFを保持する保持面22Aに減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸引手段に連通した図示しない吸引口を有する保持アーム22を備えている。保持アーム22は、保持面22Aの反対側の面に支持された2体の駆動機器としての直動モータ22Bと、各直動モータ22Bのそれぞれの出力軸22Cに支持されたブラケット22Dの左右両端に支持され、保持面22Aの開口部22Eから突出した当接手段としての前側ピン22Fおよび後側ピン22Gとを備えている。前側ピン22Fおよび後側ピン22Gは、それぞれがウエハWFの外縁における任意の2点当接することで、当該ウエハWFの中心WCを保持アーム22の基準位置HCを通る基準線HL上に位置させることができるようになっている。なお、カセットCTAは、開口部CT1と、ウエハWFの左右両側を支持して当該ウエハWFを上下方向に多段積み可能な複数のリブCT2と、開口部CT1の反対側である後側に形成された開口部CT3とを備えている。
先ず、第1実施形態と同様にして、自動運転開始の信号を入力すると、図3(A)に示すように、保持アーム22をウエハWFの下方に差し入れた後、保持手段20Aが各直動モータ22Bを駆動し、図3(B)に示すように、前側、後側ピン22F、22Gを接近させる。このとき、前側、後側ピン22F、22Gで形成される内接円の直径は、ウエハWFの直径よりも大きくなるように設定されており、例えば、ウエハWFの直径が300mmの場合、当該内接円の直径は、303mm等になるように設定されている。これにより、前側、後側ピン22F、22GのいずれかにウエハWFが当接したとしても、当該ウエハWFに把持力が付与されることはない。なお、前側、後側ピン22F、22Gの間隔は、当該前側、後側ピン22F、22GでウエハWFを移動させるときに、当該ウエハWFが通り抜けない間隔であればよく、内接円が描けない配置でもよい。
第3当接部材21Fの場合、図示のように、その円弧の径を所定の径とすることで、当該所定の径寸法を有したウエハWFAに専用に用いてもよいし、当該直径寸法よりも大きな直径寸法のウエハWFBに対してその2つの端部21FAを当接させて用いてもよい。
第4当接部材21Gの場合、角部の角度を異ならせて、六角形以外の多角形の被搬送物に対応させてもよし、ウエハWFの収まり性を向上させるために、角部に開口や穴等の逃げ部21GAを設けてもよい。
図4(D)に示すように、保持アーム21の先端部21HをウエハWFの外縁に当接させて当該ウエハWFを特定の位置に配置するようにしてもよく、この場合、保持手段にわざわざ当接手段を設ける必要がなくなる。
保持手段20、20Aの基準位置HCは、どのような位置でもよく、支持面21A、22Aの内部でもよいし、支持面21A、22Aの外部でもよい。
保持アーム21、22の形状は、I型、Y型、丸型等何ら限定されることはない。
当接手段は、駆動機器としての回動モータを介して保持アーム21のネック部21C上に支持させてもよく、この回動モータを振動付与手段として機能させたり、被搬送物の外縁の形状に合わせて当接部材同士で形成する角度を変更させたりしてもよい。
第2実施形態における前側ピン22Fおよび後側ピン22Gは、1本でもよいし、3本以上でもよいし、基準線HLに直交する方向に移動できる構成としてもよい。
移動手段30は、保持アーム22をX軸方向に移動させ、ウエハWFをカセットCT内における特定の位置に配置するようにしてもよく。この場合、当接手段は、保持アーム21をウエハWFの下方に差し入れたときに、当該ウエハWFの左右の少なくとも一方に配置されるように構成すればよい。
移動手段30は、第1実施形態において、図2(A)〜(C)で示した位置決め動作を1回だけ行っても、第1、第2当接部材21D、21EそれぞれにウエハWFの外縁が当接しなかった場合、それらが当接するまで当該位置決め動作を複数回繰り返してもよい。
移動手段30は、第2実施形態において、保持アーム22を後方向に移動させても、各前側ピン22FそれぞれにウエハWFの外縁が当接しなかった場合、図3(D)に示すように、保持アーム21を前方向に移動させ、後側ピン22GそれぞれにウエハWFの外縁を当接させてもよい。なお、それでも後側ピン22GそれぞれにウエハWFの外縁が当接しなかった場合、前側ピン22Fそれぞれまたは、後側ピン22GそれぞれにウエハWFの外縁が当接するまで、前方向と後方向との移動を繰り返し行ってもよい。
移動手段30が保持アーム21、22を前方または後方に移動させる距離は、作業者が任意に決定することができ、それら距離は、同じ距離でもよいし、異なる距離でもよい。
移動手段30は、例えば、基準位置HCとウエハWFの中心WCとが、基準線HL方向および当該基準線HLに直交する方向の少なくとも一方の方向に所定距離ずれた状態で、保持面21AでウエハWFを保持してもよい。このような場合でも、ずれて保持したウエハWFの中心WCが基準位置HCに対してどの方向にどれだけずれているかが解るように、ウエハWFを基準位置HCに関連付けて保持できていれば、搬送先でウエハWFを所定の位置に載置することができる。
移動手段30は、例えば、三角形や四角形以上の多角形の被搬送物における1つの角部や、被搬送物に形成された目印等を基準位置HCに関連付けて保持手段20、20Aで保持するようにしてもよい。
振動子51は、所定の振幅および周波数でウエハWFに振動を付与可能に設けられ、例えば、圧電素子を利用した圧電型や、回転型の電動モータの回転軸に偏心錘を取り付けたアンバランスマス型、駆動コイルに電流を流すことで発生する力を利用した動電型、さらには公知の超音波振動発生装置、電動モータやエアを利用した公知のバイブレータなど、任意の原理で振動するものを採用することができ、ウエハWFに対して直接的または間接的に振動を付与できるものであればよい。
振動付与手段50は、保持手段20および当接手段の少なくとも一方に設けてもよいし、省略してもよい。
所定領域は、カセットCT以外の部材の中や載置台70の上面等でもよい。
第1、第2実施形態にいて、第1、第2当接部材21D、21Eそれぞれ、前側ピン22Fそれぞれまたは、後側ピン22GそれぞれとウエハWFの外縁とが当接したことを検知する検知手段は設けなくてもよい。このような場合、保持アーム21、22の前方向への移動と後方向への移動とを何回繰り返すと、それらにウエハWFの外縁が当接するかを統計的に導き出しておき、移動手段30がその回数分前方向への移動と後方向への移動とを繰り返すように構成してもよい。
20、20A 保持手段
21A、22A 保持面
30 移動手段
21D、21E、21F、21G 当接手段
50 振動付与手段
CT、CTA カセット(所定領域)
HC 基準位置
WF ウエハ(被搬送物)
Claims (4)
- 所定領域における不特定の位置にある被搬送物を保持して搬送する搬送装置において、
前記被搬送物を保持面で保持する保持手段と、
前記保持手段を移動させる移動手段とを備え、
前記移動手段は、前記保持手段を前記保持面と平行な平面内で1つの直線方向に往復移動させ、前記被搬送物を前記直線方向に往復移動させるとともに、当該保持手段を前記被搬送物の外縁に当接させることで、当該被搬送物を前記所定領域内における特定の位置に配置し、当該特定の位置に配置された被搬送物を前記保持手段の基準位置に関連付けて保持して搬送することを特徴とする搬送装置。 - 前記保持手段は、前記被搬送物の外縁に当接させる当接手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記被搬送物に振動を付与する振動付与手段を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の搬送装置。
- 所定領域における不特定の位置にある被搬送物を保持して搬送する搬送方法において、
前記被搬送物を保持面で保持する保持手段を当該保持面と平行な平面内で1つの直線方向に往復移動させ、前記被搬送物を前記直線方向に往復移動させるとともに、当該保持手段を前記被搬送物の外縁に当接させることで、当該被搬送物を前記所定領域内における特定の位置に配置する工程と、
前記特定の位置に配置された被搬送物を前記保持手段の基準位置に関連付けて保持して搬送する工程とを有することを特徴とする搬送方法。
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