JP6734266B2 - 搬送システム、搬送ロボット、およびその教示方法 - Google Patents
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Description
本実施形態におけるロボット10の概要を、図3を用いて説明する。
基板2は、前記のとおり、所定の結晶構造を有しているため、基板2を処理室40において処理するためには、処理室40の処理装置内に基板2の中心位置と結晶軸方向を確保して搬送・載置する必要がある。
ロボット座標系とアライナ座標系との関係について、図5を参照しつつ説明する。
YC)Tのロボット座標系で表した座標(XC, YC)R Tである。
<ロボット教示の手順>
ロボット10、アライナ20、基板2及びフープ30を使用した教示の手順について、図6を参照しつつ説明する。なお、図6は、アライナ20におけるロボット10や基板2の中心位置等の教示点や動作点を示している。
フープ30内に、基板2の中心が正確になるように配置して収納する。
フープ30内の取出し位置として予め暫定的に設定したフープ位置P0(以下「仮設定されたフープ位置」という。)に基づき、ロボット10により基板2を、フープ30から取り出す。ここで、P0は、基板2を取り出すための仮設定されたフープ位置であるため、ロボット10により基板2の中心位置の把握はなされていない。
回転テーブル21の基準位置(回転テーブルの回転中心)として予め暫定的に設定したアライナ位置Oac(以下、「仮設定されたアライナ位置」という。)に基づき、ロボット10により基板2を、アライナ20の回転テーブル21に搬送し載置する。以下、仮設定されたアライナ位置に基づき回転テーブル21の上に載置された基板2の中心位置を「第一の基板載置位置」といい、A1とし、ロボット座標系における座標を(X1, Y1)Tであらわす。
前記<アライナ>において説明した方法により、すなわち回転テーブル21を回転させてセンサ部23により最長距離Lmax及び/又は最短距離Lminに基づいて、第一の基板載置位置A1におけるトータルオフセット1(Ot1)の大きさ及びその方向(角度)を測定する。
回転テーブル21を回転させて基板2の中心位置を第一の基板載置位置A1に戻す。
回転テーブル21上の基板2をロボットハンド16で把持して、ロボット10を使用して、ロボット座標系において、x軸と平行な方向に予め設定した距離d移動して回転テーブル21上に載置する。この移動後の基板2の中心位置を第二の基板載置位置A2とし、ロボット座標系における座標を(X2, Y2)Tであらわす。なお、本実施形態では、前記ロボット10による基板2の移動方向をx軸と平行な方向としたのは、以下の式の変形や誘導を簡略化するためであって、原理的ないし数学的には、予め設定する距離dが特定できれば、移動方向は任意の方向であって構わない。
前記<アライナ>において説明した方法により、すなわち回転テーブル21を回転させてセンサ部23により最長距離Lmax及び/又は最短距離Lminに基づいて、第二の基板載置位置A2におけるアライナ座標系原点に対する基板2の中心の位置ずれ(ベクトル)(以下「トータルオフセット2」という。)Ot2の大きさ及び方向を測定する。
基板2をロボット10のハンド16で把持して第一の基板載置位置A1に戻す。したがって、このときの基板2の中心位置はA1である。
仮設定されたアライナ位置(Oac)を通りz線に平行な直線のまわりにハンド16を予め設定した角度αだけ回転する。
角度αの回転が終了したら、基板2を回転テーブル21の上に載置する。このときの基板2の中心位置を第三の基板載置位置A3とし、ロボット座標系における座標を(X3, Y3)Tとする。
前記<アライナ>において説明した方法により、すなわち回転テーブル21を回転させてセンサ部23により最長距離Lmax及び/又は最短距離Lminに基づいて、第三の基板載置位置A3の位置における基板中心位置ずれ(トータルオフセット3)Ot3の大きさ及び方向を測定する。
− 教示用治具等を必要とせずに、教示作業が可能となるため、システムが簡素化できるとともに、制御に際してハンド等の情報が不要となり、制御が容易となる。
2 半導体基板(ウエハ)
3 ノッチ
10 ロボット
11 ロボット制御装置
12 基台
13 アーム部
14 第一アーム
15 第二アーム
16 ハンド
17 第一回転軸
18 第二回転軸
19 第三回転軸
20 基板位置決め装置(アライナ)
21 回転テーブル
22 回転テーブルの回転中心
23 センサ部
24 第一の基板載置位置
25 仮設定されたアライナ位置
30 基板収納容器(フープ)
40 処理室
Claims (6)
- 水平面内で回転する回転テーブル、および前記回転テーブルに載置された円板状搬送物の前記回転テーブルの基準位置に対するずれの情報を取得するセンサ部を有する搬送物載置装置と、
前記円板状搬送物を搬送物収納容器から取り出し、前記回転テーブル上に搬送して載置するロボットと、を備え、
前記搬送物収納容器における前記円板状搬送物の取出し位置及び前記回転テーブルの基準位置として予め暫定的に設定された位置に基づき前記回転テーブル上に載置された前記円板状搬送物について、前記センサ部により取得した前記回転テーブル上に載置された前記円板状搬送物の前記回転テーブルの基準位置に対するずれの情報に基づいて、前記搬送物収納容器における前記円板状搬送物の取出し位置及び前記回転テーブルの基準位置の情報を取得して、それら取得した位置情報に基づいて、前記ロボットによる前記搬送物収納容器から前記回転テーブルへの前記円板状搬送物の搬送動作を教示し、
前記センサ部により取得した前記回転テーブル上に載置された前記円板状搬送物の前記回転テーブルの基準位置に対するずれの情報が、
前記回転テーブルの基準位置として予め暫定的に設定された位置に基づき前記円板状搬送物が前記回転テーブル上に載置された第一載置位置の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれと、
前記円板状搬送物を前記第一載置位置から前記ロボットにより予め設定された距離を水平直線移動して前記回転テーブル上に載置された第二載置位置において前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれと、
前記円板状搬送物を、前記ロボットにより前記第一載置位置から予め設定された角度の水平旋回移動を行って前記回転テーブル上に載置された第三載置位置において前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれとの3つである、ことを特徴とする搬送システム。 - 前記回転テーブルの前記基準位置が前記回転テーブルの回転中心であり、前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれが、前記円板状搬送物の中心の前記回転テーブルの回転中心からの距離と方向である、ことを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。
- 水平面内で回転する回転テーブル、および前記回転テーブル上に載置された円板状搬送物の前記回転テーブルの基準位置に対するずれの情報を取得するセンサ部を有する搬送物載置装置と、
前記円板状搬送物を搬送物収納容器から取り出し、前記回転テーブル上に搬送して載置するロボットと、を備える搬送システムにおける前記ロボットの搬送動作の教示方法であって、
前記円板状搬送物の第一載置位置において前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれを取得する第一のずれ取得工程と、
前記円板状搬送物を前記第一載置位置からロボットにより水平面内で予め設定した距離を直線移動して前記回転テーブル上に載置した第二載置位置において前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれを取得する第二のずれ取得工程と、
前記ロボットにより、前記円板状搬送物を前記第一載置位置から予め設定された角度の水平旋回移動を行って前記回転テーブル上に載置された第三載置位置において前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれを取得する第三のずれ取得工程と、
前記第一のずれ取得工程で取得したずれと前記第三のずれ取得工程により取得したずれとに基づいて、前記搬送物収納容器における前記円板状搬送物の取出し位置及び前記回転テーブルの基準位置の情報を取得する工程と、を有することを特徴とする搬送システムにおけるロボットの教示方法。 - 前記回転テーブルの前記基準位置が前記回転テーブルの回転中心であり、前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれが、前記円板状搬送物の中心の前記回転テーブルの回転中心からの距離と方向である、ことを特徴とする請求項3に記載の搬送システムにおけるロボットの教示方法。
- 円板状搬送物を搬送物収納容器から取り出し、水平面内で回転する回転テーブルおよび前記回転テーブルに載置された前記円板状搬送物の前記回転テーブルの基準位置に対するずれの情報を取得するセンサ部を有する搬送物載置装置の前記回転テーブル上に搬送して載置する搬送ロボットであって、
前記搬送物収納容器における前記円板状搬送物の取出し位置及び前記回転テーブルの基準位置として予め暫定的に設定した位置に基づき前記センサ部により取得した前記回転テーブル上に載置された前記円板状搬送物の前記回転テーブルの基準位置に対するずれの情報に基づいて、前記搬送物収納容器における前記円板状搬送物を取り出すべき位置及び前記回転テーブルへの載置すべき位置の情報を取得して、それら取得した位置情報に基づいて、前記ロボットによる前記搬送物収納容器における前記円板状搬送物の取出し位置及び前記回転テーブルの基準位置の情報を取得し、
前記センサ部により取得した前記回転テーブル上に載置された前記円板状搬送物の前記回転テーブルの基準位置に対するずれの情報が、
前記円板状搬送物の前記回転テーブルにおける第一載置位置において前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれと、
前記円板状搬送物を前記第一載置位置から前記ロボットにより予め設定した距離を水平直線移動して前記回転テーブル上に載置した第二載置位置における前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれと、
前記円板状搬送物を前記ロボットにより前記第一載置位置から予め設定された角度の水平旋回移動を行って前記回転テーブル上に載置された第三載置位置における前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれとの3つである、ことを特徴とする搬送ロボット。 - 前記回転テーブルの前記基準位置が前記回転テーブルの回転中心であり、前記円板状搬送物の前記回転テーブルの前記基準位置に対するずれが、前記円板状搬送物の中心の前記回転テーブルの回転中心からの距離と方向である、ことを特徴とする請求項5に記載の搬送ロボット。
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JP2016175160A (ja) | 搬送装置 |
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