JP2013045817A - 真空処理装置および真空処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内側が減圧される処理室及びこの処理室内に配置された試料台を有する真空容器と、この真空容器と連結されて前記ウエハを2つのアームの何れかに載せて搬入または搬出するロボットと、このロボットが前記ウエハを搬入または搬出する際にこのウエハの所定の位置のズレの量を検出する手段と、この検出されたズレの量に基づいて前記ロボットの動作を調節する調節器とを備え、前記調節器は、予めティーチングを行った結果に基づいて前記ロボットの動作を調節するものであって、前記ロボットが予めティーチングを行った後にウエハを所定のパターンで搬送した際に検出されたウエハの位置ズレの量の情報に基づいて再度のティーチングを行った後にウエハの処理を行う。
【選択図】 図3
Description
本発明の実施例を図1乃至図4を用いて説明する。
101,102,103,104 処理室
105 カセット載置台
106,107 ロードロック室
108 大気ロボット
109 大気搬送室
110 バッファ室
111 真空ロボット
112 ハンド
201 θ軸センサ
202 R軸センサ
203 中心
301 ウエハ
302,304 制御装置
303 制御ユニット
305 試料台
Claims (8)
- 内側が減圧されて処理対象のウエハが処理される処理室及びこの処理室内に配置され前記ウエハがその上面に載せられ静電吸着されて保持される試料台を有する真空容器と、この真空容器と連結され内部に前記ウエハを2つのアームの何れかに載せて前記処理室内の前記試料台に対して搬入または搬出するロボットと、このロボットが前記ウエハを搬入または搬送する際に当該ウエハを載せるアームの所定の位置からの前記ウエハの所定の位置のズレの量を検出する手段と、この検出されたズレの量に基づいて前記ロボットの動作を調節する調節器とを備え、
前記調節器は、予め前記アームの位置を検出するセンサからの情報と実際の前記アームの位置とを対応させるティーチングを行った結果に基づいて前記ロボットの動作を調節するものであって、
前記ロボットが予めティーチングを行った後にウエハを所定のパターンで搬送した際に検出されたウエハの位置ズレの量の情報に基づいて再度のティーチングを行った後にウエハの処理を行う真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置であって、
前記再度のティーチングにおいて、前記2つのアームのうちの一方のアームによる搬送の際に検出されたズレの量を他方のアームによる搬送の際に検出されたズレの量に対して一致させるように前記一方のアームの基準の位置を設定する真空処理装置。 - 請求項2に記載の真空処理装置であって、
前記再度のティーチングにおいて、前記一方のアームによる少なくとも一枚以上のウエハの搬送の際に検出されたズレの量の平均の値を前記他方のアームによる搬送の際に検出されたズレの量の平均の値に合致させる真空処理装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の真空処理装置であって、
前記2つのアームの組合せによる前記ウエハの搬入及び搬出の複数のパターンを行って検出された位置ズレの量の情報に基づいて、前記複数のパターンのうち前記位置ズレの量が許容される所定の範囲外であるパターンの前記位置ズレの量を前記許容される所定の範囲内にパターンの前記位置ズレの量に合致するように前記再度のティーチングがなされる真空処理装置。 - 真空容器に連結された搬送室内をこの搬送室内に配置されたロボットの2つのアームの何れかに載せて前記真空容器内部の処理室内の試料台に対して搬入し、前記試料台上に載せられた前記ウエハを吸着、保持し、前記処理室内にプラズマを形成して前記ウエハを処理した後、前記ロボットのアームを前記処理室内の前記試料台に対して搬入して前記ウエハを載せて前記処理室から取り出して前記真空搬送室内を搬送する真空処理方法であって、
前記真空搬送室内において前記アームに載せられた状態での基準となる位置からの前記ウエハの位置のズレの量を検出する手段と、この検出されたズレの量に基づいて前記ロボットの動作を調節する調節器とを備え、
予め前記アームの位置を検出するセンサからの情報と実際の前記アームの位置とを対応させるティーチングを行った後、前記任意のウエハを所定のパターンで搬送した際に検出されたウエハの位置ズレの量の情報に基づいて再度のティーチングを行った後に、この再度のティーチングの結果に基づいて前記調節器により前記ロボットの動作を調節して前記ウエハを搬送して処理を行う真空処理方法。 - 請求項5に記載の真空処理方法であって、
前記再度のティーチングにおいて、前記2つのアームのうちの一方のアームによる搬送の際に検出されたズレの量を他方のアームによる搬送の際に検出されたズレの量に対して一致させるように前記一方のアームの基準の位置を設定する真空処理方法。 - 請求項6に記載の真空処理方法であって、
前記再度のティーチングにおいて、前記一方のアームによる少なくとも一枚以上のウエハの搬送の際に検出されたズレの量の平均の値を前記他方のアームによる搬送の際に検出されたズレの量の平均の値に合致させる真空処理方法。 - 請求項5乃至7のいずれかに記載の真空処理方法であって、
前記2つのアームの組合せによる前記ウエハの搬入及び搬出の複数のパターンを行って検出された位置ズレの量の情報に基づいて、前記複数のパターンのうち前記位置ズレの量が許容される所定の範囲外であるパターンの前記位置ズレの量を前記許容される所定の範囲内にパターンの前記位置ズレの量に合致するように前記再度のティーチングがなされる真空処理方法。
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