JP5851099B2 - 真空処理装置の運転方法 - Google Patents
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Description
101,102,103,104 処理室
105 カセット戴置台
106,107 ロードロック室
108 大気ロボット
109 位置合わせ機
110 真空搬送室
111 真空ロボット
112 大気搬送室
200 真空側ブロック
201 ロボットアーム
202 ロボットハンド
203 中心軸
301 試料台
302 ウエハ
303 偏光板
304 センサ
305,401 孔
306 発光
307 反射光
402 段差部
Claims (8)
- 内部の空間が減圧されて処理対象の基板状の試料がロボットのアームの先端部の面上にその外周縁の外側に当該アームの部材と隙間をあけて載せられて搬送される搬送容器と、この搬送容器の側壁に連結されて配置され減圧された内部の処理室で前記試料がこの処理室内に形成されたプラズマで処理される真空処理ユニットとを備えた真空処理装置の前記ロボットによる前記試料の搬送の動作を前記プラズマによる前記試料の処理の前に調整する真空処理装置の運転方法であって、
前記真空処理ユニットは、前記処理室内の下方に配置されその上面に前記プラズマによって処理される前記試料が載せられる試料台と、その内部に前記処理室を有する真空容器と、この試料台の上方に配置されて前記真空容器を構成してその内部と外部とが気密に封止される透光性を有する材料から構成された板部材とを備えて、前記搬送容器に連結された状態で前記処理室と前記搬送容器内の前記搬送用の空間とが連通可能に構成され、
その上面に所定の波長の光の反射の特性を局所的に異ならせた特定の箇所を有した調整用の試料を前記試料台の上面の特定の位置と前記特定の箇所とを合わせて載置した後、前記真空容器の内部を封止した状態で前記ロボットを移動させて前記ロボットのアームの前記先端部の面上で所定の位置に配置され前記反射した所定の波長の光の通過部を前記調整用の試料の前記特定の箇所の上方に移動させ、その移動の際に前記調整用の試料から向かって前記通過部を通過した光を前記板部材の外側で検知し、検出した前記光の量に応じて前記試料の特定の箇所と前記ロボットの所定の位置との位置合わせを行う真空処理装置の運転方法。
- 請求項1に記載の真空処理装置の運転方法であって、
前記調整用の試料は前記特定の箇所に配置された孔を有して、前記調整用の試料が載置された状態で前記孔からの前記所定の波長の光の反射の特性が前記特定の箇所の周囲のこの試料の部材の前記反射の特性と局所的に異ならされた真空処理装置の運転方法。
- 請求項1または2に記載の真空処理装置の運転方法であって、
前記調整用の試料は前記特定の箇所の周囲に前記所定の波長の光の偏光部材を有した真空処理装置の運転方法。
- 請求項3に記載の真空処理装置の運転方法であって、
前記偏光部材は前記特定の箇所の周囲を囲む貫通孔を備えた真空処理装置の運転方法。
- 請求項1乃至4の何れかに記載の真空処理装置の運転方法であって、
前記ロボットのアームの所定の位置の前記光の通過部はこのアームの上下面を貫通する貫通孔を備えた真空処理装置の運転方法。
- 請求項1乃至5の何れかに記載の真空処理装置の運転方法であって、
前記透光性を有する板部材の外側であってその上方に配置されこの板部材の面方向の位置を可変に調節可能な光の検知手段により前記調整用の試料から向かってこの板部材を透過した光を検知する真空処理装置の運転方法。
- 請求項1乃至6の何れかに記載の真空処理装置の運転方法であって、
前記透光性を有する板部材の外側であってその上方に配置され前記試料台上に載置された前記調整用の試料に向けて前記所定の波長の光を発光しこの試料の表面から反射して前記ロボットのアームの通過部を通り前記板部材を透過した光を検知する真空処理装置の運転方法。
- 請求項1乃至7の何れかに記載の真空処理装置の運転方法であって、
前記真空容器を構成する透光性を有する板部材は前記処理室内にプラズマを形成するための電界が透過する誘電体製の窓部材である真空処理装置の運転方法。
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