JP5476162B2 - 真空処理装置及びプログラム - Google Patents
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Description
≪第1の実施形態≫
まず、第1の実施形態について説明する。
搬送室に二つのロボットハンドが備えられている装置が主流である。これら同一搬送室内にあるロボットハンドの待ち時間を少なくすることでも、効率向上を図ることが可能である。
(2)ロードロックに処理済ウェハを入れた直後に同じロボットハンドがロードロックから未処理ウェハを出す動作を行うと効率が良いため、ロードロックに処理済ウェハを入れる動作である「処理済ウェハを処理室→ロードロック」や「処理済ウェハを中間室→ロードロック」の後に、「未処理ウェハをロードロック→処理室」や「未処理ウェハをロードロック→中間室」を行うようにする。
図25Aは、処理室搬送1回と中間室搬送1回を交互に繰り返す場合の例である。基本的な動作は、片方のロボットハンドが処理室や中間室から処理済ウェハを出して、その間に、もう片方のロボットハンドが処理室や中間室へ未処理ウェハを入れる動作である。図25Aの動作2501はロボットハンド1が、処理室から処理済ウェハを出して、ロードックに入れるまでの動作である。一方、動作2502は、ロボットハンド2が、ロードロックから未処理ウェハを出して、処理室へ入れるまでの動作である。この動作2501、動作2502の二つの動作によって、処理室搬送が完了する。
まず、搬送先決定処理106の処理の概要について、図4を用いて説明する。この搬送先決定処理106は、フープ201若しくは202に新しいカセットが到着した際に実行される。その処理とは、部位接続情報113と搬送ロボット情報114と処理対象情報109を入力とし、搬送先計算401で計算し、搬送先情報112が生成される。部位接続情報113は、図18に例示するような情報で、搬送室、処理室、ロードロック、中間室、大気側ブロックの接続関係を表した情報である。又、搬送ロボット情報114は、搬送ロボットが配置されている部位やロボットの種類を表した情報である。又、処理対象情報109は、フープ201若しくは202に置かれたカセットに収納されている各ウェハに関する情報で、フープにカセットが置かれた時に、収納されているウェハをスキャンし、スキャンした情報をホストコンピュータに伝送し、各ウェハの処理条件、例えば、処理時間や温度、ガス濃度などのレシピをホストコンピュータよりダウンロードする。図17に例示する処理対象情報109は、ウェハ番号とそのウェハの処理時間の情報を保持している。搬送先情報112は、図15に例示するような情報で、各ウェハの搬送先処理室を表した情報である。
但し、この搬送動作順序の計算アルゴリズムは、一例であり、出来るだけ処理室搬送の連続回数を少なくし、且つ、出来るだけ中間室搬送の連続回数を奇数となるようにするものであれば、他の計算アルゴリズムでもよい。
コンソール端末116は、入力部と出力部があり、入力部としてキーボードやマウス、タッチペン等が備わっている。又、出力部として画面が備わっている。その画面には、制御方法を選択するエリア1201と装置状態の詳細データを表示するエリア1202と装置状態の概要を表示するエリア1203がある。制御方法を選択するエリア1201には、制御方法として「手動」「自動」を選択するボタンがついており、どちらを選択するか入力すると、その選択されたほうの色が変わるなど選択状況が分るようになっている。装置状態の詳細データを表示するエリア1202には、装置内にあるウェハ1204の詳細な状態や処理室や搬送機構の詳細な状態を表示する。装置状態の概要を表示するエリア1203には、どのウェハ1204がどこにあるのか、簡便に把握できるよう装置とウェハ1204の位置をビジュアルに表示する。ウェハ1204が移動すると、ウェハ1204の表示位置がそれに応じて、変更となる。
≪第2の実施形態≫
次に、第2の実施形態について説明する。
第2の実施形態では、制御方式として、イベントドリブン方式の制御を行う装置の例として説明する。イベントドリブン方式の装置において効率の良い搬送を行うには、各搬送室のロボットの中間室搬送の連続する回数が、出来るだけ奇数回となる搬送動作を予め計算し、それを基づいて搬送動作を実行すればよい。
全てのウェハについて、部位接続情報113より抽出した全ての処理室を割当てる。よって、搬送先情報112は、例えば、「ウェハ番号:W1、搬送先:処理室205、206、207、208、209、210」というようなデータとなり、これは、ウェハ番号W1は、処理室205、206、207、208、209、210のいずれの処理室に搬送してもよいということである。
又、コンソール端末の画面については第1の実施形態と同様である。
≪第3の実施形態≫
次に、第3の実施形態について説明する。第3の実施形態では、制御方式として、イベントドリブン方式の制御を行う装置の例として説明する。イベントドリブン方式の装置において効率の良い搬送を行うには、ロードロックから遠い搬送室、若しくは、中間室にある未処理ウェハ枚数が、ロードロックに近い搬送室、若しくは、中間室にある未処理ウェハ枚数より少ない場合に、ロードロックから遠い搬送室、若しくは、中間室へウェハを優先的に搬送する制御ルールにて、搬送動作を実行すればよい。
102:動作制御部、
103:演算部、
104:記憶部、
105:手動設定処理、
106:搬送先決定処理、
107:動作実行処理、
108:装置状態情報、
109:処理対象情報、
110:動作指示情報、
111:動作シーケンス情報、
112:搬送先情報、
113:部位接続情報、
114:搬送ロボット情報、
115:搬送回数情報、
116:コンソール端末、
117:ホストコンピュータ、
118:ネットワーク、
201,202:フープ、
203:大気ロボット、
204:レール、
205,206,207,208,209,210:処理室、
211:ロードロック、
212,213:中間室、
214,215,216:搬送室、
217,218,219:真空ロボット、
220,221,222,223,224,225,226,227,228,229,230,231:ゲートバルブ、
232:大気側ブロック、
233:真空側ブロック、
401:搬送先計算、
501:接続距離算出、
502:処理室搬送回数算出、
503:搬送動作順序算出、
504:処理室割当、
601,1001:動作指示生成、
602,1002:各部位稼動、
801:処理室自由割当、
1201:制御方法選択エリア、
1202:装置状態詳細データ表示エリア、
1203:装置状態概要表示エリア、
1204:ウェハ、
2101,2102,2103,2104,2201,2202,2203,2204,2205,2301,2302,2303,2304,2305,2306,2307,2401,2402,2403,2404,2405,2406:計算ステップ、
2501,2502,2503,2504,2505,2506,2507,2508,2509,2510,2511,2512,2513,2514,2515,2516,2517:ロボットハンドの動作。
Claims (2)
- 大気側に置かれた被処理体を真空側に取り込むロードロックを備えた真空処理装置において、
前記被処理体に所定の処理を施す複数の処理室と、
前記被処理体の受け渡しを行う真空ロボットを具備してなる複数の搬送機構部と、
前記搬送機構部間を連結し前記被処理体を中継搬送する複数の搬送中間部と、
前記被処理体の受け渡しおよび中継搬送を制御する制御部と、を備え、
前記搬送機構部のそれぞれが前記搬送中間部を介して複数連結され、前記制御部は、処理室にて一回の処理を行って処理を完了する処理工程で同一種類のウェハを連続的に処理し、前記処理室へウェハを搬送するのに要する時間が前記搬送室から隣の搬送室へウェハを渡すのに要する時間よりも長い場合に、前記ロードロックを起点として前記搬送機構部の一つに至る接続距離を第1の接続距離とし、前記ロードロックを起点として前記搬送機構部の他の一つに至る前記第1の接続距離より大きい接続距離を第2の接続距離としたとき、前記第2の接続距離を有する前記搬送機構部に接続された前記処理室へ前記被処理体を搬送する搬送回数が、前記第1の接続距離を有する前記搬送機構部に接続された前記処理室への搬送回数より多くなるように、前記真空ロボットに接続された前記処理室への前記被処理体の搬送回数を真空ロボット毎に算出する処理室搬送回数算出手段と、
前記真空ロボットによる前記処理室および前記搬送中間部への搬送回数に基づいて、前記真空ロボットのそれぞれにおける前記被処理体の搬送動作順序を算出する搬送動作順序算出手段と、
前記搬送動作順序が算出された前記被処理体が搬送される前記処理室の割当てを行う処理室割当手段と、を有することを特徴とする真空処理装置。 - 大気側に置かれた被処理体を真空側に取り込むロードロックと、前記被処理体に所定の処理を施す複数の処理室と、前記被処理体の受け渡しを行う真空ロボットを具備してなる複数の搬送機構部と、
前記搬送機構部間を連結し前記被処理体を中継搬送する複数の搬送中間部と、前記ロードロック、前記処理室、前記搬送機構部および前記搬送中間部を制御する演算処理装置とを備えた真空処理装置の前記演算処理装置で実行されることにより、
演算処理装置を、
前記搬送機構部のそれぞれが前記搬送中間部を介して複数連結され、処理室にて一回の処理を行って処理を完了する処理工程で同一種類のウェハを連続的に処理し、前記処理室へウェハを搬送するのに要する時間が前記搬送室から隣の搬送室へウェハを渡すのに要する時間よりも長い場合に、前記ロードロックを起点として前記搬送機構部の一つに至る接続距離を第1の接続距離とし、前記ロードロックを起点として前記搬送機構部の他の一つに至る前記第1の接続距離より大きい接続距離を第2の接続距離としたとき、前記第2の接続距離を有する前記搬送機構部に接続された前記処理室へ前記被処理体を搬送する搬送回数が、前記第1の接続距離を有する前記搬送機構部に接続された前記処理室への搬送回数より多くなるように、前記真空ロボットに接続された前記処理室への前記被処理体の搬送回数を真空ロボット毎に算出する処理室搬送回数算出手段と、
前記真空ロボットによる前記処理室および前記搬送中間部への搬送回数に基づいて、前記真空ロボットのそれぞれにおける前記被処理体の搬送動作順序を算出する搬送動作順序算出手段と、
前記搬送動作順序が算出された前記被処理体が搬送される前記処理室の割当てを行う処理室割当手段として機能させるためのプログラム。
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