JP2016107378A - 産業用ロボットおよび産業用ロボットの教示方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 35
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S901/00—Robots
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- Y10S901/03—Teaching system
- Y10S901/04—Manual lead through
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の概略構成を示す側面図である。図2は、図1に示すハンド4の平面図である。図3は、図1に示す産業用ロボット1の動作を説明するための図である。
図4は、図1に示すロボット1が搭載部3の上下方向の位置を検知するときのハンド4の動作を説明するための図である。図5は、図1に示すロボット1が搭載部3の前後方向の位置を検知するときのハンド4の動作を説明するための図である。図6は、図1に示すロボット1が搭載部3の左右方向の位置を検知するときのハンド4の動作を説明するための図である。図7は、図1に示すロボット1における搭載部3の左右方向の位置の算出方法を説明するための図である。図8は、図7のE部の拡大図である。
ΔX=(Y2−Y1)×tanθ・・・(式1)
また、このずれ量ΔXに基づいて、搭載部3の左右方向の位置が算出される。
Y1=Y0+(r−rsinθ)・・・(式2)
すなわち、搭載部3の左右方向の位置は、センサ14によって検知された搭載部3の前後方向の位置とセンサ15によって検知された搭載部3の前後方向の位置とに基づいて算出される。
以上説明したように、本形態では、センサ15は、発光部18および受光部19の光軸L2が前後方向および左右方向に対して傾いた方向であってかつ水平方向と平行になるように配置されている。また、本形態では、搭載部3に搭載されるウエハ2の位置をロボット1に教示するときに、ウエハ2を搬送する際のハンド4の移動方向である前後方向へ移動機構9によってハンド4を移動させて、センサ15によって搭載部3の前後方向の位置を検知し、搭載部3の左右方向の位置を算出している。すなわち、本形態では、搭載部3に搭載されるウエハ2の位置をロボット1に教示するときに、ウエハ2を搬送する際のハンド4の移動方向に直交する左右方向へハンド4を移動させることなく、センサ15の検知結果に基づいて搭載部3の左右方向の位置を算出している。そのため、本形態では、搭載部3の周囲の空間が狭くても、センサ14によって検知される搭載部3の上下方向の位置と、センサ14によって検知される搭載部3の前後方向の位置と、センサ15の検知結果から算出される搭載部3の左右方向の位置とに基づいて、搭載部3に搭載されるウエハ2の位置をロボット1に自動で教示することが可能になる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 ウエハ(半導体ウエハ、搬送対象物)
3 搭載部
4 ハンド
8 昇降機構
9 移動機構
14 センサ(第1センサ)
15 センサ(第2センサ)
L1 光軸(第1センサの発光素子および受光素子の光軸)
L2 光軸(第2センサの発光素子および受光素子の光軸)
X 第2方向
Y 第1方向
Claims (3)
- 搬送対象物が搭載される搭載部への前記搬送対象物の搬入および前記搭載部からの前記搬送対象物の搬出を行う産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物を把持し水平方向へ直線的に移動するハンドと、前記ハンドを昇降させる昇降機構とを備えるとともに、前記搭載部に対して前記搬送対象物を搬送するときの前記ハンドの移動方向を第1方向とし、前記第1方向と上下方向とに直交する方向を第2方向とすると、前記ハンドを前記第1方向へ移動させる移動機構と、発光素子と受光素子とを有し前記ハンドに取り付けられる第1センサおよび第2センサとを備え、
前記第1センサは、前記第1センサの前記発光素子の光軸および前記受光素子の光軸が前記第2方向と平行になるように配置され、
前記第2センサは、前記第2センサの前記発光素子の光軸および前記受光素子の光軸が前記第1方向および前記第2方向に対して傾いた方向であってかつ水平方向と平行になるように配置され、
前記搭載部に搭載される前記搬送対象物の位置が教示されるときに、前記昇降機構によって前記ハンドを昇降させて、前記第1センサによって前記搭載部または前記搭載部に搭載される教示用治具の上下方向の位置を検知し、前記移動機構によって前記ハンドを前記第1方向へ移動させて、前記第1センサによって前記搭載部または前記教示用治具の前記第1方向の位置を検知するとともに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第1方向へ移動させて、前記第2センサによって前記搭載部または前記教示用治具の前記第1方向の位置を検知し、前記搭載部または前記教示用治具の前記第2方向の位置を算出することを特徴とする産業用ロボット。 - 前記第2センサは、前記ハンドに前記搬送対象物が把持されていることを検知するためのセンサであることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。
- 搬送対象物を把持し水平方向へ直線的に移動するハンドと、前記ハンドを昇降させる昇降機構とを備えるとともに、前記搬送対象物が搭載される搭載部に対して前記搬送対象物を搬送するときの前記ハンドの移動方向を第1方向とし、前記第1方向と上下方向とに直交する方向を第2方向とすると、前記ハンドを前記第1方向へ移動させる移動機構と、発光素子と受光素子とを有し前記ハンドに取り付けられる第1センサおよび第2センサとを備え、前記第1センサは、前記第1センサの前記発光素子の光軸および前記受光素子の光軸が前記第2方向と平行になるように配置され、前記第2センサは、前記第2センサの前記発光素子の光軸および前記受光素子の光軸が前記第1方向および前記第2方向に対して傾いた方向であってかつ水平方向と平行になるように配置されている産業用ロボットの教示方法であって、
前記昇降機構によって前記ハンドを昇降させて、前記第1センサによって前記搭載部または前記搭載部に搭載される教示用治具の上下方向の位置を検知し、前記移動機構によって前記ハンドを前記第1方向へ移動させて、前記第1センサによって前記搭載部または前記教示用治具の前記第1方向の位置を検知するとともに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第1方向へ移動させて、前記第2センサによって前記搭載部または前記教示用治具の前記第1方向の位置を検知し、前記搭載部または前記教示用治具の前記第2方向の位置を算出して、前記搭載部に搭載される前記搬送対象物の位置を教示することを特徴とする産業用ロボットの教示方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014247682A JP6522325B2 (ja) | 2014-12-08 | 2014-12-08 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの教示方法 |
US14/962,387 US20160158935A1 (en) | 2014-12-08 | 2015-12-08 | Industrial robot and teaching method therefor |
US15/450,402 US10173326B2 (en) | 2014-12-08 | 2017-03-06 | Industrial robot teaching method with calculating a position |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014247682A JP6522325B2 (ja) | 2014-12-08 | 2014-12-08 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの教示方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016107378A true JP2016107378A (ja) | 2016-06-20 |
JP6522325B2 JP6522325B2 (ja) | 2019-05-29 |
Family
ID=56093452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014247682A Active JP6522325B2 (ja) | 2014-12-08 | 2014-12-08 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの教示方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20160158935A1 (ja) |
JP (1) | JP6522325B2 (ja) |
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DE102019128951B4 (de) | 2018-11-02 | 2022-09-29 | Fanuc Corporation | Alarmmeldesystem für einen Roboter |
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2014
- 2014-12-08 JP JP2014247682A patent/JP6522325B2/ja active Active
-
2015
- 2015-12-08 US US14/962,387 patent/US20160158935A1/en not_active Abandoned
-
2017
- 2017-03-06 US US15/450,402 patent/US10173326B2/en active Active
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KR20220044674A (ko) | 2020-10-02 | 2022-04-11 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 |
US11791193B2 (en) | 2020-10-02 | 2023-10-17 | Nidec Sankyo Corporation | Industrial robot |
KR102597834B1 (ko) * | 2020-10-02 | 2023-11-03 | 니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6522325B2 (ja) | 2019-05-29 |
US20170173797A1 (en) | 2017-06-22 |
US20160158935A1 (en) | 2016-06-09 |
US10173326B2 (en) | 2019-01-08 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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