KR102105580B1 - 기판 반송 장치 및 기판 반송 로봇의 교시 방법 - Google Patents

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Abstract

컨트롤러는, 제1 광센서 및 적어도 하나의 제2 광센서 중에서 선택된 하나의 광센서를 이용하여, 광센서의 광로가 기판 적재부의 위쪽인 동시에 기둥부와 간섭하지 않는 검출 개시 위치로 기판 반송 핸드를 이동시키고, 검출 개시 위치로부터 광센서로 물체를 검출한 검출 위치까지 기판 반송 핸드를 아래쪽으로 이동시켜, 기판 반송 핸드가 검출 위치에 있을 때의 광센서의 광로의 소정의 위치기준으로부터의 높이를 기판 적재부의 높이 위치로서 기억한다.

Description

기판 반송 장치 및 기판 반송 로봇의 교시 방법
본 발명은, 반도체 기판이나 글라스 기판 등의 기판을 반송하는 기술에 관한 것이다.
종래, 반도체 기판이나 글라스 기판 등의 기판의 반송에는, 기판 반송 로봇이 이용된다. 기판 반송 로봇은, 일반적으로, 로봇 암(arm)과, 로봇 암의 손끝에 장착된 기판 반송 핸드(hand)와, 컨트롤러를 구비하고 있다. 기판 반송 핸드는 기판을 붙들어 지지하기 위한 기판 홀딩부를 구비하고, 그 기판 홀딩 방식에는 흡착이나 파지 등이 있다. 특허문헌 1에는, Y-자 형태로 끝이 갈라진 판상의 블레이드를 구비하고, 블레이드에 기판을 얹어서 운반하는 기판 반송 핸드가 예시되어 있다.
그런데 전술한 Y-자 형태를 띤 블레이드를 구비한 기판 반송 핸드에서는, Y-자로 갈라진 선단부의 한쪽에 설치된 투광기와, 다른 한쪽에 투광기와 마주보고 설치된 수광기로 이루어지는 투과형 광센서를 구비하여, 이 투과형 광센서로 기판의 유무를 검출하는 것이 있다. 예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 기판 반송 장치에서는, Y-자로 갈라진 블레이드의 양쪽 선단부에 센서 지지체가 설치되고, 양 센서 지지체의 선단 측에 기판의 유무 및 기판의 자세 검출에 사용되는 제1 투과형 광센서가 설치되며, 양 센서 지지체의 후단 측에 기판의 튀어나옴 검출에 사용되는 제2 투과형 광센서가 설치되어 있다.
일본 특허공개 제2010-219209호 공보
기판 반송 로봇에 의해 반송된 기판을 주고받는 곳에는, 기판을 일차적으로 놓기 위한 기판 주고받기 장치가 설치될 수 있다. 기판 주고받기 장치에는, 예를 들면, 3개소 이상에 기판 적재부를 가지고, 그들 기판 적재부로 원형의 기판의 테두리를 아래쪽에서 지지하는 형태의 것이 있다.
기판 주고받기 장치는, 복수의 기판 적재부(즉, 기판과 접촉하는 부분)가 동일한 높이이다. 이것에 의해, 기판 주고받기 장치로 지지 된 기판이 수평 자세가 된다. 또한, 기판(W)의 수평 자세란, 기판(W)의 주면(主面)이 수평인 것을 의미한다. 그런데 조립 오차나 가공 오차에 기인하여, 복수의 기판 적재부가 동일한 높이가 되지 않을 수가 있다. 이와 같은 복수의 기판 적재부에 지지 되어 있는 기판은, 수평 자세로부터 기울어져 있다. 기판이 예기치 않게 수평 자세로부터 기울어져 있으면, 기판 반송 로봇이 그 기판에 액세스(access)할 때, 기판 반송 핸드가 기판과 간섭할 우려가 있다.
상기 간섭의 문제를 해결하기 위하여, 기판 반송 로봇에 복수의 기판 적재부의 높이 위치를 미리 교시해두면, 복수의 기판 적재부에 지지 된 기판의 기울기를 예기하여, 기판 반송 핸드를 기판과의 간섭을 피하도록 이동시킬 수가 있다. 종래, 기판 반송 로봇의 기판 적재부 위치의 교시는, 오퍼레이터가 티치 펜던트(teach pendant)를 이용하여 기판 반송 로봇을 조작하고, 기판 반송 핸드를 기판 적재부까지 이동시켜 그 위치를 기억시키는 것에 의해서 수행되고 있다. 그러나 이 교시는, 기판 반송 핸드와 기판 적재부의 위치를 육안으로 확인하면서, 티치 펜던트를 미량씩 조작하기 때문에, 매우 번거로운 작업이 되고 있다.
본 발명은, 이상의 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 기판 적재부의 높이를 기판 반송 로봇에 자동 교시하는 기술을 제안한다.
기판 적재부의 높이 위치를 기판 반송 로봇에 자동 교시를, 신규 부재의 추가를 삼가고, 주로 프로그램의 변경이나 추가에 의해서 달성할 수 있다면, 비용을 억제하면서 상기 과제를 해결하는 것이 가능하다. 그래서 본 출원의 발명자들은, 기판 적재부의 높이 위치를 기판 반송 로봇에 자동 교시하기 위해, 기판 반송 로봇에 종래 사용되고 있는 매핑 센서(mapping sensor) 기술을 이용하기로 하였다. 또한, 매핑 센서는, 기판의 유무나 매수를 검출하기 위한 광센서이다.
본 발명의 한 형태에 따른 기판 반송 장치는, 동일 원주 상에 배치된 복수의 기판 지지구와, 암, 상기 암의 선단부에 설치된 기판 반송 핸드, 그리고 상기 암 및 상기 기판 반송 핸드의 동작을 제어하는 컨트롤러를 가진 기판 반송 로봇을 구비하고 있다.
그리고 상기 기판 지지구는, 기판의 가장자리가 적재되는 상형 면을 가진 기판 적재부와, 상기 기판 적재부의 상기 원주의 반경 방향 외측에서 상기 기판 적재부를 받치는 기둥부를 가지고, 상기 기판 반송 핸드는, 상기 기판 지지구를 선단 측으로부터 삽입할 수 있도록 해당 선단 측이 제1 단부와 제2 단부로 두 갈래로 갈라진 블레이드와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 연결하는 동시에 상기 기판 반송 핸드의 축 방향과 직교하는 제1 광로를 가로막는 물체를 검출하는 제1 광센서와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 연결하는 동시에 상기 제1 광로에 대해 기울어진 제2 광로를 가로막는 물체를 검출하는 적어도 하나의 제2 광센서를 가지며, 상기 컨트롤러는, 상기 제1 광센서 및 상기 적어도 하나의 제2 광센서 중에서 선택된 하나의 광센서를 이용하여, 상기 광센서의 광로가 상기 기판 적재부의 위쪽인 동시에 상기 기둥부와 간섭하지 않는 검출 개시 위치로 상기 기판 반송 핸드를 이동시키고, 상기 검출 개시 위치로부터 상기 광센서로 물체를 검출한 검출 위치까지 상기 기판 반송 핸드를 아래쪽으로 이동시켜, 상기 기판 반송 핸드가 상기 검출 위치에 있을 때의 상기 광센서의 상기 광로의 소정의 위치기준으로부터의 높이를 상기 기판 적재부의 높이 위치로서 기억하는 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 본 발명의 한 형태에 따른 기판 반송 로봇의 교시 방법은, 암 및 상기 암의 선단부에 설치된 기판 반송 핸드를 가진 기판 반송 로봇에, 동일 원주 상에 배치된 복수의 기판 적재부의 높이 위치를 교시하는 방법이다. 상기 기판 적재부는, 기판의 가장자리가 적재되는 상향 면을 가지고, 상기 원주의 반경 방향 외측에서 기둥부에 의해 지지 되어 있고, 상기 기판 반송 핸드는, 상기 기판 적재부를 선단 측으로부터 삽입할 수 있도록 해당 선단 측이 제1 단부와 제2 단부로 두 갈래로 갈라진 블레이드와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 연결하는 동시에 상기 기판 반송 핸드의 축 방향과 직교하는 제1 광로를 가로막는 물체를 검출하는 제1 광센서와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 연결하는 동시에 상기 제1 광로에 대해서 기울어진 제2 광로를 가로막는 물체를 검출하는 적어도 하나의 제2 광센서를 가진다.
그리고 기판 반송 로봇의 교시 방법은, 상기 암의 기초축에 대한 상기 기판 적재부의 위치에 따라서 상기 제1 광센서 및 상기 적어도 하나의 제2 광센서 중에서 사용할 광센서를 선택하고, 상기 광센서의 광로가 상기 기판 적재부의 위쪽인 동시에 상기 기둥부와 간섭하지 않는 검출 개시 위치로 상기 기판 반송 핸드를 이동하며, 상기 검출 개시 위치로부터 상기 광센서로 물체를 검출한 검출위치까지 상기 기판 반송 핸드를 아래쪽으로 이동하여, 상기 기판 반송 핸드가 상기 검출 위치에 있을 때의 상기 광센서의 광로의 소정의 위치기준으로부터의 높이를 상기 기판 적재부의 높이 위치로서 기억하는 것을 특징으로 하고 있다,
상기 기판 반송 장치 및 기판 반송 로봇의 교시 방법에서는, 기판 반송 로봇에 종래 사용되고 있는 기술을 이용하여, 기판이 놓인 기판 적재부의 높이 위치를 기판 반송 로봇에 자동 교시할 수 있다. 또한, 기판 반송 핸드는, 복수의 광센서를 구비하고, 복수의 광센서 중에서 선택된 광센서를 이용하기 때문에, 기판 반송 핸드와 기둥부의 간섭을 회피하면서, 기판 적재부에만 광센서의 광로를 통과시키는 것이 용이해 진다.
또한, 본 발명의 다른 형태에 따른 기판 반송 장치는,
기판의 가장자리가 적재되는 상향 면을 가진 기판 적재부 및 상기 기판 적재부보다 높은 기둥부로 이루어지는 복수의 기판 지지구와,
암, 상기 암에 회전 가능하게 연결된 기판 반송 핸드, 그리고 상기 암 및 상기 기판 반송 핸드의 동작을 제어하는 컨트롤러를 가진 기판 반송 로봇을 구비하고,
상기 기판 반송 핸드는, 선단 측이 제1 단부와 제2 단부로 두 갈래로 갈라진 블레이드와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 연결하는 광로를 가로막는 물체를 검출하는 광센서를 가지며,
상기 광로가, 상기 블레이드의 주면과 수직인 방향에서 바라볼 때, 상기 기판 반송 핸드의 축 방향과 직교하는 방향에 대해서 기울어져 있고,
상기 컨트롤러는, 상기 광센서의 상기 광로가 상기 기판 적재부의 위쪽인 동시에 상기 기둥부와 간섭하지 않는 검출 개시 위치로 상기 기판 반송 핸드를 이동시키고, 상기 검출 개시 위치로부터 상기 광센서로 물체를 검출한 검출 위치까지 상기 기판 반송 핸드를 아래쪽으로 이동시켜, 상기 기판 반송 핸드가 상기 검출 위치에 있을 때의 상기 광센서의 상기 광로의 소정의 위치기준으로부터의 높이 위치를 상기 기판 적재부의 높이 위치로서 기억하는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 기판 반송 장치에서는, 기판 반송 로봇에 종래 사용되고 있는 기술을 이용하여, 기판이 놓인 기판 적재부의 높이 위치를 기판 반송 로봇에 자동 교시할 수가 있다. 또한, 기판 반송 핸드는, 광로가 회전축과 핸드에 홀딩 된 기판의 중심을 잇는 방향과 직교하는 방향에 대해서 기울어진 광센서를 구비하고 있기 때문에, 기판 반송 핸드와 기둥부의 간섭을 회피하면서, 기판 적재부에만 광센서의 광로를 통과시키는 것이 용이해 진다.
본 발명에 의하면, 기판이 놓인 기판 적재부의 높이 위치를 기판 반송 로봇에 자동 교시할 수가 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 반송 장치의 전체적인 구성을 나타내는 개략 평면도이다.
도 2는, 기판 반송 장치의 개략 측면도이다.
도 3은, 기판 반송 핸드의 평면도이다.
도 4는, 기판 반송 장치의 제어 계통의 구성을 나타내는 블록도 이다.
도 5는, 검출 개시 위치(P1)에 있는 기판 반송 핸드를 나타내는 측면도이다.
도 6은, 검출 위치(P2)에 있는 기판 반송 핸드를 나타내는 측면도이다.
도 7은, 제1 광센서를 사용하여 교시 처리를 수행할 경우의 기판 반송 핸드를 나타내는 평면도이다.
도 8은, 좌측 제2 광센서를 사용하여 교시 처리를 수행할 경우의 기판 반송 핸드를 나타내는 평면도이다.
도 9는, 우측 제2 광센서를 사용하여 교시 처리를 수행할 경우의 기판 반송 핸드를 나타내는 평면도이다.
[기판 반송 장치(10)의 개략 구성]
다음으로, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 반송 장치(10)를 나타내는 도면이고, 도 2는 기판 반송 장치(10)의 개략 측면도이다. 도 1과 도 2에 나타낸 기판 반송 장치(10)는, 기판 주고받기 장치(9)와, 기판 반송 로봇(1)을 구비하고 있다. 기판 반송 장치(10)는, 예를 들면, EFEM(Equipment Front End Module), 소터(sorter), 기판 처리 시스템 등, 각종의 기판(W)을 반송하는 시스템에 적용되고 있다.
[기판 주고받기 장치(9)의 구성]
본 실시형태에 따른 기판 주고받기 장치(9)는, 동일 원주 상에 배치된 3개 이상의 복수의 기판 지지구(90)를 구비하고 있다. 이하에서는, 복수의 기판 지지구(90)가 형성하는 원주의 중심을, 기판 주고받기 장치(9)의 '중심(O)'이라고 칭한다.
각 기판 지지구(90)는, 연직 방향으로 연장되는 기둥부(91)와, 기판(W)의 가장자리를 아래쪽에서 지지하는 상형 면(面)을 가진 기판 적재부(92)를 가지고 있다. 기둥부(91)는, 기판 적재부(92)에 대해, 복수의 기판 지지구(90)가 형성하는 원주의 반경 방향 외측에 배치되어 있다. 기둥부(91)의 높이와 기판 적재부(92)의 높이는 다르다. 통상, 기둥부(91)의 높이는 기판 적재부(92)의 높이보다 높다. 본 실시형태에서는, 1개의 기둥부(91)에 하나의 기판 적재부(92)가 지지 되어 있지만, 1개의 기둥부(91)에, 상하로 등간격으로 늘어선 복수의 기판 적재부(92)가 지지 되어 있어도 좋다.
본 실시형태에 따른 기판 적재부(92)는, 기둥부(91)로부터 수평 방향으로 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)을 향해서 돌출하는 돌기이다. 다만, 기판 적재부(92)의 형태는 이것에 한정되지 않는다. 기판 적재부(92)는, 기둥부(91)에 형성된 수평 방향의 홈, 기둥부(91)로부터 수평 방향으로 돌출하는 판 모양 또는 막대 모양의 돌기 등, 다양한 형태의 것이 채용될 수 있다.
복수의 기판 적재부(92)는, 기판 주고받기 장치(9)에 적재된 기판(W)이 수평을 이루도록, 높이 위치가 동일한 것이 바람직하다. 그런데 조립 오차나 가공 오차에 기인하여, 기판 주고받기 장치(9)의 각 기판 적재부(92)가 동일한 높이가 되지 않을 수가 있다. 그래서 기판 반송 장치(10)에서는, 후술하는 기판 적재부(92)의 높이 위치를 기판 반송 로봇(1)에 교시하는 처리(process)가 수행된다.
[기판 반송 로봇(1)의 구성]
기판 반송 로봇(1)은, 기초대(11)와, 기초대(11)에 지지 된 로봇 암(이하 '암(12)'이라고 칭함)과, 암(12)의 손끝부에 연결된 기판 반송 핸드(이하 '핸드(13)'라고 칭함)와, 암(12) 및 핸드(13)의 동작을 제어하는 컨트롤러(15)를 구비하고 있다.
본 실시형태에 따른 암(12)은, 복수의 링크가 수직인 회전축을 통해 연결된 수평 다관절 형 매니퓰레이터(manipulator) 이다. 암(12)은, 기초대(11)에 세워 설치된 승강축(20)과, 승강축(20)과 제1 관절(J1)을 통해 연결된 제1 링크(21)와, 제1 링크(21)의 선단부와 제2 관절(J2)을 통해 연결된 제2 링크(22)를 구비하고 있다. 제2 링크(22)의 선단부에는, 제3 관절(J3)을 통해 핸드(13)가 연결되어 있다.
제1 관절(J1)의 회동축인 제1 축(L1), 제2 관절(J2)의 회동축인 제2 축(L2), 그리고 제3 관절(J3)의 회동축인 제3 축(L3)의, 각 축의 연장 방향은 실질적으로 수직방향이다. 제1 축(L1)을, 암(12)의 '기초축'이라고 칭할 경우가 있다.
핸드(13)는, 암(12)의 손끝부에 연결된 베이스 부(31)와, 베이스 부(31)에 고정된 블레이드(32)를 구비하고 있다. 베이스 부(31)는, 블레이드(32)의 주면(主面)과 수직인 회전축(제3 축(L3))을 중심으로 하여 회전 가능하게 암(12)과 연결되어 있다. 블레이드(32)는, 선단부가 두 갈래로 갈라진 Y-자형 (또는 U-자형)을 띠는 박판 부재이다. 본 실시형태에서는, 블레이드(32)의 주면은 수평으로서, 기판(W)을 지지하는 복수의 지지 패드(33)가 블레이드(32)의 상면에 설치되어 있다. 복수의 지지 패드(33)는, 블레이드(32)에 적재된 기판(W)의 주연부와 접촉하도록 배치되어 있다. 또한, 핸드(13)에 있어서 블레이드(32)의 기초단부 측에는, 푸셔(pusher)(34)가 설치되어 있다. 이 푸셔(34)와 블레이드(32)의 선단부에 배치된 지지 패드(33) 사이에서, 블레이드(32)에 적재된 기판(W)이 파지된다.
또한, 본 실시형태에 따른 핸드(13)는, 기판(W)을 수평 자세로 홀딩하고 반송하는 것이지만, 핸드(13)는 기판(W)을 수직 자세로 홀딩 가능한 것이어도 좋다. 또한, 본 실시형태에 따른 핸드(13)의 기판(W)의 홀딩 방식은, 에지 파지(edge gripping) 방식이지만, 에지 파지 방식 대신에, 흡착 방식, 떨어뜨려 넣는 방식, 적재 방식 등의 공지의 기판(W) 홀딩 방식이 채용되어도 좋다.
도 3은, 핸드(13) 블레이드(32)의 평면도이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 블레이드(32)의 두 갈래로 갈라진 선단부(제1 단부(321) 및 제2 단부(322))는, 기판 지지구(90)를 선단 측으로부터 그 사이에 삽입할 수 있을 정도로 충분히 간격이 떨어져 있다. 제1 단부(321)와 제2 단부(322)의 이면에는, 한 쌍의 센서 지지체(40a, 40b)가 설치되어 있다. 한 쌍의 센서 지지체(40a, 40b)는, 블레이드(32)의 주면과 평행한 방향(즉, 수평 방향)으로 떨어져 있다.
본 실시형태에 따른 한 쌍의 센서 지지체(40a, 40b)에는, 3세트의 광센서(41, 42, 43)가 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 3세트의 광센서(41, 42, 43)는, 모두 투과형 광센서로서, 광로를 가로막는 물체를 검출할 수 있다. 다만, 광센서(41, 42, 43)는, 블레이드(32)의 주면과 평행하게 빛을 투사하는 반사형 광센서이어도 좋다.
제1 광센서(41)는, 한 쌍의 센서 지지체(40a, 40b) 중 한쪽의 센서 지지체(40a)의 선단부에 설치된 투광기(41a)와, 다른 한쪽의 센서 지지체(40b)의 선단부에 설치된 수광기(41b)의 조합으로 구성되어 있다. 투광기(41a)는, 검출 매체를 이루는 빛을 투사하는 광원을 구비하고 있다. 수광기(41b)는, 투광기(41a)의 투사광을 받아서 전기 신호로 변환하는 수광소자를 구비하고 있다. 투광기(41a)와 수광기(41b)는 마주보고 배치되어 있고, 투광기(41a)를 나온 빛은, 직선 모양으로 나아가서 수광기(41b)의 입광창에 입사한다. 도 3에서, 투광기(41a)를 나온 빛의 광로(제1 광로(41c))가 쇄선으로 표시되어 있다. 제1 광센서(41)는, 광로(41c) 상을 물체가 통과하여, 수광기(41b)에 입사하는 광량이 감소하는 것을 검출하면, 물체 검출 신호를 컨트롤러(15)에 출력한다.
본 실시형태의 핸드(13)는, 2세트의 제2 광센서(42, 43)를 구비하고 있다. 설명의 편의를 위해 2개의 제2 광센서(42, 43) 중 한쪽의 제2 광센서(42)를 '좌측 제2 광센서(42)'라고 칭하고, 다른 한쪽의 제2 광센서(43)를 '우측 제2 광센서(43)'라고 칭한다. 또한, 본 실시형태와 같이 2세트의 제2 광센서(42, 43)를 핸드(13)에 구비하는 것이 바람직하지만, 2세트의 제2 광센서(42, 43) 중 한쪽만이 핸드(13)에 구비되어 있어도 좋다.
좌측 제2 광센서(42)는, 한 쌍의 센서 지지체(40a, 40b) 중 한쪽의 센서 지지체(40a)의 선단부에 설치된 투광기(42a)와, 다른 한쪽의 센서 지지체(40b)의 선단부에 설치된 수광기(42b)의 조합으로 구성되어 있다. 마찬가지로, 우측 제2 광센서(43)는, 한 쌍의 센서 지지체(40a, 40b) 중 한쪽의 센서 지지체(40a)의 선단부에 설치된 투광기(43a)와, 다른 한쪽의 센서 지지체(40b)의 선단부에 설치된 수광기(43b)의 조합으로 구성되어 있다. 좌측 제2 광센서(42) 및 우측 제2 광센서(43)는, 제1 광센서(41)와 실질적으로 동일한 구성을 가지기 때문에, 그것들의 구체적인 구성에 관한 설명은 생략한다.
도 3에서, 좌측 제2 광센서(42)의 광로(좌측 제2 광로(42c))와, 우측 제2 광센서(43)의 광로(우측 제2 광로(43c))가 각각 쇄선으로 표시되어 있다. 제1 광로(41c), 좌측 제2 광로(42c), 그리고 우측 제2 광로(43c)는, 블레이드(32)의 주면과 실질적으로 평행(즉, 수평)이며, 블레이드(32)의 제1 단부(321)와 제2 단부(322)를 연결하고 있다. 제1 광로(41c)는, 블레이드(32)의 선단부끼리를 연결하는 직선과 실질적으로 평행이며, 핸드(13)의 축 방향과 직교한다. 또한, 핸드(13)의 축 방향이란, 핸드(13)의 기초단부와 선단부를 연결하는 방향이며, 더 상세하게는, 핸드(13)의 회전축(제3 축(L3))과 핸드(13)에 홀딩 된 기판(W)의 중심을 잇는 방향이다.
좌측 제2 광로(42c)와 우측 제2 광로(43c)는, 제1 광로(41c)에 대해 블레이드(32)의 주면과 평행한 면 내(즉, 수평면 내)에서 기울어져 있다. 바꾸어 말하면, 제2 광센서(42, 43)의 광로(42c, 43c)는, 블레이드(32)의 주면과 수직인 방향에서 바라볼 때, 핸드(13)의 축 방향과 직교하는 방향에 대해 기울어져 있다. 좌측 제2 광로(42c)의 제1 광로(41c)에 대한 기울기와, 우측 제2 광로(43c)의 제1 광로(41c)에 대한 기울기는 반대를 이루고 있다. 그리고 좌측 제2 광로(42c)와 우측 제2 광로(43c)는 교차하고 있다. 본 실시형태에서는, 좌측 제2 광로(42c)는, 도 3의 지면의 오른쪽에서 왼쪽을 향해서 제1 광로(41c)로부터 점차 멀어지도록 기울어져 있다. 한편, 우측 제2 광로(43c)는, 도 3의 지면의 오른쪽에서 왼쪽을 향해서 제1 광로(41c)에 점차 가까워지도록 기울어져 있다. 이 결과, 제1 광로(41c), 좌측 제2 광로(42c), 그리고 우측 제2 광로(43c)는, 연신 방향 (광축 방향)이 서로 다르게 되어 있다.
도 4는, 기판 반송 로봇(1)의 제어 계통의 구성을 나타내는 도면이다. 도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 승강축(20)은, 승강구동장치(60)에 의해서, 실질적으로 수직 방향으로 승강 또는 신축하도록 구동된다. 승강구동장치(60)는, 서보 모터(M0), 위치 검출기(E0), 그리고 서보 모터(M0)의 동력을 승강축(20)에 전달하는 동력전달기구(도시 생략) 등으로 구성되어 있다.
제1 ~ 제3 관절(J1 ~ J3)에는, 각 관절(J1 ~ J3)을 그 회전축 주위로 회전시키는 제1 ~ 제3 관절구동장치(61 ~ 63)가 설치되어 있다. 관절구동장치(61 ~ 63)는, 서보 모터(M1 ~ M3), 위치 검출기(E1 ~ E3), 그리고 서보 모터(M1 ~ M3)의 동력을 대응하는 링크에 전달하는 동력전달기구(도시 생략) 등으로 구성되어 있다. 상기 동력전달기구는, 예를 들면, 감속기를 포함하는 기어 동력전달기구이다. 상기 각 위치 검출기(E0 ~ E3)는, 예를 들면, 로터리 인코더로 구성되어 있다. 각 서보 모터(M0 ~ M3)는 서로 독립적으로 구동할 수 있다. 그리고 상기 각 서보 모터(M0 ~ M3)가 구동되면, 상기 각 위치 검출기(E0 ~ E3)에 의해서 상기 각 서보 모터(M0 ~ M3)의 출력축의 회전 위치의 검출이 수행된다.
암(12) 및 핸드(13)의 동작은, 컨트롤러(15)에 의해 제어되고 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 컨트롤러(15)에는, 제어장치(51)와, 서보 모터(M0 ~ M3)에 대응한 서보 드라이버(A0 ~ A3)를 구비하고 있다. 컨트롤러(15)에서는, 암(12)의 손목에 장착된 핸드(13)를 임의의 포즈(공간에서의 위치 및 자세)로 임의의 경로를 따라서 이동시키는 서보 제어가 수행된다.
제어장치(51)는, 이른바 '컴퓨터'로서, 예를 들면, 마이크로 컨트롤러, CPU, MPU, PLC, DSP, ASIC 또는 FPGA 등의 연산처리장치(프로세서)와, ROM, RAM 등의 기억장치를 가진다(모두 도시하지 않음). 기억장치에는, 연산처리장치가 실행하는 프로그램, 각종 고정 데이터 등이 기억되어 있다. 기억장치에 기억된 프로그램에는, 본 실시형태에 따른 교시 프로그램이 포함되어 있다. 또한, 기억장치에는, 암(12)의 동작을 제어하기 위한 교시점(敎示点) 데이터, 핸드(13)의 형상·치수에 관한 데이터, 핸드(13)에 홀딩 된 기판(W)의 형상·치수에 관한 데이터 등이 저장되어 있다.
제어장치(51)에서는, 기억장치에 기억된 프로그램 등의 소프트웨어를 연산처리장치가 읽어내어 실행하는 것에 의해, 기판 반송 로봇(1)의 동작을 제어하기 위한 처리가 수행된다. 또한, 제어장치(51)는 단일 컴퓨터에 의한 집중제어를 통해 각 처리를 실행하여도 좋고, 복수의 컴퓨터의 협동에 의한 분산제어를 통해 각 처리를 수행하여도 좋다.
제어장치(51)는, 위치 검출기(E0 ~ E3) 각각에서 검출된 회전 위치에 대응하는 핸드(13)의 포즈와 기억부에 기억된 교시점 데이터에 의거하여, 소정의 제어 시간 후의 목표 포즈를 연산한다. 제어장치(51)는, 소정의 제어 시간 후에 핸드(13)가 목표 포즈를 이루도록, 서보 드라이버(A0 ~ A3)에 제어지령(위치지령)을 출력한다. 서보 드라이버(A0 ~ A3)에서는, 제어지령에 의거하여 각 서보 모터(M0 ~ M3)에 대해 구동 전력을 공급한다. 이것에 의해, 핸드(13)를 원하는 포즈로 움직일 수가 있다.
[기판 적재부(92)의 높이 위치의 교시]
여기서, 기판 적재부(92)의 높이 위치를 기판 반송 로봇(1)에 교시하는 처리에 관하여 설명한다. 또한, 컨트롤러(15)(더 상세하게는, 제어장치(51))가 미리 기억된 소정의 프로그램을 읽어내어 실행함으로써, 이하에 설명하는 기판 적재부(92)의 높이 위치의 교시 처리가 수행된다.
컨트롤러(15)에는, 각 기판 적재부(92)의 좌표가 미리 주어져 있다. 도 5는, 검출 개시 위치(P1)에 있는 핸드(13)를 나타낸 측면도이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 먼저, 컨트롤러(15)는, 핸드(13)를 검출 개시 위치(P1)로 이동시키도록, 암(12) 및 핸드(13)를 동작시킨다. 검출 개시 위치(P1)에 있는 핸드(13)에서는, 광센서(41, 42, 43) 중에서 선택된 하나가 사용되며, 그 광센서(41, 42, 43)의 광로(41c, 42c, 43c)가, 타깃(target)인 기판 적재부(92)로부터 소정 거리만큼 위쪽에 위치하고 있다. 또한, 검출 개시 위치(P1)에 있는 핸드(13)는, 기판 지지구(90)의 기둥부(91)와의 간섭이 회피되어 있다.
이어서, 컨트롤러(15)는, 검출 개시 위치(P1)에 있는 핸드(13)를, 검출 개시 위치(P1)로부터 검출 위치(P2)까지 하강시키도록, 암(12)을 동작시킨다. 도 6은, 검출 위치(P2)에 있는 핸드를 나타내는 측면도이다. 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 핸드(13)가 검출 개시 위치(P1)로부터 하강하는 동안에, 광로(41c, 42c, 43c)가 물체(즉, 타깃인 기판 적재부(92))로 가로막혀, 물체 검출 신호가 그 광로(41c, 42c, 43c)와 대응하는 광센서(41, 42, 43)로부터 컨트롤러(15)에 출력된다. 컨트롤러(15)에서는, 물체 검출 신호를 수취한 때의 핸드(13)의 위치를 검출 위치(P2)로 삼는다. 그리고 컨트롤러(15)는, 핸드(13)가 검출 위치(P2)에 있을 때의 각 위치 검출기(E0 ~ E3)의 회전 위치에 의거하여, 검출 위치(P2)를 수취한 때의 광로(41c, 42c, 43c)의 높이 위치, 즉, 기판 적재부(92)의 높이 위치를 구하고, 그것을 기억한다. 또한, 기판 적재부(92)의 높이 위치는, 기판 반송 로봇(1)의 소정의 위치기준(예를 들면, 기초대(11)의 상면 높이)으로부터 연직 방향의 거리여도 좋다.
상기에서, 컨트롤러(15)는, 위치 검출기(E0 ~ E3)의 회전 위치와, 핸드(13)에의 광센서(41, 42, 43)의 조립위치를 포함하는 암(12) 및 핸드(13)의 치수에 의거하여, 기판 적재부(92)의 높이 위치를 구할 수 있다. 혹은, 기판 반송 로봇(1)의 소정의 기준 높이로부터의 높이를 이미 알고 있는 테스트 피스(test piece)를 설치하고, 컨트롤러(15)가, 테스트 피스를 타깃으로 하여 수행된 높이 검출 처리로 얻어진 위치 검출기(E0 ~ E3)의 회전 위치와, 기판 적재부(92)의 높이 검출 처리로 얻어진 위치 검출기(E0 ~ E3)의 회전 위치를 비교하여, 기판 적재부(92)의 높이 위치를 구하여도 좋다.
상기 교시 처리를 수행할 때, 핸드(13)가 타깃 이외의 기판 적재부(92)나 기둥부(91)와 간섭하지 않도록, 사용할 광센서(41, 42, 43)의 선택과, 검출 개시 위치(P1)에서의 핸드(13)의 포즈의 조정이 수행된다. 또한, 사용할 광센서(41, 42, 43)의 선택은, 평면에서 바라볼 때, 암(12)의 기초축(L1)과 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)을 연결하는 직선에 대해, 타깃인 기판 적재부(92)가 어느 쪽에 있는지에 따라 수행된다.
도 7은, 제1 광센서(41)를 사용하여 교시 처리를 수행할 경우의 핸드(13)를 나타내는 평면도이다. 또한, 도 7에서는, 기판 반송 로봇(1)의 기초축(L1)으로부터 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)까지의 거리는 단축하여 표시되어 있다.
예를 들어, 도 7에 나타낸 바와 같이, 타깃인 기판 적재부(92)가, 평면에서 바라볼 때, 암(12)의 기초축(L1)과 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)을 연결하는 직선상에 대체로 위치할 경우에는, 제1 광센서(41)가 선택된다. 제1 광센서(41)를 사용하여 높이 위치 교시 처리를 수행할 경우는, 핸드(13)를, 타깃 이외의 기둥부(91) 및 기판 적재부(92) 사이를 통해서, 터겟인 기판 적재부(92)에 대한 검출 개시 위치(P1)까지 이동시킬 수 있다.
도 8은, 좌측 제2 광센서(42)를 사용하여 교시 처리를 수행할 경우의 핸드(13)를 나타내는 평면도이다. 또한, 도 8에서는, 기판 반송 로봇(1)의 기초축(L1)으로부터 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)까지의 거리가 단축하여 표시되어 있다.
예를 들어, 도 8에 나타낸 바와 같이, 타깃인 기판 적재부(92)가, 평면에서 바라볼 때, 암(12)의 기초축(L1)과 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)을 연결하는 직선으로부터 지면의 왼쪽에 위치할 경우에는, 좌측 제2 광센서(42)가 선택된다. 좌측 제2 광센서(42)를 사용하여 높이 위치 교시 처리를 수행할 경우는, 핸드(13)의 한 쌍의 센서 지지체(40a, 40b) 중 한쪽을, 기둥부(91) 사이에 삽입하도록 하여, 핸드(13)를 타깃인 기판 적재부(92)에 대한 검출 개시 위치(P1)까지 이동시킬 수 있다.
도 9는, 우측 제2 광센서(43)를 사용하여 교시 처리를 수행할 경우의 핸드(13)를 나타내는 평면도이다. 또한, 도 9에서는, 기판 반송 로봇(1)의 기초축(L1)으로부터 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)까지의 거리는 단축하여 표시되어 있다.
예를 들어, 도 9에 나타낸 바와 같이, 타깃인 기판 적재부(92)가, 평면에서 바라볼 때, 암(12)의 기초축(L1)과 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)을 연결하는 직선으로부터 지면의 오른쪽에 위치할 경우에는, 우측 제2 광센서(43)가 선택된다. 우측 제2 광센서(43)를 사용하여 높이 위치 교시 처리를 수행할 경우는, 핸드(13)의 한 쌍의 센서 지지체(40a, 40b) 중 한쪽을, 기둥부(91) 사이에 삽입하도록 하여, 핸드(13)를 타깃인 기판 적재부(92)에 대한 검출 개시 위치(P1)까지 이동시킬 수 있다. 또한, 좌측 제2 광센서(42)를 사용하는 경우와, 우측 제2 광센서(43)를 사용하는 경우에는, 기둥부(91) 사이에 삽입되는 센서 지지체(40a, 40b)가 다르다.
상기와 같이, 암(12)의 기초축(L1)과 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)을 연결하는 직선에 대한 타깃인 기판 적재부(92)의 위치에 대응하여, 광센서(41, 42, 43)를 구분하는 것에 의해서, 핸드(13)와 타깃 이외의 기판 적재부(92) 및 기둥부(91)와의 간섭을 피하는 것이 쉬워진다. 예를 들어, 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)으로부터 바라볼 때, 기판 적재부(92)의 바로 바깥 둘레 쪽에 기둥부(91)가 존재하여도, 암(12)에 돌아서 들어가는 자세를 취하게 하지 않고, 기둥부(91)를 회피하여 기판 적재부(92)의 높이 위치를 검출할 수가 있다.
컨트롤러(15)는, 이상의 교시 처리를 각 기판 적재부(92)에 대해 수행하여, 각 기판 적재부(92)의 높이 위치를 기억한다. 각 기판 적재부(92)의 높이 위치를 알면, 그들 기판 적재부(92)에 적재되는 기판(W)의 높이 위치가 구해진다. 컨트롤러(15)는, 각 기판 적재부(92)의 높이 위치와, 미리 기억된 각 기판 적재부(92)의 수평 좌표에 의거하여, 기판 적재부(92)에 지지 되는 기판(W)의 높이 위치 범위를 구하고, 그것들을 기판(W)의 높이 위치 정보로서 기억(교시)한다. 또한, 기판(W)의 높이 위치 범위란, 기판(W) 중 최하점의 높이 위치로부터 최상점의 높이 위치까지의 범위이다. 또한, 기판(W)의 높이 위치 정보에는, 기판(W)의 자세(즉, 기판(W)의 수평에 대한 기울기)가 포함되어도 좋다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 기판 반송 장치(10)는, 동일 원주 상에 배치된 복수의 기판 지지구(90)와, 암(12), 암(12)의 선단부에 설치된 핸드(13), 그리고 암(12) 및 핸드(13)의 동작을 제어하는 컨트롤러(15)를 가진 기판 반송 로봇(1)을 구비하고 있다. 기판 지지구(90)는, 기판(W)의 가장자리가 적재되는 상향 면을 가진 기판 적재부(92)와, 기판 적재부(92)의 원주의 반경 방향 외측에서 기판 적재부(92)를 받치는 기둥부(91)를 가진다. 핸드(13)는, 기판 지지구(90)를 선단 측으로부터 삽입할 수 있도록 해당 선단 측이 제1 단부(321)와 제2 단부(322)로 두 갈래로 갈라진 블레이드(32)와, 제1 단부(321)와 제2 단부(322)를 연결하는 동시에 핸드(13)의 축 방향과 직교하는 제1 광로(41c)를 가로막는 물체를 검출하는 제1 광센서(41)와, 제1 단부(321)와 제2 단부(322)를 연결하는 동시에 제1 광로(41c)에 대해 기울어진 제2 광로(42c, 43c)를 가로막는 물체를 검출하는 적어도 하나의 제2 광센서(42, 43)를 가진다. 그리고 컨트롤러(15)는, 제1 광센서(41) 및 적어도 하나의 제2 광센서(42, 43) 중에서 선택된 하나의 광센서를 사용하여, 광센서의 광로가 기판 적재부(92) 위쪽이 동시에 기둥부(91)와 간섭하지 않는 검출 개시 위치(P1)로 기판 반송 핸드를 이동시키고, 검출 개시 위치(P1)로부터 광센서로 물체를 검출한 검출 위치(P2)까지 핸드(13)를 아래쪽으로 이동시켜, 핸드(13)가 검출 위치(P2)에 있을 때의 광센서의 광로의 소정의 위치기준으로부터의 높이를 기판 적재부(92)의 높이 위치로서 기억한다.
마찬가지로, 본 실시형태에 따른 기판 반송 로봇(1)의 교시 방법은, 제1 광센서(41) 및 적어도 하나의 제2 광센서(42, 43) 중에서 사용할 광센서를 선택하고, 광센서의 광로가 기판 적재부(92) 위쪽인 동시에 기둥부(91)와 간섭하지 않는 검출 개시 위치(P1)로 핸드(13)를 이동하고, 검출 개시 위치(P1)로부터 광센서로 물체를 검출한 검출 위치(P2)까지 핸드(13)를 아래쪽으로 이동하여, 핸드(13)가 검출 위치(P2)에 있을 때의 광센서의 광로의 소정의 위치기준으로부터의 높이를 기판 적재부(92) 높이 위치로서 기억한다.
상기 기판 반송 장치(10) 및 기판 반송 로봇(1)의 교시 방법에 의하면, 종래의 기판 반송 핸드가 구비하고 있는 매핑 센서 기술을 이용하여, 기판(W)이 놓인 기판 적재부(92)의 높이 위치를 기판 반송 로봇에 교시할 수가 있다. 또한, 핸드(13)는, 복수의 광센서(41, 42, 43)를 구비하고, 복수의 광센서(41, 42, 43) 중에서 선택된 광센서를 이용하기 때문에, 핸드(13)와 기둥부(91)의 간섭을 회피하면서, 기판 적재부(92)에만 광센서의 광로를 통과시키는 것이 용이해진다.
상기 실시형태의 기판 반송 장치(10)에서는, 핸드(13)가, 그 광로(42c, 43c)가 교차하는 복수의 제2 광센서(42, 43)를 가지고 있다.
이에 따라, 핸드(13)나 암(12)을 무리하게 돌아서 들어가게 하지 않고, 타깃인 기판 적재부(92)의 높이 위치를 교시하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 실시형태의 기판 반송 장치(10)에서는, 암(12)의 기초축(L1)과 기판 지지구(90)가 배치된 원주의 중심(즉, 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O))을 연결하는 직선에 대한 기판 적재부(92)의 위치에 따라서, 제1 광센서(41) 및 적어도 하나의 제2 광센서(42, 43) 중에서 사용할 광센서를 선택하고 있다.
이에 따라, 핸드(13)나 암(12)을 무리하게 돌아서 들어가게 하지 않고, 타깃인 기판 적재부(92)의 높이 위치를 교시하는 것이 가능해진다.
이상으로 본 발명의 바람직한 실시형태를 설명하였으나, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위에서, 상기 실시형태의 구체적인 구조 및/또는 기능의 세부 사항을 변경한 것도 본 발명에 포함될 수 있다.
예를 들어, 상기 실시형태에 따른 기판 반송 로봇(1)의 암(12)은, 수평 다관절 형 매니퓰레이터이다. 다만, 암(12)은, 상기 실시형태에 한정되지 않고, 예를 들면, 수직 다관절 형 매니퓰레이터 등의 다른 형태의 다관절 형 암이나, 직동 신축형 암 등이어도 좋다. 직동 신축형 암은, 예를 들면, 볼 스크루(ball screw) 등의 직동 구동 수단에 의해서 핸드(13)를 동작시키는 것이다. 일반적으로, 직동 신축형 암은 다관절 형 암보다 간섭 회피를 위해 핸드(13)에 돌아서 들어가는 동작을 수행시키기 위한 자유도가 낮기 때문에, 직동 신축형 암의 기판 반송 로봇(1) 및 이것을 구비하는 기판 반송 장치(10)에 본 발명이 더욱 적합하게 적용된다.
또한, 상기 실시형태에 따른 기판 반송 로봇(1)의 핸드(13)는, 3세트의 광센서(41, 42, 43)를 구비하고 있으나, 광센서는 2세트여도, 혹은 4세트 이상의 복수여도 좋다.
또한, 상기 실시형태에 따른 기판 반송 로봇(1)에서는, 암(12)의 기초축(L1)과 기판 주고받기 장치(9)의 중심(O)을 연결하는 직선에 대한 타깃인 기판 적재부(92)의 위치에 따라서, 제1 광센서(41) 및 적어도 하나의 제2 광센서(42, 43) 중에서 사용할 광센서를 선택하고 있다. 다만, 광센서(41, 42, 43)를 선택하는 기준은 상기에 한정되지 않고, 미리 타깃인 기판 적재부(92)와 사용할 광센서(41, 42, 43)와 맞대응되어, 기판 반송 로봇(1)의 동작이 프로그래밍 되어 있어도 좋다.
또한, 상기 실시형태에 따른 기판 반송 로봇(1)에서는, 상기 실시형태에 따른 기판 반송 로봇(1)의 핸드(13)는, 3세트의 광센서(41, 42, 43)를 구비하고 있다. 그러나 복수의 기판 지지구(90)가 동일 원주 상에 나란히 있지 않을 경우에는, 기판 반송 로봇(1)이 구비하는 광센서는 1세트이더라도, 핸드(13)와 기둥부(91)의 간섭을 회피하면서, 기판 적재부(92)에만 광센서의 광로를 통과시켜, 높이 위치를 기판 반송 로봇(1)에 교시하는 것이 가능하다.
상기 경우의 기판 이송 장치(10)는, 기판(W)의 가장자리가 적재되는 상향 면을 가진 기판 적재부(92) 및 기판 적재부(92)보다 높은 기둥부(91)로 이루어지는 복수의 기판 지지구(90)와, 암(12), 암(12)에 회동 가능하게 연결된 핸드(13), 그리고 암(12) 및 핸드(13)의 동작을 제어하는 컨트롤러(15)를 가진 기판 반송 로봇을 구비한다. 그리고 핸드(13)는, 선단 측이 제1 단부(321)와 제2 단부(322)로 두 갈래로 갈라진 블레이드(32)와, 제1 단부(321)와 제2 단부(322)를 연결하는 광로를 가로막는 물체를 검출하는 광센서(제2 광센서(42, 43))를 가지고 있다. 광센서(제2 광센서(42, 43))의 광로(42c, 43c)는, 블레이드(32)의 주면과 수직인 방향에서 바라볼 때, 핸드(13)의 축 방향과 직교하는 방향에 대해 기울어져 있다. 그리고 컨트롤러(15)는, 광센서(42, 43)의 광로(42c, 43c)가 기판 적재부(92)의 위쪽인 동시에 기둥부(91)와 간섭하지 않는 검출 개시 위치(P1)로 핸드(13)를 이동시키고, 검출 개시 위치(P1)로부터 광센서(42, 43)로 물체를 검출한 검출 위치(P2)까지 핸드(13)를 아래쪽으로 이동시켜, 핸드(13)가 검출 위치(P2)에 있을 때의 광센서(42, 43)의 광로(42c, 43c)의 소정의 위치기준으로부터의 높이를 기판 적재부(92)의 높이 위치로서 기억한다.
1 : 기판 반송 로봇
9 : 기판 주고받기 장치
10 : 기판 반송 장치
11 : 기초대
12 : 로봇 암
13 : 기판 반송 핸드
15 : 컨트롤러
20 : 승강축
21 : 제1 링크
22 : 제2 링크
31: 베이스 부
32 : 블레이드
321 : 제1 단부
322 : 제2 단부
33 : 지지 패드
34 : 푸셔
40a, 40b : 센서 지지체
41, 42, 43 : 광센서
41c, 42c, 43c : 광로
51 : 제어장치
60 ~ 63 : 구동장치
90 : 기판 지지구
91 : 기둥부
92 : 기판 적재부
A0 ~ A3 : 서보 드라이버
E0 ~ E3 : 위치 검출기
J1 ~ J3 : 관절
L1 : 기초축
M0 ~ M3 : 서보 모터
O : (기판 주고받기 장치의) 중심
P1 : 검출 개시 위치
P2 : 검출 위치
W : 기판

Claims (6)

  1. 동일 원주 상에 배치된 복수의 기판 지지구와,
    암, 상기 암의 선단부에 설치된 기판 반송 핸드, 그리고 상기 암 및 상기 기판 반송 핸드의 동작을 제어하는 컨트롤러를 가지는 기판 반송 로봇을 구비하고,
    상기 기판 지지구는, 기판의 가장자리가 적재되는 상향면을 가지는 기판 적재부와, 상기 기판 적재부의 상기 원주의 반경 방향 외측에서 상기 기판 적재부를 지지하는 기둥부를 가지고,
    상기 기판 반송 핸드는, 상기 기판 지지구를 선단 측으로부터 삽입할 수 있도록 해당 선단 측이 제1 단부와 제2 단부로 두 갈래로 갈라진 블레이드와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 연결하는 동시에 상기 기판 반송 핸드의 축 방향과 직교하는 제1 광로를 가로막는 물체를 검출하는 제1 광센서와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 연결하는 동시에 상기 제1 광로에 대해 기울어진 제2 광로를 가로막는 물체를 검출하는 하나 이상의 제2 광센서를 가지며,
    상기 컨트롤러는, 상기 제1 광센서 및 상기 하나 이상의 제2 광센서 중에서 선택된 하나의 광센서를 이용하여, 상기 광센서의 광로가 상기 기판 적재부의 위쪽인 동시에 상기 기둥부와 간섭하지 않는 검출 개시 위치로 상기 기판 반송 핸드를 이동시키고, 상기 검출 개시 위치로부터 상기 광센서로 물체를 검출한 검출 위치까지 상기 기판 반송 핸드를 아래쪽으로 이동시켜, 상기 기판 반송 핸드가 상기 검출 위치에 있을 때의 상기 광센서의 상기 광로의 소정의 위치 기준으로부터의 높이를 상기 기판 적재부의 높이 위치로서 기억하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판 반송 핸드가, 그 광로가 교차하는 복수의 상기 제2 광센서를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 암의 기초축과 상기 원주의 중심을 연결하는 직선에 대한 상기 기판 적재부의 위치에 따라서, 상기 제1 광센서 및 상기 하나 이상의 제2 광센서 중에서 사용할 광센서를 선택하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 암 및 상기 암의 선단부에 설치된 기판 반송 핸드를 가지는 기판 반송 로봇에, 동일 원주상에 배치된 복수의 기판 적재부의 높이 위치를 교시하는 방법으로서,
    상기 기판 적재부는, 기판의 가장자리가 적재되는 상향면을 가지고, 상기 원주의 반경 방향 외측에서 기둥부에 의해 지지되어 있고,
    상기 기판 반송 핸드는, 상기 기판 적재부를 선단 측으로부터 삽입할 수 있도록 해당 선단 측이 제1 단부와 제2 단부로 두 갈래로 갈라진 블레이드와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 연결하는 동시에 상기 기판 반송 핸드의 축 방향과 직교하는 제1 광로를 가로막는 물체를 검출하는 제1 광센서와, 상기 제1 단부와 상기 제2 단부를 연결하는 동시에 상기 제1 광로에 대해서 기울어진 제2 광로를 가로막는 물체를 검출하는 하나 이상의 제2 광센서를 가지며,
    상기 제1 광센서 및 상기 하나 이상의 제2 광센서 중에서 사용할 광센서를 선택하고,
    상기 광센서의 광로가 상기 기판 적재부의 위쪽인 동시에 상기 기둥부와 간섭하지 않는 검출 개시 위치로 상기 기판 반송 핸드를 이동하며,
    상기 검출 개시 위치로부터 상기 광센서로 물체를 검출한 검출 위치까지 상기 기판 반송 핸드를 아래쪽으로 이동하여,
    상기 기판 반송 핸드가 상기 검출 위치에 있을 때의 상기 광센서의 광로의 소정의 위치 기준으로부터의 높이를 상기 기판 적재부의 높이 위치로서 기억하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇의 교시 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 암의 기초축과 상기 원주의 중심을 연결하는 직선에 대한 상기 기판 적재부의 위치에 따라서, 상기 제1 광센서 및 상기 하나 이상의 제2 광센서 중에서 사용할 상기 광센서를 선택하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇의 교시 방법.
  6. 삭제
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