JP2005029359A - 板状体搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 板状体の下面に供給される清浄空気の脈流を抑えて板状体に対する負荷を軽減させ、板状体の破損を抑えることができる板状体搬送装置を提供する。
【解決手段】 送風式支持手段３を、塵埃を除去する除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通して板状体２の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段１３と、除塵フィルタ１２を通した清浄空気を流動させ且つ除塵フィルタ１２側への異物の落下を阻止するように遮蔽する遮蔽体４１とを備えて構成し、遮蔽体４１を、除塵フィルタ１２との間に清浄空気が溜まるチャンバー室Ｃを形成するように設ける。
【選択図】 図５

Description

本発明は、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置に関する。

かかる板状体搬送装置は、液晶用のガラス基板等の板状体を搬送するために用いられるものであって、従来では、板状体を水平又は略水平状態で搬送するものとして、搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、前記板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、その推進力付与手段にて両端部を接触支持されて、水平又は略水平状態で搬送される板状体の中間部を送風式支持手段にて支持するようになっていた。送風式支持手段は、板状体の搬送経路に沿って所定間隔おきに備えた多数の空気噴出部と、圧縮ポンプ等を含む供給源とを備えて、供給源からの圧縮空気を多数の空気噴出部に分配供給するように、供給源と空気噴出部とが供給管にて接続され、そして、空気噴出部から噴出する圧縮空気を、前記板状体の両端部の間に位置する中間部に供給して、板状体の中間部を非接触状態で支持するように構成されていた（例えば、特許文献１参照。）。
又、板状体を縦姿勢又はそれに近い姿勢で搬送するものとして、搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、前記板状体の下端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、その推進力付与手段にて両端部の一端側を接触支持されて、縦姿勢又はそれに近い姿勢で搬送される板状体の中間部を送風式支持手段にて支持するようになっていた。送風式支持手段は、板状体の搬送経路に沿って所定間隔おきに備えた多数の空気噴出部と、エアブロア等を含む供給源とを備えて、供給源からの圧縮空気を多数の空気噴出部に分配供給するように、供給源と空気噴出部とが供給管にて接続され、そして、空気噴出部から噴出する圧縮空気を、前記板状体の中間部に供給して、板状体の中間部を非接触状態で支持するように構成されていた（例えば、特許文献２参照。）。

特開２００２−３２１８２０号公報 特開２００２−３０８４２３号公報

上記特許文献１及び特許文献２の板状体搬送装置では、供給源からの圧縮空気にその圧縮空気の量が時々変化する脈動が生じると、板状体の下面に向けて供給される圧縮空気にも脈動が生じ、この脈動により板状体の下面に供給される空気の量が変化することにより、空気が供給される板状体の中間部が上下動してしまい、板状体に対して大きな負荷がかかるという不具合が生じていた。

本発明の目的は、板状体の下面に供給される空気の脈流を抑えて板状体に対する負荷を軽減させることができる板状体搬送装置を提供することにある。

本願発明の板状体搬送装置は、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段と、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させる遮蔽体とを備え、前記遮蔽体が、前記除塵フィルタとの間に前記清浄空気が溜まるチャンバー室を形成し、且つ、前記フィルタ側への異物の落下を阻止するように構成されて設けられている点を特徴とする。

すなわち、送風式支持手段には、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段とが備えられており、搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給する機能が備えられているので、その送風式支持手段により、板状体の下面に向けて清浄空気を供給して板状体を非接触状態で支持することができる。
そして、除塵フィルタを通した清浄空気を流動させ且つ除塵フィルタへの異物の落下を阻止する遮蔽体が備えられているので、板状体の下面に向けて供給される清浄空気は、多孔板状体により整風されて板状体の下面に供給され、板状体の下面には広範囲にわたって均一化された清浄空気を供給することができ、板状体の下面の一部分に集中して清浄空気が供給されることによる板状体の湾曲を抑えることができ、また、送風式支持手段上に異物が落下しても遮蔽体によって除塵フィルタ側への異物の落下を阻止することができるので除塵フィルタの破損を防止することができる。

さらに、遮蔽体を清浄空気が溜まるチャンバー室を形成するように設けられているため、送風手段にて送風される空気に脈動が生じたとしても、その脈動はチャンバー室内の清浄空気が加減圧されることによるクッション作用により吸収されるので、この吸収により板状体の下面に供給される清浄空気の脈動を抑えることができる。
従って、板状体の下面に供給される清浄空気の脈動を抑えることができるので、清浄空気が供給される板状体の中間部の上下動も少なくなるため、板状体に対する負荷を軽減させることができる板状体搬送装置を提供することができるに至った。

第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、前記遮蔽体が、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させる多孔状体と、この多孔状体より前記除塵フィルタ側に位置して、フィルタ側への異物の落下を阻止するフィルタ状体とを備えて構成されている点を特徴とする。

すなわち、多孔状体によって、清浄空気を板状体の下面の広範囲にわたって均一化して供給することができ且つ大きな異物の除塵フィルタ側への落下を阻止することができ、また、フィルタ状体によって小さな異物の除塵フィルタ側への落下を阻止することができるので、除塵フィルタの破損をより確実に防止することができる。
また、板状体としてガラス基板を搬送する場合、その搬送されるガラス基板の欠陥検査、特性検査、エッジ検査等の検査を行うために、板状体搬送装置の搬送面、つまり、搬送されるガラス基板の下面と対向する面を黒色とすることが要求されるが、多孔状体やフィルタ状体を黒色とすることにより搬送面を容易に黒色とすることができる。

第３特徴構成は、上記第２特徴構成に加えて、前記遮蔽体が、前記フィルタ状体より前記除塵フィルタ側に位置して、前記フィルタ状体を支持する多孔状支持体を備えて構成されている点を特徴とする。

すなわち、多孔状体と多孔状支持体との間にフィルタ状体が介在する状態となり、フィルタ状体を多孔状体等に取り付けて支持させる必要がなくなり、フィルタ状体の支持を容易に行える。

第４特徴構成は、上記第１〜第３特徴構成のいずれか１項に加えて、送風式支持手段が、前記除塵フィルタと送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、搬送方向に並べて構成されていることを特徴とする。

すなわち、送風装置と除塵フィルタとを一体的に組み付けた送風ユニットを搬送方向に並べて備えるだけで、板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段を設置することができるので、送風式支持手段の設置が簡単なものとなり、もって、製作の容易化を図ることができる。

第５特徴構成は、上記第１〜第４特徴構成のいずれか１項に加えて、前記板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、水平又は略水平状態の前記板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、前記送風式支持手段が、前記板状体における両端部の間に位置する中間部を支持するように構成されていることを特徴とする。

すなわち、板状体の両端部を、推進力付与手段の駆動回動体で接触支持するとともに、板状体における両端部の間に位置する中間部を、送風式支持手段によって非接触状態で支持し、駆動回動体と送風式支持手段とによって支持した板状体を、板状体の両端部を接触支持する駆動回動体にて推進力を付与する。
従って、駆動回動体によって、両端部を接触支持することにより板状体を安定した状態で支持し、その支持する駆動回動体により推進力が付与されるので安定した状態のままで搬送することができるとともに、送風式支持手段によって、板状体の中間部を板状体の破損を抑えながら板状体の弛みを抑えるように支持することができるため、板状体は安定した姿勢で支持された状態で搬送されることとなり、板状体の搬送を円滑に行うことができる。

以下、本発明に係る板状体搬送装置を、板状体として液晶用のガラス基板に適用し、そのガラス基板を水平又は略水平状態で搬送するものとした場合について図面に基づいて説明する。

図１に示すように、板状体搬送装置Ｈは、板状体搬送ユニット１を、ガラス基板２の搬送方向に並べて使用するものであり、搬送上手側に位置する板状体搬送ユニット１に移載されたガラス基板２を、送風式支持手段３と推進力付与手段４とで支持しながら、推進力付与手段４にて搬送上手側から搬送下手側に向けてガラス基板２を搬送し、搬送下手側に位置する板状体搬送ユニット１に搬送するものである。尚、搬送上手側に位置する板状体搬送ユニット１へのガラス基板の移載や搬送下手側に位置する板状体搬送ユニット１から他の箇所への移載は、図示しない移載機にて行われる。

図２、図３に示すように、板状体搬送ユニット１のそれぞれは、水平又は略水平状態で搬送されるガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を非接触状態で支持する送風式支持手段３と、ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段４と、後述する搬送空間Ａ並びに収納空間Ｂを略密閉状態で覆うケース体７とを備えて構成されている。

図３、図４に示すように、前記送風式支持手段３は、塵埃を除去するＵＬＰＡフィルタにて構成される除塵フィルタ１２と、その除塵フィルタ１２を通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給する送風手段としての送風ファン１３とを備えたファンフィルタユニット１４を、搬送方向に並べて構成されている。

つまり、ファンフィルタユニット１４が、ガラス基板２の搬送方向に直交する横幅方向に並べた２つの送風ファン１３と、この２つの送風ファン１３の上方を覆う１つの除塵フィルタ１２とを備えて構成されており、送風式支持手段３が、搬送方向に沿って並べられた３つのファンフィルタユニット１４にて構成されている。また、送風式支持手段３には、前記除塵フィルタ１２を通した清浄空気を流動させ且つ除塵フィルタ１２側への異物の落下を阻止するように遮蔽する遮蔽体４１が、３つのファンフィルタユニット１４の上方を覆う状態で、除塵フィルタ１２との間に清浄空気が溜まるチャンバー室Ｃを形成するように設けられている。尚、送風ファン１３は、この送風ファン１３に備えた電動モータによりファンが回転駆動する電動式に構成されている。

次に、前記遮蔽体４１について詳述すると、図５に示すように、遮蔽体４１は、除塵フィルタ１２を通した清浄空気を流動させる多孔状体４２と、この多孔状体４２より除塵フィルタ１２側に位置するフィルタ状体４３と、このフィルタ状体４３より除塵フィルタ１２側に位置して、前記フィルタ状体４３を支持する多孔状支持体４４とを備えて構成されている。そして、多孔状体４２には、パンチングにより通気孔４２ａが形成されており、多孔状支持体にも、パンチングにより通風孔４４ａが形成されている。

つまり、送風式支持手段３の側壁３ａが、除塵フィルタ１２の上面より上方に延出されており、多孔状体４２が側壁３ａの上端部に取り付けられており、多孔支持体４４が、多孔状体４２を取り付けた箇所より除塵フィルタ１２側に除塵フィルタ１２と間隔を隔てた状態で側壁３ａに取り付けられている。そして、フィルタ状体４３は、多孔板状体４２と多孔支持体４４との間に挟まれる状態で介在している。
そして、多孔状支持体４４を除塵フィルタ１２と間隔を隔てた位置に取り付けられることによって、送風式支持手段３上に、送風式支持手段３の側壁３ａと除塵フィルタ１２と多孔状支持体４４とで囲まれた１つのチャンバー室Ｃが形成される。

従って、前記送風式支持手段３は、送風ファン１３の送風作用により、送風ファン１３の下方の空気を吸引してその空気を除塵フィルタ１２が位置する上方に向けて供給するように構成されており、その上方に向けて供給された空気が、除塵フィルタ１２と遮蔽体４１とを通って、ガラス基板２の下面２ｂにおける中間部２ｃに清浄空気として供給され、その清浄空気にてガラス基板２の中間部２ｃを支持するように構成されている。つまり、送風ファン１３にて上方に向けて供給された空気は、除塵フィルタ１２を通る際に塵埃が除去されて清浄空気となり、その除塵フィルタ１２を通った清浄空気に脈動が生じていたとしても、チャンバー室Ｃの機能によりその脈動が抑えられ、また、多孔状支持体４４や多孔板状体４２により清浄空気を流動させて、板状体の下面には広範囲にわたって均一化されてガラス基板２の下面２ｂにおける中間部２ｃに供給される。

図２、図３に示すように、前記ケース体７は、ファンフィルタユニット１４を載置支持する平面視が略長方形のユニット用枠体１５と、ユニット用枠体１５の両端部夫々に搬送方向に沿って備えた左右一対の収納フレーム８と、右側の収納フレーム８の上端部から左側の収納フレーム８の上端部にわたって備えた搬送カバー２０とを備えて構成されている。前記収納フレーム８のそれぞれは、上壁８ｃ、下壁８ｂ並びに搬送空間Ａ側の内周壁８ａを備えた搬送方向視で略コ字状に形成され、搬送空間Ａ側とは反対側には収納カバー８ｄが備えられている。また、前記ユニット用枠体１５は、フレーム部材を組みつけた支持枠部分１５ａと、支持枠部分より下方に位置して、外部空気を搬送空間Ａ内に導入する空気導入口１８を備えた板状の板状枠部分１５ｂとで構成されている。

前記搬送空間Ａ及び前記収納空間Ｂは、搬送方向に並べて設けた搬送上手側の板状体搬送ユニット１と搬送下手側の板状体搬送ユニット１とで互いに連通しており、板状体搬送装置Ｈにおける最も搬送上手側に位置する板状体搬送ユニット１は、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂの搬送上手側端部が図示しない閉塞部材にて閉塞され、最も搬送下手側に位置する板状体搬送ユニット１は、搬送空間Ａ及び収納空間Ｂの搬送下手側端部が閉塞部材にて閉塞されている。従って、搬送空間Ａは、ユニット用枠体１５と収納フレーム８の内周壁８ａと搬送カバー２０と閉塞部材とによって略密閉状態に形成され、収納空間Ｂは、収納フレーム８と閉塞部材とによって略密閉状態に形成されている。

そして、搬送空間Ａは、搬送カバー２０を取り外すことにより上方を開放可能に構成されており、収納空間Ｂは、収納カバー８ｄ取り外すことにより側方を開放可能に構成されている。また、搬送空間Ａには、送風式支持手段３と推進力付与手段４における駆動ローラ９とガラス基板２の搬送経路とが収納され、収納空間Ｂには、推進力付与手段４における後述する駆動ローラ９に対する電動モータ１０が収納されている。そして、収納フレーム８の下壁８ｂには、収納空間Ｂの空気を外部に排出する外部排出口２４を備えるとともに、この外部排出口２４を閉塞するように、送風機能と除塵機能とを有する外部排出手段としてのサブ送風ユニット２３が備えられている。

従って、搬送空間Ａ内においては、前記ファンフィルタユニット１４により、搬送空間Ａ内の空気を吸引して、その吸引した空気を除塵フィルタ１２と遮蔽体４１とを通してガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気として供給する形態で、搬送空間Ａ内の空気は循環する。また、ファンフィルタユニット１４により、外部空気が空気導入口１８から搬送空間Ａ内に導入され、搬送空間Ａ内が加圧されることによって、搬送空間Ａ内において循環する空気の一部が収納フレーム８と搬送カバー２０との隙間等から外部に排出されて、搬送空間Ａ内の循環する空気の一部が交換される。そして、収納空間Ｂにおいては、サブ送風ユニット２３により、収納空間Ｂ内の空気が外部排出口２４から外部に排出され、収納空間Ｂ内が減圧されることによって、外部空気が上壁８ｃと収納カバー８ｄとの隙間等から収納空間Ｂ内に導入されて、収納空間Ｂ内の空気の一部が交換される。よって、搬送空間Ａにおいては、加圧されている状態であるので、収納フレーム８と搬送カバー２０との隙間等からの外部空気の進入を防止することができ、収納空間Ｂにおいては、減圧されている状態であるので、上壁８ｃと収納カバー８ｄとの隙間等からの収納空間Ｂ内の空気の進出を防止することができる。

次に、前記推進力付与手段４について詳述する。図５〜図７に示すように、前記一対のケース体８の収納空間Ｂそれぞれに、搬送方向に複数本並べられ互いにカップリング３１によって連動連結された伝動軸２７と、この伝動軸２７のうちの１つに備えられた平歯車２８に出力ギヤが噛み合う電動モータ１０とが備えられている。また、一対の収納フレーム８の内壁８ａそれぞれには、収納空間Ｂ側並びに搬送空間Ａ側にそれぞれ突出する多数の出力軸２６が、搬送方向に沿って回転自在に支持されており、出力軸２６の搬送空間Ａ側に突出する部分には、大径部９ａを設けた駆動ローラ９が備えられており、出力軸２６の収納空間Ｂ側に突出する部分には、ねじ歯車に構成されて伝動軸に備えられた出力ギヤ部２９と噛み合う入力ギヤ部３０が備えられている。

従って、図３に示すように、ガラス基板２は、推進力支持手段３の駆動ローラ９にて両端部２ｂが接触状態で支持され、送風式支持手段４の清浄空気にて中間部２ｃが非接触状態で支持され、且つ、電動モータ１０にて回転駆動される駆動ローラ９によって推進力が付与されることによって、駆動ローラ９の大径部９ａにて搬送方向と交差する方向への位置ずれを規制しながら搬送方向に沿って搬送される。

図２に示すように、板状体搬送手段Ｈは、ガラス基板２を搬送する上下２段の搬送部Ｍが備えられ、その上下２段の搬送部Ｍのうちの上側の搬送部Ｍが、下側の搬送部Ｍの上方を開放すべく一端側を支点にして上方側に揺動操作できるように構成されている。つまり、板状体搬送ユニット１のそれぞれには、搬送ケース５が上下２段に備えられており、その搬送ケース５のそれぞれに送風式支持手段３や推進力付与手段４等により構成される搬送部Ｍが収納されている。そして、上側の搬送ケース５を軸芯Ｐ周りに上方側に揺動することにより、この上側の搬送ケース５とともに上側の搬送部Ｍも上方側に揺動され、下側の搬送ケース５の上方が開放されることとなり、下側の搬送ケース５のカバー２０を取り外すことにより搬送空間Ａ内を上方からメンテナンスすることができる。尚、上下２段の搬送部Ｍの使用形態としては、上側の搬送部Ｍと下側の搬送部Ｍとの搬送方向を逆方向とし、上段の搬送部Ｍにてガラス基板２を搬送元から搬送先に搬送し、下段の搬送部Ｍにて、同じ工程を行うガラス基板２や、不良なガラス基板２などを搬送先から搬送元に搬送する形態や、上側の搬送部Ｍと下側の搬送部Ｍとの搬送方向を同方向とし、上側の搬送部Ｍ及び下側の搬送部Ｍにより板状体を搬送元から搬送先に搬送する形態がある。また、板状体搬送ユニット１には、上下２段の搬送部Ｍに替えて昇降自在な１段の搬送部Ｍを備えられたものがあり、隣接する板状体搬送ユニット１の上段の搬送部Ｍから受け取ったガラス基板２を隣接する板状体搬送ユニット１の下側の搬送部Ｍに受け渡す等、上側の搬送部Ｍと下側の搬送部Ｍとでガラス基板２を受け渡す際に使用される。

〔別実施の形態〕
（１）上記実施の形態では、板状体搬送装置を、板状体を水平又は略水平状態で搬送するものとしたが、板状体を縦状態に近い状態で搬送するものとしてもよい。また、駆動回転体を複数の駆動ローラで構成し、従動回転体を複数の従動ローラで構成したが、駆動回転体や従動回転体をタイミングベルト等の無端帯状体にて構成してもよい。

つまり、板状体搬送装置を次のように構成してもよい。尚、上記実施の形態と同様に構成されるものについては、実施の形態と同じ符号を付け、説明は省略する。
図９、図１０に示すように、板状体搬送装置Ｈは、板状体縦搬送ユニット３３を、ガラス基板２の搬送方向に並べて使用するものである。そして、板状体縦搬送ユニット３３のそれぞれは、縦姿勢に近い姿勢で搬送されるガラス基板２の下面２ａに向けて清浄空気を供給して、ガラス基板２を非接触状態で支持する縦姿勢に近い姿勢に備えられた送風式支持手段３と、ガラス基板２の両端部２ｂの一端側を接触支持しながら推進力を付与する駆動回転体としてのタイミングベルト３４とを備えて構成され、板状体搬送装置Ｈは、前記板状体縦搬送ユニット３３と、ガラス基板２に対して搬送方向での推進力を付与する縦姿勢用推進力付与手段３５とを備えて構成されている。

次に、前記縦姿勢用推進力付与手段３５について詳述する。図９に示すように、縦姿勢用推進力付与手段３５は、搬送下手側に位置して電動式モータ４０によって回転する駆動輪３６と、搬送上手側に位置する回転自在な従動輪３７と、これら駆動輪３６と従動輪３７とに亘って巻回する前記タイミングベルト３４と、タイミングベルト３４における送り経路部分を内周面側から支持する内支持輪３８と、タイミングベルト３４における戻り経路部分を外周面側から支持する外支持輪３９とによって構成されている。

従って、ガラス基板２は、縦搬送用推進力支持手段３５におけるタイミングベルト３５の外周面にて一端部２ｄが接触状態で支持され、送風式支持手段４の清浄空気にて中間部２ｃが非接触状態で支持され、そして、回転駆動されるタイミングベルト３５によって推進力が付与されることによって搬送方向に沿って搬送される。
尚、第２実施の形態においても、第１実施の形態と同様に、送風式支持手段３とガラス基板２の搬送経路とを収納する搬送空間を、略密閉状態に覆うケースを備えてもよい。

（２）上記実施の形態では、遮蔽体を多孔板状体とフィルタ状体と多孔状支持体とで構成したが、遮蔽体を多孔板状体とフィルタ状体とで構成し、フィルタ状体は多孔板状体に接着剤で貼付する等により支持させてもよく、また、図１１に示すように、遮蔽体４１を多孔板状体４２のみで構成して、比較的大きな異物のみの落下を防止するように構成してもよい。

（３）上記実施の形態では、多孔板状体と多孔状支持体との間の全体にフィルタ状体を介在させて、遮蔽体を構成したが、多孔板状体と多孔状支持体との間に通気孔や通風孔に対応させてフィルタ状体を部分的に介在させて遮蔽体を構成し、フィルタ状体を部分的に介在させることによってフィルタ状体の量を少なくして、遮蔽体を安価に製造できるように構成してもよい。つまり、フィルタ状体を下記の〔ａ〕、〔ｂ〕、〔ｃ〕のように構成してもよい。
〔ａ〕 図１２の（イ）（ロ）に示すように、多孔板状体４２の通気孔４２ａの１つと多孔状支持体４４の通風孔４４ａの１つとを閉塞するように備えた複数のフィルタ片４６にてフィルタ状体を構成してもよい。
〔ｂ〕 図１３の（イ）（ロ）（ハ）に示すように、多孔板状体４２の通気孔４２ａの１つと多孔状支持体４４の通風孔４４ａの１つとを閉塞するように備えた複数の突起付きフィルタ片４７にてフィルタ状体を構成してもよく、突起付きフィルタ片４７に形成してある突起部４７ａを多孔板状体４２の通気孔４２ａに嵌合させることによって、フィルタ状体４３の横方向での位置ずれを規制することができる。
〔ｃ〕 図１４の（イ）（ロ）に示すように、多孔板状体４２の通気孔４２ａを多孔状支持体４４側が広がる形状に形成し、その通気孔４２ａそれぞれに配設させた複数の嵌合フィルタ片４８にてフィルタ状体を構成し、多孔板状体４２を多孔状支持体４４に密着状態に備えて、遮蔽部を薄型に構成してもよい。
そして、〔ｂ〕、〔ｃ〕のように突起付きフィルタ片４７や嵌合フィルタ片４８の上面と多孔板状体４２の上面とを面一とすることによって、通気孔４２ａに塵埃が堆積することも防止することができる。
また、上記〔ａ〕、〔ｂ〕、〔ｃ〕のように多孔板状体と多孔状支持体との間に通気孔や通風孔に対応させてフィルタ状体を部分的に介在させる場合においても、上記（２）に述べた如く、フィルタ片や突起付きフィルタ片や嵌合フィルタ片のそれぞれを多孔板状体に接着剤で貼付する等により支持させて、遮蔽体を多孔板状体とフィルタ状体とで構成して、多孔状支持体を省略する構成でも良い。つまり、上記〔ｂ〕を例に説明すると、図１５に示すように、突起付きフィルタ片４７を多孔板状体４２に接着剤で貼付する等により支持させて、遮蔽体４１を多孔板状体４２と複数の突起付きフィルタ片４７（フィルタ状体）とで構成して、多孔状支持体を省略する構成でも良い。そして、突起付きフィルタ片や嵌合フィルタ片は多孔板状体の通気孔に嵌合する形態であるので、嵌合箇所においても貼付することによってより強固に貼付することができる。

（４）また、送風式支持手段を、送風ユニットを、前記搬送方向と前記横幅方向とに並べて構成し、横幅方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させたり、搬送方向に並ぶ送風ユニット同士を離間させたりして、前記板状体の下面に供給される清浄空気を下方に排気する通気路を形成するように構成してもよい。さらに、チャンバー室を、送風ユニット単位に区画形成するように、上記実施の形態においては搬送方向に３つに区画形成したり、送風手段単位に区画形成するように、上記実施の形態では横幅方向にも２つに区画形成して、合計６つに区画形成したりしてもよい。そして、上記のように通気路を形成した場合には、その通気路上に、多孔板状体、フィルタ状体、多孔状支持体のいずれも位置しないように遮蔽体を分割構成したり、通気路上に多孔板状体のみを位置させて、フィルタ状体、多孔状支持体は位置しないように遮蔽体を構成したりしてもよい。

（５）上記実施の形態では、除塵フィルタと送風手段とを一体的に組み付けた送風ファンを例示したが、必ずしも除塵フィルタと送風手段とを一体的に取り付ける必要はなく、例えば、送風手段にて送風される空気を除塵フィルタに案内する案内路などを設けて、除塵フィルタと送風手段とを別体にて構成して実施することも可能である。

（６）上記実施の形態では、板状体として、液晶用のガラス基板としたが、半導体のウェハ等でもよく、被支持体の形状や大きさは実施形態に限定されるものではない。

板状体搬送装置の斜視図 板状体搬送装置の正面断面図 板状体搬送装置の正面断面の一部拡大図 板状体搬送装置の側面断面図 遮蔽体の一部拡大断面図 推進力付与手段の側面図 推進力付与手段の正面図 推進力付与手段の側面の一部拡大図 別実施の形態（１）の板状体搬送装置の斜視図 別実施の形態（１）の板状体搬送装置の側面図 別実施の形態（２）の遮蔽体の一部拡大断面図 （イ）別実施の形態（３）〔ａ〕の遮蔽体の一部拡大断面図 （ロ）別実施の形態（３）〔ａ〕のフィルタ片を示す斜視図 （イ）別実施の形態（３）〔ｂ〕の遮蔽体の一部拡大断面図 （ロ）（ハ）別実施の形態（３）〔ｂ〕の突起付きフィルタ片を示す斜視図 （イ）別実施の形態（３）〔ｃ〕の遮蔽体の一部拡大断面図 （ロ）別実施の形態（３）〔ｃ〕の嵌合フィルタを示す斜視図 別実施の形態（３）の遮蔽体の一部拡大断面図

符号の説明

２ ガラス基板
２ａ 下面
２ｂ 両端部
２ｃ 中間部
３ 送風式支持手段
９ 駆動回転体（駆動ローラ）
１２ 除塵フィルタ
１３ 送風ファン（送風手段）
１４ ファンフィルタユニット（送風ユニット）
３４ 駆動回転体（タイミングベルト）
４１ 遮蔽体
４２ 多孔板状体
４３ フィルタ状体
４４ 多孔状支持体
Ｃ チャンバー室
Ｈ 板状体搬送装置

Claims (5)

1. 搬送される板状体の下面に向けて清浄空気を供給して、前記板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段が備えられている板状体搬送装置であって、
   前記送風式支持手段が、塵埃を除去する除塵フィルタと、その除塵フィルタを通して前記板状体の下面に向けて清浄空気を供給する送風手段と、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させ且つ前記除塵フィルタ側への異物の落下を阻止するように遮蔽する遮蔽体とを備え、
   前記遮蔽体が、前記除塵フィルタとの間に前記清浄空気が溜まるチャンバー室を形成するように設けられている板状体搬送装置。
2. 前記遮蔽体が、前記除塵フィルタを通した清浄空気を流動させる多孔状体と、この多孔状体より前記除塵フィルタ側に位置するフィルタ状体とを備えて構成されている請求項１記載の板状体搬送装置。
3. 前記遮蔽体が、前記フィルタ状体より前記除塵フィルタ側に位置して、前記フィルタ状体を支持する多孔状支持体を備えて構成されている請求項２記載の板状体搬送装置。
4. 送風式支持手段が、前記除塵フィルタと送風手段とを一体的に組み付けた送風ユニットを、搬送方向に並べて構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。
5. 前記板状体に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段が、水平又は略水平状態の前記板状体の両端部を接触支持しながら推進力を付与する駆動回動体を備えて構成され、
   前記送風式支持手段が、前記板状体における両端部の間に位置する中間部を支持するように構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の板状体搬送装置。

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