KR101112508B1 - 판형체 반송 장치 - Google Patents

Abstract

판형체의 하면에 공급되는 청정 공기의 펄스를 억제하여 판형체에 대한 부하를 경감시켜, 판형체의 파손을 억제할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공한다.

송풍식 지지수단(3)을, 먼지를 제거하는 먼지 제거 필터(12)와, 그 먼지 제거 필터(12)를 통하여 유리 기판(2)의 하면으로 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 팬(13)과, 먼지 제거 필터(12)를 통과한 청정 공기를 유동시키고 또한 먼지 제거 필터(12)측으로의 이물질의 낙하를 저지하도록 차폐하는 차폐부(6)를 구비하여 구성하고, 차폐부(6)를 먼지 제거 필터(12)와의 사이에 청정 공기가 잔류하는 챔버(C)를 형성하도록 설치한다.

판형체, 송풍식 지지수단, 판형체 반송 장치, 먼지 제거 필터, 송풍수단, 차폐부, 챔버, 다공체, 접촉식 지지수단, 검출수단, 제어수단.

Description

판형체 반송 장치{PLATE-SHAPED WORK PIECE TRANSPORTING APPARATUS}

도 1은 판형체 반송 장치의 사시도이다.

도 2는 판형체 반송 장치의 정면 단면도이다.

도 3은 판형체 반송 장치의 정면 단면의 일부 확대도이다.

도 4는 판형체 반송 장치의 측면 단면도이다.

도 5는 차폐부의 일부 확대 단면도이다.

도 6은 추진력 부여수단의 측면도이다.

도 7은 추진력 부여수단의 정면도이다.

도 8은 추진력 부여수단의 측면의 일부 확대도이다.

도 9는 반송 장치의 제어 블록도이다.

도 10은 다른 실시예의 판형체 반송 장치의 사시도이다.

도 11은 다른 실시예의 판형체 반송 장치의 측면도이다.

도 12는 다른 실시예의 차폐부의 일부 확대 단면도이다.

도 13의 A는 다른 실시예의 차폐부의 일부 확대 단면도이고, 도 13의 B는 다른 실시예의 필터편의 사시도이다.

도 14의 A는 다른 실시예의 차폐부의 일부 확대 단면도이고, 도 14의 B 및 도 14의 C는 다른 실시예의 돌기 부착 필터편의 사시도이다.

도 15의 A는 다른 실시예의 차폐부의 일부 확대 단면도이고, 도 15의 B는 다른 실시예의 삽입 필터의 사시도이다.

도 16은 다른 실시예의 차폐부의 일부 확대 단면도이다.

도 17은 반송 장치의 사시도이다.

도 18은 반송 유닛의 일부 확대 정면도이다.

도 19는 반송 유닛의 측면도이다.

도 20은 반송 유닛의 평면도이다.

도 21은 지지체 및 이온화 장치의 지지 상태를 도시하는 다공체의 측면도이다.

도 22의 A는 유리 기판이 예정 높이로 지지된 상태를 도시하는 도면이고, 도 22의 B는 유리 기판이 예정 높이보다 하강한 상태를 도시하는 도면이다.

도 23은 다른 실시예의 추진력 부여수단의 측면도이다.

도 24는 다른 실시예의 추진력 부여수단의 정면도이다.

도 25는 다른 실시예의 지지체의 지지 상태를 도시하는 측면도이다.

도 26은 다른 실시예의 지지체의 지지 상태를 도시하는 측면도 및 사시도이다.

도 27은 다른 실시예의 다공체의 단면도이다.

본 발명은 반송되는 판형체(板形體)의 하면으로 향하여 청정 공기를 공급하여, 상기 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지수단이 구비된 판형체 반송 장치에 관한 것이다.

예로서, 일본국 특허공개공보 제2002-321820호에 개시된 판형체 반송 장치는, 액정용 유리기판 등의 판형체를 반송하기 위하여 이용되는 것으로서, 상기 판형체의 양단부를 접촉지지하면서 반송 방향의 추진력을 부여하는 구동 회전체를 구비하는 추진력 부여수단을 구비한다. 판형체는 이 추진력 부여수단에서 양단부를 접촉 지지하고, 그 중간부가 송풍식 지지수단으로 지지된다. 또한, 송풍식 지지수단이 설치되어 있다. 이것은 판형체의 반송 경로에 따라 소정 간격을 두고 구비된 다수의 공기 분출부와, 압축 펌프 등을 포함하는 공급원을 구비한다. 공급원으로부터 압축 공기를 다수의 공기 분출부로 분배 공급하도록, 공급원과 공기 분출부가 공급관에서 접속된다. 공기 분출부로부터 분출되는 압축 공기를, 상기 판형체의 양단부의 사이로 공급하여, 판형체를 비접촉 상태로 지지한다.

또한, 예로서, 일본국 특허공개공보 제2002-308423호에 개시되어 있는 바와 같이, 판형체를 세로 방향 자세 또는 그것과 가까운 자세로 반송하는 것으로 하여, 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여수단이, 상기 판형체의 하단부를 접촉지지하면서 추진력을 부여하는 구동 회전체를 구비하여 구성된다. 그 추진력 부여수단에서 양단부의 일단측을 접촉지지하여, 세로 방향 자세 또는 그것에 가까운 자세로 반송되는 판형체의 중간부를 송풍식 지지수단에서 지지하도록 되어 있다. 송풍식 지지수단은, 판형체의 반송 경로에 따라 소저 간격을 두고 구비된 다수 의 공기 분출부와, 공기 블로워 등을 포함하는 공급원을 구비하고 있다. 공급원으로부터의 압축 공기를 다수의 공기 분출부에 분배 공급하도록, 공급원과 공기 분출부가 공급관에서 접속된다. 그리고, 공기 분출부로부터 분출되는 압축 공기를, 상기 판형체의 중간부로 공급하여, 판형체를 비접촉 상태로 지지한다.

상기와 같은 종래기술의 판형체 반송 장치에서는, 공급원으로부터의 압축 공기에 그 압축 공기의 양이 때때로 변화하는 펄스가 생기면, 판형체의 하면으로 향하여 공급되는 압축 공기에도 펄스가 생겨, 공기가 공급되는 판형체의 중간부가 상하 이동하여, 판형체에 대하여 큰 부하가 걸리는 불합리가 생긴다.

또한, 종래의 판형체 반송 장치에서는, 송풍식 지지수단에 임의의 이상이 생겨 청정 공기의 공급양이 감소하면, 반송물에 대한 지지력이 저하함으로써, 반송물이 송풍식 지지수단에서 지지되는 예정 높이보다 하강하여, 반송물과 그 아래에 위치하는 송풍식 지지수단이 접촉하여 반송물 자체 또는 송풍식 지지수단이 파손할 가능성이 높다.

또한, 종래의 판형체 반송 장치에서는, 반송물의 양단부를 추진력 부여수단에서 접촉지지하기 때문에, 송풍식 지지수단의 지지력이 저하하면, 반송물의 중간부가 하강함으로써 만곡하도록 변형되고, 이 변형에 의해 반송물이 파손할 가능성도 있다. 이것은 특히 반송물로서 액정용 유리 기판과 같은 판형체를 반송하는 경우에 현저하다.

본 발명의 목적은, 판형체의 하면에 공급되는 공기의 펄스를 억제하여 판형 체에 대한 부하를 경감할 수 있는 판형체 반송 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은, 송풍식 지지수단의 지지력의 저하에 의해 반송물이 하강하여도, 그 반송물의 하강량을 억제하여 반송물 또는 지지수단의 파손을 방지할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 기재된 판형체 반송 장치는, 반송되는 판형체의 하면으로 향해 청정 공기를 공급하여, 상기 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지수단이 구비된 판형체 반송 장치에 있어서,

상기 송풍식 지지수단이, 먼지를 제거하는 먼지 제거 필터와, 상기 먼지 제거 필터를 통하여 상기 판형체의 하면으로 향해 청정 공기를 공급하는 송풍수단과, 상기 먼지 제거 필터를 통과한 청정 공기를 통과시키고, 상기 먼지 제거 필터 측으로의 이물질의 낙하를 저지하도록 차폐하는 차폐부를 구비하며,

상기 차폐부가 상기 먼지 제거 필터와의 사이에 상기 청정 공기가 잔류하는 챔버를 형성한 것을 특징으로 한다.

즉, 송풍식 지지수단에 의해, 판형체의 하면으로 향해 청정 공기를 공급하여 판형체를 비접촉 상태로 지지할 수 있다. 또한, 송풍식 지지수단 상에 이물질이 낙하하여도 차폐부에 의해 먼지 제거 필터측으로의 이물질의 낙하를 저지할 수 있기 때문에 먼지 제거 필터를 보호할 수 있다.

더욱이, 차폐부가 청정 공기가 잔류하는 챔버를 형성하도록 설치되었기 때문에, 송풍 수단에 의해 송풍되는 공기에 펄스가 발생하더라도, 그 펄스는 챔버 내의 청정 공기의 압력이 변화하는 허용되는 쿠션 작용에 의해 흡수되기 때문에, 판형체 의 하면에 공급되는 청정 공기의 펄스를 저감시킬 수 있다. 따라서, 청정 공기가 공급되는 판형체의 중간부 상하 움직임도 적게 되기 때문에, 판형체에 대한 부하를 경감시킬 수 있는 판형체 반송 장치를 제공할 수 있다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 차폐부가 상기 먼지 제거 필터를 통과한 청정 공기를 통과시키는 다공체를 구비하고 있다.

즉, 다공체에 의해, 청정 공기를 판형체의 하면의 광범위에 걸쳐 균일화하여 공급할 수 있고, 또한 큰 이물질이 먼지 제거 필터측으로 낙하하는 것을 저지할 수 있어, 먼지 제거 필터를 보호할 수 있다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 차폐부가 상기 먼지 제거 필터를 통과한 청정 공기를 통과시키는 다공체와, 상기 다공체보다 상기 먼지 제거 필터측에 위치하는 부 필터를 구비한다.

즉, 다공체에 의해 청정 공기를 판형체의 하면의 광범위에 걸쳐 균일화하여 공급할 수 있고, 또한 큰 이물질이 먼지 제거 필터측으로 낙하하는 것을 저지할 수 있고, 또한 부 필터에 의해 작은 이물질이 먼지 제거 필터측으로 낙하하는 것을 저지할 수 있어, 먼지 제거 필터를 확실하게 보호할 수 있다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 차폐부가, 상기 부 필터보다 상기 먼지 제거 필터측에 위치하여 상기 부 필터를 지지하는 다공 지지체를 구비한다.

즉, 다공체와 다공 지지체의 사이에 부 필터가 개재하는 상태로 되어, 부 필터를 다공체 등에 부착하여 지지할 필요가 없게 되어, 부 필터의 지지를 용이하게 한다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지수단이, 상기 먼지 제거 필터와 송풍 수단을 일체로 부착하여 형성된 송풍 유닛을 반송 방향으로 늘어 세워 구성된다.

즉, 송풍 장치와 먼지 제거 필터를 일체적으로 부착하여 형성된 송풍 유닛을 반송 방향으로 늘어 세우는 것만으로, 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지수단을 설치할 수 있기 때문에, 송풍식 지지수단의 설치가 간단하게 되어, 제작의 용이화를 도모할 수 있다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 판형체에 대하여 반송 방향으로의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단이, 수평 또는 대략 수평 상태의 상기 판형체의 양단부를 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 구동 회전체를 구비하여 구성되어 있고, 상기 송풍식 지지수단이, 상기 판형체에서의 양단부 사이의 부분을 지지하도록 구성된다.

이 특징에 의해, 구동 회전체에 의해, 양단부를 접촉 지지함으로써 판형체를 안정한 상태로 지지하고, 그 지지하는 구동 회전체에 의해 추진력이 부여되므로 안정된 상태대로 반송할 수 있음과 동시에, 송풍식 지지수단에 의해, 판형체의 중간부를 판형체의 파손을 억제하면서 판형체의 이완을 억제하도록 지지할 수 있기 때문에, 판형체는 안정된 자세로 지지된 상태로 반송되게 되어, 판형체의 반송을 원활하게 행할 수 있다.

또 다른 본원 발명의 판형체 반송 장치는, 판형체의 반송물의 하면으로 향해 청정 공기를 공급하여 상기 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지수단과, 상기 송풍식 지지수단에 의해 지지되는 상기 반송물에 대해 반송 방향으로의 추진력을 부여하는 추진력 부여수단을 구비하고 있는 판형체 반송 장치에 있어서,

상기 송풍식 지지수단에 의해 지지되는 설정 높이보다 하강한 반송물을 상기 송풍식 지지수단의 상면보다 위에서 지지하는 접촉식 지지수단이 설치된 것을 특징으로 한다.

즉, 송풍식 지지수단에 어떤 이상이 생겨 청정 공기의 공급량이 감소하여, 반송물에 대한 지지력이 저하하여 반송물이 설정 높이보다 하강하더라도, 그 하강한 반송물을 접촉식 지지수단에 의해 송풍식 지지수단의 상면보다 위에서 지지하므로 반송물의 하강량을 억제할 수 있고, 반송물과 그 아래에 위치하는 송풍식 지지수단이 접촉하는 것 및, 반송물의 변형에 의한 반송물 자체의 파손 및 송풍식 지지수단의 파손을 방지할 수 있다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지수단이, 먼지를 제거하는 먼지 제거 필터와, 상기 먼지 제거 필터를 통하여 상기 반송물의 하면으로 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 팬을 일체로 부착하여 형성된 송풍 유닛을 상기 반송 방향으로 늘어 세우고, 또한 상기 송풍 유닛 상에 상기 반송물의 하면에 공급되는 청정 공기의 정풍(整風)을 행하는 다공체를 구비하여 구성된다.

즉, 송풍 팬과 먼지 제거 필터를 일체로 부착하여 형성된 송풍 유닛을 반송물의 반송 방향으로 늘어 세우는 것만으로, 반송되는 반송물의 하면으로 향해 청정 공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지수단을 설치할 수 있기 때문에, 송풍식 지지수단의 설치가 간단하게 되어, 제작의 용이화를 도모할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

또한, 다공체를 구비함으로써, 반송물의 하면으로 향해 공급되는 청정 공기는, 다공체에 의해 정풍(整風)되어 반송물의 하면에 공급된다. 즉, 반송물의 하면에 광범위하게 걸쳐 균일화된 청정 공기를 공급할 수 있고, 특히 반송물로서 액정용 유리 기판과 같은 판형체를 반송하는 경우에는, 그 판형의 반송물의 하면의 일부분에 집중하여 청정 공기가 공급되는 것에 의해 반송물의 만곡을 억제할 수 있다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 접촉식 지지수단이 다수의 지지체를 반송 방향 및 횡폭 방향으로 분산 배치하여 구성된다.

즉, 접촉식 지지수단이 다수의 지지체에 의해 구성되어, 각각의 지지체를 비교적 작게 구성할 수 있기 때문에 각각의 지지수단을 배치하기 쉽고, 따라서, 접촉식 지지수단을 배치하기 쉽게 할 수 있다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 지지체가 반송 방향으로 회전 가능한 회전 롤러에 의해 구성된다.

즉, 반송물이 설정 높이보다 하강한 때에, 추진력 부여 수단에 의한 추진력의 부여 및 관성에 의해 반송물이 반송 방향으로 이동하여도, 회전 롤러가 반송물과의 접촉 마찰에 의해 반송 방향으로 회전함으로써, 반송물과 지지체가 접촉하는 것에 의한 반송물의 손상을 억제할 수 있다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 지지체가 구형(球形) 또는 구형에 가까운 형상을 가진 돌기부로 구성된다.

즉, 지지체가 구형 또는 구형에 가까운 형성을 하고 있어, 지지체의 각진 부분과 반송물이 접촉한 가능성이 작기 때문에, 반송물과 지지체가 접촉한 때의 반송물의 손상을 억제할 수 있다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 지지체가 상기 다공체에 설치된다.

즉, 돌기부가 다공체에 설치되기 때문에, 돌기부를 설치하기 위한 전용 부재를 준비할 필요가 없고, 다공체를 돌기부를 설치하기 위한 부재로서 이용함으로써, 반송 장치의 구성을 간소화할 수 있다.

또 다른 본 발명에 기재된 특징에 의하면, 상기 송풍 팬의 회전속도를 검출하는 검출수단과, 상기 검출 수단의 검출정보에 기초하여, 상기 송풍 팬의 회전속도가 설정속도 이하로 되면 상기 추진력 부여 수단의 작동을 정지시키는 제어수단을 더 구비한다.

즉, 송풍식 지지수단의 회전 속도가 저하하면, 반송물의 하면으로 향해 공급되는 청정 공기의 양이 감소되고, 송풍식 지지수단의 지지력이 저하하여 반송물 소정 높이로 지지하기 어렵게 되기 때문에, 송풍식 지지수단의 회전속도가 저하된 상태에서 추진력 부여 수단에 의해 반송물에 대한 추진력의 부여를 계속하면, 소정 높이보다 하강한 반송물이 접촉식 지지수단에 의해 접촉 지지된 상태로 반송될 가능성이 높게 되기 때문에, 반송물과 접촉식 지지수단이 미끄럼 접촉하여 반송물이 크게 손상될 가능성이 있다.

그래서, 설정속도로서, 그 속도로 송풍 팬이 회전하여도 반송물에 대한 지지 력이 약하기 때문에, 반송물이 접촉식 지지수단에 의해 지지되는 가능성이 있는 속도로 설정하여 두고, 송풍식 지지수단의 회전속도가 상기와 같은 설정 속도 이하로 되면 추진력 부여 수단의 동작을 정지시키도록 구성함으로써, 반송물이 접촉식 지지수단에 의해 접촉 지지된 상태로 반송되지 않아, 반송물이 접촉식 지지수단에 미끄럼 접촉하는 것에 의한 반송물의 손상을 억제할 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 판형체 반송 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 판형체의 예로서 액적용 유리 기판을 사용하지만, 판형체는 이것에 제한되지 않는다.

도 1에 도시되듯이, 판형체 반송 장치(H)는, 유리 기판(2)의 반송 방향으로 늘어선 다수의 판형체 반송 유닛(1)을 구비한다. 반송 상부측에 위치하는 판형체 반송 유닛(1)에 이동하여 적재된 유리 기판(2)은, 송풍식 지지수단(3)과 추진력 부여 수단(4)으로 지지되고, 추진력 부여 수단(4)에 의해 상류측에 위치하는 판형체 반송 유닛(1)로부터 하류측에 위치하는 판형체 반송 유닛(1)로 반송된다. 또한, 상류측에 위치하는 판형체 반송 유닛(1)로의 유리 기판의 이동 적재 및 하류측에 위치하는 판형체 반송 유닛(1)로부터 다른 위치로의 이동 적재는, 도시되지 않은 이동 적재기에 의해 행해진다.

도 2 및 도 3에 도시되듯이, 판형체 반송 유닛(1)의 각각은, 수평 또는 대략 수평 상태로 반송되는 유리 기판(2)의 하면(2a)로 향하여 청정 공기를 공급하여 유리 기판(2)을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지수단(3)과, 유리 기판(2)에 대하여 반송 방향으로의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4)과, 후술하는 반송 공 간(A) 및 수납 공간(B)을 대략 밀폐 상태로 덮는 케이스(7)를 구비한다.

도 3 및 도 4에 도시되듯이, 송풍식 지지수단(3)은, 다수의 송풍 유닛을 반송 방향으로 늘어 세워 구성된다. 이 송풍 유닛으로서의 팬 필터 유닛(14)의 각각은, 먼지를 제거하는 ULPA 필터로 구성되는 먼지 제거 필터(12)와, 이 먼지 제거 필터(12)를 통하여 유리 기판(2)의 하면(2a)으로 향하여 청정 공기를 공급하는 송풍수단으로서의 송풍 팬(13)과 전동식 팬 모터를 구비한다. 또한, 송풍 팬(13)의 회전속도를 검출하는 검출수단으로서의 회전 속도 센서(RS)가 송풍 팬(13)의 근방에 구비된다.

즉, 팬 필터 유닛(14)은, 유리 기판(2)의 반송 방향에 직교하는 횡폭방향으로 늘어선 2개의 송풍 팬(13)과, 이 유리 기판(2)개의 송풍 팬(13)의 상부를 덮는 1개의 먼지 제거 필터(12)가 하우징에 지지됨으로써 일체적으로 유닛화됨으로써 구성된다. 송풍식 지지수단(3)은, 반송 방향에 따라 늘어선 3개의 팬 필터 유닛(14)으로 구성된다. 또한, 송풍식 지지수단(3)에는, 상기 먼지 제거 필터(12)를 통한 청정 공기의 통과를 가능하게 하고, 먼지 제거 필터(12)측에의 이물질의 낙하를 방지하도록 차폐하는 차폐부(6)가, 상기 하우징에 지지됨으로써, 3개의 팬 필터 유닛(14)의 상부를 덮은 상태로 배치된다. 또한, 이 차폐부(6)와 먼지 제거 필터(12)의 사이에 청정 공기가 머무는 챔버(C)가 형성된다. 챔버(C)의 높이, 즉, 차폐부(6)와 먼지 제거 필터(12) 사이의 거리는, 펄스를 경감시키기에 충분한 것이 양호하고, 1cm 이상인 것이 바람직하다. 이러한 팬 필터 유닛(14)과 차폐부(6)의 조합으로서, 클린룸(clean room)에 사용되는 수납 창고의 배면에 부착되는 것을 이용할 수 있 다.

다음에, 상기 차폐부(6)에 대해 설명한다. 도 5와 같이, 차폐부(6)는, 먼지 제거 필터(12)를 통한 청정 공기를 정풍(整風)하는 판형의 다공체(11)와, 이 다공체(11)보다 먼지 제거 필터(12)측에 위치하는 부 필터(43)와, 이 부 필터(43)보다 먼지 제거 필터(12)측에 위치하여 상기 부 필터(43)를 지지하는 다공 지지체(44)를 구비한다. 그리고, 다공체(11)에는, 펀칭에 의해 그 전체에 통기공(11a)이 형성되어 있고, 다공 지지체에도 펀치에 의해 통풍공(44a)이 형성되어 있다.

즉, 도 5에 도시되듯이, 송풍식 지지수단(3)의 하우징의 측벽(3a)이, 먼지 제거 필터(12)의 상면보다 위로 연장된다. 다공체(11)가 측벽(3a)의 상단부에 부착되어 있고, 다공 지지체(44)가, 다공체(11)를 부착한 위치보다 먼지 제거 필터(12)측에 먼지 제거 필터(12)와 간격을 둔 상태에서 측벽(3a)에 부착된다. 그리고, 부 필터(43)는 다공체(11)와 다공 지지체(44) 사이에 끼어 있다.

그리고, 다공 지지체(44)를 먼지 제거 필터(12)와 간격을 둔 위치에 부착됨으로써, 송풍식 지지수단(3)의 측벽(3a)과 먼지 제거 필터(12)와 다공 지지체(44)로 둘러싸인 챔버(C)가 형성된다.

상기 송풍식 지지수단(3)은, 송풍 팬(13)의 송풍 작용에 의해, 송풍 팬(13)의 아래의 공기를 흡수하여 그 공기를 먼지 제거 필터(12)가 위치하는 위로 향하여 공급한다. 그 위로 향하여 공급된 공기가, 먼지 제거 필터(12)와 차폐부(6)를 통하여, 유리 기판(2)의 하면(2a)에 있는 중간부(2c)(즉, 양단부(2b)의 사이의 영역)청정 공기로서 공급되고, 그 청정 공기로 유리 기판(2)의 중간부(2c)를 지지한다. 즉 , 송풍 팬(13)에 의해 위로 향하여 공급된 공기는, 먼지 제거 필터(12)를 통과할 때 먼지가 제거되어 청정 공기로 된다. 이 먼지 제거 필터(12)를 통과한 청정 공기에 펄스가 생기더라도, 챔버(C)의 기능에 의해 그 펄스가 억제된다. 또한, 다공 지지체(44) 및 다공체(11)에 의해, 판형체의 하면에는 광범위하게 걸쳐 균일화된 유리 기판(2)의 하면(2a)에서 중간부(2c)에 공급된다.

도 2 및 도 3에 도시되듯이, 상기 케이스(7)는, 팬 필터 유닛(14)을 적치하여 지지하는 평면에서 볼 때 장방형인 유닛용 프레임(15)과, 유닛용 프레임(15)의 양단부 각각에 반송방향에 따라 구비된 좌우 한 쌍의 수납 프레임(8)과, 우측의 수납 프레임(8)의 상단부로부터 좌측의 수납 프레임(8)의 상단부에 걸쳐 구비된 반송 커버(20)를 구비한다. 상기 수납 프레임(8)의 각각은 상벽(8c), 하벽(8b) 및 반송 공간(A)측의 내주벽(8a)을 구비한 반송방향에 볼 때 대략 コ자 모양으로 형성되고, 반송 공간(A)측과는 반대측에는 수납 커버(8d)가 구비된다. 또한, 상기 유닛용 프레임(15)은, 프레임 부재를 조립한 지지 프레임 부분(15a)과, 지지 프레임부보다 아래에 위치하고, 외부 공기를 반송 공간(A)내로 도입하는 공기 도입구(18)를 구비한 판형의 판형 프레임 부분(15b)으로 구성된다.

상기 반송 공간(A) 및 상기 수납 공간(B)은, 반송 방향으로 늘어서 설치된 상류측의 판형체 반송 유닛(1)과 하류측의 판형체 반송 유닛(1)으로 서로 연통한다. 판형체 반송 장치(H)에서 가장 상류측에 위치하는 판형체 반송 유닛(1)은, 반송 공간(A) 및 수납 공간(B)의 상류측 단부가 도시되지 않은 폐쇄부재로 폐쇄된다. 가장 하류측에 위치하는 판형체 반송 유닛(1)은, 반송 공간(A) 및 수납 공간(B)의 하류측 단부가 폐쇄부재로 폐쇄된다. 따라서, 반송 공간(A)은, 유닛용 프레임(15)과 수납 프레임(8)의 내주벽(8a)과 반송 커버(20)와 폐쇄부재에 의해 대략 밀폐상태로 형성된다. 수납 공간(B)은, 수납 프레임(8)과 폐쇄부재에 의해 대략 밀폐상태로 형성된다.

그리고, 반송 공간(A)은, 반송 커버(20)를 제거함으로써 위를 개방 가능하게 구성되고, 수납 공간(B)은, 수납 커버(8d)를 제거함으로써 측면을 개방 가능하게 구성된다. 또한, 반송 공간(A)에는, 송풍식 지지수단(3)과 추진력 부여 수단(4)에서 구동 롤러(9)와 유리 기판(2)의 반송 경로가 수납된다. 수납 공간(B)에는, 후술하는 바와 같이, 구동 롤러(9)를 구동하는 전동 모터(10)가 수납된다. 그리고, 수납 프레임(8)의 하벽(8b)에는, 수납 공간(B)의 공기를 외부로 배출하는 외부 배출구(24)가 구비되고, 그 외부 배출구(24)를 폐쇄하도록, 송풍 기능과 먼지 제거 기능을 가진 외부 배출수단으로서의 서브 송풍 유닛(23)이 구비된다.

따라서, 반송 공간(A) 내에는, 상기 팬 필터 유닛(14)에 의해, 반송 공간(A) 내의 공기를 흡인하여, 그 흡인된 공기를 먼지 제거 필터(12)와 차폐부(6)를 통하여 유리 기판(2)의 하면(2a)으로 향해 청정 공기로서 공급하는 형태로, 반송 공간(A) 내의 공기는 순환한다. 또한, 팬 필터 유닛(14)에 의해 외부 공기가 공기 도입구(18)로부터 반송 공간(A) 내에 도입되고, 반송 공간(A) 내가 가압됨으로써, 반송 공간(A) 내에서 순환하는 공기의 일부가 수납 프레임(8)과 반송 커버(20)의 사이 등으로부터 외부로 배출되고, 반송 공간(A) 내의 순환하는 공기의 일부가 교환된다. 그리고, 수납 공간(B)에서는, 서브 송풍 유닛(23)에 의해, 수납 공간(B) 내의 공기가 외부 배출구(24)로부터 외부로 배출되고, 수납 공간(B) 내가 감압됨으로써, 외부 공기가 상부벽(8c)과 수납 커버(8d)의 사이 등으로부터 수납 공간(B) 내로 도입되어, 수납 공간(B) 내의 공기의 일부가 교환된다. 따라서, 반송 공간(A)에서는, 가압되어 있는 상태이므로, 수납 프레임(8)과 반송 커버(20)의 사이 등으로부터의 외부 공기의 진입을 방지할 수 있고, 수납 공간(B)에서는, 감압되어 있는 상태이므로, 상부벽(8c)과 수납 커버(8d)의 사이 등으로부터의 수납 공간(B) 내의 공기의 진출을 방지할 수 있다.

다음에, 상기 추진력 부여 수단(4)에 대해 상술한다. 도 6, 도 7 및 도 8에 도시되듯이, 상기 한 쌍의 수납 프레임(8)의 수납 공간(B) 각각에, 반송방향으로 다수 개 늘어서서 서로 컵형 링(31)에 의해 연동 연결된 전동축(27)과, 그 전동축(27) 중 하나에 구비된 평치차(28)에 출력 기어가 맞물리는 전동 모터(10)가 구비되어 있다. 또한, 한 쌍의 수납 프레임(8)의 내주벽(8a) 각각에는, 수납 공간(B)측 및 반송 공간(A)측으로 각각 돌출하는 다수의 출력축(26)이, 반송방향에 따라 회전 가능하게 지지되어 있다. 출력축(26)의 반송 공간(A)측으로 돌출하는 부분에는, 대직경부(9a)를 설치한 구동 롤러(9)가 구비된다. 출력축(26)의 수납 공간(B)측으로 돌출하는 부분에는, 나사 치차로 구성된 전동축에 구비된 출력 기어부(29)와 맞물리는 입력 기어부(30)가 구비된다.

따라서, 도 3에 도시되듯이, 유리 기판(2)은, 송풍식 지지수단(3)의 구동 롤러(9)에서 양단부(2b)가 접촉 상태로 지지되고, 추진력 부여 수단(4)의 청정 공기에 의해 중간부(2c)가 비접촉 상태로 지지되며, 또한, 전동 모터(10)에 의해 구동 되는 구동 롤러(9)에 의해 추진력이 부여됨으로써, 반송방향에 따라 반송된다. 반송방향과 교차하는 방향으로의 유리 기판(2)의 위치 어긋남은 구동 롤러(9)의 대직경부(9a)에 의해 규제된다.

도 2에 도시되듯이, 판형체 반송 장치(H)는, 유리 기판(2)을 반송하는 상하 2단의 반송부(M)가 구비되고, 그 상하 2단의 반송부(M) 중 상부측의 반송부(M)이, 하부측의 반송부(M)의 상부를 개방하기 위해 일단을 지점으로 하여 상부로 회전 조작할 수 있도록 구성된다. 즉, 판형체 반송 유닛(1)의 각각에는, 반송 케이스(5)가 상하 2단으로 구비되고, 그 반송 케이스(5)의 각각에 송풍식 지지수단(3) 및 추진력 부여 수단(4) 등에 의해 구성되는 반송부(M)가 수납된다. 그리고, 상부측의 반송 케이스(5)를 축심(P) 주위로 위로 회전함으로써, 그 상부측의 반송 케이스(5)와 함께 상부측의 반송부(M)도 상부측으로 회전되고, 하부측의 반송 케이스(5)의 상부가 개방되게 되고, 하부측의 반송 케이스(5)의 반송 커버(20)를 제거함으로써 반송 공간(A) 내를 상부로부터 유지보수할 수 있다. 또한, 상하 2단의 반송부(M)의 사용 형태로서는, 상부측의 반송부(M)와 하부측의 반송부(M)의 반송방향을 역방향으로 하여, 상단의 반송부(M)에 의해 유리 기판(2)을 반송원(搬送元)으로부터 반송선(搬送先)으로 반송하고, 하단의 반송부(M)에 의해 동일한 공정을 행하여 유리 기판(2) 또는 불량한 유리 기판(2) 등을 반송선으로부터 반송원으로 반송하는 형태가 가능하다. 또한, 상부측의 반송부(M)와 하부측의 반송부(M)의 반송방향을 동일방향으로 하여, 상부측의 반송부(M) 및 하부측의 반송부(M)에 의해 판형체를 반송원으로부터 반송선으로 반송하는 형태가 가능하다. 또한, 판형체 반송 유닛(1)에는, 상하 2단 의 반송부(M)에 대신하여 승강 가능한 1단의 반송부(M)를 구비한 것이 있고, 인접하는 판형체 반송 유닛(1)의 상단의 반송부(M)로부터 받은 유리 기판(2)을 인접한 판형체 반송 유닛(1)의 하부측의 반송부(M)로 넘겨주는 등, 상부측의 반송부(M)와 하부측의 반송부(M)로 넘겨줄 때 사용된다.

다음에 상기 제어 수단(E)에 대해 설명한다.

도 9에 도시되듯이, 제어 장치는, 운전 절환 스위치(S)로부터의 지령에 기초하여, 판형체 반송 장치(H)에 대한 운전 개시, 운전 정지 및 반송 정지를 제어한다. 즉, 제어 수단(E)은, 운전 절환 스위치(S)로부터 운전 개시가 지령되면, 판형체 반송 유닛(1)의 각각에서, 송풍식 지지수단(3), 서브 송풍 유닛(23), 추진력 부여 수단(4)의 각각을 작동시켜 반송 장치(H)의 운전을 개시한다. 또한, 운전 절환 스위치(S)로부터 운전 정지가 지령되면, 판형체 반송 유닛(1)의 각각에서, 송풍식 지지수단(3), 서브 송풍 유닛(23), 추진력 부여 수단(4)의 각각의 작동을 정지시키고, 반송 장치(H)의 운전을 정지시킨다. 그리고, 운전 절환 스위치(S)로부터 반송 정지가 지령되면, 판형체 반송 유닛(1)의 각각에서, 송풍식 지지수단(3)의 작동을 유지한 채로 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시키고, 반송 장치(H)의 유리 기판(2)의 반송을 정지시킨다.

(제2 실시예)

상기 실시예는, 판형체 반송 장치를, 판형체를 수평 또는 수평 상태로 반송하는 것으로 하였지만, 판형체를 세로 방향에 가까운 상태로 반송하는 것으로 하여도 된다. 또한, 구동 회전체를 다수의 구동 롤라로 구성하고, 종동 회전체를 다수 의 종동 롤라로 구성하였으나, 구동 회전체 및 종동 회전체를 타이밍 벨트 등의 순환 피대(endless belt)로 구성해도 된다. 이러한 판형체 반송 장치를 다음에 설명한다. 또한, 상기 실시예와 동일하게 구성된 것에 대해서는 상기 실시예와 동일한 도면부호를 부여하여 설명을 생략한다.

도 10 및 도 11에 도시되듯이, 판형체 반송 장치(H)는, 판형체 세로 방향 반송 유닛(33)을, 유리 기판(2)의 반송 방향으로 늘어 세워 사용하는 것이다. 그리고, 판형체 세로 방향 반송 유닛(33)의 각각은, 세로 방향 자세에 가까운 자세로 반송되는 유리 기판(2)의 하면(2a)으로 향해 청정 공기를 공급하여, 유리 기판(2)을 비접촉 자세로 유지하는 세로방향 자세에 가까운 자세로 구비된 송풍식 지지수단(3)과, 유리 기판(2)의 양단부(2b)의 일단측을 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 구동 회전체로서의 타이밍 벨트(34)를 구비한다. 판형체 반송 장치(H)는, 또한 유리 기판(2)에 대하여 반송방향으로의 추진력을 세로방향 자세용 추진력 부여 수단(35)을 구비한다.

도 10에 도시되듯이, 세로방향 자세용 추진력 부여 수단(35)은, 하류측에 위치하여 40에 의해 회전하는 구동륜(36)(驅動輪)과, 상류측에 위치하는 회전 가능한 종동륜(37)과, 이러한 구동륜(36)과 종동륜(37)에 걸쳐 권취(卷取)된 상기 타이밍 벨트(34)와, 타이밍 벨트(34)에서 이송되는 경로부분을 내주면측으로부터 지지하는 내부 지지륜(38)과, 타이밍 벨트(34)에서 돌아오는 경로부분을 외주면측으로부터 지지하는 외부 지지륜(39)에 의해 구성된다.

따라서, 유리 기판(2)은, 세로방향 자세용 추진력 부여 수단(35)에 있는 타 이밍 벨트(34)의 외주면에서 한 단부(2d)가 접촉 상태로 지지되고, 추진력 부여 수단(4)의 청정 공기로 중간부(2c)가 비접촉 상태로 지지되어 회전 구동되는 세로 방향 자세용 추진력 부여 수단(35)에 의해 추진력이 부여됨으로써 반송 방향에 따라 반송된다.

이 제2 실시예에서도, 제1 실시예와 동일하게, 송풍식 지지수단(3)과 유리 기판(2)의 반송 경로를 수납하는 반송 공간을, 대략 밀폐 상태로 덮는 케이스를 구비하여도 된다.

(제3 실시예)

다음에, 본 발명에 따른 다른 실시예를 설명한다. 이 설명에서, 상술한 실시예와 동일한 부분에 관해서는 동일한 도면부호를 이용하여 설명은 반복하지 않는다.

도 17 및 도 20에 도시되듯이, 판형체 반송 장치(H)에는, 상기 송풍식 지지수단(3)에 의해 지지되는 설정 높이보다 하강된 유리 기판(2)을 송풍식 지지수단(3)의 상면, 즉, 다공체(11)의 상면보다 위쪽에서 지지하는 접촉식의 지지수단이 구비된다. 그리고, 접촉식의 지지수단이 반송 방향 및 횡폭 방향으로 분산 배치된 다수의 지지체(17)에 의해 구성된다. 보충설명을 하면, 다공체(11)의 각각에는, 수지재로 구성된 다수의 지지체(17)가 다공체(11)에 방송 방향 및 횡폭 방향으로 분산 배치되고, 그 지지체(17)는, 도 21에 도시되듯이, 그 기부(17b)를 통기공(11a)에 삽입함으로써 다공체(11)에 지지되고, 지지체(17)에서의 반구체의 선단부(17a)가 다공체(11)의 상면으로 돌출한다.

따라서, 도 22의 A에 도시된 바와 같은 유리 기판(2)이 송풍식 지지수단(3)에 의해 설정 높이로 지지되는 상태로부터 하강한 경우에도, 도 22의 B에 도시되듯이, 그 하강하는 유리 기판(2)을 송풍식 지지수단(3)의 상면보다 위에서 지지체(17)로 지지할 수 있다.

또한, 도 20 및 도 21에 도시하듯이, 반송 방향 및 팬 필터 유닛(14) 중 중앙에 위치하는 2개의 팬 필터 유닛(14)에 구비된 다공체(11)의 각각에는, 횡폭 방향에 따라 오목부(11b)가 형성되고, 그 오목부(11b)에 유리 기판(2)의 정전기를 제거하는 이온화 장치(19)가 설치된다.

또한, 제어 수단(E)은, 운전 절환 스위치(S)로부터 운전 개시가 지령된 상태에서는, 상기 회전 속도 센서(RS)의 검출정보에 기초하여, 송풍 팬(13)의 회전속도가 설정속도 이하가 되면 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시키도록 구성된다.

즉, 상기 설정 속도가, 이 속도 이하로 송풍 팬(13)이 회전하여도 유리 기판(2)의 하면에 충분한 청정공기를 공급할 수 없어, 유리 기판(2)에 대한 지지력이 약하게 되어 유리 기판(2)이 접촉식의 지지체(17)로 지지되는 가능성이 있는 속도로 설정되고, 송풍식 지지수단(3)의 회전속도가 상기와 같이 설정 속도 이하로 되면 추진력 부여수단의 작동을 정지시킴에 의해, 유리 기판(2)이 접촉식의 지지수단으로 지지된 상태에서는 유리 기판(2)이 반송되지 않게 구성된다.

운전 절환 스위치(S)로부터 운전 개시 또는 반송 정지가 지령된 상태에서, 회전 속도 센서(RS)의 검출정보에 기초하여, 송풍 팬(13)의 회전속도가 설정속도 이하로 되면 경보 램프(K)(도 9)를 점등시키고, 송풍 팬(13)의 회전속도의 저하에 의해 유리 기판(2)의 반송이 정지된 것을 주위의 작업자에게 알리도록 구성된다.

(또 다른 실시예)

(1) 상기 제1 실시예에서는, 차폐부를 다공체와 부 필터와 다공 지지체로 구성하였지만, 차폐부를 다공체와 부 필터만으로 구성하고, 부 필터는 다공체에 접착제로 점착하는 등에 의해 지지시켜도 된다. 또한, 도 12에 도시하듯이, 차폐부(6)를 다공체(11)만으로 구성하여, 비교적 큰 이물질만의 낙하를 방지하도록 구성하여도 된다.

(2) 상기 실시예에서는, 다공체와 다공 지지체 사이의 부 필터를 개재하여, 차폐부를 구성하였지만, 다공체와 다공지지체의 사이에 통기공 또는 통풍공에 대응하여 부 필터를 부분적으로 개재시켜 차폐부를 구성하고, 부 필터를 부분적으로 개재시킴으로써 부 필터의 양을 적게 하여, 차폐부를 값싸게 제조할 수 있도록 구성하여도 된다. 즉, 부 필터를 하기의 [a], [b] 및 [c]와 같이 구성하여도 된다.

[a] 도 13의 A 및 B에 도시되듯이, 다공체(11)의 통기공(11a) 중 하나와 다공 지지체(44)의 통풍공(44a) 중 하나를 폐쇄하도록 구비한 다수의 필터편(46)으로 부 필터를 구성하여도 된다.

[b] 도 14의 A, B 및 C에 도시되듯이, 다공체(11)의 통기공(11a) 중 하나와 다공 지지체(44)의 통풍공(44a) 중 하나를 폐쇄하도록 구비한 다수의 돌기 부착 필터편(47)으로 부 필터를 구성하여도 되고, 돌기 부착 필터편(47)에 형성된 돌기부(47a)를 다공체(11)의 통기공(11a)에 삽입함으로써, 부 필터(43)의 횡방향에서의 위치 어긋남을 규제할 수 있다.

[c] 도 15의 A 및 B에 도시되듯이, 다공체(11)의 통기공(11a)을 다공 지지체(44) 측이 넓은 형상으로 형성하고, 그 통기공(11a) 각각에 설치된 다수의 필터편(48)으로 부 필터를 구성하고, 다공체(11)를 다공 지지체(44)에 밀착 상태로 구비하여, 차폐부를 박판형으로 구성하여도 된다.

그리고, [b], [c]와 같이 돌기 부착 필터편(47) 또는 삽입 필터편(48)의 상면과 다공체(11)의 상면을 하나의 면으로 함으로써, 통기공(11a)에 먼지가 퇴적하는 것도 방지할 수 있다.

또한, 상기 [a], [b] 및 [c]와 같이 다공체와 다공 지지체의 사이에 통기공 또는 통기공에 대응시켜 부 필터를 부분적으로 개재시키는 경우에도, 상술한 바와 같이, 필터편 또는 돌기 부착 필터편 또는 삽입 필터편의 각각을 다공체에 접착제로 점착시키는 등에 의해 지지하고, 차폐부를 다공체와 부 필터로 구성하여, 다공 지지체를 생략하는 구성으로 하여도 된다. 즉, 상기 [b]를 예로 설명하면, 도 16에 도시하듯이, 돌기 부착 필터편(47)을 다공체(11)에 접착제로 점착하는 등에 의해 지지하고, 차폐부(6)를 다공체(11)와 다수의 돌기 부착 필터편(47)(부 필터)로 구성하고, 다공 지지체를 생략하는 구성으로 하여도 된다. 그리고, 돌기 부착 필터편 또는 삽입 필터편은 다공체의 통기공에 삽입하는 형태이기 때문에, 삽입 위치에서도 점착함으로써 더욱 강고하게 점착할 수 있다.

(3) 상기 제1 및 제3 실시예의 추진력 부여 수단(4)을, 도 23 및 도 24에 도시하듯이, 전동식 모터(55)와, 이 전동식 모터(55)로 회전구동하는 구동륜(56)과, 상기 구동 롤러와 회전축(57)으로 연동 연결된 종동륜(58)과, 구동륜(56)으로부터 의 동력을 종동륜(58)으로 전달하는 구동 전달 벨트(59)와, 이 구동 전달 벨트(59)의 내주측 및 외주측에 접촉하는 유성 전동륜(60)을 구비하여 구성하는 것도 가능하다. 그리고, 전동식 모터(55), 구동륜(56), 종동륜(58), 구동 전달 벨트(59) 및 유성 전동륜(60)을 상기 수납 공간(B) 내에 설치하고, 상기 회전축(57)을, 수납 공간(B)측 및 반송 공간(A)측으로 각각 돌출시키는 상태로 상기 내주벽(8a)에 회전 가능하게 지지하고, 회전축(57)의 수납 공간(B)으로 돌출하는 부분에 종동륜(58)을 구비하고, 회전축(57)의 반송 공간(A)로 돌출하는 부분에 상기 구동 롤러(9)를 구비할 수 있다.

(4) 상기 제3 실시예에서는, 각각의 지지체(17)와 다공체(11)를 별개로 구성하였지만, 도 25에 도시되듯이, 다공체(11)에 일체로 형성한 구형 또는 그것에 가까운 형상의 다수의 돌기부(41)를, 반송 방향 및 횡폭 방향으로 분산 배치하여, 그 다수의 돌기부(41)에 상기 접촉식의 지지체(17)를 구성하여도 된다. 또한, 도 26의 A 및 B에 도시하듯이 반송 방향에서 회전 가능한 다수의 회전 롤러(42)를, 반송 방향 및 횡폭 방향으로 분산 배치하여, 이 다수의 회전 롤러(42)로 상기 접촉식의 지지체(17)를 구성하여도 된다.

또한, 도 27의 A에 도시하듯이, 다공체(11)를, 상기 먼지 제거 필터(12)를 통한 청정 공기를 유동시키는 다공체(11)와 다공 지지체(44) 및, 다공체(11)와 다공 지지체(44) 사이에 끼어 다공체(11)에 형성된 통기공(11a) 및 다공 지지체(44)에 형성된 통풍공(44a)을 막는 다수의 필터(60)를 구비하여 구성하고, 필터(60)를 다공체(11)의 상단보다 돌출시키며, 다공체(11)의 상단보다 돌출한 다수의 필터 (60)의 선단부(60a)로 상기 접촉식의 지지체(17)를 구성하여도 된다.

즉, 필터(60)는, 도 27의 A 및 B에 도시되듯이, 상기 다공체(11)의 통기공(11a)에 삽입되는 돌기부를 구비하여 구성되고, 그 돌기부에서 다공체(11)의 상면으로부터 돌출하는 선단부(60a)가 볼록 형상으로 형성되고, 이 선단부(60a)에 의해 하강하는 유리 기판(2)를 송풍식 지지수단(3)의 상면보다 위쪽에서 지지할 수 있다.

또한, 필터(60)로서는, 도 27의 C에 도시하듯이 선단부(60a)를 평탄하게 형성한 것, 또는 도 27의 D에 도시하듯이 돌기부의 일부를 돌출시켜 선단부(60a)를 형성한 것도 좋다. 또한, 예로서 도 27의 C 내지 E에 도시하듯이, 상기 도 27의 A, C 및 D의 각각의 필터(60)를, 판형의 필터재를 성형함으로써 형성하여도 된다.

(5) 다공체(11)를, 예로서 6개의 팬 필터 유닛(14)을 덮도록 구성하여도 된다.

(6) 상기 제3 실시예에서는, 경보수단으로서 경보 램프(K)를 구비하여 그 경보 램프(K)를 점등시켰지만, 경보 부저를 구비하여 그 경보 부저를 작동시켜 경보음을 발생시켜도 되고, 또한, 경보 램프와 경보 부저 둘 다 구비하여도 된다.

(7) 또한, 송풍식 지지수단을, 송풍 유닛을, 상기 반송 방향과 상기 횡폭 방향에 늘어세워 구성하고, 회폭 방향으로 늘어선 송풍 유닛끼리 사이를 띄우거나, 반송 방향으로 늘어선 송풍 유닛끼리 사이를 띄우거나 하여, 상기 판형체의 하면에 공급되는 청정 공기를 아래로 배기시키는 통기로를 형성하도록 구성하여도 된다. 더욱이, 챔버를, 송풍 유닛 단위로 구획 형성하도록, 상기 실시예에서는 반송 방향 에 3개로 구획 형성하거나, 송풍 수단 단위로 구획 형성하도록, 상기 실시예에서는 횡폭 방향으로도 2개로 구획 형성하여, 합계 6개로 구획 형성하거나 하여도 된다. 그리고, 상기와 같이 통기로를 형성한 경우에는, 그 통기로 상에, 다공체, 부 필터, 다공 지지체 중 어느 것도 위치하지 않도록 차폐부를 분할 구성하거나, 통기로 상에 다공체만 위치시켜, 부 필터, 다공 지지체는 위치하지 않도록 차폐부를 구성하거나 하여도 된다.

(8) 상기 실시예에서는, 먼지 제거 필터와 송풍수단을 일체로 형성한 송풍 팬을 예시하였지만, 반드시 먼지 제거 필터와 송풍수단을 일체로 형성할 필요는 없고, 예로서, 송풍수단에 의해 송풍되는 공기를 먼지 제거 필터로 안내하는 안내로 등을 설치하여, 먼지 제거 필터와 송풍수단을 별개로 구성하여 실시하는 것도 가능하다.

(9) 상기 실시예에서는, 판형체로서, 액정용의 유리 기판으로 하였지만, 반도체의 웨이퍼 등이라도 되고, 지지되는 물체의 형상 및 크기는 실시예에 한정되지 않는다.

본 발명의 판형체 반송 장치는 판형체의 하면에 공급되는 청정 공기의 펄스를 억제하여 판형체에 대한 부하를 경감시켜, 판형체의 파손을 억제할 수 있다.

Claims (14)

1. 반송되는 판형체의 하면으로 향해 청정 공기를 공급하여, 상기 판형체를 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지수단이 구비된 판형체 반송 장치에 있어서,

   상기 송풍식 지지수단이, 먼지를 제거하는 먼지 제거 필터와, 상기 먼지 제거 필터를 통하여 상기 판형체의 하면으로 향해 청정 공기를 공급하는 송풍수단으로서의 전동식의 송풍 팬과, 상기 먼지 제거 필터를 통과한 청정 공기를 통과시키고, 상기 먼지 제거 필터 측으로의 이물질의 낙하를 저지하도록 차폐하는 차폐부를 구비하며,

   상기 차폐부가 상기 먼지 제거 필터와의 사이에 상기 청정 공기가 잔류하는 챔버를 형성하고,

   상기 송풍식 지지수단이, 상기 먼지 제거 필터와 상기 송풍 팬을 상기 먼지 제거 필터가 상기 송풍 팬의 상방을 덮는 형태로 일체로 장착된 송풍 유닛을 반송 방향으로 늘어 세워 구성되고,

   상기 판형체를 접촉 지지하면서 상기 판형체에 대하여 상기 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비하고 있는,

   판형체 반송 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 차폐부가 상기 먼지 제거 필터를 통과한 청정 공기를 통과시키는 다공체로 구성된, 판형체 반송 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 차폐부가 상기 먼지 제거 필터를 통과한 청정 공기를 통과시키는 다공체와, 상기 다공체보다 상기 먼지 제거 필터측에 위치하는 부 필터를 구비한, 판형체 반송 장치.
4. 제3항에 있어서,

   상기 차폐부가, 상기 부 필터보다 상기 먼지 제거 필터측에 위치하여 상기 부 필터를 지지하는 다공 지지체를 구비한, 판형체 반송 장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 추진력 부여 수단이, 수평 또는 대략 수평 상태의 상기 판형체의 양단부를 접촉 지지하면서 추진력을 부여하는 구동 회전체를 구비하여 구성되어 있고,

   상기 송풍식 지지수단이, 상기 판형체의 양단부 사이의 부분을 지지하도록 구성된, 판형체 반송 장치.
6. 제1항에 있어서,

   상기 차폐부와 상기 먼지 제거 필터 사이의 간격인 상기 챔버의 높이가 1cm 이상인, 판형체 반송 장치.
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