KR20010050424A

KR20010050424A - 판상부재의 반송장치

Info

Publication number: KR20010050424A
Application number: KR1020000053776A
Authority: KR
Inventors: 데쓰조 나가타; 고지후지노
Original assignee: 이동헌; 시노하라 오사무; 데쓰조 나가타; 다이이치 인스티튜션 인더스트리 컴퍼니, 리미티드
Priority date: 1999-09-10
Filing date: 2000-09-09
Publication date: 2001-06-15
Also published as: KR100422392B1; JP2001085496A

Abstract

본 발명은 판상부재에 먼지나 상처를 발생시키지 않고, 반송하면서 세정을 행하는 것이 가능한 생산성이 높은 판상부재의 반송장치를 제공하고자 하는 것이다. 압력유체를 송입하는 본체의 상부에 평면부를 가지는 다공재를 취부하고, 다공질체를 통하여 압력유체가 분출되도록 함과 동시에 반송되는 판상부재의 양면을 구동하는 롤러를 설치하였다.

Description

판상부재의 반송장치{CONVEYOR FOR PLATE-SHAPED MEMBERS}

본 발명은 예를 들어 반도체 웨이퍼(Wafer)나 액정표시장치의 유리 패널(Glass Panel) 등의 세정에 사용하는 판상부재의 반송장치에 관한 것이다.

종래의 반도체 웨이퍼나 액정표시장치의 유리 패널 등의 제조공정에 있어서 사용되는 판상부재의 반송장치는 예를 들면 일본 특허출원공개 평성 10년 제158866호 공보에 기재된 바와 같이 유리 패널을 반송장치에서 지지하면서 세정수를 뿌려주어 세정하도록 하고 있다.

반도체 웨이퍼나 액정표시장치의 유리 패널 등의 판상부재는 아주 작은 먼지가 부착되더라도 중대한 불량이 되는 바, 상기와 같은 종래의 판상부재의 반송장치는 유리 패널을 롤러 컨베이어(Roller Conveyor)로 반송하고 있기 때문에 롤러 컨베이어의 표면에 먼지가 부착되어 있으면 그 먼지가 유리 패널의 표면에 부착할 가능성이 있다.

또한 롤러 컨베이어에 의해 유리 패널 등이 반송될 경우 유리 패널 등의 끝부분이 하나의 롤러로부터 다음의 롤러에 이동할 때에 충격을 받게 된다. 따라서 유리 패널 등의 반송속도를 어느 정도 이상으로 하는 것이 불가능하다. 이로 인해 생산성을 어느 수준 이상 올리는 것이 곤란하게 된다.

특히 액정표시장치는 정세도가 매년 향상되고 있고 정세도를 올리기 위해서는 유리 패널을 얇게 하지 않으면 안 된다. 그러나 유리 패널을 얇게 하게 되면 충격에 대해 약하게 되어 점점 더 생산성을 올릴 수가 없게 된다.

또한 상기와 같은 종래의 것으로는 유리 패널 등은 한쪽면 밖에 할 세정할 수 없다 그러므로 양면을 세정하기 위해서는 유리 패널 등을 반전시킬 필요가 있다. 최근의 액정표시장치의 유리 패널의 두께는 0.7㎜이고 길이 800㎜, 폭 1100㎜인 것이 많이 사용되고 있다.

이와 같이 얇고 넓은 유리 패널은 양단을 파지하고 들어올리면 중심부분의 처짐으로 인해 40㎜ 정도가 밑으로 처진다. 따라서 이와 같은 유리 패널을 반전키는 작용은 쉽지 않고 반전에 복잡한 장치가 필요하게 된다.

또한 최근의 액정 패널은 유리기판의 단부 부근까지 회로가 구성되어 있어 파지할 수 있는 부분이 극히 작아지고 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하는 것으로서, 판상부재에 먼지나 손상을 발생시키지 않고 생산성이 높은 판상부재의 반송장치를 제공하려는 것이다.

도 1은 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례 1을 나타내는 평면도이다.

도 2는 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례 1을 나타내는 정면도이다.

도 3은 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례 2를 나타내는 평면도이다.

도 4는 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례 3을 나타내는 평면도이다.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

1 : 판상부재 2,3 : 컨베이어(Conveyor)

4,5 : 반송 롤러(Roller) 6 : 판상부재의 양단부

7 : 부상장치 8 : 개체 유닛(Unit)

9 : 본체 10 : 다공재

11 : 세정액 파이프(Pipe) 12 : 세정액층

13 : 폭광개체 유닛

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 판상부재의 반송장치는 압력액체를 송입하는 본체의 상부에 평면부를 가지는 다공재의 평면부가 위를 향하도록 설치하고, 다공재를 통하여 압력액체가 분출되도록 함과 동시에 반송되는 판상부재의 양측을 구동하는 롤러를 설치하였다.

본 발명의 청구항 1에 기재한 발명은 적어도 하나의 평면부를 가지는 다공질체를 설치하고, 압력유체를 송입하는 본체의 상부에 다공재를 평면부가 위를 향하도록 취부하고, 다공재를 통하여 압력유체가 분출되도록 함과 동시에 반송되는 판상부재의 양측을 구동하는 롤러를 설치한 것으로서, 압력액체로 판상부재를 부상시키면서 롤러로 반송시키는 작용을 가진다.

이하, 본 발명의 판상부재의 반송장치의 실시례에 대해 도면에 따라 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 판상부재의 반송장치의 평면도이다. 도 1에 있어서 1은 피반송물인 판상부재이다. 2,3은 컨베이어이며 다수의 반송롤러(4,5)가 설치되어 있다. 그리고 반송롤러(4,5)가 판상부재(1)의 양단부(6)에만 접하도록 컨베이어(2,3)는 한쌍으로 설치되어 있다.

7은 부상장치로서, 물떼새모양으로 다수 배치된 개체유닛(8)으로 된다. 각 개체유닛(8)은 컵모양의 본체(9)와, 그 개구 상단을 막도록 취부된 다공재(10)와, 본체 내부로 세정액을 공급하는 세정액 파이프(11)로 이루어진다. 다공재(10)는 평판상으로 그 주면이 수평으로 되도록 취부된다.

또 다공재(10)로서는 알루미나(Alumina)를 포함하는 다공성 세라믹(Ceramics) 소결체로 이루어진다. 이 소결체는 산화되는 일이 없고, 수명이 아주 길어 소결조건의 설정에 따라 구멍의 직경과 분포를 조정할 수가 있다. 다공재(10)는 이것 외에 실리카, 티탄, 마그네시아, 카시아, 이토니아를 포함한 재료라도 무방하다.

이것 이외에 다공재(10)로서 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 올레핀계 수지, 불화에틸렌 등의 합성수지의 다공질체를 사용할 수도 있다. 이들의 합성수지는 화학적으로 안정되어 있고, 산이나 알카리에 대한 내약품성이 높다.

세정액으로서는 세정조건에 맞추어 순수, 초순수, 수소수, 오존수와 같은 기능수, 알카리 또는 산의 용액 또는 에타놀 등의 유기세정액을 사용할 수도 있다. 또한 세정액은 세정액 탱크(도시되지 않음)로부터 펌프(도시되지 않음)에 의해 세정액 파이프(11)로 압송된다.

본 발명의 세정장치는 이상과 같이 구성되며, 이하 그 작동에 대해 설명한다.

우선, 세정액 파이프(11)로부터 세정액을 공급하면, 본체(9) 내부에 세정액이 가득 차게 되고, 이어서 다공재(10)를 세정액이 통과하여 다공재(10)의 상면으로부터 분출된다.

이때에 다공재(10)의 위에 판상부재(1)가 위치되어 있으면 다공재(10)와 판상부재(1)와의 사이에 세정액층(12)이 형성된다. 즉 판상부재(1)가 세정액층(12)의 위에 떠있는 상태가 된다.

따라서 판상부재(1)는 무접촉 상태로 다공성 세라믹재(2)의 위에 부유하여 극히 마찰이 적은 상태로 된다. 또한 이 상태에서 판상부재(1)의 양단부에 반송롤러(4,5)가 접촉하도록 하면 반송롤러(4,5)의 회전구동력으로 판상부재(1)는 수평으로 이동한다. 반송롤러(4,5)의 회전을 정지하면 판상부재의 이동도 정지한다.

이 판상부재(1)는 부상 상태에서는 마찰이 극히 적기 때문에 판상부재(1)는 롤러(4,5)에 가볍게 접촉하는 상태만으로도 충분한 반송력을 얻을 수가 있다. 그리고 판상부재(1)가 반송롤러(4,5)에 가볍게 접촉하는 상태이기 때문에 접촉에 의해 먼지가 발생하는 일이 없다.

판상부재(1)는 부상 상태에서는 세정액에 의해 세정되기 때문에 판상부재(1)의 이면에 부착된 먼지나 오염은 세정액에 의해 씻겨져 흘러나간다. 그리고 개체유닛(8)은 물떼새 모양으로 다수 배치되어 있으나, 개체유닛(8)의 위를 통과하는 판상부재(1)의 이면이 빈공간 없이 세정되도록 한 간격으로 배치되어 있다.

이상의 실시례에서는 판상부재(1)의 이면밖에 세정액에 의해 씻을 수가 없으나, 판상부재(1)의 표면에 대해서 세정액을 뿌려줄 수 있도록 판상부재(1)의 표면에 대향하는 세정액 스프레이(도시하지 않음)를 설치하여 판상부재(1)의 표면에 세정액을 뿌려줄 수 있도록 하면 판상부재(1)의 표면에도 세정액이 흘러나가게 되므로 판상부재(1)의 양면이 동시에 세정될 수 있다.

이상의 실시례에서는 개체유닛(8)의 배치가 물떼새 모양이었으나, 이외에 실시례 2를 나타내는 도 3과 같이 판상부재(1)의 폭과 거의 동일한 폭광개체유닛(13)을 설치하여도 좋다. 이 경우 세정액의 분출압력이 낮아지더라도 세정액은 판상부재(1)의 이면, 전면을 세정할 수가 있다.

또한 실시례 3을 나타내는 도 4와 같이 개체유닛(8)을 계단상으로 배치하여 각 계단상에 배치된 개체유닛(8)군을 서로 비켜서 배치하고, 또한 각 계단상으로 배치된 개체유닛(8)은 판상부재(1)의 이동방향에 대해 겹쳐지도록 하는 것에 의해 판상부재(1)는 이동에 의해 그 뒷면은 전체면에 걸쳐서 세정된다.

본 발명의 판상부재의 반송장치는 상기와 같이 구성된 것으로서, 무접촉 상태에서 판상부재를 들어올려 적은 힘으로 반송하는 것이 가능하고, 먼지나 상처를 발생시키지 않고, 생산성이 높은 판상부재의 세정장치를 제공할 수 있도록 한 것이다.

또한 본 발명의 판상부재의 세정장치는 판상부재를 부상시키는 액체를 세정액으로 사용하는 것으로 판상부재를 반송시키면서 세정하는 것이 가능하다. 또한 세정액을 양면으로부터 뿌려주도록 하는 것으로서 양면을 동시에 세정하는 것도 가능하다.

Claims

적어도 하나의 평면부를 가지는 다공재를 가지고, 압력액체가 송입되는 본체의 상부에 상기 다공재를 상기 평면부가 위로 향하도록 취부하며, 상기 다공재를 통하여 압력액체를 분출시킬 수 있도록 함과 동시에 이송되는 판상부재의 양측을 구동하는 롤러를 설치한 것을 특징으로 하는 판상부재의 반송장치.
제1항에 있어서, 상기 압력유체가 세정액인 것을 특징으로 하는 판상부재의 반송장치.
제2항에 있어서, 상기 세정액을 위로부터도 뿌려주도록 한 것을 특징으로 하는 판상부재의 반송장치.