KR101530978B1

KR101530978B1 - 비접촉 반송 장치

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Publication number: KR101530978B1
Application number: KR1020107018944A
Authority: KR
Inventors: 히데오 오자와; 코이치 츠노다; 히카루 사토; 히토시 이와사카; 히데유키 토쿠나가; 유지 카사이
Original assignee: 오일레스고교 가부시키가이샤; 가부시키가이샤 하모테크
Priority date: 2008-03-24
Filing date: 2009-03-17
Publication date: 2015-06-24
Also published as: JP5237357B2; JPWO2009119377A1; KR20100134566A; CN101977831A; WO2009119377A1; CN101977831B

Abstract

유체 유량 및 에너지 소비량이 적고, 부상 높이 정밀도를 높게 유지할 수 있는 비접촉 반송 장치를 제공한다.
표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통구멍(1)을 갖는 링 형상 부재의 이면에 유체 분출구(1d)를 구비하고, 유체 분출구로부터 유체를 분출함으로써, 링 형상 부재의 표면측에 표면으로부터 떨어지는 방향으로 향하는 선회류를 생기게 함과 아울러, 링 형상 부재의 표면측의 관통구멍의 개구부 근방에 이면방향으로의 유체 흐름을 생기게 하는 선회류 형성체를 기체(2)의 반송면에 2개 이상 구비하는 비접촉 반송 장치(40). 유체 분출구로부터 유체를 분출시켜 피반송물을 부상시키기 때문에, 적은 유체 유량으로의 반송이 가능하게 된다. 링 형상 부재 표면측의 관통구멍의 개구부 근방에 이면방향으로의 유체 흐름을 생기게 함으로써 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 얻을 수 있다. 기체의 반송면 상의 선회류 형성체의 주변에 유체 취출용 다공질 파레트를 설치하고, 피반송물의 부상량을 따라 고정밀도로 제어할 수 있다.

Description

비접촉 반송 장치{NON-CONTACT CARRIER DEVICE}

본 발명은 비접촉 반송 장치에 관한 것으로, 특히, 대형의 FPD 패널이나 태양전지 패널 등의 생산에 사용되는 레일 형상의 비접촉 반송 장치에 관한 것이다.

종래, FPD 패널이나 태양전지 패널의 생산시에, 1장의 패널을 대형화함으로써 생산효율을 높이는 방법이 채용되고 있다. 예를 들면, 액정 유리의 경우에는, 제10세대에서 2850×3050×0.7mm의 크기가 된다. 그 때문에 종래와 같이, 복수개 줄지어진 롤러 위에 액정 패널을 태우고 굴러 반송하면, 샤프트의 휨이나 롤러 높이의 편차에 의해 유리에 국부적으로 강한 힘이 작용하여, 유리를 상처입힐 우려가 있다. 또한, 프로세스 공정에서는 비접촉인 것이 요구되고 있기 때문에, 공기부상 반송이 채용되기 시작되고 있다.

공기부상 반송 장치의 일례로서, 액정용의 유리를 부상시킬 때, 작은 직경의 구멍을 복수개 설치하고, 이들 작은 직경의 구멍으로부터 공기가 분출하는 판 형상의 레일을 유리의 크기에 맞추어 복수개 서로 연결하여 반송 장치를 구성하는 것이 행해지고 있다. 또, 다공질 카본을 레일재로 사용하여, 그 기공으로부터 공기를 분출시키는 방법도 존재한다.

상기 어느 방법에서도, 1000×1000mm의 면적당의 공기 유량은 다수 구멍 타입에서 250L/min, 카본 다공질 타입에서 150L/min으로 극히 많은 공기 유량을 필요로 한다. 또, 종래의 비접촉 반송 장치는, 부상 높이 정밀도를 유지하기 위하여, 진공흡착과 공기의 분출의 힘의 균형 원리를 이용하고 있다. 그 때문에 진공흡착용으로 항상 펌프를 운전할 필요가 있어, 엄청난 에너지를 필요로 한다.

그래서, 본 발명은, 상기 종래의 비접촉 반송 장치에서의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 공기 유량 및 에너지 소비량이 적고, 부상 높이 정밀도를 높게 유지할 수 있는 비접촉 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 비접촉 반송 장치로서, 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통구멍을 갖는 링 형상 부재의 이면에, 유체 분출구를 구비하고, 이 유체 분출구로부터 유체를 분출함으로써, 이 링 형상 부재의 표면측에 이 표면으로부터 떨어지는 방향을 향하는 선회류를 생기게 함과 아울러, 이 링 형상 부재의 표면측의 상기 관통구멍의 개구부 근방에 상기 이면방향으로의 유체 흐름을 생기게 하는 선회류 형성체를 기체(基體)의 반송면에 2개 이상 구비하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 본 발명에 의하면, 유체 분출구로부터 유체를 분출시키고, 링 형상 부재의 표면측에, 이 표면으로부터 떨어지는 방향으로의 유체 흐름 및 선회류를 발생시켜 피반송물을 부상시키기 때문에, 종래의 1/2 정도인 100L/min 정도의 적은 유체유량으로의 반송이 가능하게 된다. 또, 유체 분출구로부터 유체를 분출함으로써, 링 형상 부재 표면측의 관통구멍의 개구부 근방에 이면방향으로의 유체 흐름을 생기게 함으로써 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 얻을 수 있기 때문에, 진공흡착용의 펌프가 불필요하게 되어, 에너지 소비량도 낮게 억제할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 선회류 형성체를, 상기 이면에 상기 유체 분출구에 연통하는 평면으로 보아 원형의 홈부를 구비하도록, 상기 기체를 상기 반송면에 상기 홈부에 연통하는 유체 공급구멍을 구비하고, 이 유체 공급구멍을 통하여 상기 홈부에 유체가 공급되도록 구성할 수 있다. 이것에 의해 기체의 반송면에는 유체 공급구멍을 뚫어 설치하는 것만으로 되기 때문에, 기체를 간단한 구성으로 할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 기체를 상기 반송면에 평면으로 보아 원형의 홈부를 구비하도록, 상기 선회류 형성체를 상기 홈부 및 상기 유체 분출구에 연통하는 유체 통로를 구비하도록 구성하고, 상기 홈부를 통하여 상기 유체 공급구멍으로 유체를 공급할 수 있다. 이것에 의해, 선회류 형성체의 이면에는, 유체 분출구 및 유체 통로를 형성하는 것만으로 되기 때문에, 선회류 형성체를 간단한 구성으로 할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 선회류 형성체를 상기 기체의 반송면에 형성한 오목부에 수용할 수 있다. 이 구성에 의해, 선회류 형성체로부터 흘러 퍼지는 면이 복수의 선회류 형성체와 면일치 되어, 피반송물을 부상시키는 기준면이 기체의 반송면으로 되기 때문에, 피반송물의 부상 높이를 고정밀도로 제어할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 기체의 반송면에 형성한 오목부에 상기 선회류 형성체를 수용하고, 이 선회류 형성체의 외주면을 상기 오목부의 주위에 돌출 설치한 융기부에 의해 코킹 접합할 수 있다. 이것에 의해, 접착제를 사용하지 않고, 선회류 형성체와 기체 사이의 기밀상태도 유지하면서 용이하게 선회류 형성체를 기체에 장착할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 기체의 반송면에 형성되어 인접하는 오목부 사이를 칸막이하고, 이 기체의 측면에 개구하는 유체압 가장자리 절결홈을 구비할 수 있다. 이 유체압 가장자리 절결홈을 통하여 유체를 빠져나가게 함으로써, 피반송물의 중앙부에 선회류 형성체로부터 분출한 유체가 고여 중앙부가 부풀어 오르는 것을 방지할 수 있고, 대형의 피반송물이어도, 전체에 걸쳐 부상 높이를 고정밀도로 제어할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 선회류 형성체를, 상기 기체에 2열에 걸쳐 각 열에 복수개 배치하고, 일방의 열에 속하는 선회류 형성체의 각각의 선회류의 방향과, 타방의 열에 속하는 선회류 형성체의 각각의 선회류의 방향을 서로 상이하도록 구성할 수 있다. 이 구성에 의해, 인접하는 열의 이웃하는 선회류 형성체로부터의 선회류가 증강되어, 선회류 형성체로부터 분출하는 유체에 의해 피반송물을 부상시키면서 반송할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 기체에, 상기 선회류 형성체의 주변에 유체 취출(吹出)용 다공질 파레트를 설치할 수 있고, 다공질 파레트로부터의 유체의 취출에 의해, 피반송물의 부상량을 보다 고정밀도로 제어할 수 있어, 프로세스 공정에 용이하게 대응할 수 있다.

상기 비접촉 반송 장치에 있어서, 상기 기체의 반송면을, 수평면에 대하여 경사진 면, 또는 수평면에 대하여 평행 또한 지면에 서로 대향하는 면으로 할 수 있어, 비접촉 반송 장치의 설치 면적을 저감하거나, 여러 제조공정에 용이하게 대응할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 유체유량 및 에너지 소비량이 적고, 부상 높이 정밀도를 높게 유지할 수 있는 비접촉 반송 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치에 사용되는 선회류 형성체의 제 1 실시형태를 도시하는 도면으로, (a)는 평면도, (b)는 (a)의 A-A선 단면도, (c)는 하면도, (d)는 (c)의 B-B선 단면도, (e)는 선회류 형성체의 이면을 (c)에 도시하는 선회류 형성체의 이면과 대칭이 되도록 형성한 경우를 도시하는 하면도이다.
도 2는 도 1의 선회류 형성체를 기체에 접착제에 의해 고정한 상태를 도시하는 도면으로, (a)는 정면 단면도, (b)는 (a)의 C-C선 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치에 사용되는 선회류 형성체의 제 2 실시형태를 도시하는 도면으로, (a)는 평면도, (b)는 (a)의 A-A선 단면도, (c)는 하면도, (d)는 (c)의 B-B선 단면도, (e)는 선회류 형성체의 이면을 (c)에 나타내는 선회류 형성체의 이면과 대칭이 되도록 형성한 경우를 도시하는 하면도이다.
도 4는 도 3의 선회류 형성체를 기체의 오목부에 코킹 접합한 상태를 도시하는 도면으로, (a)는 정면 단면도, (b)는 (a)의 D-D선 단면도이다.
도 5는 도 3의 선회류 형성체를 기체의 오목부에 코킹 접합하는 요령을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 1 실시형태를 도시하는 평면도이다.
도 7은 도 6의 비접촉 반송 장치를 구성하는 반송 레일을 도시하는 도면으로, 선회류 형성체의 선회류가 서로 상이한 것을 상하 좌우로 번갈아 배치한 경우를 나타낸다.
도 8은 도 4에 도시하는 선회류 형성체를 다수 기체 상에 배치하여 비접촉 반송 장치를 구성한 경우를 도시하는 도면으로, (a)는 공기압 가장자리 절결홈을 설치하지 않은 경우, (b)는 공기압 가장자리 절결홈을 설치한 경우를 나타낸다.
도 9는 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 2 실시형태를 도시하는 평면도로, (a)는 프로세스 공정용 비접촉 반송 장치의 일부를, (b)는 반송 공정을 포함한 비접촉 반송 장치의 전체를 나타낸다.

다음에 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.

또한, 이하의 설명에서는, 반송용 유체로서 공기를 사용하고, 피반송물로서 액정용의 유리(3)를 반송하는 경우를 예로 들어 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치에 사용되는 선회류 형성체의 제 1 실시형태를 도시하며, (a)는 평면도, (b)는 (a)의 A-A선 단면도, (c)는 하면도, (d)는 (c)의 B-B선 단면도이다. 또한, 도 1(e)에 관한 설명은 후술한다. 이 선회류 형성체(1)는 표면으로부터 이면으로 관통하는 관통구멍(1a)과, 도 1(c) 및 (d)에 도시하는 바와 같이, 이면에 공기통로로서의 오목부(1b)와, 오목부(1b)로부터의 공기를 공기통로(1c)를 통하여 관통구멍(1a)의 내주면 근방에, 내주면에 대하여 접선방향으로 분출하기 위한 분출구(1d)를 1쌍 구비한다.

도 2는 상기 선회류 형성체(1)의 바닥면을 판 형상으로 형성된 기체(2)에 접착제에 의해 고정한 상태를 도시하고, 후술하는 바와 같이, 복수의 선회류 형성체(1)를 기체(2)에 형성함으로써 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치가 구성된다.

기체(2)는 펌프(도시하지 않음)로부터 공기통로(2a)를 통하여 공기가 공급되는 관통구멍(2b)과, 관통구멍(2b)으로부터의 공기를 선회류 형성체(1)의 이면에 설치된 오목부(1b)(도 1 참조)에 공급하기 위한 평면으로 보아 원형의 환상홈(2c)을 구비한다.

다음에, 도 2에 도시한 선회류 형성체(1)와 기체(2)의 동작에 대하여 설명한다.

펌프로부터 기체(2)의 공기통로(2a)에 공급된 공기는 관통구멍(2b)을 통하여 환상홈(2c)에 공급되고, 환상홈(2c)으로부터 선회류 형성체(1)의 오목부(1b)에 공급되고, 공기통로(1c)를 통하여 분출구(1d)로부터 관통구멍(1a)으로 분출한다. 이것에 의해, 선회류 형성체(1)의 표면측 평판부(1e)의 상방에 상승 선회류를 발생시켜, 이 선회류로 피반송물인 액정용의 유리(3)를 부상시킨다. 또, 분출구(1d)로부터 공기를 분출함으로써, 선회류 형성체(1)의 표면측의 관통구멍(1a)의 개구부 근방에 이면방향으로의 공기 흐름을 생기게 하여, 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 얻을 수 있다.

도 3은, 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치에 사용되는 선회류 형성체의 제 2 실시형태를 도시하고, (a)는 평면도, (b)는 (a)의 D-D선 단면도, (c)는 하면도, (d)는 (c)의 E-E선 단면도이다. 한편, 도 3(e)에 관한 설명은 후술한다. 이 선회류 형성체(21)는 표면으로부터 이면으로 관통하는 관통구멍(21a)과, 도 3(c) 및 (d)에 도시하는 바와 같이 이면에 설치되고, 공기를 받아들이는 환상홈(21b)과, 환상홈(21b)에 고인 공기를 공기통로(21c)를 통하여 관통구멍(21a)의 내주면 근방에, 내주면에 대하여 접선방향으로 분출하기 위한 분출구(21d)로 구성되고, 표면측은 모따기 되어 있다(모따기부 및 21e, 21f).

도 4는 상기 선회류 형성체(21)를 판 형상으로 형성된 기체(22)의 오목부(22c)에 재치한 상태를 도시하고, 후술하는 바와 같이, 복수의 선회류 형성체(21)를 기체(22)에 형성함으로써 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치가 구성된다.

기체(22)는 펌프(도시하지 않음)로부터 공기통로(22a)를 통하여 공급되고, 선회류 형성체(21)의 환상홈(21b)에 공기를 공급하는 공기 공급구멍(22f)을 구비한 관통구멍(22b)과, 선회류 형성체(21)를 부착하기 위한 오목부(22c)와, 오목부(22c)에 부착된 선회류 형성체(21)를 코킹 접합하기 위한 환상 오목부(22d) 및 융기부(22e)를 구비한다.

다음에, 선회류 형성체(21)의 기체(22)로의 부착방법에 대하여, 도 5를 참조하면서 설명한다. 동 도면에 도시하는 바와 같이, 기체(22)의 오목부(22c)에 선회류 형성체(21)를 재치한 후, 지그(24)의 선단부(24a)를 기체(22)의 환상 오목부(22d)에 삽입함으로써, 2점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 융기부(22e)가 선회류 형성체(21)의 모따기부(21e)에 눌려져, 선회류 형성체(21)를 기체(22)에 코킹 접합할 수 있다.

다음에 도 4에 도시한 선회류 형성체(21)와 기체(22)의 동작에 대하여 설명한다.

펌프로부터 기체(22)의 공기통로(22a)에 공급된 공기는 관통구멍(22b)을 통하여 선회류 형성체(21)의 환상홈(21b)에 공급되고, 공기통로(21c)를 통하여 분출구(21d)로부터 분출된다. 이것에 의해, 선회류 형성체(21)의 표면측의 평판부(21g)의 상방에 상승 선회류를 발생시키고, 이 선회류로 피반송물인 유리(3)를 부상시킨다. 또, 분출구(21d)로부터 공기를 분출함으로써, 선회류 형성체(21)의 표면측의 관통구멍(21a)의 개구부 근방에 이면방향으로의 공기 흐름을 생기게 하여, 부상 높이 정밀도를 유지하기 위한 진공흡착과 동등한 효과를 얻을 수 있다.

본 실시형태에서는, 선회류 형성체(21)를 기체(22)에 코킹 접합하고 있기 때문에, 접착제의 도포에 의한 선회류 형성체(21)의 경사를 고려할 필요가 없고, 접착제로 고정하는 경우에 비해, 유리(3)의 부상 높이 정밀도를 향상시킬 수 있다.

다음에 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 1 실시형태에 대하여, 도 6을 참조하면서 설명한다.

이 비접촉 반송 장치(40)는, 유리(3) 등의 반송 공정에 사용되고, 선회류 형성체(31) 및 이 선회류 형성체(31)와는 역방향의 선회류를 일으키는 선회류 형성체(32)를, 기체(33)에 2열에 걸쳐, 도 6의 지면상에서 상하 좌우로 번갈아 복수개 코킹 접합하여 구성한 비접촉 반송 장치(30)를 병렬로 3기 배치하여 구성된다. 또한, 도면을 보기 쉽게 하기 위하여, 선회류 형성체(32)의 표면측의 평판부(32e)를 검게 칠하여 나타냈다.

선회류 형성체(31)에는, 선회류 형성체(1)(도 1 참조)와 선회류 형성체(21)(도 3 참조) 중 어느 하나를 사용한다. 선회류 형성체(1)를 사용하는 경우에는, 기체(33)를 기체(2)(도 2 참조)로 하고, 선회류 형성체(21)를 사용하는 경우에는, 기체(22)(도 4 참조)를 기체(33)로서 사용한다.

선회류 형성체(31)로서 선회류 형성체(1)를 사용한 경우에는, 선회류 형성체(32)는, 그 이면측이, 도 1(e)에 도시하는 바와 같이, 도 1(c)에 도시하는 선회류 형성체(1)와는 대칭이 되도록 형성된다. 이것에 의해, 선회류 형성체(32)는 선회류 형성체(31)가 형성하는 선회류와는 역방향의 선회류를 발생시킬 수 있다. 한편, 선회류 형성체(31)로서 선회류 형성체(21)를 사용한 경우에는, 선회류 형성체(32)는, 그 이면측이, 도 3(e)에 도시하는 바와 같이, 도 3(c)에 도시하는 선회류 형성체(21)와는 대칭이 되도록 형성된다. 또한, 선회류 형성체(32)의 그 밖의 구성요소에 대해서는, 선회류 형성체(1, 21)와 동일하기 때문에 상세한 설명을 생략한다.

다음에, 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치(40)의 동작에 대하여, 도 6을 참조하면서 설명한다.

펌프로부터의 공기가 기체(33)의 관통구멍 등을 통과하고, 선회류 형성체(31, 32)의 공기 분출구로부터 분출된다. 이것에 의해, 선회류 형성체(31, 32)의 표면측의 평판부(31e, 32e)의 상방에 상승 선회류를 발생시키고, 이 선회류로 유리(3)를 부상시킨다.

여기에서, 도 7(a)에 도시하는 바와 같이, 선회류 형성체(31, 32)의 선회류는 서로 역방향이며, 도 7의 지면상에서 상하 좌우로 선회류 형성체(31, 32)를 번갈아 배치했기 때문에, 각각의 선회류 형성체(31, 32)가 형성한 선회류의 수평 분력(화살표로 나타내는 방향으로 힘)이 상쇄된다. 이것에 의해, 선회류에 의해 유리(3)에 부가되는 힘은 부상력 및 흡인력의 2개의 연직성분의 힘만으로 되어, 유리(3)의 회전을 확실하게 방지할 수 있다. 이렇게 하여 부상한 유리(3)는, 도시하지 않은 리니어 모터, 마찰 롤러, 벨트 등에 의해 반송 구동력이 주어져, 도 6에 도시하는 화살표 방향으로 반송된다.

또한, 도 4에 도시하는 바와 같은 선회류 형성체(21)를 다수 기체(22)위에 배치하여 도 8(a)에 도시하는 바와 같은 비접촉 반송 장치(50)를 구성하고(선회류 형성체(21A, 21B)는 각각 기본 구성이 도 4에 도시한 선회류 형성체(21)와 동일하며, 선회방향이 서로 상이한 선회류를 발생하는 것으로 함), 기체(22)에 공기를 공급하면, 선회류 형성체(21(21A, 21B))가 기체(22)의 오목부(22c)에 수용되어 있기 때문에, 기체(33)와 유리(3) 사이에 공기가 잔류하기 쉽고, 특히, 기체(33)의 중앙부(51)에 공기가 잔류하기 쉽다. 이것에 의해, 선회류 형성체(21)의 선회류뿐만 아니라, 기체(22)의 중앙부(51)에 잔류한 공기에 의해서도 유리(3)가 부상하여, 유리(3)의 부상 높이 정밀도가 불안정하게 될 우려가 있다.

그래서, 도 8(b)에 도시하는 비접촉 반송 장치(53)와 같이, 기체(22)의 반송면에, 인접하는 선회류 형성체(21)의 사이를 칸막이하고, 기체(22)의 측면에 개구하는 격자 형상의 공기압 가장자리 절결홈(54)을 형성하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 기체(22)와 유리(3) 사이에 잔류하는 공기가 외부로 빠져나가기 쉬워지기 때문에, 유리(3)의 부상 높이 정밀도를 확실하게 유지할 수 있다.

도 9는 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치의 제 2 실시형태를 나타내고, 이 비접촉 반송 장치(70)는 2개의 반송 공정(71, 73)에 끼워진 프로세스 공정(72)을 구비하는 것으로, 도 9(a)에 도시하는 바와 같이, 선회류 형성체(31)와, 선회류 형성체(31)와는 역방향의 선회류를 발생시키는 선회류 형성체(32)를, 기체(63)에 3열에 걸쳐, 상하 좌우로 번갈아 복수개 배치하고, 또한, 미량의 공기를 취출하는 공기 취출용 다공질 파레트(이하, 「파레트」라고 함)(64)를, 이들 선회류 형성체(31, 32)의 주변에, 2열에 걸쳐 복수개 배치한 비접촉 반송 장치(72a)를, 도 9(b)에 도시하는 바와 같이, 병렬로 3열 배치하여 구성된다. 또한, 프로세스 공정(72)은 반도체 장치를 제조하기 위한 노광 패턴을 검사하는 공정이나, 레지스트의 코팅 공정 등, 고정밀도의 부상 높이가 요구되는 공정이다.

파레트(64)는 다공질의 스테인리스 소결체 등이며, 기체(63)의 반송면에 메워 넣어지고, 기체(63)의 내부에 뚫어 설치된 공기통로에 공급된 공기가 파레트(64)의 표면의 미소한 구멍으로부터 취출되어, 유리(3)의 높이를 정밀하게 제어할 수 있다.

다음에 본 발명에 따른 비접촉 반송 장치(70)의 동작에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.

반송 공정(71)에 있어서 부상한 상태에서, 공기 분출 장치 등에 의해 반송된 유리(3)는, 프로세스 공정(72)에 들어가면, 복수의 파레트(64)로부터 상방으로 취출되는 공기에 의해, 그 부상 높이가 고정밀도로 제어되어, 각종 검사나 가공 등이 행해진다. 그 후, 유리(3)는, 비접촉 반송 장치(73)에 의해 부상된 상태에서, 도시하지 않은 공기 분출 장치 등에 의해 다음 공정으로 반송된다. 또한, 각각의 파레트(64)로부터 취출되는 공기유량 등을 조정함으로써, 유리(3)의 부상 높이를 적당하게 변경할 수도 있다.

또한, 상기 각 실시형태에서는, 도 1 또는 도 3에 도시한 선회류 형성체(1) 또는 선회류 형성체(21)를 사용한 경우에 대하여 설명했지만, 도 4 내지 도 9에 도시하는 구성에 대해서는, 반드시 선회류 형성체(1 또는 21)를 사용할 필요는 없고, 일반적으로 사용되는 선회류 형성체를 사용하여 비접촉 반송 장치를 구성할 수도 있다.

또, 상기 각 실시형태에서는, 유체로서 공기를 사용하는 경우에 대하여 설명했지만, 공기 이외의 질소 등의 프로세스 가스를 사용할 수도 있다.

1 선회류 형성체
1a 관통구멍
1b 오목부
1c 공기통로
1d 분출구
1e 표면측 평판부
2 기체
2a 공기통로
2b 관통구멍
2c 환상홈
3 유리
21(21A, 21B) 선회류 형성체
21a 관통구멍
21b 환상홈
21c 공기통로
21d 분출구
21e 모따기부
21f 모따기부
21g 평판 형상부
22 기체
22a 공기통로
22b 관통구멍
22c 오목부
22d 환상 오목부
22e 융기부
22f 공기 공급구멍
24 지그
24a 선단부
30 비접촉 반송 장치
31 선회류 형성체
31a 관통구멍
31e 평판부
32 선회류 형성체
32a 관통구멍
32e 평판부
33 기체
40 비접촉 반송 장치
50 비접촉 반송 장치
51 중앙부
53 비접촉 반송 장치
54 공기압 가장자리 절결홈
63 기체
64 파레트
70 비접촉 반송 장치
71 반송 공정
72 프로세스 공정
72a 비접촉 반송 장치
73 반송 공정

Claims

선회류 형성체를 기체(基體)의 반송면에 2개 이상 구비하는 비접촉 반송 장치로서,
이 선회류 형성체는 표면으로부터 이면으로 관통하는 횡단면 원형의 관통구멍을 갖는 링 형상으로 형성됨과 아울러 상기 이면에 유체 분출구를 구비하고, 이 유체 분출구로부터 유체를 분출함으로써, 상기 표면 측에 이 표면으로부터 떨어지는 방향으로 향하는 선회류를 생기게 함과 아울러, 이 표면 측의 상기 관통구멍의 개구부 근방에 상기 이면 방향으로의 유체 흐름을 생기게 하는 것인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 선회류 형성체는 상기 이면에 상기 유체 분출구에 연통하는 평면으로 보아 원형의 홈부를 구비하고, 상기 기체는 상기 반송면에 상기 홈부에 연통하는 유체 공급구멍을 구비하고, 이 유체 공급구멍을 통하여 상기 홈부에 유체가 공급되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 기체는 상기 반송면에 평면으로 보아 원형의 홈부를 구비하고, 상기 선회류 형성체는 상기 홈부 및 상기 유체 분출구에 연통하는 유체통로를 구비하고, 상기 홈부를 통하여 상기 유체 공급구멍에 유체가 공급되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 선회류 형성체를 상기 기체의 반송면에 형성한 오목부에 수용한 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 4 항에 있어서, 상기 기체의 반송면에 형성한 오목부에 상기 선회류 형성체를 수용하고, 이 선회류 형성체의 외주면을 상기 오목부의 주위에 돌출 설치한 융기부에 의해 코킹 접합한 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 5 항에 있어서, 상기 기체의 반송면에 형성되어 인접하는 오목부의 사이를 칸막이하고, 이 기체의 측면에 개구하는 유체압 가장자리 절결홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 선회류 형성체는 상기 기체에 2열에 걸쳐 각 열에 복수개 배치되고, 일방의 열에 속하는 선회류 형성체의 각각의 선회류의 방향과, 타방의 열에 속하는 선회류 형성체의 각각의 선회류의 방향이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기체는 상기 선회류 형성체의 주변에 유체 취출용 다공질 파레트를 구비하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기체의 반송면은 수평면에 대하여 경사진 면, 또는 수평면에 대하여 평행하고 또한 지면에 서로 대향하는 면인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송 장치.