JP2005075496A - 浮上搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 コンプレッサやタンク、配管などを不要にし、著しく簡単にした浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】 浮上用ユニット2、推進用ユニット4にはファン10が設けられ、ルーバ12、13による噴出し方向の調整以外は、ファン10からの送気が真っ直ぐ噴出し口8、9に達するようにしてあり、筐体6、7とファン10の間に送気用の曲げ(ベント)はない。そして、送気する空気はファン10によりユニット2、4の下側の空気を上側へと送り出す。この結果、ファン10の出口からの圧損は、ルーバ12、13によるもの以外はほとんどない。また、ファン10は各ユニット2、4毎に例えば1個ずつ設け、風量は独立して制御可能である。
【選択図】 図1
【解決手段】 浮上用ユニット2、推進用ユニット4にはファン10が設けられ、ルーバ12、13による噴出し方向の調整以外は、ファン10からの送気が真っ直ぐ噴出し口8、9に達するようにしてあり、筐体6、7とファン10の間に送気用の曲げ(ベント)はない。そして、送気する空気はファン10によりユニット2、4の下側の空気を上側へと送り出す。この結果、ファン10の出口からの圧損は、ルーバ12、13によるもの以外はほとんどない。また、ファン10は各ユニット2、4毎に例えば1個ずつ設け、風量は独立して制御可能である。
【選択図】 図1
Description
この発明は、液晶基板等の搬送物を空気により浮上させて搬送する装置に関する。
液晶ガラス基板等の大型化に伴い、従来のカセット単位での搬送には無理が生じている。例えば基板サイズが2m×2mとすると、これを取り扱うカセットやロボットのハンドも2m×2m程度のサイズとなり、搬送設備が巨大化する。
カセットを用いない搬送装置として、空気を用いた浮上搬送装置が考えられる。浮上搬送装置では、コンプレッサで高圧空気を発生させ、タンクに蓄えて、複数のノズルから搬送物の底面に向けて浮き出させて、物品を浮上させる。しかしながら浮上搬送での空気消費量は大きく、大きなコンプレッサからタンクに高圧空気を供給し、多数の配管をはり巡らせて、ノズルに空気を供給する必要がある。またコンプレッサやノズルから高圧空気を吹き出す際の騒音も著しい。
この発明の基本的課題は、浮上搬送を実現するためのコンプレッサや配管、空気タンクなどを不要にし、浮上搬送装置の構成を簡便にすることにある。
請求項2の発明での追加の課題は、直進以外の種々の動作を、搬送物に行わせることができるようにすることにある。
請求項3の発明での追加の課題は、搬送物が左右にぶれたり向きが狂ったりすることを抑制し、搬送を容易にすることにある。
請求項2の発明での追加の課題は、直進以外の種々の動作を、搬送物に行わせることができるようにすることにある。
請求項3の発明での追加の課題は、搬送物が左右にぶれたり向きが狂ったりすることを抑制し、搬送を容易にすることにある。
この発明は、上方に空気を送気するファンまたはブロワを、複数個、組織的に配置することにより搬送物の搬送路を構成して、前記ファンまたはブロワからの空気流により搬送物を浮上させるようにした浮上搬送装置にある。
好ましくは、前記ファンまたはブロワの空気吹き出し口側に、送気方向を調整するためのルーバを設けてユニットとし、送気方向の異なる複数のユニットを組み合わせて配置し、搬送物の位置に合わせて前記各ユニットを制御することにより、搬送方向を転換自在にする。
また好ましくは、搬送路の中央部に搬送方向に沿って送気する推進用のファンまたはブロワを設けると共に、その左右方向両側に上方へ送気する浮上用のファンまたはブロワを設け、かつ前記浮上用のファンまたはブロワの左右方向両外側に、搬送路の中央側へ送気するセンタリング用のファンまたはブロワを設ける。
この発明では、ファンやブロワからの送気で浮上搬送を行うので、コンプレッサやタンク、タンクとノズルを結ぶ配管が不要になり、浮上搬送装置の設備を著しく簡単にできる。さらにコンプレッサやノズルからの騒音も解消し、配管が不要なので設備の増設やレイアウト変更なども容易である。そして浮上搬送に必要な空気流は、ファンやブロワによりその場で発生させることができる。高圧の空気を必要としないので、運転コストも著しく減少する。
請求項2の発明では、ルーバの向きを変えることにより、浮上用、推進用、方向転換用などの種々のユニットを用意でき、これらを適宜に組み合わせて、搬送物の位置に応じて制御することにより、搬送方向の転換などができる。
請求項3の発明では、搬送物が左右にずれたり向きが狂ったりすると、外側のセンタリング用のファンやブロワからの送気により、搬送物の位置や向きを修正できる。また推進用のファンやノズルは搬送路の左右方向(幅方向)中央にあるので、推進用のファンやブロワから、搬送物の向きを変えたり左右にずらせたりするモーメントが働きにくい。
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
図1〜図5に、ファンやブロワを用いた最適実施例を示す。図1に、浮上用ユニット2と推進用ユニット4の例を示すと、いずれもファン10を内蔵し、その筺体6,7の上部には吹き出し口8,9が形成されている。浮上用ユニット2の場合、空気の吹き出し方向は例えば直上である。また推進用ユニット4の場合、空気の吹き出し方向は斜め上方であり、そのためにルーバ12,13が取り付けれている。
ユニット2,4には、ファン10が設けられ、ルーバ12,13による吹き出し方向の調整以外は、ファン10からの送気が真っ直ぐ吹き出し口8,9に達するようにしてあり、筺体6,7とファン10の間に送気路の曲げ(ベント)はない。この結果、ファン10の出口からの圧損は、ルーバ12,13によるもの以外はほとんどない。またファン10は各ユニット2,4毎に例えば1個ずつ設け、風量は独立して制御可能である。そして送気する空気は、ファン10によりユニット2,4の下側の空気を上側へと送り出すものので、配管やコンプレッサ、あるいは高圧空気のタンク、ノズルなどは不要である。
ファン10はここでは軸流ファンで、その出力は風圧換算で0.1気圧以下(10KPa以下)であり、ファンに代えて風圧が0.2気圧以下のブロワなどを用いても良いが、安価で運転に必要なエネルギーの小さなファンが好ましい。ユニット2,4の表面サイズは、例えば1辺が5cm×5cm〜20cm×20cm程度とし、実施例では表面が10cm角程度の略正方形状とし、高さは、ルーバ12,13を設置するのに必要な高さ+ファン10の厚さ分である。搬送物である液晶基板用のガラスは、例えば1辺が1〜2m程度の長方形状で、質量は10Kg程度であり、搬送路の左右方向(搬送方向と水平面内で直角な方向)に沿って、ユニット2,4を5〜40個程度配列する、これらのユニットには、推進用、浮上用、センタリング用などの種類があり、基板の位置に従ってユニットのファンのオン/オフや風量を制御することにより、搬送物の姿勢や速度などをきめ細かく制御できる。
図2に、変形例のファンユニット20を示すと、22は可動ルーバで、図示しないアクチュエータによりその向きを変えることができ、これに伴って直上へ送気して浮上用ユニットとして作動させたり、斜め前方や斜め後方などに送気して推進用あるいは停止用のユニットなどとして作動させることができる。
ユニット2,4などは、搬送方向に沿って直線状に配列するが、搬送方向に直角な方向には、例えば互い違いに配置し、全体として千鳥状に配置する。なおユニット2,4全体としては格子状に配置し、浮上用ユニット2と推進用ユニット4を互い違いに配置することにより、各ユニット2,4単位で千鳥状となるようにしても良い。そして搬送方向に平行なユニットの列と列との隙間がガイド通路15となり、図示しないガイドなどにより基板をガイドする場合、ガイド通路15に沿ってガイドを移動させる。また隙間16は、ユニット2,4の設置やメンテナンスなどを容易にするための隙間で、特に設けなくても良い。ガイド通路15や隙間16の底面は塞いで、ユニット2,4から吹き出した空気が逃げないようにしても良い。あるいはまたガイド通路15や隙間16の底部を塞がず、ユニット2,4から吹き出した空気をこの部分から回収して、図示しないファンユニットに戻して再供給し、浮上に用いる空気を循環させて外に逃がさないようにしても良い。
図3に、搬送路30の左右方向でのユニットの配置を示す。搬送路30の中央部には、高速推進ユニット32を設け、例えばその両側に低速推進ユニット33,33を設ける。推進ユニット32,33の合計はここでは3列としたが、1列あるいは5列などでも良い。そして3列以上設ける場合、中央部に高速推進ユニット32を例えば1〜3列程度設け、その両側に低速推進ユニット33を各々1〜3列程度設ける。低速推進ユニット33の両外側には浮上用ユニット34を複数列設け、空気を直上へ送気して搬送物を浮上させ、その両外側にセンタリングユニット36,36を設けて、空気を搬送路30の内側斜め上方へと吹き出させる。なお高速推進用ユニット32の列と、低速推進用ユニット33の列との間に、浮上用ユニット34の列を配置しても良く、また高速推進用ユニット32の列や低速推進用ユニット33の列の中に浮上用ユニット34を混在させても良い。またセンタリングユニット36,36は、常時は搬送物40よりも左右方向外側に来るように配置する。38はガイドで、搬送路30側の表面にクッション材などを配置したもので、搬送物が搬送路30からはみ出すのを防止する。板状のガイド38に代えて、棒状のガイド39などを設けて、その表面にクッション材を巻き回すと、隙間のないガイド38に搬送物の角が当たって損傷するなどの恐れを解消できる。
図4に、搬送物40の左右方向の位置や向きの矯正機構を示す。なお左右方向の位置を正しく保ち、かつ搬送物の向きを正しく保つことを、センタリングと呼ぶ。搬送物40は図4の実線で示した状態が正常状態で、例えばこれから向きが変化して鎖線のようになったとする。すると搬送物40の右側がセンタリングユニットからの搬送路の内側向けの送気を受け、これによる力のモーメントで姿勢の変化が矯正される。搬送物40が左右方向に位置ずれした場合も、同様にセンタリングユニットにより位置ずれを矯正される。
推進ユニットは図3に示すように、例えば3列に設けて、その中央に高速推進ユニット32を設ける。ここで複数列の推進ユニットで、各列からの推進力がアンバランスであると、搬送物40を回転させる原因となる。ここで、搬送路30の中央部に高速推進ユニット32を配置し、両側に低速推進ユニット33,33を配置すると、中央の高速推進ユニット32は、搬送物40の姿勢を変える原因となりにくいので、推進ユニットによる搬送物40の姿勢の変化を防止できる。なお左右の低速推進ユニット33,33間で推進力が不均一な場合、搬送物40の姿勢が変化する原因となるが、低速なので比較的その影響は小さい。
図5に浮上搬送装置のレイアウトを示す。ここでは、搬送ユニット41で図の下から上向きに搬送した搬送物を、搬送ユニット42で搬送方向を90°変え、搬送ユニット43で左から右へと搬送し、搬送ユニット44で再度向きを変えて、搬送ユニット45へと送り出す。46a〜46cは推進部で、前記のように高速推進ユニットの両側に低速推進ユニットを配置したもので、47はセンタリング部で、前記のセンタリングユニットを配列したものである。48は停止部で、搬送ユニット42や搬送ユニット44で搬送物を一旦停止するために用いる。そして各搬送ユニットには搬送物センサ49などを適宜の位置に配置して、搬送物の位置を検出し、これを制御部50へ入力し、搬送物の位置に応じて、各ユニットのファンの風量を変化させ、あるいはファンをオン/オフすることにより浮上搬送する。搬送物センサ49には、例えばガラス基板の有無による誘電率の違いを用いるものや、ガラス基板による超音波の反射を検出するセンサなどを用いればよい。各ユニットのファンは、ユニット毎に独立して制御可能であるが、全てのユニットを別々に制御する必要はなく、例えば搬送方向の略同じ位置に左右に並ぶ浮上ユニットは1つの群として同じタイミングでオン/オフ制御すれば良い。
さらに実施例ではU字状に搬送路を形成したが、図5で搬送ユニット42の上方へと搬送物を送り出したり、搬送ユニット44の右側へと搬送物を送り出したりできるようにすると、搬送方向を分岐できる。この場合例えば、搬送ユニット42で推進部46bを動作させずに、推進部46aのみを動作させると、搬送ユニット42の上側へと分岐する。また推進部46aにより、停止部48の付近まで搬送物を前進させた後、推進部46aを停止させて、停止部48からの図5の下向きの送気により搬送物をブレーキし、次いで推進部46bを作動させると、搬送方向を90°変化させることができる。推進用ユニットの送気方向を円弧状などに配置すると、搬送物を回転させることもでき、ルーバでファンの送気方向を調整し、送気方向の異なるユニットを複数種配置することにより、搬送物を種々の経路で搬送できる。
52はフィルタユニットで、クリーンルーム用のフィルタユニットなどを用い、複数の浮上用ユニットや推進用ユニット並びにセンタリングユニットなどに清浄空気を供給し、浮上搬送時の搬送物の汚染を防止する。なおフィルタユニット52は設けなくても良い。
2 浮上用ユニット
4 推進用ユニット
6,7 筺体
8,9 吹き出し口
10 ファン
12,13 ルーバ
15 ガイド通路
16 隙間
20 ファンユニット
22 可動ルーバ
30 搬送路
32 高速推進ユニット
33 低速推進ユニット
34 浮上用ユニット
36 センタリングユニット
38,39 ガイド
40 搬送物
41〜45 搬送ユニット
46a〜46c 推進部
47 センタリング部
48 停止部
49 搬送物センサ
50 制御部
52 フィルタユニット
4 推進用ユニット
6,7 筺体
8,9 吹き出し口
10 ファン
12,13 ルーバ
15 ガイド通路
16 隙間
20 ファンユニット
22 可動ルーバ
30 搬送路
32 高速推進ユニット
33 低速推進ユニット
34 浮上用ユニット
36 センタリングユニット
38,39 ガイド
40 搬送物
41〜45 搬送ユニット
46a〜46c 推進部
47 センタリング部
48 停止部
49 搬送物センサ
50 制御部
52 フィルタユニット
Claims (3)
- 上方に空気を送気するファンまたはブロワを、複数個、組織的に配置することにより搬送物の搬送路を構成して、前記ファンまたはブロワからの空気流により搬送物を浮上させるようにした浮上搬送装置。
- 前記ファンまたはブロワの空気吹き出し口側に、送気方向を調整するためのルーバを設けてユニットとし、送気方向の異なる複数のユニットを組み合わせて配置し、搬送物の位置に合わせて前記各ユニットを制御することにより、搬送方向を転換自在にしたことを特徴とする、請求項1の浮上搬送装置。
- 搬送路の中央部に搬送方向に沿って送気する推進用のファンまたはブロワを設けると共に、その左右方向両側に上方へ送気する浮上用のファンまたはブロワを設け、かつ前記浮上用のファンまたはブロワの左右方向両外側に、搬送路の中央側へ送気するセンタリング用のファンまたはブロワを設けたことを特徴とする、請求項1または2の浮上搬送装置。
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